CN102794988A - 涂敷装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够进行高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷的涂敷装置。使用具有气体的吸引口、且在吸引口侧的壁面上存在多个凹凸或设有吸引口侧的壁面的浸润性不恒定的部分这样的喷嘴，在涂敷终端通过增强吸引来选择性地使涂敷液浸润于喷嘴壁面，而在涂敷液珠处产生多个细小龟裂。

Description

涂敷装置
技术领域
本发明涉及将墨液等液体涂敷在对象物上的规定位置处的液体的涂敷装置。 
背景技术
一直以来，使用了挤压方式的喷嘴(模头)的涂敷装置能够进行均匀的薄膜涂敷，因此被广泛地利用在各种领域中。图9表示以往的模头的涂敷液喷出口附近的侧方剖视图。 
该喷嘴(模头)基本具备：用于使来自入液口的涂敷液沿着宽度方向扩展的歧管(未图示)；将涂敷液从该歧管压出的涂敷狭缝。并且，从入液口向内部流入的涂敷液在歧管内沿着宽度方向扩展，通过前端的涂敷用狭缝，从涂敷液喷出口2被压出而涂敷在基板的表面。 
为了使该涂敷装置应对涂敷速度的高速化，而需要稳定地保持从喷嘴(模头)1的前端部的涂敷液喷出口2压出的涂敷液珠4。作为这样的方法，通常已知有在喷嘴1的狭缝(或孔形状等的喷出涂敷液的部位)的上游侧附加减压室7，并通过该减压室7对喷嘴1前端的涂敷液珠附近部进行减压的方法。而且，图10表示以往的液体涂敷装置的吸引口侧壁面的立体图。如此，在现有的液体涂敷装置中，吸引口侧壁面成为平滑面。 
而且，近年来，为了低成本且高生产性地生产高性能的设备，要求在卷对卷地高速传送的基材上以更短的间隔(是“缩短未涂敷部”的意思)间歇地形成涂敷膜。而且，在向单片的被涂敷件的涂敷中，为了实现设备的小型·轻量化所引起的商品力提高和材料成本削减，而要求在被涂敷件的表面整个区域上形成涂敷膜。 
为了实现这种高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷，而需要沿着涂敷宽度方向均匀且短时间地实现涂敷终端部的液体切断。 
图11是在终端部使喷嘴1上升(是“离开被涂敷件”的意思)的方法， 图11(a)表示侧方剖面，图11(b)表示从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
一直以来，为了沿着涂敷宽度方向均匀且短时间地实现涂敷终端部的液体切断，而使用了图11所示那样的在终端部停止来自泵(未图示)的涂敷液供给并使喷嘴1上升的方法。根据该方法，由于使喷嘴1上升，而涂敷液珠4延伸，并且局部性地产生涂敷液珠的厚度薄的部分，以该薄的部分为起点而在涂敷液珠产生龟裂，从而将涂敷液珠割断。而且，作为改善涂敷终端部的液体切断的方法，在专利文献1中公开了一种通过回吸活塞(未图示)而在喷嘴1内的流路形成涂敷液吸入空间的方法。 
专利文献1：日本特开2002-045762号公报 
图12是因拖尾而产生涂敷膜局部相连这样的不良情况的图，图12(a)表示拖尾部的放大图，图12(b)表示涂敷时的喷嘴上方概观图，图12(c)表示涂敷时的喷嘴侧方概观图。而且，图13是在向单片的被涂敷件的涂敷中产生的拖尾的图，图13(a)是涂敷时的喷嘴上方概观图，图13(b)是涂敷后的被涂敷件上方概观图，图13(c)是拖尾部的放大图。需要说明的是，在两图中，1是喷嘴，21是拖尾部，5是被涂敷件，8是涂敷膜。 
在图11所示那样的在终端部使喷嘴1上升的方法中，难以控制涂敷液珠延伸且被揪断的行为，局部地最长延伸的涂敷液如图12(a)及图13(c)所示那样倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”。其结果是，如图12所示，在未涂敷部的短间歇涂敷中，发生涂敷膜局部地相连这样的不良情况，成品率下降。由此，无法将未涂敷部缩短为一定长度以上，存在无法充分地实现生产性提高和低成本化这样的问题。 
另外，在向单片的被涂敷件的涂敷中，当要向被涂敷件整个区域进行涂敷时，因“拖尾”而涂敷液从被涂敷件溢出，会发生设备的污染或溢出的涂敷液附着于其它的样品所引起的不良情况。其结果是，如图13所示，在设备设计上不得不确保与“拖尾”量相应的多余的被涂敷件的区域，存在难以实现设备的小型化·轻量化并且也难以削减材料成本这样的问题。 
另外，在通过回吸活塞而在喷嘴1内的流路形成涂敷液吸入空间的方法中，喷嘴的结构变得复杂，存在分解·清洗·组装等维护烦杂且困难的问题。而且，存在难以实现喷嘴的小型轻量化且成为高价的设备这样的问题。 
而且，吸入适量的微少的涂敷液珠的液量这样的回吸活塞的精密控制 非常困难，在连续的大量生产中，吸入量少而发生“拖尾”，或吸入量过多而空气混入到喷嘴内，从而均匀的涂敷液的喷出无法持续这样的状况频繁发生。由此，在生产中，存在回吸活塞的吸入量的调整频度变多而生产性下降这样的问题。 
发明内容
本发明鉴于上述现有的课题而作出，其目的在于提供一种能够进行高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷的涂敷装置。 
为了实现上述目的，本发明的第一方面涉及一种涂敷装置，将液体向涂敷对象物涂敷，其特征在于，所述涂敷装置具有喷出涂敷液的喷嘴，所述喷嘴在所述涂敷液的喷出口的上游侧的范围还具有气体的吸引口，且在所述喷嘴的吸引口侧的壁面上存在多个凹凸。 
根据本结构，通过从在涂敷液喷出口2的上游侧的范围设置的气体吸引口吸引的气体，来将涂敷液珠的上游侧减压，仅在壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此能够在涂敷宽度整个区域上形成涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。 
为了实现上述目的，本发明的第二方面以第一方面为基础，其特征在于，喷嘴前端面与喷嘴的吸引口侧的壁面的角度在涂敷宽度方向上不相同。 
根据本结构，通过从在涂敷液喷出口2的上游侧的范围设置的气体吸引口吸引的气体，来将涂敷液珠的上游侧减压，仅在壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此能够在涂敷宽度整个区域上形成涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。 
另外，为了实现上述目的，本发明的第三方面涉及一种涂敷装置，将液体向涂敷对象物涂敷，其特征在于，所述涂敷装置具有喷出涂敷液的喷嘴，所述喷嘴在所述涂敷液的喷出口的上游侧的范围还具有气体的吸引口，所述喷嘴的吸引口侧的壁面的浸润性不恒定。 
根据本结构，通过从在涂敷液喷出口2的上游侧的范围设置的气体吸 引口吸引的气体，来将涂敷液珠的上游侧减压，仅在壁面的除了浸润性低的部分之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此能够在涂敷宽度整个区域上形成涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。 
【发明效果】 
如以上所述，根据本发明，能够提供一种可进行高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷的涂敷装置。 
附图说明
图1是本发明的实施方式1中的液体涂敷装置的简图。 
图2是本发明的实施方式1中的液体涂敷装置的吸引口侧壁面的凹凸部立体图。 
图3(a)是本发明的实施方式1中的在涂敷终端部，仅在喷嘴(模头)的气体吸引口侧壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液的方法的侧方剖视图，(b)是本发明的实施方式1中的在涂敷终端部，仅在喷嘴的气体吸引口侧壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液的方法的从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
图4是本发明的实施方式2中的喷嘴的吸引口侧的壁面的浸润性不恒定的液体涂敷装置的吸引口侧壁面的浸润性不同的部分的立体图。 
图5(a)是本发明的实施方式2中的在涂敷终端部，仅在喷嘴的气体吸引口侧壁面的浸润性高的部分上选择性地浸润涂敷液的方法的侧方剖视图，(b)是本发明的实施方式2中的在涂敷终端部，仅在喷嘴的气体吸引口侧壁面的浸润性高的部分上选择性地浸润涂敷液的方法的从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
图6是实施方式1中的本发明的喷嘴的吸引口侧壁面的凹凸部的图。 
图7(a)是使用实施方式1中的本发明的喷嘴进行涂敷，在涂敷终端部使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜时的喷嘴侧方剖视图，(b)是从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
图8(a)是使用实施方式2中的本发明的喷嘴进行涂敷，在涂敷终端部使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜时的喷嘴侧方剖视图，(b)是从涂敷液喷 出口侧观察到的图。 
图9是现有方法的模头的涂敷液喷出口附近的侧方剖视图。 
图10是现有的液体涂敷装置的吸引口侧壁面的立体图。 
图11(a)是在终端部使喷嘴上升的方法的侧方剖视图，(b)是在终端部使喷嘴上升的方法的从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
图12(a)是由于拖尾而发生了涂敷膜局部相连这样的不良情况的部位的拖尾部的放大图，(b)是涂敷时的喷嘴上方概观图，(c)是涂敷时的喷嘴侧方概观图。 
图13(a)是涂敷时的喷嘴上方概观图，(b)是涂敷后的被涂敷件上方概观图，(c)是向单片的被涂敷件的涂敷中发生的拖尾的放大图。 
符号说明 
1 喷嘴 
2 涂敷液喷出口 
3 气体吸引口 
4 涂敷液珠 
5 被涂敷件 
6 凹部 
7 减压室 
8 涂敷膜 
9 浸润性低的部分 
10 浸润性高的部分 
19 涂装间隙 
21 拖尾 
22 辊 
23 使喷嘴倾斜的角度 
具体实施方式
以下，参照附图，说明本发明的实施方式。 
(实施方式1) 
图1是本发明的实施方式1中的液体涂敷装置的简图。涂敷液罐的涂敷液例如通过定量泵那样能够进行稳定的送液的送液泵送出，向喷嘴1送入。然后，涂敷液从歧管向狭缝(在条纹涂敷时，是宽度窄的狭缝或孔形状的流路等)压出，进而，从涂敷液喷出口2喷出，向与喷嘴1相对移动的被涂敷件5涂敷，而形成涂敷膜8。 
另外，在本发明中，例如，将减压泵等经由流量调整阀或流量计向减压室7连接，吸引喷嘴1与被涂敷件之间的气体。如此，从在涂敷液喷出口2的涂敷上游侧设置的气体吸引口3吸引气体，由此将涂敷液珠4的上游侧附近减压，相对于基板的移动所产生的剪切力，能够得到将涂敷液珠4向涂敷上游侧拉拽的力，从而能够维持涂敷液珠4。 
在此，要实现高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷时等，一直以来使用的是在终端部使喷嘴上升的方法，但是难以控制涂敷液珠延伸且被揪断的行为，因此局部伸长最多的涂敷液倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”。 
另外，有时使用通过回吸活塞而在喷嘴内的流路形成涂敷液吸入空间的方法，但喷嘴的结构变得复杂，分解·清洗·组装等维护烦杂且困难，喷嘴的小型轻量化困难或成为高价的设备。而且，吸入适量的微少的涂敷液珠的液量这样的回吸活塞的精密控制非常困难，生产中的回吸活塞的吸入量的调整频度变多，而使生产性下降。 
图2表示本发明的实施方式1中的液体涂敷装置的吸引口侧壁面的凹凸部立体图。而且，图3表示在涂敷终端部，仅在喷嘴(模头)的气体吸引口侧壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液的方法，图3(a)是侧方剖视图，图3(b)是从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
如图2所示，在本发明中，在喷嘴的气体吸引口3侧的壁面上设有多个凹凸，并且在涂敷终端部，短时间内使气体吸引量增加。由此，涂敷液珠的上游侧比涂敷时减压，如图3所示，能够仅在壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液。 
其结果是，在涂敷宽度整个区域上，能够形成多个涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠上产生多个细小的龟裂，因此能够从被涂敷件迅速地割断涂敷液珠。 
如以上所述，根据本发明，通过在涂敷宽度整个区域上使涂敷液珠产生多个龟裂，而能够迅速地割断涂敷液珠，以使涂敷液珠的延伸微小。其结果是，涂敷终端部的微小的拖尾通过调平而在涂敷膜中实现平滑化，因此不会发生现有方法那样形成拖尾的情况，从而能够进行高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷。 
(实施方式2) 
图4是喷嘴(模头)的吸引口侧的壁面的浸润性不恒定的液体涂敷装置的吸引口侧壁面的浸润性不同的部分的立体图。 
在图4中，9是浸润性低的部分而10是浸润性高的部分，本发明的实施方式2中的液体涂敷装置在这种涂敷宽度方向上形成多个浸润性不同的区域。在使用这种液体涂敷装置进行涂敷时，在涂敷终端部，短时间内使气体吸引量增加。 
在此，图5表示本发明的实施方式2中的在涂敷终端部，仅在喷嘴的气体吸引口侧壁面的浸润性高的部分上选择性地浸润涂敷液的方法，图5(a)是侧方剖视图，图5(b)是从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
如此，在涂敷终端部，通过短时间内使气体吸引量增加，而涂敷液珠的上游侧比涂敷时减压，如图5所示，能够仅在壁面的浸润性高的部分10选择性地浸润涂敷液。其结果是，在涂敷宽度整个区域上能够形成涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠产生龟裂，由此能够从被涂敷件迅速地割断涂敷液珠。 
如以上所述，根据本发明，通过在涂敷宽度整个区域上使涂敷液珠产生多个龟裂，而能够迅速地割断涂敷液珠，以使涂敷液珠的延伸微小。其结果是，涂敷终端部的微小的拖尾通过调平而在涂敷膜中实现平滑化，因此不会发生现有方法那样形成拖尾的情况，从而能够进行高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷。 
这里，在实施方式1及2中，在涂敷终端部使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜，也会与短时间内使气体吸引量增加的情况同样地，能够促进涂敷液的浸润，能够得到同样的效果。 
(实施例1) 
通过使用了实施方式1的实施例，更详细地进行说明。在本实施例中， 使用对淬火不锈钢进行磨削加工而制作的图1的喷嘴1，利用如图6所示的吸引口侧壁面的凹凸部那样对相对于喷嘴的喷出口前端面的角度进行了部分变更的喷嘴进行了涂敷。 
另外，涂装间隙19为100μm，以150mm/s的涂装速度，将剪切速度1000(1/s)下的粘度为100mPa·s的甲基纤维素水溶液在与喷嘴1相对移动的PET膜基材上涂敷了厚度10μm。而且，涂敷宽度为100cm，涂敷距离为100cm。而且，间歇涂敷下的未涂敷部长度为1cm。需要说明的是，涂敷液喷出口2为间隙100μm的狭缝形状，气体吸引口3为间隙500μm的狭缝形状。而且，涂敷时的气体吸引口的压力为-10kPa，涂敷终端部的气体吸引口的压力为-15kPa。 
另外，图2中的吸引口侧壁面的凹陷部的宽度为Z＝3mm，同样地，凸部的宽度为Y＝3mm，设置在涂敷宽度整个区域。而且，图6中的相对于喷嘴的喷出口前端面的角度θ1＝150°，同样地，θ2在135°～45°之间变化，利用这样的喷嘴，间歇地进行了500次上述涂敷时的拖尾发生评价如表1所示。需要说明的是，拖尾发生评价在未发生长度0.5mm以上的拖尾时评价为“○”，在发生时评价为“×”。 
在此，作为比较例(1)，图9～图10所示的现有方法的喷嘴1产生的同样的结果在表1中一起表示。 
表1 
Figure BDA00001662262800081
在此，现有方法的喷嘴1没有喷嘴的吸引口侧壁面的凹凸部，即，图6中的θ1＝θ2。该现有方法的喷嘴1的θ1＝θ2＝150°，而且，涂敷液喷出口2为间隙100μm的狭缝形状，气体吸引口3也为间隙500μm的狭缝形状。而且，涂敷时的气体吸引口的压力为-10kPa。另外，涂装间隙19为100μm，以涂装速度150mm/s，将剪切速度1000(1/s)下的粘度为100mPa·s的甲基纤维素水溶液在与喷嘴1相对移动的PET膜基材上涂敷了厚度 10μm。 
另外，涂敷宽度为100cm，涂敷距离为100cm。而且，间歇涂敷中的未涂敷部长度为1cm。 
根据表1，在现有方法的喷嘴1(比较例1)中，无法控制涂敷液珠在喷嘴前端面与被涂敷基材之间延伸且同时被揪断的行为，局部地延伸最长的涂敷液倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”，产生涂敷膜跨未涂敷部而局部相连这样的不良情况，成品率发生了下降。 
相对于此，在本发明的喷嘴1(实施例1)中，通过从在涂敷液喷出口2的上游侧的范围设置的气体吸引口吸引的气体，来将涂敷液珠的上游侧减压，仅在壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此在涂敷宽度整个区域上形成了涂敷液珠的厚度薄的部分。从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。其结果是，不会发生拖尾引起的不良情况，能够涂敷500片。 
如此，根据本发明，能够提供一种通过在涂敷宽度整个区域上使涂敷液珠产生龟裂，而能够进行不发生拖尾的高速间歇涂敷的液体涂敷装置。 
需要说明的是，在本实施例中，仅记载了θ1为150°且θ2在135°～45°之间变化的情况，但并不局限于此，通过在θ1与θ2之间设置差而能够得到同样的效果。而且，仅记载了吸引口侧壁面的凹陷部的宽度为Z＝3mm，同样地凸部的宽度为Y＝3mm的情况，但只要设置多个凹凸部就能够得到同样的效果，并不局限于此。 
(实施例2) 
通过使用了实施方式2的实施例，更详细地进行说明。在本实施例中，使用对淬火不锈钢进行磨削加工而制作的图4的喷嘴1，进行了与实施例1同样的涂敷。在此，设置在喷嘴的吸引口侧壁面上的涂敷液的浸润性低的部分9形成为涂敷宽度方向W＝3mm及在高度方向上沿着壁面为10mm的区域(表面粗糙度保持为Ra0.4，不进行表面处理)，而且与浸润性低的部分9交替的浸润性高的部分10形成为涂敷宽度方向V＝3mm及在高度方向上沿着壁面为10mm的区域(基于氟系材料的表面处理)，除此以外的涂敷条件等与实施例1相同。在喷嘴的吸引口侧壁面上且在涂敷宽度整个区域上交替地存在多个浸润性(接触角)不同的部分，利用该喷嘴进行了 涂敷的结果如表2所示。 
表2 
Figure BDA00001662262800101
另外，比较例也与实施例1相同地，图9～13所示的现有方法的喷嘴1产生的同样的结果在表2中一起表示。在此，现有方法的喷嘴1是喷嘴的吸引口侧壁面的浸润性没有差别，即，图6中的9和10的部分的浸润性没有差别的结构。 
根据表2，在现有方法的喷嘴1(比较例1)中，无法控制涂敷液珠在喷嘴前端面与被涂敷基材之间延伸且同时被揪断的行为，局部地延伸最长的涂敷液倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”，产生涂敷膜跨未涂敷部而局部相连这样的不良情况，成品率发生了下降。 
相对于此，在本发明的喷嘴1(实施例2)中，通过从在涂敷液喷出口2的上游侧的范围设置的气体吸引口吸引的气体，来将涂敷液珠的上游侧减压，仅在壁面的除了浸润性低的部分之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此能够在涂敷宽度整个区域上形成涂敷液珠的厚度薄的部分，通过从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生多个细小龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。其结果是，不会发生拖尾引起的不良情况，能够涂敷500片。 
如此，根据本发明，能够提供一种通过在涂敷宽度整个区域上使涂敷液珠产生龟裂，而能够进行不发生拖尾的高速间歇涂敷的液体涂敷装置。需要说明的是，在本实施例中，仅记载了浸润性低的(接触角高的)区域的接触角为70°的情况，但并不局限于此，只要在浸润性上设置差别就能够得到同样的效果。 
另外，仅记载了在喷嘴的吸引口侧壁面上设置的涂敷液的浸润性低的部分形成为在涂敷宽度方向为V＝3mm且在高度方向上沿着壁面为10mm的区域，浸润性高的部分10形成为在涂敷宽度方向为W＝3mm及在高度 方向上沿着壁面为10mm的区域的情况，但只要有多个浸润性不同的部分就能够得到同样的效果，并不局限于此。 
(实施例3) 
通过使用了实施方式1的实施例，更详细地进行说明。 
图7是使用实施方式1中的本发明的喷嘴进行涂敷，在涂敷终端部使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜时的图，图7(a)是喷嘴侧方剖视图，图7(b)是从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
在本实施例中，使用对淬火不锈钢进行磨削加工而制作的图1的喷嘴1，在涂敷终端部，使涂敷终端部的气体吸引口的压力与涂敷时相同，为-10kPa，并使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜10°，除此以外，喷嘴结构、涂敷条件等与实施例1相同。利用喷嘴的吸引口侧壁面的凹凸部结构不同的喷嘴进行了涂敷的结果如表3所示。 
表3 
Figure BDA00001662262800111
另外，比较例也与实施例1相同地，图9～10所示的现有方法的喷嘴1产生的同样的结果在表3中一起表示。 
根据表3，在现有方法的喷嘴1(比较例1)中，无法控制涂敷液珠在喷嘴前端面与被涂敷基材之间延伸且同时被揪断的行为，局部地延伸最长的涂敷液倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”，产生涂敷膜跨未涂敷部而局部相连这样的不良情况，成品率发生了下降。 
相对于此，在本发明的喷嘴1(实施例3)中，通过使喷嘴倾斜，而容易将涂敷液珠向气体吸引口侧拉近，仅在壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此能够在涂敷宽度整个区域上形成涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生多个细小龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。其结果是，不会发生拖尾引起的不良情况，能够涂敷500片。 
如此，根据本发明，能够提供一种通过在涂敷宽度整个区域上使涂敷液珠产生龟裂，而能够进行不发生拖尾的高速间歇涂敷的液体涂敷装置。 
需要说明的是，在本实施例中，仅记载了在涂敷终端部使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜了10°的情况，但只要向具有气体吸引口的涂敷的上游侧倾斜就能够得到同样的效果，角度并不限定。 
另外，在本实施例中，仅记载了θ1为150°且θ2在135°～45°之间变化的情况，但并不局限于此，通过在θ1与θ2之间设置差而能够得到同样的效果。而且，仅记载了吸引口侧壁面的凹陷部的宽度为Z＝3mm，同样地凸部的宽度为Y＝3mm的情况，但只要设置多个凹凸部就能够得到同样的效果，并不局限于此。 
(实施例4) 
通过使用了实施方式2的实施例，更详细地进行说明。 
图8是使用实施方式2中的本发明的喷嘴进行涂敷，在涂敷终端部使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜时的图，图8(a)是喷嘴侧方剖视图，图8(b)是从涂敷液喷出口侧观察到的图。 
在本实施例中，使用对淬火不锈钢进行磨削加工而制作的图4的喷嘴1，在涂敷终端部，使涂敷终端部的气体吸引口的压力与涂敷时相同，为-10kPa，并使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜10°，除此以外，喷嘴结构、涂敷条件等与实施例1相同。利用喷嘴的吸引口侧壁面的浸润性(接触角)不同的喷嘴进行了涂敷的结果如表4所示。 
表4 
Figure BDA00001662262800121
另外，比较例也与实施例1相同地，图9～10所示的现有方法的喷嘴1产生的同样的结果在表4中一起表示。 
根据表4，在现有方法的喷嘴1(比较例1)中，无法控制涂敷液珠在喷嘴前端面与被涂敷基材之间延伸且同时被揪断的行为，局部地延伸最长的涂敷液倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”，产生涂敷膜跨未涂敷部而局部 相连这样的不良情况，成品率发生了下降。 
相对于此，在本发明的喷嘴1(实施例4)中，通过使喷嘴倾斜，而容易将涂敷液珠向气体吸引口侧拉近，仅在壁面的除了浸润性低的部分之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此能够在涂敷宽度整个区域上形成涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。其结果是，不会发生拖尾引起的不良情况，能够涂敷500片。 
如此，根据本发明，能够提供一种通过在涂敷宽度整个区域上使涂敷液珠产生多个细小龟裂，而能够进行不发生拖尾的高速间歇涂敷的液体涂敷装置。 
需要说明的是，在本实施例中，仅记载了在涂敷终端部使喷嘴1向涂敷的上游侧倾斜了10°的情况，但只要向具有气体吸引口的涂敷的上游侧倾斜就能够得到同样的效果，角度并不限定。 
另外，在本实施例中，仅记载了浸润性低(接触角高)的区域的接触角为70°的情况，但并未局限于此，只要在浸润性上设置差别就能够得到同样的效果。 
另外，仅记载了在喷嘴的吸引口侧壁面上设置的涂敷液的浸润性低的部分形成为在涂敷宽度方向为V＝3mm且在高度方向上沿着壁面为10mm的区域，而且浸润性高的部分10形成为在涂敷宽度方向为W＝3mm及在高度方向上沿着壁面为10mm的区域的情况，但只要有多个浸润性不同的部分就能够得到同样的效果，并不局限于此。 
(实施例5) 
通过使用了实施方式1的实施例，更详细地进行说明。在本实施例中，使用对淬火不锈钢进行磨削加工而制作的图1的喷嘴1，在与喷嘴1相对移动的玻璃基板(宽度110cm×长度70cm)上，以涂敷宽度为100cm且涂敷距离为68cm的方式涂敷了500片，除此以外，喷嘴结构、涂敷条件等与实施例1相同。利用喷嘴的吸引口侧壁面的凹凸部结构不同的喷嘴进行了涂敷的结果如表5所示。 
另外，比较例也与实施例1相同地，图9～13所示的现有方法的喷嘴1产生的同样的结果在表5中一起表示。 
表5 
Figure BDA00001662262800141
根据表5，在现有方法的喷嘴1(比较例1)中，无法控制涂敷液珠在喷嘴前端面与被涂敷基材之间延伸且同时被揪断的行为，局部地延伸最长的涂敷液倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”，产生涂敷液附着于在玻璃基板的外周设置的未涂敷部区域上这样的不良情况，成品率发生了下降。 
相对于此，在本发明的喷嘴1(实施例5)中，通过从在涂敷液喷出口2的上游侧的范围设置的气体吸引口吸引的气体，来将涂敷液珠的上游侧减压，仅在壁面的除了凹部之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此能够在涂敷宽度整个区域上形成涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生多个细小龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。其结果是，不会发生拖尾引起的不良情况，能够在被涂敷件整个区域上涂敷500片。 
如此，根据本发明，能够提供一种通过在涂敷宽度整个区域上使涂敷液珠产生多个细小龟裂，而能够进行不发生拖尾的高速间歇涂敷的液体涂敷装置。 
另外，在本实施例中，仅记载了θ1为150°且θ2在135°～45°之间变化的情况，但并不局限于此，通过在θ1与θ2之间设置差而能够得到同样的效果。而且，仅记载了吸引口侧壁面的凹陷部的宽度为Z＝3mm，同样地凸部的宽度为Y＝3mm的情况，但只要设置多个凹凸部就能够得到同样的效果，并不局限于此。 
(实施例6) 
通过使用了实施方式2的实施例，更详细地进行说明。 
在本实施例中，使用对淬火不锈钢进行磨削加工而制作的图4的喷嘴1，在与喷嘴1相对移动的玻璃基板(宽度110cm×长度70cm)上，以涂敷宽度为100cm且涂敷距离为68cm的方式涂敷了500片，除此以外，喷 嘴结构、涂敷条件等与实施例5相同。利用喷嘴的吸引口侧壁面的浸润性(接触角)不同的喷嘴进行了涂敷时的结果如表6所示。 
另外，比较例也与实施例1相同地，图9～10所示的现有方法的喷嘴1产生的同样的结果在表6中一起表示。 
表6 
Figure BDA00001662262800151
根据表6，在现有方法的喷嘴1(比较例1)中，无法控制涂敷液珠在喷嘴前端面与被涂敷基材之间延伸且同时被揪断的行为，局部地延伸最长的涂敷液倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”，产生涂敷膜跨未涂敷部而局部相连这样的不良情况，成品率发生了下降。 
相对于此，在本发明的喷嘴1(实施例6)中，通过从在涂敷液喷出口2的上游侧的范围设置的气体吸引口吸引的气体，来将涂敷液珠的上游侧减压，仅在壁面的除了浸润性低的部分之外的部分上选择性地浸润涂敷液，由此能够在涂敷宽度整个区域上形成涂敷液珠的厚度薄的部分，从该涂敷液珠的厚度薄的部分开始在涂敷液珠处产生多个细小龟裂，从而能够从被涂敷件将涂敷液珠迅速地割断。其结果是，不会发生拖尾引起的不良情况，能够在被涂敷件整个区域上涂敷500片。 
如此，根据本发明，能够提供一种通过在涂敷宽度整个区域上使涂敷液珠产生多个细小龟裂，而能够进行不发生拖尾的高速间歇涂敷的液体涂敷装置。需要说明的是，在本实施例中，仅记载了浸润性低(接触角高)的区域的接触角为70°的情况，但并未局限于此，只要在浸润性上设置差别就能够得到同样的效果。 
另外，仅记载了在喷嘴的吸引口侧壁面上设置的涂敷液的浸润性低的部分形成为在涂敷宽度方向为V＝3mm且在高度方向上沿着壁面为10mm的区域，而且浸润性高的部分10形成为在涂敷宽度方向为W＝3mm及在高度方向上沿着壁面为10mm的区域的情况，但只要有多个浸润性不同的 部分就能够得到同样的效果，并不局限于此。 
【产业上的可利用性】 
本发明能够进行高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷，因此能够适用于要求低成本且高生产性地生产例如有机EL或等离子显示器、液晶显示器、太阳能电池、锂二次电池等高性能的设备的印刷制造工序。 

Claims (3)

1.一种涂敷装置，将液体向涂敷对象物涂敷，其特征在于，
所述涂敷装置具有喷出涂敷液的喷嘴，所述喷嘴在所述涂敷液的喷出口的上游侧还具有气体的吸引口，且在所述喷嘴的吸引口侧的壁面上具备多个凹凸。
2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，
所述喷嘴的前端面与喷嘴的吸引口侧的壁面的角度在涂敷宽度方向上不相同。
3.一种涂敷装置，将液体向涂敷对象物涂敷，其特征在于，
所述涂敷装置具有喷出涂敷液的喷嘴，所述喷嘴在所述涂敷液的喷出口的上游侧还具有气体的吸引口，所述喷嘴的吸引口侧的壁面的浸润性不恒定。
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