CN203668505U - Ito镀膜工艺中的氩气传输装置 - Google Patents
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- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 44
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 title abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract 6
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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Abstract
一种ITO镀膜工艺中的氩气传输装置,包括进气管、散气管和出气管,散气管设置在出气管内部,进气管穿过出气管后插入散气管内设置,其特征在于:所述进气管外表面中下部开有进气孔,进气管下端口封闭,散气管外表面开有散气孔,散气管上端口和下端口均被密封,出气管右侧外表面开有出气孔,出气管上端口和下端口均被密封。本实用新型结构简单,制造成本低,氩气能均匀分布在靶材附近,使镀在玻璃基板上的膜层厚度平均,使各处电阻均匀,从而提高产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种氩气传输装置,尤其涉及一种ITO镀膜工艺中的氩气传输装置。
背景技术
在ITO镀膜的工艺中氩气是不可缺少的溅射气体,为了得到均匀的膜层,充气系统设计是非常重要的环节之一。以前设备配备的氩气充气系统是由质量流量控制器控制,经6mm的不锈钢充气管道直接输送进设备真空系统,在正常生产中,经常会出现镀在玻璃基板上的膜层厚度不平均,电阻不均匀的现象(一般为上面电阻小,下面电阻大),造成产品质量不稳定,特别是目前使用的2.5米高的设备,充气不均现象困扰着产品质量的提高。
发明内容
经过反复实验研究,对气体分散的路径改变使气体能够较均匀的分散在靶材附近,能使气体分布达到所需要求,使镀在玻璃基板上的膜层厚度平均,使各处电阻均匀。
为了达到上述目的,本实用新型的技术方案为:一种ITO镀膜工艺中的氩气传输装置,包括进气管、散气管和出气管,散气管设置在出气管内部,进气管穿过出气管后插入散气管内设置,进气管外表面中下部开有进气孔,进气管下端口封闭,散气管外表面开有散气孔,散气管上端口和下端口均被密封,出气管右侧外表面开有出气孔,出气管上端口和下端口均被密封。
进气孔均匀设置在进气管中下部侧壁上,散气孔均布设置在散气管侧壁上,出气孔均布设置在出气管右侧壁上,所述进气孔、散气孔和出气孔不均在同一轴线上。
所述进气孔直径为0.1mm。
所述进气管外径为6mm,所述散气管外径为10mm,所述出气管外径为14mm。
本实用新型结构简单,制造成本低,氩气能均匀分布在靶材附近,使镀在玻璃基板上的膜层厚度平均,使各处电阻均匀,从而提高产品质量。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为图1中A处局部放大示意图。
具体实施方式
如图1和图2所示,一种ITO镀膜工艺中的氩气传输装置,包括进气管1、散气管2和出气管3,散气管2设置在出气管3内部,进气管1穿过出气管3后插入散气管2内设置,其特征在于:所述进气管1外表面中下部开有进气孔4,进气管1下端口封闭,散气管2外表面开有散气孔5,散气管2上端口和下端口均被密封,出气管3右侧外表面开有出气孔6,出气管3上端口和下端口均被密封。
进气管1与外部氩气供应管道连接,氩气进入进气管1后,从进气孔4进入散气管2,因为进气孔4、散气孔5和出气孔6不均在同一轴线上,所以氩气先与散气管2内壁发生碰撞反弹,然后经过散气孔5进入出气管3,与出气管3内壁碰撞反弹,氩气经过在散气管2和出气管3内部的碰撞反弹之后可以均匀的从气孔6喷出。
进气孔4直径为0.1mm。进气管1外径为6mm,散气管2外径为10mm,出气管3外径为14mm,可以满足ITO镀膜工艺的用气需求,且不会造成浪费。
Claims (4)
1.一种ITO镀膜工艺中的氩气传输装置,包括进气管、散气管和出气管,散气管设置在出气管内部,进气管穿过出气管后插入散气管内设置,其特征在于:所述进气管外表面中下部开有进气孔,进气管下端口封闭,散气管外表面开有散气孔,散气管上端口和下端口均被密封,出气管右侧外表面开有出气孔,出气管上端口和下端口均被密封。
2.如权利要求1所述的ITO镀膜工艺中的氩气传输装置,其特征在于:进气孔均匀设置在进气管中下部侧壁上,散气孔均布设置在散气管侧壁上,出气孔均布设置在出气管右侧壁上,所述进气孔、散气孔和出气孔不均在同一轴线上。
3.如权利要求1所述的ITO镀膜工艺中的氩气传输装置,其特征在于:所述进气孔直径为0.1mm。
4.如权利要求1所述的ITO镀膜工艺中的氩气传输装置,其特征在于:所述进气管外径为6mm,所述散气管外径为10mm,所述出气管外径为14mm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320819671.1U CN203668505U (zh) | 2013-12-14 | 2013-12-14 | Ito镀膜工艺中的氩气传输装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320819671.1U CN203668505U (zh) | 2013-12-14 | 2013-12-14 | Ito镀膜工艺中的氩气传输装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203668505U true CN203668505U (zh) | 2014-06-25 |
Family
ID=50964821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201320819671.1U Expired - Lifetime CN203668505U (zh) | 2013-12-14 | 2013-12-14 | Ito镀膜工艺中的氩气传输装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203668505U (zh) |
-
2013
- 2013-12-14 CN CN201320819671.1U patent/CN203668505U/zh not_active Expired - Lifetime
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: HENAN KANGYAO ELECTRONIC CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: SANMENXIA KANGYAO ELECTRONIC CO., LTD. |
|
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 472400 Mianchi yellow Industrial Zone, Sanmenxia, Henan Patentee after: HENAN COMYOUNG ELECTRONICS CO.,LTD. Address before: 472400 Mianchi yellow Industrial Zone, Sanmenxia, Henan Patentee before: SANMENXIA KANGYAO ELECTRONIC Co.,Ltd. |
|
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20140625 |
|
CX01 | Expiry of patent term |