CN203291989U - 一种喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种能够改善玻璃基板上液体喷洒均一性的喷淋装置。它包括一封闭腔室和若干个喷嘴，所述腔室包括第一侧壁、第二侧壁和与第一侧壁相对的末端，所述第一侧壁上设置有一液体输入端，所述第二侧壁上设置有若干个喷嘴，以液体输入端到末端的方向为轴线方向，所述腔室垂直于轴线的截面积沿轴线方向递减。

Description

一种喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及一种湿制程设备，更具体地说，涉及一种湿制程设备中的喷淋装置。

背景技术

平板显示（FPD）产业是电子信息领域的核心支柱产业之一，平板显示（FPD）行业的很多制程都是由液体参与的，如玻璃清洗、显影、剥离、刻蚀等，这些统称为湿制程。一般湿制程都会用到喷淋装置，现有技术中，喷淋装置包括一封闭腔室和若干个喷嘴，从腔室的一端供给液体，液体从喷嘴喷出。图1为现有技术中喷淋装置的截面示意图，该喷淋装置的工作方式为：液体通过液体输入端40输入到腔室20，再通过喷嘴30喷出到玻璃基板10的表面来进行制程。以液体输入端40到远离液体输入端40的方向为轴线方向，由于受到腔室20长度的影响，液体压力在沿轴线方向上呈衰减状态，这样，每个喷嘴30喷出的液体的量是不等的，因此，喷洒到玻璃基板10上的液体也是不均匀的。

实用新型内容

本实用新型克服了现有技术中的不足，提供一种能改善玻璃基板上液体均一性的喷淋装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种喷淋装置，包括一封闭腔室和若干个喷嘴，所述腔室包括第一侧壁、第二侧壁和与第一侧壁相对的末端，所述第一侧壁上设置有一液体输入端，所述第二侧壁上设置有若干个喷嘴，以液体输入端到末端的方向为轴线方向，所述腔室垂直于轴线的截面积沿轴线方向递减。

本实用新型可以是所述的若干个喷嘴沿轴线方向喷口直径依次增大。

本实用新型还可以是所述若干个喷嘴沿轴线方向喷口直径依次减小。

本实用新型还可以是每个喷嘴的喷口处设置有一调节阀，用来调节喷口直径的大小。

本实用新型喷淋装置与现有技术相比较有益效果在于：

利用所述腔室垂直于轴线的截面积沿轴线方向递减的结构，来抵消液体压力沿轴线方向的衰减，使腔室沿轴线方向的喷洒压力均匀，从而使得液体到达玻璃基板时具有良好的均一性。

附图说明

图1是现有技术中喷淋装置截面示意图；

图2是本实用新型实施例1的喷淋装置截面示意图；

图3是本实用新型实施例2的喷淋装置截面示意图；

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作具体描述：

实施例1：本实用新型提供一种喷淋装置，如图2所示，所述喷淋装置包括一封闭腔室25和若干个喷口直径相同的喷嘴30，优选地，该腔室25为台体，所述腔室25包括右端的第一侧壁、下方的第二侧壁和与第一侧壁相对的末端，所述第一侧壁上设置有液体输入端40，所述第二侧壁上设置有若干个喷嘴30，以液体输入端40到末端的方向为轴线方向，该腔室25沿轴线方向的截面为直角梯形，该腔室25垂直于轴线方向的截面为圆形，该截面圆的直径沿轴线方向依次递减，即该截面圆的面积沿轴线方向依次递减。该喷淋装置的下方有一玻璃基板10，该喷淋装置的工作方式为：液体通过液体输入端40输入到腔室25，通过喷嘴30喷洒到玻璃基板10上。本实施例利用台体腔室25截面圆的面积沿轴线方向的递减来抵消喷嘴30处液体压力的衰减，使得喷出的液体到达玻璃基板10表面时获得良好的均一性。

本实施例的设计基于以下两个理论基础：(1)有能量输入（pump作用）的伯努利方程为：

，z₁表示流体指点对基准面的几何高度，称为位置水头，p₁/ρg为支点压力大小的液柱高度，称为压力水头，

称为速度水头，H称为总水头，在这里表示能量输入项（pump作用），当厂务段将固定基压后，H固定。(2)

，其中ρ为液体的密度，v为液体的流速，l为腔室25的长度，d为腔室25的直径，

为沿程阻力系数，其中Re=vd/r，

为腔室25响度粗糙程度。本实用新型的主要工作就是基于上述公式（2）来改变腔室25截面直径d来协调压强，从而减小压强差，提高压强p的均一性，进而提高各喷嘴30处液体压力的均一性，使得喷出的液体到达玻璃基板10上是均匀的。

实施例2：在设备规格或其他方面要求有限制的情况下，单独靠实施例1的喷淋装置的结构可能达不到预期的效果，实施例2提供一种喷淋装置，该喷淋装置的腔室结构与实施例1的腔室结构相同，不同的是喷嘴结构。如图3所示，所述腔室25的第二侧壁上设置有若干个喷口直径不同的喷嘴35，当实施例1所述各喷嘴30处的液体压力沿轴线方向依次递减时，喷嘴35为喷口直径沿轴线方向依次增大的结构；当各喷嘴30处的液体压力沿轴线方向依次递增时，喷嘴35为喷口直径沿轴线方向依次减小的结构。或者，喷嘴35的喷口处设置有调节阀，用来调节喷口直径的大小，当各喷嘴30处的液体压力沿轴线方向依次递减时，喷嘴35为喷口直径沿轴线方向依次增大的结构；当各喷嘴30处的液体压力沿轴线方向依次递增时，喷嘴35为喷口直径沿轴线方向依次减小的结构。以上，通过腔室25和喷嘴35相互配合的结构，使得喷嘴35喷出的液体到达玻璃基板10表面时能获得更好的均一性。

实施例1和实施例2所述的腔体25不限于台体，也可以是锥体或者其他垂直于轴线的截面积沿轴线方向递减的形状。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种喷淋装置，包括一封闭腔室和若干个喷嘴，所述腔室包括第一侧壁、第二侧壁和与第一侧壁相对的末端，所述第一侧壁上设置有一液体输入端，所述第二侧壁上设置有若干个喷嘴，其特征在于，以液体输入端到末端的方向为轴线方向，所述腔室垂直于轴线的截面积沿轴线方向递减。

2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，沿轴线方向喷嘴的喷口直径依次增大。

3.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，沿轴线方向喷嘴的喷口直径依次减小。

4.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，每个喷嘴的喷口处设置有一调节阀，用来调节喷口直径的大小。

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