JPH01239751A - 真空装置における排気系 - Google Patents
真空装置における排気系Info
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- JPH01239751A JPH01239751A JP63065404A JP6540488A JPH01239751A JP H01239751 A JPH01239751 A JP H01239751A JP 63065404 A JP63065404 A JP 63065404A JP 6540488 A JP6540488 A JP 6540488A JP H01239751 A JPH01239751 A JP H01239751A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、質量分析装置等の真空装置に使用して好適な
排気系の改良に関する。
排気系の改良に関する。
［従来の技術］
質量分析装置における分析系部と検出系部のように互い
に連通された２つの真空室を排気する場合には、第２図
に示すような排気系が広く使用される。
に連通された２つの真空室を排気する場合には、第２図
に示すような排気系が広く使用される。
同図において、１，２はバイブ３を介して互いに連通さ
れた真空室、４は各真空室を粗引するための例えば油回
転ポンプなどの低真空ポンプ、５は粗引弁、６，７は前
記各真空室１．２を夫々高真空に排気するための２つの
油拡散ポンプ、８はこの各油拡散ポンプの背圧側を排気
するための１つの油回転ポンプ、９，１０は主弁である
。１１は前記粗引弁５．主弁９及び１０を夫々制御する
ためのバルブ制御回路で、この゛制御回路は前記真空室
２内に取り付けた真空計１２からの出力信号が入力され
ている。ここで、真空室１の方が真空室２に対して容積
が大きいため、油拡散ポンプは６の方が７に対して排気
スピードの大きいものを使用している。
れた真空室、４は各真空室を粗引するための例えば油回
転ポンプなどの低真空ポンプ、５は粗引弁、６，７は前
記各真空室１．２を夫々高真空に排気するための２つの
油拡散ポンプ、８はこの各油拡散ポンプの背圧側を排気
するための１つの油回転ポンプ、９，１０は主弁である
。１１は前記粗引弁５．主弁９及び１０を夫々制御する
ためのバルブ制御回路で、この゛制御回路は前記真空室
２内に取り付けた真空計１２からの出力信号が入力され
ている。ここで、真空室１の方が真空室２に対して容積
が大きいため、油拡散ポンプは６の方が７に対して排気
スピードの大きいものを使用している。
かかる排気系において、真空室１，２が大気圧に保たれ
ている状態でスタートボタンＳをオンすると、先ず、制
御回路１１は主弁９，１０を閉じると共に、粗引弁５を
開放することにより各真空室１，２内を低真空ポンプ４
に接続して粗引する。
ている状態でスタートボタンＳをオンすると、先ず、制
御回路１１は主弁９，１０を閉じると共に、粗引弁５を
開放することにより各真空室１，２内を低真空ポンプ４
に接続して粗引する。
そして真空室２内の圧力が例えば０ 、 Ｉ Ｔｏｒ
ｒ程度に到達すると、制御回路１１は粗引弁５を閉じる
と共に、主弁９，１０を開放することにより各真空室内
を油拡散ポンプ６．７に接続して所望の高真空に排気す
る。このとき、油拡散ポンプ６．７の背圧側は油回転ポ
ンプ８により常時排気され、臨界背圧、例えば０ 、
６ Ｔｏｒｒ程度の圧力以下に保たれている。
ｒ程度に到達すると、制御回路１１は粗引弁５を閉じる
と共に、主弁９，１０を開放することにより各真空室内
を油拡散ポンプ６．７に接続して所望の高真空に排気す
る。このとき、油拡散ポンプ６．７の背圧側は油回転ポ
ンプ８により常時排気され、臨界背圧、例えば０ 、
６ Ｔｏｒｒ程度の圧力以下に保たれている。
このように２つの油拡散ポンプの背圧側を一つの油回転
ポンプで排気するようになせば、別々の油回転ポンプで
排気する方式に比べて構成の簡略化かつコストの低減を
図ることができる。
ポンプで排気するようになせば、別々の油回転ポンプで
排気する方式に比べて構成の簡略化かつコストの低減を
図ることができる。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、低真空ポンプから油拡散ポンプに切換え
る際主弁９と１０を同時に開放するように構成されてい
るため、この２つの主弁を開放した瞬間に各油拡散ポン
プ６と７による排気ガス分子が一度に油回転ポンプ８側
に送られる。そのため第３図（ａ）で示すように各油拡
散ポンプの背圧側の圧力が瞬間的に上昇して臨界背圧よ
りも高くなり、油拡散ポンプや油回転ポンプオイルの逆
流現象が生じる。その結果、各真空室１．２内が汚染さ
れ、分析に悪影響を及ぼす。
る際主弁９と１０を同時に開放するように構成されてい
るため、この２つの主弁を開放した瞬間に各油拡散ポン
プ６と７による排気ガス分子が一度に油回転ポンプ８側
に送られる。そのため第３図（ａ）で示すように各油拡
散ポンプの背圧側の圧力が瞬間的に上昇して臨界背圧よ
りも高くなり、油拡散ポンプや油回転ポンプオイルの逆
流現象が生じる。その結果、各真空室１．２内が汚染さ
れ、分析に悪影響を及ぼす。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、低真空ポンプから油拡散ポンプへの切換え時に生じる
油拡散ポンプ背圧側の圧力上昇を抑えることのできる真
空排気系を提供することを目的とするものである。
、低真空ポンプから油拡散ポンプへの切換え時に生じる
油拡散ポンプ背圧側の圧力上昇を抑えることのできる真
空排気系を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明の排気系は、連通され
た２つの真空室と、これらの真空室を粗引する低真空ポ
ンプと、前記各真空室に夫々接続された２つの油拡散ポ
ンプと、該各油拡散ポンプと前記各真空室とを夫々遮断
する２つの主弁と、前記各油拡散ポンプの背圧側を排気
する１つの油回転ポンプとを備え、前記各真空室を低真
空ポンプから油拡散ポンプに切換えて排気する際、前記
２つの主弁のいずれか一方を一定時間遅らせて開放する
ように特徴とするものである。
た２つの真空室と、これらの真空室を粗引する低真空ポ
ンプと、前記各真空室に夫々接続された２つの油拡散ポ
ンプと、該各油拡散ポンプと前記各真空室とを夫々遮断
する２つの主弁と、前記各油拡散ポンプの背圧側を排気
する１つの油回転ポンプとを備え、前記各真空室を低真
空ポンプから油拡散ポンプに切換えて排気する際、前記
２つの主弁のいずれか一方を一定時間遅らせて開放する
ように特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］
第１図は本発明に使用される排気系の一例を示す構成略
図であり、第２図と同一符号のものは同一構成要素を示
す。
図であり、第２図と同一符号のものは同一構成要素を示
す。
同図において、主弁９，１０の駆動はエアーシリンダ１
３．１４で行われ、このエアーシリンダにコンプレッサ
１５からの加圧空気が三方電磁弁１６を通って供給され
たとき、各主弁９，１０が夫々開放され、また、三方電
磁弁１７を通って供給されたとき、各主弁９，１０が閉
じるように構成されている。１８．１９は逆止弁を有す
るスピードコントローラ（以下ＳＰＣと称す）で、前記
主弁９．１０の開放速度を制御するためのものである。
３．１４で行われ、このエアーシリンダにコンプレッサ
１５からの加圧空気が三方電磁弁１６を通って供給され
たとき、各主弁９，１０が夫々開放され、また、三方電
磁弁１７を通って供給されたとき、各主弁９，１０が閉
じるように構成されている。１８．１９は逆止弁を有す
るスピードコントローラ（以下ＳＰＣと称す）で、前記
主弁９．１０の開放速度を制御するためのものである。
２０はエアーシリンダ１３と１４間における各主弁を開
放する側の加圧空気供給通路上に設けた遮断弁である。
放する側の加圧空気供給通路上に設けた遮断弁である。
この遮断弁２０及び三方電磁弁１６．１７はバルブ制御
回路１１によって夫々制御される。ここで、三方電磁弁
１６．１７は制御回路からオン信号が供給されたとき、
エアーシリンダ１３．１４内を大気に連通させ、また、
制御回路からオフ信号が供給されたとき、エアーシリン
ダ１３．１４内をコンプレッサ１５に接続させる。
回路１１によって夫々制御される。ここで、三方電磁弁
１６．１７は制御回路からオン信号が供給されたとき、
エアーシリンダ１３．１４内を大気に連通させ、また、
制御回路からオフ信号が供給されたとき、エアーシリン
ダ１３．１４内をコンプレッサ１５に接続させる。
かかる構成において、真空室１，２が大気圧に保たれて
いる状態でスタートボタンＳをオンすると、先ず、制御
回路１１は遮断弁２０を開放すると共に、三方電磁弁１
６にオフ信号を、また三方電磁弁１７にオン信号を夫々
供給する。これにより三方電磁弁１．６を通して加圧空
気がエアーシリンダ１３．１４に夫々供給され、主弁９
，１０が閉鎖される。ここで、加圧空気が三方電磁弁１
７を通して各エアーシリンダに導入される場合には、各
５ＰＣ１８，１９の排気コンダクタンスの小さい逆止弁
が開放されるため、主弁９，１０は瞬時に閉鎖する。ま
た、制御回路１１はこの各主弁を閉鎖すると同時に、粗
引弁５を開放し真空室１．２内を油回転ポンプ４にて粗
引する。
いる状態でスタートボタンＳをオンすると、先ず、制御
回路１１は遮断弁２０を開放すると共に、三方電磁弁１
６にオフ信号を、また三方電磁弁１７にオン信号を夫々
供給する。これにより三方電磁弁１．６を通して加圧空
気がエアーシリンダ１３．１４に夫々供給され、主弁９
，１０が閉鎖される。ここで、加圧空気が三方電磁弁１
７を通して各エアーシリンダに導入される場合には、各
５ＰＣ１８，１９の排気コンダクタンスの小さい逆止弁
が開放されるため、主弁９，１０は瞬時に閉鎖する。ま
た、制御回路１１はこの各主弁を閉鎖すると同時に、粗
引弁５を開放し真空室１．２内を油回転ポンプ４にて粗
引する。
そして、真空室２内の圧力が例えば０．１Ｔｏｒｒ程度
に到達すると、制御回路１１は粗引弁５を閉じて真空室
１．２内の粗引を停止する。次いで遮断弁２０を閉じる
と共に、三方電磁弁１６にオン信号を、また１７にオフ
信号を供給する。これにより三方電磁弁１６を通して加
圧空気がエアーシリンダ１４のみに導入され、先ず主弁
１０が開放されて排気スピードの小さい油拡散ポンプ７
が真空室２に接続される。次に主弁１０を開放してから
一定時間経過、例えば３秒経過すると、制御回路１１は
遮断弁２０を開放するため、三方電磁弁１６を通過した
加圧空気がエアーシリンダ１３にも供給されて主弁９が
開放され排気スピードの大きい油拡散ポンプ６が真空室
１に接続される。これにより各真空室１．２は油拡散ポ
ンプ６．７により夫々排気されるため、高真空に保たれ
る。ここで、加圧空気が三方電磁弁１６を通して各エア
ーシリンダに導入される場合には、５ＰＣ１８゜１９の
逆止弁が閉じるため、加圧空気は排気コンダクタンスの
小さいオリフィス部分を通過し、それにより加圧空気は
各エアーシリンダ内に徐々に供給されるので主弁９，１
０はゆっくりと開放される。
に到達すると、制御回路１１は粗引弁５を閉じて真空室
１．２内の粗引を停止する。次いで遮断弁２０を閉じる
と共に、三方電磁弁１６にオン信号を、また１７にオフ
信号を供給する。これにより三方電磁弁１６を通して加
圧空気がエアーシリンダ１４のみに導入され、先ず主弁
１０が開放されて排気スピードの小さい油拡散ポンプ７
が真空室２に接続される。次に主弁１０を開放してから
一定時間経過、例えば３秒経過すると、制御回路１１は
遮断弁２０を開放するため、三方電磁弁１６を通過した
加圧空気がエアーシリンダ１３にも供給されて主弁９が
開放され排気スピードの大きい油拡散ポンプ６が真空室
１に接続される。これにより各真空室１．２は油拡散ポ
ンプ６．７により夫々排気されるため、高真空に保たれ
る。ここで、加圧空気が三方電磁弁１６を通して各エア
ーシリンダに導入される場合には、５ＰＣ１８゜１９の
逆止弁が閉じるため、加圧空気は排気コンダクタンスの
小さいオリフィス部分を通過し、それにより加圧空気は
各エアーシリンダ内に徐々に供給されるので主弁９，１
０はゆっくりと開放される。
このように真空室を低真空ポンプから油拡散ポンプに切
換える際、従来のように２つの油拡散ポンプを同時に真
空室に接続することなく、最初に排気スピードの小さい
方の油拡散ポンプを真空室に接続し、そして一定時間経
過してから排気スピードの大きい油拡散ポンプを真空室
に接続するようになせば、各油拡散ポンプの背圧側の圧
力は第３図（ｂ）で示すように臨界背圧以下の圧力範囲
内で２回に分けて変化する。ここで排気スピードの大き
い油拡散ポンプ６を真空室１に接続するときには、この
真空室は他方の油拡散ポンプ７により排気されて圧力が
低くされているため、この油拡散ポンプの切換え時にお
ける排気ガス分子の量は非常に少ない。その結果、各真
空室内を各油拡散ポンプに接続した際、第３図（ａ）で
示す従来のように油拡散ポンプの背圧が瞬間に上昇して
臨界圧力をオーバーすることが防止できるため、油拡散
ポンプや油回転ポンプオイルの逆流現象の発生を抑える
ことができる。また、各真空室と油拡散ポンプとの接続
にあたっては、主弁がゆっくりと開放するため、それだ
け油拡散ポンプへの切換え時の排気コンダクタンスを小
さくでき、油拡散ポンプの背圧上昇を抑制できると共に
、油拡散ポンプの背圧測定としての真空計２１にビラニ
ー真空計を使用した場合には、スパイク状の圧力変動が
なくなるため正確に測定することが可能となる。
換える際、従来のように２つの油拡散ポンプを同時に真
空室に接続することなく、最初に排気スピードの小さい
方の油拡散ポンプを真空室に接続し、そして一定時間経
過してから排気スピードの大きい油拡散ポンプを真空室
に接続するようになせば、各油拡散ポンプの背圧側の圧
力は第３図（ｂ）で示すように臨界背圧以下の圧力範囲
内で２回に分けて変化する。ここで排気スピードの大き
い油拡散ポンプ６を真空室１に接続するときには、この
真空室は他方の油拡散ポンプ７により排気されて圧力が
低くされているため、この油拡散ポンプの切換え時にお
ける排気ガス分子の量は非常に少ない。その結果、各真
空室内を各油拡散ポンプに接続した際、第３図（ａ）で
示す従来のように油拡散ポンプの背圧が瞬間に上昇して
臨界圧力をオーバーすることが防止できるため、油拡散
ポンプや油回転ポンプオイルの逆流現象の発生を抑える
ことができる。また、各真空室と油拡散ポンプとの接続
にあたっては、主弁がゆっくりと開放するため、それだ
け油拡散ポンプへの切換え時の排気コンダクタンスを小
さくでき、油拡散ポンプの背圧上昇を抑制できると共に
、油拡散ポンプの背圧測定としての真空計２１にビラニ
ー真空計を使用した場合には、スパイク状の圧力変動が
なくなるため正確に測定することが可能となる。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では真空
室を油拡散ポンプに接続する場合、排気スピードの小さ
い方から先に接続させるようにしたが、同程度の排気ス
ピードのものを使用した場合には、両方を一緒に開放し
なければどちらを先に接続しても良い。
は幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では真空
室を油拡散ポンプに接続する場合、排気スピードの小さ
い方から先に接続させるようにしたが、同程度の排気ス
ピードのものを使用した場合には、両方を一緒に開放し
なければどちらを先に接続しても良い。
［効果コ
以上詳述したように本発明によれば、連通された２つの
真空室を２つの油拡散ポンプにより排気する場合、従来
のように各油拡散ポンプを同時に真空室に接続すること
なく、２つの油拡散ポンプを時間を遅らせて真空室に夫
々接続するため、接続時に油拡散ポンプの背圧が臨界背
圧以上に瞬間的に上昇するのを防止でき、油拡散ポンプ
や油回転ポンプオイルの逆流による真空室の汚れ等を防
止できる。
真空室を２つの油拡散ポンプにより排気する場合、従来
のように各油拡散ポンプを同時に真空室に接続すること
なく、２つの油拡散ポンプを時間を遅らせて真空室に夫
々接続するため、接続時に油拡散ポンプの背圧が臨界背
圧以上に瞬間的に上昇するのを防止でき、油拡散ポンプ
や油回転ポンプオイルの逆流による真空室の汚れ等を防
止できる。
第１図は本発明に使用される排気系の一例を示す構成略
図、第２図は従来例を説明するための図、第３図（ａ）
及び（ｂ）は従来装置と本発明における油拡散ポンプの
背圧の変化を示すグラフである。 １．２：真空室 ３：バイブ ４．８：油回転ポンプ ６．７：油拡散ポンプ ９．１０：主弁 １１：バルブ制御回路 １２．２１：真空計 １３．１４：エアーシリンダ １５：コンプレッサ １６．１７：三方電磁弁 １８．１９ニスピードコントローラ ２０：遮断弁
図、第２図は従来例を説明するための図、第３図（ａ）
及び（ｂ）は従来装置と本発明における油拡散ポンプの
背圧の変化を示すグラフである。 １．２：真空室 ３：バイブ ４．８：油回転ポンプ ６．７：油拡散ポンプ ９．１０：主弁 １１：バルブ制御回路 １２．２１：真空計 １３．１４：エアーシリンダ １５：コンプレッサ １６．１７：三方電磁弁 １８．１９ニスピードコントローラ ２０：遮断弁
Claims (1)
- 連通された２つの真空室と、これらの真空室を粗引する
低真空ポンプと、前記各真空室に夫々接続された２つの
油拡散ポンプと、該各油拡散ポンプと前記各真空室とを
夫々遮断する２つの主弁と、前記各油拡散ポンプの背圧
側を排気する１つの油回転ポンプとを備え、前記各真空
室を低真空ポンプから油拡散ポンプに切換えて排気する
際、前記２つの主弁のいずれか一方を一定時間遅らせて
開放するように構成したことを特徴とする真空装置にお
ける排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065404A JP2551968B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空装置における排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065404A JP2551968B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空装置における排気系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239751A true JPH01239751A (ja) | 1989-09-25 |
| JP2551968B2 JP2551968B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=13286050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63065404A Expired - Fee Related JP2551968B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空装置における排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551968B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263122A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-10-11 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2007298043A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-11-15 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| CN109628907A (zh) * | 2019-01-16 | 2019-04-16 | 佛山市佛欣真空技术有限公司 | 一种用于真空镀膜机的多抽气口布局 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59173600A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-10-01 | Jeol Ltd | 排気装置 |
| JPS60168255U (ja) * | 1984-04-17 | 1985-11-08 | 日本電子株式会社 | 真空排気制御装置 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63065404A patent/JP2551968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59173600A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-10-01 | Jeol Ltd | 排気装置 |
| JPS60168255U (ja) * | 1984-04-17 | 1985-11-08 | 日本電子株式会社 | 真空排気制御装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263122A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-10-11 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2007298043A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-11-15 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| CN109628907A (zh) * | 2019-01-16 | 2019-04-16 | 佛山市佛欣真空技术有限公司 | 一种用于真空镀膜机的多抽气口布局 |
| CN109628907B (zh) * | 2019-01-16 | 2024-01-30 | 佛山市佛欣真空技术有限公司 | 一种用于真空镀膜机的多抽气口布局 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2551968B2 (ja) | 1996-11-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |