JP2016537542A - フィルムチャンバの排気方法 - Google Patents
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Abstract
Description
p = (200 mbar ・ 50 cm3 + 20 mbar ・ 500 cm 3) / (550 cm3) = 36 mbar
12 バルブ
14 第一のポート
16 第二のポート
18 第三のポート
20 第一の真空ポンプ
22 第二の真空ポンプ
24 パイプライン
26 バッファチャンバ
28 フィルムチャンバ
30 ストップバルブ
32、34 フィルム層
36 試料
38 制御バルブ
Claims (14)
- フィルムチャンバ(28)内を交互に排気するように構成された少なくとも二つの真空ポンプ(20、22)を備えるポンプ系を使用し、フィルムチャンバ(28)の排気を行う装置(10)であって、第一の真空ポンプ(20)の排気速度は、第二の真空ポンプ(22)の排気速度よりも高く、第二の真空ポンプ(22)で得られる到達圧は、第一の真空ポンプ(20)で得られる到達圧よりも低い、装置。
- 請求項1に記載の装置(10)であって、前記二つの真空ポンプ(20、22)のそれぞれが、個別のパイプラインによって、フィルムチャンバ(28)と接続されていることを特徴とする装置。
- 請求項1に記載の装置(10)であって、前記二つの真空ポンプ(20、22)が共通のパイプライン(25)によって、フィルムチャンバ(28)と接続されていることを特徴とする装置。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置(10)であって、前記ポンプ系が、少なくとも三つのポートを有するバルブ(12)を備え、該バルブ(12)において、
第一のポート(14)は、第一の真空ポンプ(20)と接続でき、
第二のポートは(16)は、第二の真空ポンプ(22)と接続でき、
第三のポート(18)は、フィルムチャンバ(28)と接続でき、
第一の切替位置が第一のポート(14)と第三のポート(18)を接続し、第二の切替位置が、第二のポート(16)第三のポート(18)を接続することを特徴とする装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置(10)であって、前記バルブ(12)が3/2方バルブであることを特徴とする装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置(10)であって、前記フィルムチャンバ(28)と第二の真空ポンプ(22)を接続するパイプライン(24)が、バッファチャンバ(26)と接続されていることを特徴とする装置。
- 請求項6に記載の装置(10)であって、前記バッファチャンバ(26)は、フィルムチャンバの容積の6倍から15倍の容積を有し、好ましくは、9倍から11倍の容積を有することを特徴とする装置。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の装置(10)であって、第一の真空ポンプ(20)の排気速度は、フィルムチャンバの初期容積よりも大きく、第一の真空ポンプ(20)が達成しうる到達圧は、50mbarより高いことを特徴とする装置。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の装置(10)であって、前記第二の真空ポンプ(22)の排気速度は、フィルムチャンバの予備排気後の残存容量よりも小さく、第二の真空ポンプ(22)によって達成可能な到達圧は、50mbarよりも低いことを特徴とする装置。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の装置(10)であって、前記第一の真空ポンプ(20)が一または複数のジェットポンプからなることを特徴とする装置。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の装置(10)であって、前記真空ポンプ(20、22)の少なくとも一つは、ポンプとフィルムチャンバ(28)を接続するパイプライン(25)を備え、該パイプライン(25)がストップバルブ(30)を備えることを特徴とする装置。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載の装置(10)を用いたフィルムチャンバ(28)の排気方法であって、第一の真空ポンプ(20)と第二の真空ポンプ(22)によって、フィルムチャンバ(28)を交互に排気することを特徴とする方法。
- 請求項12記載の方法であって、第二の真空ポンプ(22)による排気の前に、第二の真空ポンプが、これと第二のポート(16)の間に配置されたバッファチャンバ(26)を排気することを特徴とする方法。
- 請求項12または13に記載の方法であって、請求項4または5に記載の装置を用いて排気が行われ、第一の真空ポンプを用いた排気の前に、バルブ(12)は第一の切替位置に切り替えられ、第二の真空ポンプを用いた排気の前に、バルブ(12)が第二の切替位置に切り替えられることを特徴とする方法。
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