JP2551968B2 - 真空装置における排気系 - Google Patents
真空装置における排気系Info
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- JP2551968B2 JP2551968B2 JP63065404A JP6540488A JP2551968B2 JP 2551968 B2 JP2551968 B2 JP 2551968B2 JP 63065404 A JP63065404 A JP 63065404A JP 6540488 A JP6540488 A JP 6540488A JP 2551968 B2 JP2551968 B2 JP 2551968B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、質量分析装置等の真空装置に使用して好適
な排気系の改良に関する。
な排気系の改良に関する。
［従来の技術］ 質量分析装置における分析系部と検出系部のように互
いに挿通された２つの真空室を排気する場合には、第２
図に示すような排気系が広く使用される。
いに挿通された２つの真空室を排気する場合には、第２
図に示すような排気系が広く使用される。
同図において、1,2はパイプ３を介して互いに挿通さ
れた真空室、４は各真空室を粗引するための例えば油回
転ポンプなどの低真空ポンプ、５は粗引弁、6,7は前記
各真空室1,2を夫々高真空に排気するための２つの油拡
散ポンプ、８はこの各油拡散ポンプの背圧側を排気する
ための１つの油回転ポンプ、9,10は主弁である。11は前
記粗引弁5,主弁９及び10を夫々制御するためのバルブ制
御回路で、この制御回路は前記真空室２内に取り付けた
真空計12からの出力信号が入力されている。ここで、真
空室１の方が真空室２に対して容積が大きいため、油拡
散ポンプは６の方が７に対して排気スピードの大きいも
のを使用している。
れた真空室、４は各真空室を粗引するための例えば油回
転ポンプなどの低真空ポンプ、５は粗引弁、6,7は前記
各真空室1,2を夫々高真空に排気するための２つの油拡
散ポンプ、８はこの各油拡散ポンプの背圧側を排気する
ための１つの油回転ポンプ、9,10は主弁である。11は前
記粗引弁5,主弁９及び10を夫々制御するためのバルブ制
御回路で、この制御回路は前記真空室２内に取り付けた
真空計12からの出力信号が入力されている。ここで、真
空室１の方が真空室２に対して容積が大きいため、油拡
散ポンプは６の方が７に対して排気スピードの大きいも
のを使用している。
かかる排気系において、真空室1,2が大気圧に保たれ
ている状態でスタートボタンＳをオンすると、先ず、制
御回路11は主弁9,10を閉じると共に、粗引弁５を開放す
ることにより各真空室1,2内を低真空ポンプ４に接続し
て粗引する。そして真空室２内の圧力が例えば0.1Torr
程度に到達すると、制御回路11は粗引弁５を閉じると共
に、主弁9,10を開放することにより各真空室内を油拡散
ポンプ6,7に接続して所望の高真空に排気する。このと
き、油拡散ポンプ6,7の背圧側は油回転ポンプ８により
常時排気され、臨界背圧、例えば0.6Torr程度の圧力以
下に保たれている。
ている状態でスタートボタンＳをオンすると、先ず、制
御回路11は主弁9,10を閉じると共に、粗引弁５を開放す
ることにより各真空室1,2内を低真空ポンプ４に接続し
て粗引する。そして真空室２内の圧力が例えば0.1Torr
程度に到達すると、制御回路11は粗引弁５を閉じると共
に、主弁9,10を開放することにより各真空室内を油拡散
ポンプ6,7に接続して所望の高真空に排気する。このと
き、油拡散ポンプ6,7の背圧側は油回転ポンプ８により
常時排気され、臨界背圧、例えば0.6Torr程度の圧力以
下に保たれている。
このように２つの油拡散ポンプの背圧側を一つの油回
転ポンプで排気するようになせば、別々の油回転ポンプ
で排気する方式に比べて構成の簡略化かつコストの低減
を図ることができる。
転ポンプで排気するようになせば、別々の油回転ポンプ
で排気する方式に比べて構成の簡略化かつコストの低減
を図ることができる。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、低真空ポンプから油拡散ポンプに切換
える際主弁９と10を同時に開放するように構成されてい
るため、この２つの主弁を開放した瞬間に各油拡散ポン
プ６と７による排気ガス分子が一度に油回転ポンプ８側
に送られる。そのため第３図（ａ）で示すように各油拡
散ポンプの背圧側の圧力が瞬間的に上昇して臨界背圧よ
りも高くなり、油拡散ポンプや油回転ポンプオイルの逆
流現象が生じる。その結果、各真空室1,2内が汚染さ
れ、分析に悪影響を及ぼす。
える際主弁９と10を同時に開放するように構成されてい
るため、この２つの主弁を開放した瞬間に各油拡散ポン
プ６と７による排気ガス分子が一度に油回転ポンプ８側
に送られる。そのため第３図（ａ）で示すように各油拡
散ポンプの背圧側の圧力が瞬間的に上昇して臨界背圧よ
りも高くなり、油拡散ポンプや油回転ポンプオイルの逆
流現象が生じる。その結果、各真空室1,2内が汚染さ
れ、分析に悪影響を及ぼす。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであ
り、低真空ポンプから油拡散ポンプへの切換え時に生じ
る油拡散ポンプ背圧側の圧力上昇を抑えることのできる
真空排気系を提供することを目的とするものである。
り、低真空ポンプから油拡散ポンプへの切換え時に生じ
る油拡散ポンプ背圧側の圧力上昇を抑えることのできる
真空排気系を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明の排気系は、連通さ
れた２つの真空室と、これらの真空室を粗引する低真空
ポンプと、前記各真空室に夫々接続された２つの油拡散
ポンプと、該各油拡散ポンプと前記各真空室とを夫々遮
断する２つの主弁と、前記各油拡散ポンプの背圧側を排
気する１つの油回転ポンプとを備え、前記各真空室を低
真空ポンプから油拡散ポンプに切換えて各油拡散ポンプ
により並行して継続的に排気する際、前記２つの主弁の
いずれか一方を一定時間遅らせて開放するように特徴と
するものである。
れた２つの真空室と、これらの真空室を粗引する低真空
ポンプと、前記各真空室に夫々接続された２つの油拡散
ポンプと、該各油拡散ポンプと前記各真空室とを夫々遮
断する２つの主弁と、前記各油拡散ポンプの背圧側を排
気する１つの油回転ポンプとを備え、前記各真空室を低
真空ポンプから油拡散ポンプに切換えて各油拡散ポンプ
により並行して継続的に排気する際、前記２つの主弁の
いずれか一方を一定時間遅らせて開放するように特徴と
するものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］ 第１図は本発明に使用される排気系の一例を示す構成
略図であり、第２図と同一符号のものは同一構成要素を
示す。
略図であり、第２図と同一符号のものは同一構成要素を
示す。
同図において、主弁9,10の駆動はエアーシリンダ13,1
4で行われ、このエアーシリンダにコンプレッサ15から
の加圧空気が三方電磁弁16を通って供給されたとき、各
主弁9,10が夫々開放され、また、三方電磁弁17を通って
供給されたとき、各主弁9,10が閉じるように構成されて
いる。18,19は逆止弁を有するスピードコントローラ
（以下SPCと称す）で、前記主弁9,10の開放速度を制御
するためのものである。20はエアーシリンダ13と14間に
おける各主弁を開放する側の加圧空気供給通路上に設け
た遮断弁である。この遮断弁20及び三方電磁弁16,17は
バルブ制御回路11によって夫々制御される。ここで、三
方電磁弁16,17は制御回路からオン信号が供給されたと
き、エアーシリンダ13,14内を大気に連通させ、また、
制御回路からオフ信号が供給されたとき、エアーシリン
ダ13,14内をコンプレッサ15に接続させる。
4で行われ、このエアーシリンダにコンプレッサ15から
の加圧空気が三方電磁弁16を通って供給されたとき、各
主弁9,10が夫々開放され、また、三方電磁弁17を通って
供給されたとき、各主弁9,10が閉じるように構成されて
いる。18,19は逆止弁を有するスピードコントローラ
（以下SPCと称す）で、前記主弁9,10の開放速度を制御
するためのものである。20はエアーシリンダ13と14間に
おける各主弁を開放する側の加圧空気供給通路上に設け
た遮断弁である。この遮断弁20及び三方電磁弁16,17は
バルブ制御回路11によって夫々制御される。ここで、三
方電磁弁16,17は制御回路からオン信号が供給されたと
き、エアーシリンダ13,14内を大気に連通させ、また、
制御回路からオフ信号が供給されたとき、エアーシリン
ダ13,14内をコンプレッサ15に接続させる。
かかる構成において、真空室1,2が大気圧に保たれて
いる状態でスタートボタンＳをオンすると、先ず、制御
回路11は遮断弁20を開放すると共に、三方電磁弁16にオ
フ信号を、また三方電磁弁17にオン信号を夫々供給す
る。これにより三方電磁弁1.6を通して加圧空気がエア
ーシリンダ13,14に夫々供給され、主弁9,10が閉鎖され
る。ここで、加圧空気が三方電磁弁17を通して各エアー
シリンダに導入される場合には、各SPC18,19の排気コン
ダクタンスの小さい逆止弁が開放されるため、主弁9,10
は瞬時に閉鎖する。また、制御回路11はこの各主弁を閉
鎖すると同時に、粗引弁５を開放し真空室1,2内を油回
転ポンプ４にて粗引する。
いる状態でスタートボタンＳをオンすると、先ず、制御
回路11は遮断弁20を開放すると共に、三方電磁弁16にオ
フ信号を、また三方電磁弁17にオン信号を夫々供給す
る。これにより三方電磁弁1.6を通して加圧空気がエア
ーシリンダ13,14に夫々供給され、主弁9,10が閉鎖され
る。ここで、加圧空気が三方電磁弁17を通して各エアー
シリンダに導入される場合には、各SPC18,19の排気コン
ダクタンスの小さい逆止弁が開放されるため、主弁9,10
は瞬時に閉鎖する。また、制御回路11はこの各主弁を閉
鎖すると同時に、粗引弁５を開放し真空室1,2内を油回
転ポンプ４にて粗引する。
そして、真空室２内の圧力が例えば0.1Torr程度に到
達すると、制御回路11は粗引弁５を閉じて真空室1,2内
の粗引を停止する。次いで遮断弁20を閉じると共に、三
方電磁弁16にオン信号を、また17にオフ信号を供給す
る。これにより三方電磁弁16を通して加圧空気がエアー
シリンダ14のみに導入され、先ず主弁10が開放されて排
気スピードの小さい油拡散ポンプ７が真空室２に接続さ
れる。次に主弁10を開放してから一定時間経過、例えば
３秒経過すると、制御回路11は遮断弁20を開放するた
め、三方電磁弁16を通過した加圧空気がエアーシリンダ
13にも供給されて主弁９が開放され排気スピードの大き
い油拡散ポンプ６が真空室１に接続される。これにより
各真空室1,2は油拡散ポンプ6,7により夫々排気されるた
め、高真空に保たれる。ここで、加圧空気が三方電磁弁
16を通して各エアーシリンダに導入される場合には、SP
C18,19の逆止弁が閉じるため、加圧空気は排気コンダク
タンスの小さいオリフィス部分を通過し、それにより加
圧空気は各エアーシリンダ内に徐々に供給されるので主
弁9,10はゆっくりと開放される。
達すると、制御回路11は粗引弁５を閉じて真空室1,2内
の粗引を停止する。次いで遮断弁20を閉じると共に、三
方電磁弁16にオン信号を、また17にオフ信号を供給す
る。これにより三方電磁弁16を通して加圧空気がエアー
シリンダ14のみに導入され、先ず主弁10が開放されて排
気スピードの小さい油拡散ポンプ７が真空室２に接続さ
れる。次に主弁10を開放してから一定時間経過、例えば
３秒経過すると、制御回路11は遮断弁20を開放するた
め、三方電磁弁16を通過した加圧空気がエアーシリンダ
13にも供給されて主弁９が開放され排気スピードの大き
い油拡散ポンプ６が真空室１に接続される。これにより
各真空室1,2は油拡散ポンプ6,7により夫々排気されるた
め、高真空に保たれる。ここで、加圧空気が三方電磁弁
16を通して各エアーシリンダに導入される場合には、SP
C18,19の逆止弁が閉じるため、加圧空気は排気コンダク
タンスの小さいオリフィス部分を通過し、それにより加
圧空気は各エアーシリンダ内に徐々に供給されるので主
弁9,10はゆっくりと開放される。
このように真空室を低真空ポンプから油拡散ポンプに
切換える際、従来のように２つの油拡散ポンプを同時に
真空室に接続することなく、最初に排気スピードの小さ
い方の油拡散ポンプを真空室に接続し、そして一定時間
経過してから排気スピードの大きい油拡散ポンプを真空
室に接続するようになせば、各油拡散ポンプの背圧側の
圧力は第３図（ｂ）で示すように臨界背圧以下の圧力範
囲内で２回に分けて変化する。ここで排気スピードの大
きい油拡散ポンプ６を真空室１に接続するときには、こ
の真空室は他方の油拡散ポンプ７により排気されて圧力
が低くされているため、この油拡散ポンプの切換え時に
おける排気ガス分子の量は非常に少ない。その結果、各
真空室内を各油拡散ポンプに接続した際、第３図（ａ）
で示す従来のように油拡散ポンプの背圧が瞬間に上昇し
て臨界圧力をオーバーすることが防止できるため、油拡
散ポンプや油回転ポンプオイルの逆流現象の発生を抑え
ることができる。また、各真空室と油拡散ポンプとの接
続にあたっては、主弁がゆっくりと開放するため、それ
だけ油拡散ポンプへの切換え時の排気コンダクタンスを
小さくでき、油拡散ポンプの背圧上昇を抑制できると共
に、油拡散ポンプの背圧測定としての真空計21にピラニ
ー真空計を使用した場合には、スパイク状の圧力変動が
なくなるため正確に測定することが可能となる。
切換える際、従来のように２つの油拡散ポンプを同時に
真空室に接続することなく、最初に排気スピードの小さ
い方の油拡散ポンプを真空室に接続し、そして一定時間
経過してから排気スピードの大きい油拡散ポンプを真空
室に接続するようになせば、各油拡散ポンプの背圧側の
圧力は第３図（ｂ）で示すように臨界背圧以下の圧力範
囲内で２回に分けて変化する。ここで排気スピードの大
きい油拡散ポンプ６を真空室１に接続するときには、こ
の真空室は他方の油拡散ポンプ７により排気されて圧力
が低くされているため、この油拡散ポンプの切換え時に
おける排気ガス分子の量は非常に少ない。その結果、各
真空室内を各油拡散ポンプに接続した際、第３図（ａ）
で示す従来のように油拡散ポンプの背圧が瞬間に上昇し
て臨界圧力をオーバーすることが防止できるため、油拡
散ポンプや油回転ポンプオイルの逆流現象の発生を抑え
ることができる。また、各真空室と油拡散ポンプとの接
続にあたっては、主弁がゆっくりと開放するため、それ
だけ油拡散ポンプへの切換え時の排気コンダクタンスを
小さくでき、油拡散ポンプの背圧上昇を抑制できると共
に、油拡散ポンプの背圧測定としての真空計21にピラニ
ー真空計を使用した場合には、スパイク状の圧力変動が
なくなるため正確に測定することが可能となる。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたっ
ては幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では真
空室を油拡散ポンプに接続する場合、排気スピードの小
さい方から先に接続させるようにしたが、同程度の排気
スピードのものを使用した場合には、両方を一緒に開放
しなければどちらを先に接続しても良い。
ては幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では真
空室を油拡散ポンプに接続する場合、排気スピードの小
さい方から先に接続させるようにしたが、同程度の排気
スピードのものを使用した場合には、両方を一緒に開放
しなければどちらを先に接続しても良い。
［効果］ 以上詳述したように本発明によれば、連通された２つ
の真空室を２つの油拡散ポンプにより排気する場合、従
来のように各油拡散ポンプを同時に真空室に接続するこ
となく、２つの油拡散ポンプを時間を遅らせて真空室に
夫々接続するため、接続時に油拡散ポンプの背圧が臨界
背圧以上に瞬間的に上昇するのを防止でき、油拡散ポン
プや油回転ポンプオイルの逆流による真空室の汚れ等を
防止できる。
の真空室を２つの油拡散ポンプにより排気する場合、従
来のように各油拡散ポンプを同時に真空室に接続するこ
となく、２つの油拡散ポンプを時間を遅らせて真空室に
夫々接続するため、接続時に油拡散ポンプの背圧が臨界
背圧以上に瞬間的に上昇するのを防止でき、油拡散ポン
プや油回転ポンプオイルの逆流による真空室の汚れ等を
防止できる。
第１図は本発明に使用される排気系の一例を示す構成略
図、第２図は従来例を説明するための図、第３図（ａ）
及び（ｂ）は従来装置と本発明における油拡散ポンプの
背圧の変化を示すグラフである。 1,2:真空室 3:パイプ 4,8:油回転ポンプ 6,7:油拡散ポンプ 9,10:主弁 11:バルブ制御回路 12,21:真空計 13,14:エアーシリンダ 15:コンプレッサ 16,17:三方電磁弁 18,19:スピードコントローラ 20:遮断弁
図、第２図は従来例を説明するための図、第３図（ａ）
及び（ｂ）は従来装置と本発明における油拡散ポンプの
背圧の変化を示すグラフである。 1,2:真空室 3:パイプ 4,8:油回転ポンプ 6,7:油拡散ポンプ 9,10:主弁 11:バルブ制御回路 12,21:真空計 13,14:エアーシリンダ 15:コンプレッサ 16,17:三方電磁弁 18,19:スピードコントローラ 20:遮断弁
Claims (1)
- 【請求項１】挿通された２つの真空室と、これらの真空
室を粗引する低真空ポンプと、前記各真空室に夫々接続
された２つの油拡散ポンプと、該各油拡散ポンプと前記
各真空室とを夫々遮断する２つの主弁と、前記各油拡散
ポンプの背圧側を排気する１つの油回転ポンプとを備
え、前記各真空室を低真空ポンプから油拡散ポンプに切
り換えて各油拡散ポンプにより並行して継続的に排気す
る際、前記２つの主弁のいずれか一方を一定時間遅らせ
て開放するようにしたことを特徴とする真空装置におけ
る排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065404A JP2551968B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空装置における排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065404A JP2551968B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空装置における排気系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239751A JPH01239751A (ja) | 1989-09-25 |
| JP2551968B2 true JP2551968B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=13286050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63065404A Expired - Fee Related JP2551968B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空装置における排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551968B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007298043A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-11-15 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2007263122A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-10-11 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| CN109628907B (zh) * | 2019-01-16 | 2024-01-30 | 佛山市佛欣真空技术有限公司 | 一种用于真空镀膜机的多抽气口布局 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59173600A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-10-01 | Jeol Ltd | 排気装置 |
| JPS60168255U (ja) * | 1984-04-17 | 1985-11-08 | 日本電子株式会社 | 真空排気制御装置 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63065404A patent/JP2551968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01239751A (ja) | 1989-09-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |