CN105659062A - 薄膜室的抽空 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于使用泵系统抽空薄膜室(28)的装置(10)，其包括至少两个被设计用于交替地抽空所述薄膜室(28)的真空泵(20、22)。在所述装置中所述第一真空泵(20)的抽吸容量大于所述第二真空泵(22)的抽吸容量，并且用所述第一真空泵(20)可以获得的最终压力小于用所述第二真空泵(22)可以获得的最终压力。

Description

薄膜室的抽空
技术领域
本发明涉及用于抽空薄膜室的装置和方法。
背景技术
薄膜室由柔性的、软性的材料——大多数为薄膜——制成，并且被用于检测包装中的泄漏。需要检测泄漏的样品被置于薄膜室中。大多数情况下，所述样品为也由柔性材料制成的食品包装。环绕所述样品的所述薄膜室被抽空。在之后，所述薄膜室内的压力或气体被监测，以便测试所述样品的密封性以及检测所述样品内的可能的泄漏。
至今为止，薄膜室是用具有高抽吸容量且达到低终点压力的真空泵来抽空的。这类泵较重且需要较高的电力用于工作。
更小、更轻的泵要么只能具有高抽吸容量，要么只能达到低压力，因而它们不适合单独作为传统的泵的代替品。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种抽空装置、以及一种相应的用于抽空薄膜室的方法，以便用更小的泵达到高抽吸容量和低最终压力。
本发明的所述装置由权利要求1的特征限定。
根据本发明，薄膜室被具有至少两个平行连接且都与所述薄膜室连接的真空泵的泵系统抽空。所述两个真空泵被设计用于交替地抽空所述薄膜室，也就是说，它们被交替地操作或被交替地与所述薄膜室连接。作为替代方案，可以想到的是所述两个真空泵被共用的管线与所述薄膜室连接，所述两个真空泵被阀门或开关部件交替地与所述共用的管线连接。
所述第一真空泵的抽吸容量高于所述第二真空泵的抽吸容量，并且用所述第二真空泵可以获得的最终压力低于用所述第一真空泵可以获得的最终压力。这样，两个真空泵中每一个单独而言都轻于之前使用的较重的真空泵。然而，至今为止，之前使用的单个大型真空泵可以同时达到理想的最终压力和所需的抽吸容量，本发明现在就基于该理念来应用一个用于获得理想的抽吸容量的真空泵和另一个用于获得要达到的最终压力的真空泵。这两个真空泵被彼此相继地交替操作。此处，具有较高抽吸容量的真空泵被首先使用以对所述薄膜室进行粗抽空。可以达到较低最终压力的另一个真空泵在这之后被使用以达到所述最终压力。
就这一点而言，在所述第二真空泵和所述薄膜室之间提供缓冲室，当所述第一真空泵抽空所述薄膜室时，所述缓冲室被所述第二真空泵抽空，这是有益的。这样，当所述第二真空泵没有与所述薄膜室连接时，其抽空所述缓冲室，并且，在这样做的过程中，优选地已经达到所述薄膜室中要求的最终压力。在此之后，所述薄膜室被所述缓冲室，并且可能地也被所述第二真空泵抽空。这样，显著地减少使所述薄膜室达到预期的最终压力的时间就是可能的。
所述第一真空泵的抽吸容量优选地在以升/秒为单位时高于所述薄膜室的初始体积(升/秒简写为l/s，举例来说，对于1l的初始体积，所述第一真空泵的抽吸容量大于1l/s)，并且其最终压力高于50毫巴(mbar)。优选地，所述第二真空泵的抽吸容量在以升/秒为单位时低于所述薄膜室的被预抽空后的剩余体积(例如，对于250cm3的剩余体积，所述第二真空泵的抽吸容量低于0.25l/s)，并且其最终压力低于50mbar。这类真空泵每一个都足够轻并且适于移动使用，而且，在根据本发明提供的结合方案中，在把所述薄膜室抽空到所需的最终压力时仍然可以足够快速。
所述第一真空泵可以是至少一个射流泵，例如文丘里泵。就这一点而言，可以想到的是它要么确切地为单个射流泵，要么是相继地串联连接的多个射流泵。
所述第二端口和所述第二真空泵之间的所述缓冲室应该优选地具有处于所述薄膜室体积的六到八倍体积之间的范围内，优选为处于所述薄膜室体积的九到十一倍之间的范围内的可抽空体积。
在所述两个真空泵被共用的管线与所述薄膜室连接的变化方案中，可以提供具有至少三个端口的阀门，以便连接所述两个真空泵和所述管线或所述薄膜室。
所述阀门可以优选地为3/2路阀门。所述阀门的第一端口被与第一真空泵连接。所述第二端口被与第二真空泵连接。所述第三端口用于连接所述薄膜室。所述阀门具有至少两个开关状态。在第一开关状态，所述阀门将所述第一端口和所述第三端口彼此连接，也就是说，将所述第一真空泵和所述薄膜室连接。在所述第二开关状态，所述阀门将所述第二端口和所述第三端口彼此连接，也就是说，将所述第二真空泵和所述薄膜室连接。不存在所述阀门的所述第一端口和所述第二端口被彼此连接的切换位置。因此所述第一真空泵永远不会被与所述第二真空泵连接。相反地，所述两个真空泵被交替地与所述薄膜室连接，以便彼此相继地抽空所述薄膜室。
根据如权利要求12中所限定的本发明的用于抽空薄膜室的方法，第一，所述薄膜室被具有较高抽吸容量的所述第一真空泵抽空。为了达到这个目的，所述第一真空泵可以被与所述薄膜室连接且所述第二真空泵可以被与所述薄膜室隔开。在此之后，所述第二真空泵被用于在所述薄膜室内达到较低的最终压力。为了这个目的，所述第一真空泵可以被与所述薄膜室隔开且所述第二真空泵可以被与所述薄膜室连接。就这一点而言，如果在将所述第二真空泵与所述薄膜室连接之前，缓冲室被所述第二真空泵抽空，则是有益的。与此同时，举例来说，所述薄膜室可能已经被具有较高抽吸容量的所述第一真空泵抽空。
附图说明
下面是结合了附图的本发明的实施方式的详细说明。在图示中：
图1是处于第一操作状态中的装置的示意性图解；
图2示出了处于第二操作状态中的图1中的图解；以及
图3示出了处于第三操作状态中的图1中的结构。
具体实施方式
被示出的实施方式的中央核心部件是具有三个端口14、16、18和两个操作通道的3/2路阀门12。形式为文丘里泵的第一真空泵20被与所述第一端口14连接。形式为柱塞泵的第二真空泵22被与所述第二端口16连接。将所述第二端口16与所述第二真空泵22连接的管线24被以气体输送的方式与缓冲室26连接。所述第三端口18被通过管线25与薄膜室28连接。截止阀30被设置在位于所述薄膜室28和所述第三端口18之间的所述管线25中。作为替代方案，可以想到的是所述两个真空泵20、22中的每一个都被通过各自的单独的管线与所述薄膜室28连接。
所述薄膜室28由两个薄膜层32、34组成，样品36被设置在所述两个薄膜层32、34之间。
所述文丘里泵20被与阀门38连接，以便能够控制所述泵20的操作。
本发明的基础是将具有较高抽吸容量，但是还具有较高最终压力的泵与具有较低最终压力，但是还具有较低抽吸容量的泵相结合的理念。这两个泵20、22被通过所述3/2路阀门12选择性地且交替地与所述薄膜室28连接，以便抽空所述薄膜室。
开始时，如图1所示，首先，所述第二真空泵22被操作以抽空所述缓冲室26。所述3/2路阀门12处于它的第一开关状态，在该状态所述第一端口被与所述第三端口连接。然而，所述第一真空泵20仍然没有抽空所述薄膜室28，因为所述截止阀30被阻塞(用黑色示出)。在附图中，开放的阀门通道被用白色示出而阻塞的阀门通道被用黑色示出。
如图1所示，所述第二真空泵22已经将所述缓冲室26抽空到较低的压力，并且可能达到了将要在所述薄膜室28中达到的最终压力，然而所述薄膜室28仍然正在被准备或配置样品36。
在此之后，如图2所示，用于所述第一真空泵20的控制阀38被打开以便启动所述第一真空泵20。所述3/2路阀门12保持在所述第一开关状态，同时所述截止阀30被打开以便让所述第一真空泵20此时利用其较高的抽吸容量抽空所述薄膜室28。在利用较高的抽吸容量进行抽空的期间，薄膜紧密地贴着所述样品36，同时所述薄膜室28内部的周边空置体积被减少到几立方厘米。
为了将所述薄膜室28改变到将要达到的理想的最终压力，如图3所示的本发明的装置的操作状态被使用。这里，所述3/2路阀门被移动到所述第二开关状态，在该状态所述第二端口16被与所述第三端口18连接。所述第二真空泵22和所述缓冲室26而后被用气体输送的方式与所述薄膜室28连接，因为所述截止阀30保持开启。用于所述第一真空泵20的所述控制阀28被关闭，以便关闭所述第一真空泵。当所述3/2路阀门被从所述第一操作状态切换到所述第二操作状态，所述薄膜室28被突然地抽吸到所述缓冲室26中。利用所述第二真空泵22，将要被利用所述第二真空泵22获得的预期最终压力就可以在短时间内被得到。
当所述第一真空泵20(文丘里泵)仅能达到200mbar的最终压力时，所述第二真空泵22可以达到仅有20mbar的最终压力。在图2所示的所述第二操作状态期间，所述第一真空泵20把所述薄膜室28抽空到50cm3的空置体积。所述缓冲室26具有500cm3的缓冲体积。在图3所示的使用所述第二真空泵22的抽空操作之后，这会在所述薄膜室中导致以下的最终压力：
p＝(200mbar·50cm3+20mbar·500cm3)/(550cm3)＝36mbar。

Claims (14)

1.一种用于使用泵系统抽空薄膜室(28)的装置(10)，其包括至少两个被设计用于交替地抽空所述薄膜室(28)的真空泵(20、22)，其中所述第一真空泵(20)的抽吸容量大于所述第二真空泵(22)的抽吸容量，并且用所述第一真空泵(20)可以获得的最终压力小于用所述第二真空泵(22)可以获得的最终压力。
2.如权利要求1所述的装置(10)，其特征在于：所述两个真空泵(20、22)中的每一个被通过单独的管线与所述薄膜室(28)连接。
3.如权利要求1所述的装置(10)，其特征在于：所述两个真空泵(20、22)被通过共用的管线(25)与所述薄膜室(28)连接。
4.如前述权利要求所述的装置(10)，其特征在于：所述泵系统具有带有至少三个端口的阀门(12)，其中
第一端口(14)可以被与所述第一真空泵(20)连接；
第二端口(16)可以被与所述第二真空泵(22)连接；
第三端口(18)可以被与所述薄膜室(28)连接；并且其中
第一开关状态将所述第一端口(14)与所述第三端口(18)连接，且第二开关状态将所述第二端口(16)与所述第三端口(18)连接。
5.如前述权利要求中的一项所述的装置(10)，其特征在于：所述阀门(12)为3/2路阀门。
6.如前述权利要求中的一项所述的装置(10)，其特征在于：所述管线(24)连接所述薄膜室(28)且所述第二真空泵(22)被与缓冲室(26)连接。
7.如前述权利要求中的一项所述的装置(10)，其特征在于：所述缓冲室(16)具有处于所述薄膜室的体积的六到十五倍的范围内，并且优选地处于所述薄膜室的体积的九到十一倍的范围内的体积。
8.如前述权利要求中的一项所述的装置(10)，其特征在于：所述第一真空泵(20)的抽吸容量高于所述薄膜室的初始体积，并且用所述第一真空泵(20)可以获得的最终压力高于50mbar。
9.如前述权利要求中的一项所述的装置(10)，其特征在于：所述第二真空泵(22)的抽吸容量低于所述薄膜室的被预抽空后的剩余体积，并且用所述第二真空泵(22)可以获得的最终压力低于50mbar。
10.如前述权利要求中的一项所述的装置(10)，其特征在于：所述第一真空泵(20)包括一个或多个射流泵。
11.如前述权利要求中的一项所述的装置(10)，其特征在于：所述真空泵(20、22)中的至少一个包括将所述泵与所述薄膜室(28)连接并且包括截止阀(30)的管线(25)。
12.一种用于使用如前述权利要求中的一项所述的装置(10)抽空薄膜室(28)的方法，其特征在于通过所述第一真空泵(20)和所述第二真空泵(22)交替地抽空所述薄膜室(28)。
13.如前述权利要求所述的方法，其特征在于：在通过所述第二真空泵(22)进行抽空之前，所述第二真空泵抽空设置在所述第二真空泵和所述第二端口(16)之间的缓冲室(26)。
14.如前述权利要求中的一项所述的方法，用于使用如权利要求4或5所述的装置进行抽空，其特征在于：在通过所述第一真空泵进行抽空之前，所述阀门(12)被切换到所述第一开关状态，以及在通过所述第二真空泵进行抽空之前所述阀门(12)被切换到所述第二开关状态。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014224799A1 (de) * 2014-12-03 2016-06-09 Inficon Gmbh Dichtheitsprüfung mit Trägergas in Folienkammer
DE202015007985U1 (de) 2015-11-19 2017-02-21 Leybold Gmbh Vorrichtung zum Speichern kinetischer Energie
DE102017201004A1 (de) * 2017-01-23 2018-07-26 Inficon Gmbh Folienkammer mit Doppelfolie
EP3567356B1 (en) * 2018-05-07 2021-02-24 Inficon GmbH Sniffing leak detector with switching valve and buffer chamber

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5107697A (en) * 1989-10-23 1992-04-28 Alcatel Cit Tracer gas leak detection system
US5131263A (en) * 1989-12-15 1992-07-21 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh Device and a method for detecting leaks
DE19642099A1 (de) * 1996-10-12 1998-04-16 Leybold Vakuum Gmbh Prüfung der Dichtheit von Verpackungen
US20030233866A1 (en) * 1999-12-22 2003-12-25 Inficon Gmbh Method for operating a film leak indicator and a corresponding film leak indicator for carrying out said method
CN1707102A (zh) * 2004-05-14 2005-12-14 凡利安股份有限公司 轻气体真空泵送系统
CN1720433A (zh) * 2003-06-11 2006-01-11 瓦里安有限公司 用于大泄漏测试的方法和装置
CN101171501A (zh) * 2005-05-12 2008-04-30 因菲康有限公司 具有石英窗口传感器的嗅吸测漏器
WO2013072173A2 (de) * 2011-11-16 2013-05-23 Inficon Gmbh Schnelle lecksuche an formsteifen/schlaffen verpackungen ohne zusatz von prüfgas

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE96304C (zh)
DE82183C (zh)
DD96304A1 (zh) * 1972-02-29 1973-03-12
JPS6024057U (ja) 1983-07-27 1985-02-19 日本電子株式会社 電子顕微鏡等の排気装置
DE3639512A1 (de) * 1986-11-20 1988-06-01 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh Vakuumpumpsystem mit einer waelzkolbenpumpe
US4791806A (en) * 1987-10-23 1988-12-20 Wade James H Leak detection system
DE3828588C1 (zh) * 1988-08-23 1989-12-07 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh, 6980 Wertheim, De
JPH07325279A (ja) 1994-06-01 1995-12-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 減圧処理装置及び方法
DE19524609A1 (de) * 1995-07-06 1997-01-09 Leybold Ag Vorrichtung zum raschen Evakuieren einer Vakuumkammer
JP3568667B2 (ja) 1996-01-19 2004-09-22 株式会社アルバック 漏洩検査装置
DE19929519A1 (de) * 1999-06-28 2001-01-04 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum Betrieb einer Mehrkammer-Vakuumanlage
DE19935293A1 (de) * 1999-07-27 2001-02-01 Leybold Vakuum Gmbh Folienlecksuchkammer
EP1240491B1 (de) 1999-12-22 2008-10-08 Inficon GmbH Verfahren zum betrieb eines folien-lecksuchers sowie für die durchführung dieses verfahrens geeigneter folien-lecksucher
US6589023B2 (en) * 2001-10-09 2003-07-08 Applied Materials, Inc. Device and method for reducing vacuum pump energy consumption
US20110126936A1 (en) * 2004-01-07 2011-06-02 Walker-Dawson Interests, Inc. Vacuum container system and related method
GB0418771D0 (en) * 2004-08-20 2004-09-22 Boc Group Plc Evacuation of a load lock enclosure
DE102005042451B4 (de) * 2005-09-06 2007-07-26 Vacuubrand Gmbh + Co Kg Vakuumpumpvorrichtung
GB0607616D0 (en) * 2006-04-18 2006-05-31 Boc Group Plc Vacuum pumping system
US8715400B2 (en) * 2009-12-24 2014-05-06 Sumitomo Seiko Chemicals Co., Ltd. Double vacuum pump apparatus, gas purification system provided with double vacuum pump apparatus, and exhaust gas vibration suppressing device in double vacuum pump apparatus
DE102012200063A1 (de) * 2012-01-03 2013-07-04 Inficon Gmbh Verfahren zur Lecksuche an einem nicht formstarren Prüfling
JP6009193B2 (ja) * 2012-03-30 2016-10-19 株式会社荏原製作所 真空排気装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5107697A (en) * 1989-10-23 1992-04-28 Alcatel Cit Tracer gas leak detection system
US5131263A (en) * 1989-12-15 1992-07-21 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh Device and a method for detecting leaks
DE19642099A1 (de) * 1996-10-12 1998-04-16 Leybold Vakuum Gmbh Prüfung der Dichtheit von Verpackungen
US20030233866A1 (en) * 1999-12-22 2003-12-25 Inficon Gmbh Method for operating a film leak indicator and a corresponding film leak indicator for carrying out said method
CN1720433A (zh) * 2003-06-11 2006-01-11 瓦里安有限公司 用于大泄漏测试的方法和装置
CN1707102A (zh) * 2004-05-14 2005-12-14 凡利安股份有限公司 轻气体真空泵送系统
CN101171501A (zh) * 2005-05-12 2008-04-30 因菲康有限公司 具有石英窗口传感器的嗅吸测漏器
WO2013072173A2 (de) * 2011-11-16 2013-05-23 Inficon Gmbh Schnelle lecksuche an formsteifen/schlaffen verpackungen ohne zusatz von prüfgas

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