CN109628907A - 一种用于真空镀膜机的多抽气口布局 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，包括真空室和抽气口，所述真空室的上端设置有用于延长真空室的连接座，所述真空室的外表面设置有用于加气/抽气的抽气口。本发明采用多个抽气口布局可以使真空室内的抽气更加均匀，使产品生产过程中镀膜效果达到最好，而且多个抽气口共用一个抽气/加气系统，可以使每个抽气口的抽气或加气值均匀，能使产品生产过程中效果达到最好，同时在每个抽气口的一端设置气体闸阀和气流感应器，可以随时监控每个抽气口内的气流量，能够解决因容器过长的情况下，造成容器内上、中、下的镀膜膜层的色差问题，同时还可以通过连接座对真空室进行无限加长，从而确保真空室的使用范围更广。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜机的抽气口布局技术领域，具体是一种用于真空镀膜机的多抽气口布局。
背景技术
利用真空蒸发技术在工件表面镀制一层具有特殊性能膜层的技术，已经成熟运用于工业生产及装饰材料上。目前，较大型的立式真空镀膜机，普遍采用在镀膜罐体外表面布置一个抽气口，内置一组纵向放置的进气管，进气管上有多个进气小孔，镀膜罐体越高，相应内置进气管就越长，使得进气管上每个进气小孔排出的工艺反应气体越不均匀，从而影响镀膜质量及镀层颜色的均匀度。
中国专利公开了一种用于真空镀膜机(授权公告号CN205576263U)，该专利技术沿镀膜罐体的高度方向上开设多个加气口，且布置多个与之一一对应连通的加气装置，有效完善了镀膜过程中工艺反应气体在镀膜区的均匀分布，进而大大提高了镀件的整体膜层质量和外观颜色的均匀度，但是，多抽气口的布置需要设置多组加气装置，不仅成本高，而且多个加气装置的抽风或加气容易导致真空室内的气压出现不均匀的现象，进而造成镀膜质量不佳的问题，而且真空室因受长度的限制，对于长度不一的镀件进行镀膜时就会受到限制。因此，本领域技术人员提供了一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，包括真空室和抽气口，所述真空室的上端设置有用于延长真空室的连接座，所述真空室的外表面设置有用于加气/抽气的抽气口，所述抽气口的一端焊接有抽气口连接法兰，所述抽气口连接法兰的外侧固定连接有密封盖，所述真空室通过抽气口贯通连接有气体闸阀，所述气体闸阀的一端设置有连接装置，所述连接装置包括三通连接阀、主连接阀和第二连接管，所述主连接阀的一端与气体闸阀贯通连接，且主连接阀的上端贯通连接有三通连接阀，且主连接阀的下端贯通连接有第二连接管，所述主连接阀的另一端通过第二连接管贯通连接有主阀，所述主阀的上端安装有主阀阀门，且主阀的一端贯通连接有第一真空管，所述主阀通过第一真空管贯通连接有粗抽阀门，且主阀的下端贯通连接有第三真空管，所述第三真空管的一侧连接有扩散泵，且第三真空管通过扩散泵贯通连接有第二真空管，所述粗抽阀门的下端贯通连接有精抽阀门，所述精抽阀门的下端连接有前级泵。
作为本发明进一步的方案：所述抽气口至少设置有九个，每个所述抽气口呈环形等距离环绕在真空室的外表面，且与真空室贯通连接。
作为本发明再进一步的方案：所述抽气口通过气体闸阀、三通连接阀和第二连接管与主连接阀贯通连接，且抽气口通过抽气口连接法兰与气体闸阀固定连接，所述抽气口连接法兰的一侧面设置有密封圈。
作为本发明再进一步的方案：所述气体闸阀的上端安装有气流感应器，且气体闸阀的上端靠近气流感应器的一侧位置处安装有用于检测气压的气压表，所述气压表的下端连接有第一连接管。
作为本发明再进一步的方案：所述气压表与气体闸阀通过第一连接管固定连接，所述气流感应器的一端延伸至气体闸阀的内部，所述气体闸阀至少设置有四个。
作为本发明再进一步的方案：所述主阀与抽气口通过主连接阀和第二连接管贯通连接，所述主连接阀为一种四通阀门，且主连接阀的每个端口均设置有连接法兰。
作为本发明再进一步的方案：所述精抽阀门的上端与粗抽阀门的下端通过管道贯通连接，且精抽阀门的另一端通过第二真空管与第三真空管贯通连接，所述精抽阀门与前级泵通过管道贯通连接。
作为本发明再进一步的方案：所述真空室为一种圆柱形构件，且真空室的长度范围在1-6米，所述真空室与连接座通过焊接连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明设计了一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，在实际使用时，在真空室的上设置多个抽气口，采用多个抽气口布局可以使真空室内的抽气更加均匀，使产品生产过程中镀膜效果达到最好，而且利用连接装置将多个抽气口进行贯通，使多个抽气口共用一个抽气/加气系统，可以使每个抽气口的抽气或加气值均匀，避免抽气口出现加气或抽气不均匀导致真空室内的气压不均匀而造成镀膜质量不佳的问题，同时在每个抽气口的一端设置气体闸阀和气流感应器，可以随时监控每个抽气口内的气流量，能够解决因容器过长的情况下，造成容器内上、中、下的镀膜膜层的色差问题，使膜层达到更均匀、更稳定的效果，可随时对每个抽气口内的气流量进行调节，确保每个抽气口的气流量保持一致，进而可以确保真空室内的气压值均匀，有效的提高了镀件的镀膜质量，同时还可以根据镀件的大小来设定真空室的长度，通过连接座可以对真空室进行无限加长，从而确保真空室的使用范围更广，本设计不仅成本低，抽气/加气值恒定，而且效率高。
附图说明
图1为一种用于真空镀膜机的多抽气口布局的结构示意图；
图2为一种用于真空镀膜机的多抽气口布局中抽气口连接法兰的安装示意图；
图3为一种用于真空镀膜机的多抽气口布局中连接装置的结构示意图；
图4为一种用于真空镀膜机的多抽气口布局中A部分的放大示意图；
图5为一种用于真空镀膜机的多抽气口布局中真空室无限加长的结构示意图。
图中：1、真空室；2、抽气口；3、连接座；4、密封盖；5、气体闸阀；501、气压表；502、气流感应器；503、第一连接管；6、连接装置；601、三通连接阀；602、主连接阀；603、第二连接管；7、主阀阀门；8、主阀；9、第一真空管；10、粗抽阀门；11、精抽阀门；12、前级泵；13、第二真空管；14、扩散泵；15、第三真空管；16、抽气口连接法兰。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1～5，本发明实施例中，
实施例1
一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，包括真空室1和抽气口2，真空室1的上端设置有用于延长真空室1的连接座3，真空室1为一种圆柱形构件，且真空室1的长度范围在1-6米，真空室1与连接座3通过焊接连接，真空室1的外表面设置有用于加气/抽气的抽气口2，抽气口2的一端焊接有抽气口连接法兰16，抽气口连接法兰16的外侧固定连接有密封盖4，真空室1通过抽气口2贯通连接有气体闸阀5，气体闸阀5的一端设置有连接装置6，抽气口2至少设置有九个，每个抽气口2呈环形等距离环绕在真空室1的外表面，且与真空室1贯通连接。
连接装置6包括三通连接阀601、主连接阀602和第二连接管603，主连接阀602的一端与气体闸阀5贯通连接，且主连接阀602的上端贯通连接有三通连接阀601，且主连接阀602的下端贯通连接有第二连接管603，主连接阀602的另一端通过第二连接管603贯通连接有主阀8，主阀8的上端安装有主阀阀门7，且主阀8的一端贯通连接有第一真空管9，主阀8通过第一真空管9贯通连接有粗抽阀门10，且主阀8的下端贯通连接有第三真空管15，第三真空管15的一侧连接有扩散泵14，且第三真空管15通过扩散泵14贯通连接有第二真空管13，粗抽阀门10的下端贯通连接有精抽阀门11，精抽阀门11的下端连接有前级泵12，主阀8与抽气口2通过主连接阀602和第二连接管603贯通连接，主连接阀602为一种四通阀门，且主连接阀602的每个端口均设置有连接法兰，精抽阀门11的上端与粗抽阀门10的下端通过管道贯通连接，且精抽阀门11的另一端通过第二真空管13与第三真空管15贯通连接，精抽阀门11与前级泵12通过管道贯通连接，通过利用三通连接阀601、第二连接管603和主连接阀602可以将多个抽气口2进行贯通连接，使多个抽气口2共用一个由主阀8、第一真空管9、粗抽阀门10、精抽阀门11、前级泵12、第二真空管13、扩散泵14和第三真空管15组成的抽气/加气系统，可以使每个抽气口2的抽气或加气值均匀，避免抽气口2出现加气或抽气不均匀导致真空室1内的气压不均匀而造成镀膜质量不佳的问题，使产品生产过程中镀膜效果达到最好。
抽气口2通过气体闸阀5、三通连接阀601和第二连接管603与主连接阀602贯通连接，且抽气口2通过抽气口连接法兰16与气体闸阀5固定连接，抽气口连接法兰16的一侧面设置有密封圈，气体闸阀5的上端安装有气流感应器502(型号为欧姆龙MEMS)，且气体闸阀5的上端靠近气流感应器502的一侧位置处安装有用于检测气压的气压表501，气压表501的下端连接有第一连接管503，气压表501与气体闸阀5通过第一连接管503固定连接，气流感应器502的一端延伸至气体闸阀5的内部，气体闸阀5至少设置有四个，在真空室1使用前，可以对抽气口2的数量进行设定，当需要多少抽气口2时，将抽气口2一端的密封盖4拆卸下来，并通过气体闸阀5和连接装置6将多个抽气口2与主阀8进行连通，使多个抽气口2共用一个抽气/加气系统，而且设置多个抽气口2，可以使真空室1内的抽气或加气更加均匀，使产品生产过程中镀膜效果达到最好，避免抽气口2出现加气或抽气不均匀导致真空室1内的气压不均匀而造成镀膜质量不佳的问题，而且通过气体闸阀5可以对每个抽气口2内的抽气或加气量进行控制，同时利用气流感应器502随时监控气体闸阀5内的气流量，确保每个抽气口2内的气流量保持一致，若监测到其中一个抽气口2内的气流量值过大时，则气流感应器502会传输信号给外接控制器(型号为MAM300)，由外接控制器控制气体闸阀5进行调节，使其控制其内部气流量的流速降低至与其他抽气口2内的流速相同，进而确保每个抽气口2内的抽气或加气值均匀，从而确保真空室1内的气压值均匀，有效的提高了镀件的镀膜质量。
实施例2
参考图5所示，与实施例1不同的是：根据生产需求和产品的尺寸要求，可以利用连接座3可以将真空室1无限加长，便于适合不同长度产品的镀膜，适用范围更广，同时抽气口2的数量也会随着真空室1的增长而增多，确保随着真空室1的加长，可以使真空室1内的抽气更加均匀，使产品生产过程中镀膜效果达到最好，避免抽气口2出现加气或抽气不均匀导致真空室1内的气压不均匀而造成镀膜质量不佳的问题。
本发明的工作原理是：首先，在真空室1使用前，可以对抽气口2的数量进行设定，当需要多少抽气口2时，将抽气口2一端的密封盖4拆卸下来，并通过三通连接阀601、第二连接管603和气体闸阀5将多个抽气口2进行贯通连接，使其均与主连接阀602贯通连接，使多个抽气口2共用一个由主阀8、第一真空管9、粗抽阀门10、精抽阀门11、前级泵12、第二真空管13、扩散泵14和第三真空管15组成的抽气/加气系统，可以使每个抽气口2的抽气或加气值均匀，避免抽气口2出现加气或抽气不均匀导致真空室1内的气压不均匀而造成镀膜质量不佳的问题，使产品生产过程中镀膜效果达到最好，另外，在每个抽气口2的一端设置气体闸阀5，可以通过气体闸阀5对每个抽气口2内的抽气或加气量进行控制，同时利用气流感应器502随时监控气体闸阀5内的气流量，确保每个抽气口2内的气流量保持一致，若监测到其中一个抽气口2内的气流量值过大时，则气流感应器502会传输信号给外接控制器，由外接控制器控制气体闸阀5进行调节，使其控制其内部气流量的流速降低至与其他抽气口2内的流速相同，进而确保每个抽气口2内的抽气或加气值均匀，从而确保真空室1内的气压值均匀，有效的提高了镀件的镀膜质量，并且真空室1的长度可以根据镀件的大小来设定，通过连接座3可以对真空室1进行无限加长，从而确保真空室1的使用范围更广。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (8)
1.一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，包括真空室(1)和抽气口(2)，所述真空室(1)的上端设置有用于延长真空室(1)的连接座(3)，其特征在于，所述真空室(1)的外表面设置有用于加气/抽气的抽气口(2)，所述抽气口(2)的一端焊接有抽气口连接法兰(16)，所述抽气口连接法兰(16)的外侧固定连接有密封盖(4)，所述真空室(1)通过抽气口(2)贯通连接有气体闸阀(5)，所述气体闸阀(5)的一端设置有连接装置(6)，所述连接装置(6)包括三通连接阀(601)、主连接阀(602)和第二连接管(603)，所述主连接阀(602)的一端与气体闸阀(5)贯通连接，且主连接阀(602)的上端贯通连接有三通连接阀(601)，且主连接阀(602)的下端贯通连接有第二连接管(603)，所述主连接阀(602)的另一端通过第二连接管(603)贯通连接有主阀(8)，所述主阀(8)的上端安装有主阀阀门(7)，且主阀(8)的一端贯通连接有第一真空管(9)，所述主阀(8)通过第一真空管(9)贯通连接有粗抽阀门(10)，且主阀(8)的下端贯通连接有第三真空管(15)，所述第三真空管(15)的一侧连接有扩散泵(14)，且第三真空管(15)通过扩散泵(14)贯通连接有第二真空管(13)，所述粗抽阀门(10)的下端贯通连接有精抽阀门(11)，所述精抽阀门(11)的下端连接有前级泵(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，其特征在于，所述抽气口(2)至少设置有九个，每个所述抽气口(2)呈环形等距离环绕在真空室(1)的外表面，且与真空室(1)贯通连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，其特征在于，所述抽气口(2)通过气体闸阀(5)、三通连接阀(601)和第二连接管(603)与主连接阀(602)贯通连接，且抽气口(2)通过抽气口连接法兰(16)与气体闸阀(5)固定连接，所述抽气口连接法兰(16)的一侧面设置有密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，其特征在于，所述气体闸阀(5)的上端安装有气流感应器(502)，且气体闸阀(5)的上端靠近气流感应器(502)的一侧位置处安装有用于检测气压的气压表(501)，所述气压表(501)的下端连接有第一连接管(503)。
5.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，其特征在于，所述气压表(501)与气体闸阀(5)通过第一连接管(503)固定连接，所述气流感应器(502)的一端延伸至气体闸阀(5)的内部，所述气体闸阀(5)至少设置有四个。
6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，其特征在于，所述主阀(8)与抽气口(2)通过主连接阀(602)和第二连接管(603)贯通连接，所述主连接阀(602)为一种四通阀门，且主连接阀(602)的每个端口均设置有连接法兰。
7.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，其特征在于，所述精抽阀门(11)的上端与粗抽阀门(10)的下端通过管道贯通连接，且精抽阀门(11)的另一端通过第二真空管(13)与第三真空管(15)贯通连接，所述精抽阀门(11)与前级泵(12)通过管道贯通连接。
8.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的多抽气口布局，其特征在于，所述真空室(1)为一种圆柱形构件，且真空室(1)的长度范围在1-6米，所述真空室(1)与连接座(3)通过焊接连接。
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