CN1720433A - 用于大泄漏测试的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

提供了用于大泄漏测试的方法和装置。该装置包括用于接收包含示踪气体的样本的测试管线、用于检测示踪气体并具有用于接收示踪气体的入口的质谱仪、特征在于轻气体的反向流率相对高且重气体的反向流率相对低的第一真空泵，第一真空泵具有泵入口和前级管线，泵入口耦合到质谱仪的入口，以及被配置来支持第一真空泵的第二真空泵。该装置还包括示踪气体可透过构件，该示踪气体可透过构件耦合在测试管线和泵入口、前级管线或当第一真空泵为涡轮分子泵时的中间级管线之间。

Description

用于大泄漏测试的方法和装置
技术领域
本发明涉及检测物品中的泄漏，更具体地说，涉及包括大泄漏的泄漏率的大的范围上的氦检漏的方法和装置。
背景技术
氦质谱仪检漏是公知的检漏技术。氦被用作示踪气体，其穿过密封试件漏缝中最小的漏缝。在穿过漏缝后，包含氦的试样被吸入到检漏仪器中并被测量。该仪器的重要构件是质谱管，质谱管检测并测量氦。输入试样被电离，并且由质谱管对其进行质量分析，以分离氦成分。在一种方法中，使用氦对试件加压。连接到检漏仪测试端口的检漏探头(snifferprobe)围绕试件外部移动。氦穿过试件中的漏缝，被吸入探头，并被检漏仪测量。在另一种方法中，试件内部被耦合到检漏仪的测试端口，并且被抽真空。氦被喷射到试件外部，通过漏缝被吸入，并被检漏仪测量。
氦质谱仪检漏的一个难点是质谱管入口必须保持相对低压，通常是2×10-4托。在所谓的传统检漏仪中，连接到试件或检漏探头的测试端口必须保持相对低压。从而，真空抽气周期相对长。另外，在带漏洞或大容积构件的测试中，可能难以或者不可能达到所需的压强水平。如果能够达到所需的压强水平，抽气周期也是非常长的。
现有技术已经提出了用于解决该难点的技术。1972年9月12日授权给Briggs的美国专利No.3,690,151中公开了逆流检漏仪，该逆流检漏仪利用氦通过扩散泵向质谱仪反向流动的技术。检漏仪测试端口可以在扩散泵前级管线的压强下工作。一种类似的方法利用氦通过涡轮分子泵的反向流动。1988年4月5日授权给Fruzzetti的美国专利No.4,735,084中公开了一种用于粗检漏的技术。示踪气体反向通过机械真空泵的一级或两级。这些技术允许测试端口的压强高于用于传统检漏仪的压强。然而，当测试大容积、不洁的构件或者具有大泄漏的构件时，达到该较高的测试端口压强可能仍是困难的。
图1示出了用于大泄漏测试的现有技术检漏仪的简化示意图。试件10附接到入口法兰12。入口法兰12界定检漏仪的测试端口，并且经由测试阀32和差压孔30连接到测试管线14。检漏仪包括前级泵16、低真空泵(roughing pump)18、涡轮分子泵(涡轮泵)20和质谱仪22。涡轮泵20的前级管线24连接到测试管线14，并且质谱仪22连接到涡轮泵20的入口。涡轮泵20的中间级管线26可以连接到测试管线14。前级泵16对测试管线14和试件10从环境压强开始粗略抽真空，并且支持涡轮泵20。从试件10进入测试端口的氦在反向流中或者相反方向中流过涡轮泵20，并流入到质谱仪22。质谱仪检测氦，并指示氦泄漏率。一种替代的现有技术非反向流配置使用了在测试管线14和质谱仪22的入口之间的直接连接34。
对于测试端口压强可能大于涡轮泵20的可允许前级管线压强的大泄漏测试来说，在现有技术检漏仪中利用了带有粗抽管线28和粗抽阀36的低真空泵18。孔30操作使得大部分气体流到低真空泵18，而一小部分气体流到前级泵16，且氦以相反的方向流过质谱仪22。旁通阀38被用来旁通孔30。例如因为孔可被污染物部分地堵塞，从而导致错误的读数，所以以两个泵和一个差压孔来进行测试本身是不可靠的。另外，低真空泵和关联硬件的花费显著增加了成本。
1990年1月31日公布的欧洲专利申请No.0 352 371中公开了包括离子泵的氦检漏仪，该离子泵连接到硅玻璃毛细管形式的探头。该硅玻璃管被加热到300℃到900℃之间的温度，从而变得能够透过氦。1994年7月5日授权给De Simon的美国专利No.5,325,708中公开了一种氦检测单元，该氦检测单元使用石英毛细管膜、用于对该膜进行加热的灯丝和离子泵。1997年8月26日授权给Bohm等的美国专利No.5,661,229公开了一种检漏仪，该检漏仪具有聚合物或者被加热的石英窗口，用于有选择地将氦传送到耗气真空计(gas-consuming vacuum gauge)。
所有现有技术的氦检漏仪都具有一个或多个缺点，包括受限的压强范围、易受污染性和/或高成本。因此，需要改进的方法和装置来检漏。
发明内容
根据本发明的第一方面，提供了一种用于检漏的装置。该装置包括被配置来接收包含示踪气体的样本的测试管线、被配置来检测示踪气体并且具有用于接收示踪气体的入口的质谱仪、特征在于轻气体的反向流率相对高且重气体的反向流率相对低的第一真空泵，第一真空泵具有泵入口和前级管线，泵入口耦合到质谱仪的入口，以及耦合在第一真空泵的前级管线和测试管线之间的前级管线阀。该装置还包括耦合在测试管线和质谱仪的入口之间的示踪气体可透过构件，以及具有与测试管线耦合的入口的第二真空泵。
可透过构件可透过氦，并且可透过构件的示踪气体透过率可以是可控的。在某些实施例中，可透过构件包括石英构件。该装置还包括与石英构件热接触的加热元件，和被配置来控制加热元件的控制器。在另外的实施例中，可透过构件包括聚合物构件。
该装置还可包括控制器，其被配置来在测试管线中为相对高压时，增大可透过构件的透过率并关闭前级管线阀，而在测试管线中为相对低压时，减小可透过构件的透过率并打开前级管线阀。
根据本发明的第二方面，提供了一种用于检漏的方法。该方法包括经过测试管线泵浦来自测试容积的气体；在测试管线中为相对高压时，使所泵浦的气体的第一部分通过示踪气体可透过构件到达质谱仪；并且在测试管线中为相对低压时，使所泵浦的气体的第二部分反向通过真空泵到达质谱仪。真空泵的特征在于轻气体的反向流率相对高，重气体的反向流率相对低。
根据本发明的第三方面，提供了一种用于检漏的装置。该装置包括被配置来接收包含示踪气体的样本的测试管线；被配置来检测示踪气体并且具有用于接收示踪气体的入口的质谱仪；特征在于轻气体的反向流率相对高且重气体的反向流率相对低的第一真空泵，第一真空泵具有泵入口和前级管线，泵入口耦合到质谱仪的入口；被配置来支持第一真空泵的第二真空泵；以及耦合在泵入口和前级管线中的至少一个与测试管线之间的示踪气体可透过构件。
根据本发明的第四方面，提供了一种用于检漏的装置。该装置包括被配置来接收包含示踪气体的样本的测试管线；被配置来检测示踪气体并且具有用于接收示踪气体的入口的质谱仪；具有泵入口、中间级管线和前级管线的涡轮分子真空泵，泵入口耦合到质谱仪的入口；被配置来支持涡轮分子真空泵的前级泵；以及耦合在测试管线和涡轮分子真空泵的中间级管线之间的示踪气体可透过构件。
附图说明
为了更好的理解本发明，参考附图，这里通过参考结合了附图，在附图中：
图1是用于大泄漏测试的现有技术双泵检漏仪的框图；
图2是根据本发明第一实施例的检漏装置的简化框图；
图2A是图2的装置的简化的局部横截面图，示出了可透过构件；
图3是图2的装置中的检漏方法的简化流程图；
图4是根据本发明第二实施例的检漏装置的简化框图；
图5A是根据本发明第三实施例的检漏装置的简化框图；
图5B是根据本发明第四实施例的检漏装置的简化框图；以及
图5C是根据本发明第五实施例的检漏装置的简化框图。
具体实施方式
图2示出了根据本发明第一实施例的检漏装置。具有测试容积111的试件110附接到入口法兰112。入口法兰112界定检漏仪的测试端口，并且经由测试阀136连接到测试管线114。前级泵116的入口耦合到测试管线114，以泵浦测试管线114和测试容积111。检漏仪还包括涡轮泵120、质谱仪122、前级管线阀124、中间级阀138、示踪气体可透过构件130、控制器132和相关管道。质谱仪122的入口162耦合到真空泵120的入口。涡轮泵120的前级管线140经由前级管线阀124耦合到测试管线140。涡轮泵120的可选中间级管线142经由中间级阀138耦合到测试管线114。
涡轮泵120可用扩散泵、所谓的混合涡轮泵或分子拖曳泵来代替。在扩散泵上没有利用中间级连接。在混合涡轮泵中，一个或多个轴向泵浦级被代替以高速旋转并用作分子拖曳级的圆盘。1993年8月24日授权给Casaro等的美国专利No.5,238,362中公开了这种配置。在每种情形下，真空泵的特征在于例如氦的较轻气体的相对高的反向流率，以及较重气体的相对低的反向流率，使得氦沿相反方向从前级管线140经过真空泵流到质谱仪122，而其他气体基本被阻挡。
示踪气体可透过构件130经由管道148耦合在测试管线114和质谱仪122的入口162之间。可透过构件130是这样的材料，其在指定的条件下，对于检漏仪中所用的示踪气体(一般是氦)来说，是可透过的。可透过构件130主要通过或者透过示踪气体，而基本阻挡其他气体、液体和微粒。从而，在允许示踪气体通过而阻挡其他气体、液体和微粒的意义上，可透过构件130充当示踪气体窗口。
如图2A所示，可透过构件130可被密封在连接到管道148的夹具150中，使得通过管道148到达质谱仪122的气体穿过可透过构件130。可透过构件130可以具有例如圆盘状的形状。
石英或者硅玻璃是可透过氦的材料的示例。具体地说，石英的氦透过率随温度而变化。在被升高到300℃到900℃范围中的温度处，石英具有相对高的氦透过率。在室温处，石英具有相对低的氦透过率。仍然如图2A所示，检漏仪可具有加热元件154，其与石英可透过构件130相热接触。可以由控制器132对加热元件154赋能，以增大石英可透过构件130的氦透过率。通过控制可透过构件130的温度，提供了氦窗口。在相对高的温度处(例如300℃到600℃)，氦透过率高，氦窗口打开。在相对低的温度处(例如室温)，氦透过率低，氦窗口关闭。其他合适的示踪气体可透过构件材料包括聚合物，如商标名为Teflon的四氟乙烯。
下面参考图3的流程图，描述图2中所示检漏仪的操作。在步骤200中，试件110(图2)被安装到检漏仪的测试端口上。更具体地说，试件110被安装到入口法兰112上。在步骤202中，测试阀136被打开，并且利用前级泵116对试件110泵浦，一般从大气压开始。在步骤204中，加热元件154被赋能，并前级管线阀124和中间级阀138被关闭。这有效地阻挡了氦通过涡轮泵120到达质谱仪122，并增大了可透过构件130的透过率。从而，氦可以从测试管线114经过可透过构件130流到质谱仪122。可透过构件130防止了其他气体和污染物进入质谱仪122。从而，一旦前级泵116开始泵浦测试容积，就可以开始检漏。在现有技术的检漏仪中，为了涡轮泵和质谱仪的正确运行，直到达到了足够低的测试管线压强时才能开始检漏。这一时间优点对于许多应用来说是重要的。如果质谱仪122中的压强水平变得过高，则前级管线阀124自动打开，并且测试阀136关闭一段短暂的时间，以重新连接前级泵116，并重新建立期望的压强水平。
在步骤206中，基于经由可透过构件130接收的氦的量，确定试件110是否有大的泄漏。如果检测到大的泄漏，则试件110被归类为测试未通过，并且测试终止。
如果在步骤206中未检测到大的泄漏，则在步骤208中对加热元件154去能，并且将检漏仪配置用于中等或小的泄漏检测。中间级阀138被打开用于中等泄漏检测，前级管线阀124被打开用于小泄漏检测。在某些情形下，可以同时打开中间级阀138和前级管线阀124。在这种模式中，测试管线114中的氦沿相反方向从前级管线140和/或中间级管线142经过涡轮泵120到达质谱仪122。这一模式允许测试管线114运行于涡轮泵120的前级管线压强下。在步骤210中，确定试件110是否有中等或小的泄漏。基于从测试管线114经由涡轮泵120到达质谱仪122的氦的量，检测中等或小的泄漏。如果在步骤210中检测到中等或小的泄漏，则试件被归类为有泄漏，并且没有通过泄漏测试。如果在步骤210中未检测到泄漏，则试件通过泄漏测试。
可透过构件130可以由能够透过示踪气体(一般是氦)的任何合适的材料制成，并且可以具有任何形状或尺寸。合适材料的示例包括石英和可透过聚合物。当利用石英时，加热元件对石英材料加热，以增大氦透过率，同时选择性地阻挡大部分其他的气体、水蒸气和微粒。在给定温度下，石英具有恒定的透过率。可调整温度以控制透过率，并进而控制灵敏度。在可透过聚合物的情形下不需要加热元件。可以在质谱仪的入口处安装可透过构件。透过可透过构件的氦被质谱仪检测，并且信号被转换为泄漏测量量。可透过构件可运行于真空、大气压或略高于大气压的压强下。可透过构件可运行于包含气体、微粒的气氛中和潮湿环境中。可透过构件允许在具有单个初级抽气泵(backing pump)的氦检漏仪中进行大泄漏检测。
图4示出了根据本发明第二实施例的检漏装置。图2和图4中类似的元件具有相同的标号。在图4的实施例中，示踪气体可透过构件130耦合在测试管线114和涡轮泵120的前级管线140之间。旁通阀160耦合在前级管线140和测试管线140之间。当打开阀160时，可透过构件130被旁通。在运行中，测试管线114中的氦经过可透过构件130到达涡轮泵120的前级管线140。然后，氦沿相反方向经过涡轮泵120到达质谱仪122的入口162，并被质谱仪122测量。在其他实施例中，示踪气体可透过构件130和旁通阀160的组合可以被连接到涡轮泵120的中间级管线142(图2)，或者可以被直接连接到质谱仪122的入口162。
图5A示出了根据本发明第三实施例的检漏装置。图2、图4和图5A中类似的元件具有相同的标号。在图5A的实施例中，涡轮泵120的前级管线140连接到前级泵116，而测试管线114连接到独立的低真空泵170。示踪气体可透过构件130耦合在质谱仪122的入口162和测试管线114之间。旁通阀160与可透过构件130并行地耦合。
图5B示出了根据本发明第四实施例的检漏装置。图2、图4、图5A和图5B中类似的元件具有相同的标号。在图5B的实施例中，示踪气体可透过构件130耦合在测试管线114和涡轮泵120的前级管线140之间。旁通阀160与可透过构件130并行地耦合。
图5C示出了根据本发明第五实施例的检漏装置。图2、图4、图5A和图5C中类似的元件具有相同的标号。在图5C的实施例中，示踪气体可透过构件130耦合在测试管线114和涡轮泵120的中间级管线142之间。旁通阀160与可透过构件130并行地耦合。
前述实施例表明可在检漏装置的不同点处利用可透过构件130，以获得不同的检漏灵敏度。可选的旁通阀可与可透过构件130并行地耦合。检漏装置可利用单个前级泵或者前级泵和独立的低真空泵。在另外的实施例中，可在检漏装置的多于一个点处利用可透过构件。
已经如此描述了本发明至少一个实施例的若干方面，应该意识到，本领域的技术人员将容易地想到各种变更、修改和改进。这些变更、修改和改进将是本公开的一部分，并且落在本发明的精神和范围内。因此，前述描述和附图只用于示例。

Claims (22)

1.一种用于检漏的装置，包括：
测试管线，被配置以接收包含示踪气体的样本；
质谱仪，被配置以检测所述示踪气体，并且具有用于接收所述示踪气体的入口；
第一真空泵，其特征在于轻气体的反向流率相对高，并且重气体的反向流率相对低，所述第一真空泵具有泵入口和前级管线，所述泵入口耦合到所述质谱仪的入口；
前级管线阀，耦合在所述第一真空泵的前级管线和所述测试管线之间；
示踪气体可透过构件，耦合在所述测试管线和所述质谱仪的入口之间；以及
第二真空泵，具有耦合到所述测试管线的入口。
2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述前级管线阀在所述测试管线中相对高压时被关闭，并且其中，所述前级管线阀在所述测试管线中相对低压时被打开。
3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述可透过构件包括石英构件。
4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述可透过构件包括石英构件，所述装置还包括与所述石英构件热接触的加热元件和被配置以控制所述加热元件的控制器。
5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述可透过构件的示踪气体透过率是可控的。
6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述可透过构件是可控的，还包括控制器，所述控制器在所述测试管线中相对高压时，被配置为增大所述可透过构件的示踪气体透过率，并关闭所述前级管线阀，而在所述测试管线中相对低压时，被配置为减小所述可透过构件的示踪气体透过率，并打开所述前级管线阀。
7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一真空泵包括涡轮分子泵。
8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一真空泵包括扩散泵。
9.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一真空泵包括混合真空泵，所述混合真空泵包括轴向泵浦级和一个或多个分子拖曳级。
10.一种用于检漏的方法，包括：
经过测试管线泵浦来自测试容积的气体；
在所述测试管线中相对高压时，使所泵浦的气体的第一部分通过示踪气体可透过构件到达质谱仪；以及
在所述测试管线中相对低压时，使所泵浦的气体的第二部分反向通过真空泵到达所述质谱仪，所述真空泵的特征在于轻气体的反向流率相对高，并且重气体的反向流率相对低。
11.根据权利要求10所述的方法，其中，使所泵浦的气体的第二部分反向通过真空泵包括提供耦合在所述真空泵的前级管线和所述测试管线之间的前级管线阀，在所述测试管线中相对高压时关闭所述前级管线阀，以及在所述测试管线中相对低压时打开所述前级管线阀。
12.根据权利要求10所述的方法，其中，使所泵浦的气体的第一部分通过示踪气体可透过构件包括在所述测试管线中相对高压时的高示踪气体透过率和所述测试管线中相对低压时的低示踪气体透过率之间控制所述可透过构件。
13.根据权利要求10所述的方法，其中，控制所述可透过构件包括加热所述可透过构件。
14.根据权利要求10所述的方法，还包括检测在所述测试管线中相对高压时被引导通过所述示踪气体可透过构件的气体，以识别大的泄漏。
15.根据权利要求10所述的方法，其中，使所泵浦的气体的第一部分通过示踪气体可透过构件包括增大所述可透过构件的透过率，以及关闭耦合在所述真空泵的前级管线和所述测试管线之间的前级管线阀，并且其中，使所泵浦的气体的第二部分反向通过真空泵包括减小所述可透过构件的透过率，以及打开所述前级管线阀。
16.一种用于检漏的装置，包括：
测试管线，被配置以接收包含示踪气体的样本；
质谱仪，被配置以检测所述示踪气体，并且具有用于接收所述示踪气体的入口；
第一真空泵，其特征在于轻气体的反向流率相对高，并且重气体的反向流率相对低，所述第一真空泵具有泵入口和前级管线，所述泵入口耦合到所述质谱仪的入口；
第二真空泵，被配置以支持所述第一真空泵；以及
示踪气体可透过构件，耦合在所述泵入口和所述前级管线中的至少一个与所述测试管线之间。
17.根据权利要求16所述的装置，其中，所述第一真空泵包括涡轮分子泵。
18.根据权利要求16所述的装置，还包括与所述示踪气体可透过构件并行耦合的旁通阀。
19.根据权利要求16所述的装置，还包括耦合到所述测试管线的低真空泵。
20.一种用于检漏的装置，包括：
测试管线，被配置以接收包含示踪气体的样本；
质谱仪，被配置以检测所述示踪气体，并且具有用于接收所述示踪气体的入口；
涡轮分子真空泵，具有泵入口、中间级管线和前级管线，所述泵入口耦合到所述质谱仪的入口；
前级泵，被配置以支持所述涡轮分子真空泵；以及
示踪气体可透过构件，耦合在所述测试管线和所述涡轮分子真空泵的中间级管线之间。
21.根据权利要求20所述的装置，还包括与所述示踪气体可透过构件并行耦合的旁通阀。
22.根据权利要求20所述的装置，还包括耦合到所述测试管线的低真空泵。
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WO (1) WO2004111599A1 (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101614564B (zh) * 2009-07-28 2011-02-09 上海市建筑科学研究院(集团)有限公司 一种室内高大空间自然通风量测试装置及方法
CN103069261A (zh) * 2010-07-05 2013-04-24 国立大学法人山口大学 漏泄检查装置及漏泄检查方法
CN105659062A (zh) * 2013-09-26 2016-06-08 英福康有限责任公司 薄膜室的抽空
CN107367359A (zh) * 2017-07-31 2017-11-21 哈尔滨电机厂有限责任公司 大型汽轮发电机真空衰减试验检测分析装置
CN109323815A (zh) * 2017-07-31 2019-02-12 深圳市远望工业自动化设备有限公司 具有气体回收机构的质谱检漏设备及质谱检漏方法
CN111033207A (zh) * 2017-08-29 2020-04-17 普发真空公司 用于对物体进行泄漏检测的泄露检测器和泄漏检测方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004111598A1 (en) * 2003-06-11 2004-12-23 Varian, Inc. Methods and apparatus for detection of large leaks in sealed articles
US7892084B2 (en) * 2003-09-12 2011-02-22 Video Gaming Technologies System and method for simulating the outcome of an electronic game as a keno game
US7500381B2 (en) * 2006-08-31 2009-03-10 Varian, Inc. Systems and methods for trace gas leak detection of large leaks at relatively high test pressures
US7497110B2 (en) * 2007-02-28 2009-03-03 Varian, Inc. Methods and apparatus for test gas leak detection
US20080202210A1 (en) * 2007-02-28 2008-08-28 Varian, Inc. Test gas leak detection using a composite membrane
JP4941275B2 (ja) * 2007-12-20 2012-05-30 富士通株式会社 防水試験装置、防水試験方法および防水試験プログラム
US8453493B2 (en) 2010-11-02 2013-06-04 Agilent Technologies, Inc. Trace gas sensing apparatus and methods for leak detection
US9038441B2 (en) * 2012-01-20 2015-05-26 TLI Enterprises, Inc. High speed helium leak detection system and method
DE102013218506A1 (de) * 2013-09-16 2015-03-19 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe
DE102015222213A1 (de) * 2015-11-11 2017-05-11 Inficon Gmbh Druckmessung am Prüfgaseinlass
FR3072774B1 (fr) * 2017-10-19 2019-11-15 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester
CN116430916B (zh) * 2023-06-08 2023-09-29 北京科技大学 基于渗透法精确控制小腔体气体压强集成装置及测试方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1648648C3 (de) * 1967-04-12 1980-01-24 Arthur Pfeiffer-Hochvakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip
US3591827A (en) * 1967-11-29 1971-07-06 Andar Iti Inc Ion-pumped mass spectrometer leak detector apparatus and method and ion pump therefor
US3690151A (en) * 1968-07-25 1972-09-12 Norton Co Leak detector
FR2604522B1 (fr) * 1986-09-26 1989-06-16 Cit Alcatel Installation de detection de fuite a gaz traceur et procede d'utilisation
EP0283543B1 (de) * 1987-03-27 1991-12-11 Leybold Aktiengesellschaft Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu
FR2666410B1 (fr) * 1990-09-05 1993-10-08 Alcatel Cit Detecteur de fuite haut flux a trois filtres moleculaires.
US5625141A (en) * 1993-06-29 1997-04-29 Varian Associates, Inc. Sealed parts leak testing method and apparatus for helium spectrometer leak detection
DE4326265A1 (de) * 1993-08-05 1995-02-09 Leybold Ag Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art
FR2734633B1 (fr) * 1995-05-24 1997-06-20 Cit Alcatel Installation pour detecter la presence d'helium dans un circuit de fluide
FR2761776B1 (fr) * 1997-04-03 1999-07-23 Alsthom Cge Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101614564B (zh) * 2009-07-28 2011-02-09 上海市建筑科学研究院(集团)有限公司 一种室内高大空间自然通风量测试装置及方法
CN103069261A (zh) * 2010-07-05 2013-04-24 国立大学法人山口大学 漏泄检查装置及漏泄检查方法
CN103069261B (zh) * 2010-07-05 2016-02-10 国立大学法人山口大学 漏泄检查装置及漏泄检查方法
CN105659062A (zh) * 2013-09-26 2016-06-08 英福康有限责任公司 薄膜室的抽空
CN105659062B (zh) * 2013-09-26 2019-08-09 英福康有限责任公司 薄膜室的抽空
CN107367359A (zh) * 2017-07-31 2017-11-21 哈尔滨电机厂有限责任公司 大型汽轮发电机真空衰减试验检测分析装置
CN109323815A (zh) * 2017-07-31 2019-02-12 深圳市远望工业自动化设备有限公司 具有气体回收机构的质谱检漏设备及质谱检漏方法
CN107367359B (zh) * 2017-07-31 2019-04-19 哈尔滨电机厂有限责任公司 大型汽轮发电机真空衰减试验检测分析装置
CN111033207A (zh) * 2017-08-29 2020-04-17 普发真空公司 用于对物体进行泄漏检测的泄露检测器和泄漏检测方法
CN111033207B (zh) * 2017-08-29 2022-12-20 普发真空公司 用于对物体进行泄漏检测的泄露检测器和泄漏检测方法

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