JPS6024057U - 電子顕微鏡等の排気装置 - Google Patents

電子顕微鏡等の排気装置

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JPS6024057U
JPS6024057U JP11687983U JP11687983U JPS6024057U JP S6024057 U JPS6024057 U JP S6024057U JP 11687983 U JP11687983 U JP 11687983U JP 11687983 U JP11687983 U JP 11687983U JP S6024057 U JPS6024057 U JP S6024057U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
regulating valve
valve
electron microscopes
exhaust equipment
buffer tank
Prior art date
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Pending
Application number
JP11687983U
Other languages
English (en)
Inventor
真鍋　修
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は従来装置を説明するためのブロック
図、第３図は本考案の一実施例装置を示すブロック図で
ある。 １：被排気系、２，１６：真空計、３：第１主弁、４，
９：油拡散ポンプ、５．１０，１２：バッファタンク、
６：ロータリーポンプ、７：第２主弁、８，１１：調整
弁、１３：第１調整弁、１４：第２調整弁、１５：第３
調整弁。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被排気系に第１主弁を介して接続された油拡散ポンプと
    、該油拡散ポンプに第１調整弁を介して接続されるバッ
    ファタンクと、該バッファタンクに第２調整弁と第３調
    整弁を介して接続されたロータリーポンプとを備え、該
    ロータリーポンプが第２主弁を介して被排気系に接続さ
    れ、前記油拡散ポンプが第２調整弁を介してバッファタ
    ンクに接続されると共に第３調整弁を介してロータリー
    ポンプに接続されるよう構成された電子顕微鏡等の排気
    装置。
JP11687983U 1983-07-27 1983-07-27 電子顕微鏡等の排気装置 Pending JPS6024057U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02140971U (ja) * 1989-04-20 1990-11-26
JP2016537542A (ja) * 2013-09-26 2016-12-01 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ フィルムチャンバの排気方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH02140971U (ja) * 1989-04-20 1990-11-26
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US10844877B2 (en) 2013-09-26 2020-11-24 Inficon Gmbh Evacuation of a film chamber

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