JP2003053233A - 塗工装置 - Google Patents

塗工装置

Info

Publication number
JP2003053233A
JP2003053233A JP2001251254A JP2001251254A JP2003053233A JP 2003053233 A JP2003053233 A JP 2003053233A JP 2001251254 A JP2001251254 A JP 2001251254A JP 2001251254 A JP2001251254 A JP 2001251254A JP 2003053233 A JP2003053233 A JP 2003053233A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
slit
pressure reducing
die head
coating apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001251254A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4877567B2 (ja
Inventor
Takeaki Tsuda
武明 津田
Hideki Inada
秀樹 稲田
Yusuke Ito
裕介 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP2001251254A priority Critical patent/JP4877567B2/ja
Publication of JP2003053233A publication Critical patent/JP2003053233A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4877567B2 publication Critical patent/JP4877567B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイヘッド先端部のビード近傍部の減圧度を
高めることができ、これによってビードを安定して保持
させることができるダイヘッドを備えた塗工装置を提供
すること。 【解決手段】 上流側ブロック１と下流側ブロック２と
を一対の左右側板３，４で挟持し、これら両ブロックの
間に液入口からの塗工液を幅方向に広がらせるためのマ
ニホールド５と、そのマニホールドから塗工液が押し出
される塗工用スリット６とを形成してなるエクストルー
ジョン方式のダイヘッドを用いた塗工装置において、減
圧チャンバーにつながる減圧用スリット１１を上流側ブ
ロック１に塗工用スリット６と平行に設ける。基材の流
れ方向の開口長さが小さい減圧用スリット１１内におい
て幅方向での吸引のバラツキがなくなることから、塗工
幅方向での減圧度の均一化が可能となり、ダイヘッド先
端のビード近傍部の減圧度を高めることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被塗工物である基
材の表面に塗工液を塗布するエクストルージョン方式の
ダイヘッドを用いた塗工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、エクストルージョン方式のダ
イヘッドを用いた塗工装置は、均一な薄膜塗工が可能で
あることから種々の分野で広く利用されている。このダ
イヘッドは、基本的に、液入口からの塗工液を幅方向に
広がらせるためのマニホールドと、そのマニホールドか
ら塗工液が押し出される塗工用スリットとを備えた構造
をしている。そして、液入口から内部に流入した塗工液
がマニホールドにて幅方向に広がり、先端の塗工用スリ
ットから押し出されて、基板の表面に塗工されるように
構成されている。
【０００３】この塗工装置を塗工速度の高速化に対応さ
せるには、ダイヘッド先端部の塗工用スリットから押し
出されるビードを安定に保持させる必要がある。そのた
めの方法として、ダイヘッドにおける塗工用スリットの
上流側に減圧チャンバーを付加し、この減圧チャンバー
によりダイヘッド先端のビード近傍部を減圧する方法が
一般的に採られており、従来の減圧チャンバー形状とし
ては図１〜図３に示すような方式がある。
【０００４】図１に示すダイヘッドＨの減圧チャンバー
Ｃは、チャンバー内が１室である箱型になった形状であ
り、図２に示すダイヘッドＨにおける減圧チャンバーＣ
は、チャンバー内の吸引のバラツキを抑制するために、
チャンバー内を基材の流れ方向に分割したものであり、
図３に示すダイヘッドＨにおける減圧チャンバーＣは、
チャンバー内の吸引のバラツキを抑制するために、チャ
ンバー内を塗工幅方向に分割したものである。なお、こ
れらの図において、Ｒはバックアップロール、Ｓはその
バックアップロールＲに掛け回されて走行する基材であ
り、１，２はそれぞれダイヘッドＨの上流側ブロックと
下流側ブロック、３，４はダイヘッドＨの側板、５はダ
イヘッドＨのマニホールド、６はダイヘッドＨの塗工用
スリットである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べた方
式のうち、図１のタイプでは、塗工速度の高速化による
同伴エアーの量の増大に対し、チャンバーＣの容積を大
きくしているため、幅方向でチャンバー内の吸引にバラ
ツキが生じ、さらにはチャンバー側面からエアーが流入
するために、チャンバー内の減圧度が塗工幅方向で不均
一になるという欠点がある。また、図２及び図３のタイ
プでは、吸引のバラツキが抑制されはするが、チャンバ
ー側面からのエアーの流入は避けられず、チャンバー内
の減圧度が高まらないという欠点がある。
【０００６】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、ダイヘッド
先端部のビード近傍部の減圧度を高めることができ、こ
れによってビードを安定して保持させることができるダ
イヘッドを備えた塗工装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明で
ある塗工装置は、上流側ブロックと下流側ブロックとを
一対の左右側板で挟持し、これら両ブロックの間に液入
口からの塗工液を幅方向に広がらせるためのマニホール
ドと、そのマニホールドから塗工液が押し出される塗工
用スリットとを形成してなるエクストルージョン方式の
ダイヘッドを用いた塗工装置において、減圧チャンバー
につながる減圧用スリットを上流側ブロックに塗工用ス
リットと平行に設けたことを特徴としている。
【０００８】請求項２に記載の発明である塗工装置は、
請求項１に記載の塗工装置において、側板の先端面をバ
ックアップロールに沿わせた形状とし、その先端面にラ
ビリンスシールを形成したことを特徴としている。
【０００９】請求項３に記載の発明である塗工装置は、
請求項１又は２に記載の塗工装置において、上流側ブロ
ックに設けた減圧用スリットの上流側に、さらに１つ以
上の副減圧用スリットを設けたことを特徴としている。
【００１０】請求項４に記載の発明である塗工装置は、
減圧用スリットと副減圧用スリットにおける下流側壁面
のそれぞれに曲面部を設け、減圧用スリットの曲面部の
曲率より副減圧用スリットの曲面部の曲率を大きくした
ことを特徴としている。
【００１１】請求項５に記載の発明である塗工装置は、
請求項１〜４のいずれかに記載の塗工装置において、上
流側ブロックにおける減圧用スリットと上流側リップと
の間にラビリンスシールを形成したことを特徴としてい
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。なお、図１〜３と同様の部
位には同じ符号を付すことでその説明を省略する。
【００１３】図４（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の塗工装置に
おける第１の例のダイヘッドの部分を示す図である。こ
のダイヘッドＨでは、減圧チャンバーにつながる減圧用
スリット１１を上流側ブロック１に塗工用スリット６と
平行に設けている。この構成では、従来のダイヘッドに
比べて、基材Ｓの流れ方向の開口長さが小さくなってお
り、幅方向での吸引のバラツキがなくなり、塗工幅方向
での減圧度が均一になりやすくなる。
【００１４】図５（Ａ）は図４（Ｂ）のＸ−Ｘに対応す
る位置での塗工ヘッドとバックアップロールとの断面
図、図５（Ｂ）は図４（Ｂ）のＹ−Ｙに対応する位置で
の塗工ヘッドの断面図であり、第１の例のダイヘッドＨ
では、側板３，４の先端面をバックアップロールＲに沿
わせた形状とし、その先端面にラビリンスシール２１，
２２を形成している。このように、側板３，４の先端面
をバックアップロールＲに沿わせた形状としたことによ
り、その先端面にラビリンスシール２１，２２を形成し
たことにより、横方向からのエアーの侵入が抑えられ
る。
【００１５】図６（Ａ），（Ｂ）は本発明の塗工装置に
おける第２の例のダイヘッドの部分を示す図である。こ
のダイヘッドＨでは、減圧チャンバーにつながる減圧用
スリット１１を上流側ブロック１に塗工用スリット６と
平行に設け、さらにその減圧用スリット１１の上流側
に、大気につながる副減圧用スリット１２を設けたもの
である。この構成では、各スリット１１，１２を減圧さ
せることにより、ビード近傍部の減圧度をより高めるこ
とができる。
【００１６】図７は図６に示した第２の例のように減圧
用スリット１１に加えて副減圧用スリット１２を設けた
ダイヘッドにおいて、両スリット１１，１２の下流側壁
面にそれぞれ曲面部を設けたものである。そして、減圧
チャンバー用スリット１１の曲率をＲ1 とし、副減圧用
スリット１２の曲率をＲ2 とした場合に、Ｒ1 ＜Ｒ2と
なるようにそれぞれの曲面部を形成している。このよう
に構成することで、コアンダ効果により同伴エアーが曲
面部に沿って流れ、気流を剥離させることにより、ダイ
ヘッド先端のビード部に同伴されるエアー量を低減し、
ビード近傍部の減圧度を高める効果を持たせることがで
きる。さらに、各スリット１１，１２から同伴エアーを
吸引することにより、ビード部への異物の進入を抑制す
る効果も持たせている。
【００１７】また、図７に示したダイヘッドは、減圧用
スリット１１と上流側リップ３１との間にラビリンスシ
ール２３を形成している。このように構成することで、
同伴エアーがラビリンスシール２３の絞り弁と基材Ｓと
の狭い隙間を通過する際に、絞り弁の直後で膨張し次の
絞り弁に衝突する。この際、衝突により同伴エアーの流
速が減速し、動圧が低下することとなる。同伴エアーが
ラビリンスシール２３の絞り弁と基材Ｓとの狭い隙間を
通過するたびに、その都度、膨張による動圧の低下を受
け、ビード部へのエアーの持込み量を減少させ、基材Ｓ
の表面近傍のエアー同伴を抑制する。
【００１８】図８は図７に示したダイヘッドの変形例で
あり、このダイヘッドでは、減圧用スリット１１と副減
圧用スリット１２との間にもラビリンスシール２４を設
けている。このように構成することで、ビード近傍部へ
の基材Ｓによるエアー同伴を防ぐ効果がさらに大きくな
り、ビード近傍部の減圧度を高めることができる。
【００１９】図９は図６に示したダイヘッドの変形例で
あり、このダイヘッドでは、減圧用スリット１１と副減
圧用スリット１２の吸引口側に、スリット幅より大きい
径の溝を塗工幅方向に有するブロック型減圧チャンバー
１３を設け、この減圧チャンバー内での静圧を幅方向に
おいて均一になるようにしている。このように構成する
ことで、さらに減圧用スリット１１における幅方向での
減圧度を均一にすることができる。
【００２０】以上、本発明の実施の形態について詳細に
説明してきたが、本発明による塗工装置は、上記実施の
形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸
脱しない範囲において種々の変更が可能であることは当
然のことである。
【００２１】
【発明の効果】請求項１に記載の発明である塗工装置
は、上流側ブロックと下流側ブロックとを一対の左右側
板で挟持し、これら両ブロックの間に液入口からの塗工
液を幅方向に広がらせるためのマニホールドと、そのマ
ニホールドから塗工液が押し出される塗工用スリットと
を形成してなるエクストルージョン方式のダイヘッドを
用いた塗工装置において、減圧チャンバーにつながる減
圧用スリットを上流側ブロックに塗工用スリットと平行
に設けたことを特徴としているので、基材の流れ方向の
開口長さが小さい減圧用スリット内において幅方向での
吸引のバラツキがなくなることから、塗工幅方向での減
圧度の均一化が可能となり、ダイヘッド先端のビード近
傍部の減圧度を高めることができる。また、減圧用スリ
ットから同伴エアーを吸引することにより、ビード部へ
の異物侵入を抑制する効果もある。
【００２２】請求項２に記載の発明である塗工装置は、
請求項１に記載の塗工装置において、側板の先端面をバ
ックアップロールに沿わせた形状とし、その先端面にラ
ビリンスシールを形成したことを特徴としているので、
上記効果に加えて、横方向からのエアーの侵入が抑えら
れることから、ビード近傍部の減圧度をより高めること
ができる。
【００２３】請求項３に記載の発明である塗工装置は、
請求項１又は２に記載の塗工装置において、上流側ブロ
ックに設けた減圧用スリットの上流側に、さらに１つ以
上の副減圧用スリットを設けたことを特徴としているの
で、上記効果に加えて、ビード近傍部の減圧度をさらに
高めることができる。
【００２４】請求項４に記載の発明である塗工装置は、
減圧用スリットと副減圧用スリットにおける下流側壁面
のそれぞれに曲面部を設け、減圧用スリットの曲面部の
曲率より副減圧用スリットの曲面部の曲率を大きくした
ことを特徴としているので、上記効果に加えて、ダイヘ
ッド先端のビード部に同伴されるエアー量を低減し、ビ
ード近傍部の減圧度を高める効果を持たせることができ
る。さらに、各スリットから同伴エアーを吸引すること
により、ビード部への異物の進入を抑制する効果も奏す
る。
【００２５】請求項５に記載の発明である塗工装置は、
請求項１〜４のいずれかに記載の塗工装置において、上
流側ブロックにおける減圧用スリットと上流側リップと
の間にラビリンスシールを形成したことを特徴としてい
るので、上記効果に加え、同伴エアーがラビリンスシー
ルの絞り弁と基材との狭い隙間を通過するたびに膨張に
よる動圧の低下を受け、ビード部へのエアーの持込み量
を減少させ、基材の表面近傍のエアー同伴を抑制する効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の塗工装置におけるダイヘッドの一例をそ
れに付加した減圧チャンバーとともに示すもので、図１
（Ａ）はバックアップロールとともに示す断面図、図１
（Ｂ）はバックアップーロールを除いた状態で示す上面
図である。
【図２】従来の塗工装置別におけるダイヘッドの別の例
をそれに付加した減圧チャンバーとともに示すもので、
図２（Ａ）はバックアップロールとともに示す断面図、
図２（Ｂ）はバックアップーロールを除いた状態で示す
上面図である。
【図３】従来の塗工装置におけるダイヘッドのさらに別
の例をそれに付加した減圧チャンバーとともに示すもの
で、図３（Ａ）はバックアップロールとともに示す断面
図、図３（Ｂ）はバックアップーロールを除いた状態で
示す上面図である。
【図４】本発明の塗工装置における第１の例のダイヘッ
ドの部分を示すもので、図４（Ａ）はバックアップロー
ルとともに示す断面図、図４（Ｂ）はバックアップロー
ルを除いた状態で示す上面図、図４（Ｃ）は図４（Ａ）
においてＡで示す部分の拡大図である。
【図５】図４に示した第１の例のダイヘッドの部分を別
の断面で示すもので、図５（Ａ）は図４（Ｂ）のＸ−Ｘ
に対応する位置での塗工ヘッドとバックアップロールと
の断面図、図５（Ｂ）は図４（Ｂ）のＹ−Ｙに対応する
位置での塗工ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の塗工装置における第２の例のダイヘッ
ドの部分を示すもので、図６（Ａ）はバックアップロー
ルとともに示す断面図、図６（Ｂ）はバックアップロー
ルを除いた状態で示す上面図である。
【図７】図６に示した第２の例のダイヘッドにおいて減
圧用スリットと副減圧用スリットの下流側壁面にそれぞ
れ曲面部を設けたダイヘッドを示す断面図である。
【図８】図７に示すダイヘッドの変形例を示す断面図で
ある。
【図９】図６に示すダイヘッドの変形例を示す断面図で
ある。
【符号の説明】
Ｃ チャンバー Ｈ ダイヘッド Ｒ バックアップロール Ｓ 基材 １ 上流側ブロック ２ 下流側ブロック ３，４ 側板 ５ マニホールド ６ 塗工用スリット １１ 減圧用スリット １２ 副減圧用スリット １３ ブロック型減圧チャンバー ２１，２２，２３，２４ ラビリンスシール ３１ 上流側リップ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 裕介 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F041 AA12 AB02 BA05 BA12 BA53 CA03 CA12 CA25

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 上流側ブロックと下流側ブロックとを一
    対の左右側板で挟持し、これら両ブロックの間に液入口
    からの塗工液を幅方向に広がらせるためのマニホールド
    と、そのマニホールドから塗工液が押し出される塗工用
    スリットとを形成してなるエクストルージョン方式のダ
    イヘッドを用いた塗工装置において、減圧チャンバーに
    つながる減圧用スリットを上流側ブロックに塗工用スリ
    ットと平行に設けたことを特徴とする塗工装置。
  2. 【請求項２】 側板の先端面をバックアップロールに沿
    わせた形状とし、その先端面にラビリンスシールを形成
    したことを特徴とする請求項１に記載の塗工装置。
  3. 【請求項３】 上流側ブロックに設けた減圧用スリット
    の上流側に、さらに１つ以上の副減圧用スリットを設け
    たことを特徴とする請求項１又は２に記載の塗工装置。
  4. 【請求項４】 減圧用スリットと副減圧用スリットにお
    ける下流側壁面のそれぞれに曲面部を設け、減圧用スリ
    ットの曲面部の曲率より副減圧用スリットの曲面部の曲
    率を大きくしたことを特徴とする請求項３に記載の塗工
    装置。
  5. 【請求項５】 上流側ブロックにおける減圧用スリット
    と上流側リップとの間にラビリンスシールを形成したこ
    とを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の塗工装
    置。
JP2001251254A 2001-08-22 2001-08-22 塗工装置 Expired - Lifetime JP4877567B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001251254A JP4877567B2 (ja) 2001-08-22 2001-08-22 塗工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001251254A JP4877567B2 (ja) 2001-08-22 2001-08-22 塗工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003053233A true JP2003053233A (ja) 2003-02-25
JP4877567B2 JP4877567B2 (ja) 2012-02-15

Family

ID=19079931

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001251254A Expired - Lifetime JP4877567B2 (ja) 2001-08-22 2001-08-22 塗工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4877567B2 (ja)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005270704A (ja) * 2004-03-23 2005-10-06 Toray Eng Co Ltd 塗工装置
JP2006095456A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布液の塗布方法及び装置
JP2006297269A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Toppan Printing Co Ltd 塗工方法および塗工装置
KR100727581B1 (ko) 2006-06-16 2007-06-14 세메스 주식회사 도포 장치용 노즐 및 이를 포함하는 도포 장치
JP2007301790A (ja) * 2006-05-10 2007-11-22 Three M Innovative Properties Co 構造複製方法及び装置
JP2008023405A (ja) * 2006-07-18 2008-02-07 Toray Eng Co Ltd 塗工装置
JP2010269240A (ja) * 2009-05-21 2010-12-02 Panasonic Corp 塗布装置
CN102029242A (zh) * 2009-09-28 2011-04-27 松下电器产业株式会社 模头以及液体涂覆装置
CN102794988A (zh) * 2011-05-25 2012-11-28 松下电器产业株式会社 涂敷装置
KR101318585B1 (ko) 2010-12-30 2013-10-15 삼성에스디아이 주식회사 코팅장치 및 이를 이용한 코팅방법
JP2016167337A (ja) * 2015-03-09 2016-09-15 東レエンジニアリング株式会社 塗布装置
CN105983511A (zh) * 2015-03-19 2016-10-05 东丽薄膜先端加工有限公司 涂布装置和涂布方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59206079A (ja) * 1983-05-09 1984-11-21 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 塗布方法
JPS6111173A (ja) * 1984-06-26 1986-01-18 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 塗布方法及び塗布装置
JPS6178461A (ja) * 1984-09-21 1986-04-22 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 塗布方法及び塗布装置
JPS62186966A (ja) * 1986-02-12 1987-08-15 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布方法及び装置
JPS6490060A (en) * 1987-09-29 1989-04-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Coating equipment
JPH054063A (ja) * 1991-06-26 1993-01-14 Konica Corp 塗布装置
JPH05245426A (ja) * 1992-03-06 1993-09-24 Mitsubishi Paper Mills Ltd 塗布方法
JPH05345161A (ja) * 1992-06-11 1993-12-27 Konica Corp 感光材料の塗布装置
JPH0857390A (ja) * 1994-08-17 1996-03-05 Chugai Ro Co Ltd 均一塗布型ダイコータ
JPH08103711A (ja) * 1994-10-04 1996-04-23 Chugai Ro Co Ltd ダイコータ
JPH09271702A (ja) * 1996-04-02 1997-10-21 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布装置

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59206079A (ja) * 1983-05-09 1984-11-21 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 塗布方法
JPS6111173A (ja) * 1984-06-26 1986-01-18 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 塗布方法及び塗布装置
JPS6178461A (ja) * 1984-09-21 1986-04-22 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 塗布方法及び塗布装置
JPS62186966A (ja) * 1986-02-12 1987-08-15 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布方法及び装置
JPS6490060A (en) * 1987-09-29 1989-04-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Coating equipment
JPH054063A (ja) * 1991-06-26 1993-01-14 Konica Corp 塗布装置
JPH05245426A (ja) * 1992-03-06 1993-09-24 Mitsubishi Paper Mills Ltd 塗布方法
JPH05345161A (ja) * 1992-06-11 1993-12-27 Konica Corp 感光材料の塗布装置
JPH0857390A (ja) * 1994-08-17 1996-03-05 Chugai Ro Co Ltd 均一塗布型ダイコータ
JPH08103711A (ja) * 1994-10-04 1996-04-23 Chugai Ro Co Ltd ダイコータ
JPH09271702A (ja) * 1996-04-02 1997-10-21 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布装置

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4573550B2 (ja) * 2004-03-23 2010-11-04 東レエンジニアリング株式会社 塗工装置
JP2005270704A (ja) * 2004-03-23 2005-10-06 Toray Eng Co Ltd 塗工装置
JP2006095456A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布液の塗布方法及び装置
JP4600741B2 (ja) * 2004-09-30 2010-12-15 富士フイルム株式会社 塗布膜付きウエブの製造方法及び製造装置
JP2006297269A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Toppan Printing Co Ltd 塗工方法および塗工装置
US8226869B2 (en) 2006-05-10 2012-07-24 3M Innovative Properties Company Method and device for replicating structure
JP2007301790A (ja) * 2006-05-10 2007-11-22 Three M Innovative Properties Co 構造複製方法及び装置
KR100727581B1 (ko) 2006-06-16 2007-06-14 세메스 주식회사 도포 장치용 노즐 및 이를 포함하는 도포 장치
JP4673261B2 (ja) * 2006-07-18 2011-04-20 東レエンジニアリング株式会社 塗工装置
JP2008023405A (ja) * 2006-07-18 2008-02-07 Toray Eng Co Ltd 塗工装置
JP2010269240A (ja) * 2009-05-21 2010-12-02 Panasonic Corp 塗布装置
CN102029242A (zh) * 2009-09-28 2011-04-27 松下电器产业株式会社 模头以及液体涂覆装置
JP2011088134A (ja) * 2009-09-28 2011-05-06 Panasonic Corp ダイヘッドおよび液体塗布装置
US9032904B2 (en) 2009-09-28 2015-05-19 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Die head and liquid coater
KR101318585B1 (ko) 2010-12-30 2013-10-15 삼성에스디아이 주식회사 코팅장치 및 이를 이용한 코팅방법
JP2012245423A (ja) * 2011-05-25 2012-12-13 Panasonic Corp 塗布装置
KR101464825B1 (ko) * 2011-05-25 2014-11-25 파나소닉 주식회사 도포 장치
CN102794988A (zh) * 2011-05-25 2012-11-28 松下电器产业株式会社 涂敷装置
JP2016167337A (ja) * 2015-03-09 2016-09-15 東レエンジニアリング株式会社 塗布装置
WO2016143511A1 (ja) * 2015-03-09 2016-09-15 東レエンジニアリング株式会社 塗布装置
CN107112496A (zh) * 2015-03-09 2017-08-29 东丽工程株式会社 涂布装置
CN107112496B (zh) * 2015-03-09 2020-07-07 东丽工程株式会社 涂布装置
CN105983511A (zh) * 2015-03-19 2016-10-05 东丽薄膜先端加工有限公司 涂布装置和涂布方法
JP2016175007A (ja) * 2015-03-19 2016-10-06 東レフィルム加工株式会社 塗布装置及び塗布方法
CN105983511B (zh) * 2015-03-19 2019-07-23 东丽薄膜先端加工有限公司 涂布装置和涂布方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4877567B2 (ja) 2012-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003053233A (ja) 塗工装置
WO2012029515A1 (ja) ウエブ塗工装置
JP3938640B2 (ja) 溶液製膜方法
JP6450618B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP4600741B2 (ja) 塗布膜付きウエブの製造方法及び製造装置
JP2015192992A (ja) ノズル及び塗液の排出方法
JP2007237128A (ja) 塗布方法及び装置
JP4841822B2 (ja) 塗布膜付きウエブの製造方法
JP4573550B2 (ja) 塗工装置
JP2005324183A (ja) 塗布工具、被塗布物の製造方法及び被塗布物
JP5329847B2 (ja) ダイ塗布方法
JP4458570B2 (ja) ダイヘッド
JPH08243476A (ja) ダイコータによるガラス基板への塗布方法
JP2006272130A (ja) 塗布液の塗布方法、塗布液の塗布装置、光学フィルム、および反射防止フィルム
JPH054063A (ja) 塗布装置
JPH11290748A (ja) カ―テンコ―ティング装置
JP4673261B2 (ja) 塗工装置
JP2772662B2 (ja) 塗布装置
JPH03123657A (ja) 塗布装置
JP2013066866A (ja) ダイコート塗工装置及び塗工方法
JPH08266981A (ja) 塗布方法及び塗布装置
JPH0857396A (ja) ダイコータ
JPH11147061A (ja) 塗布装置
JP2022185731A (ja) 塗工装置及び塗工方法
JP3448955B2 (ja) 塗布装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080717

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101116

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110111

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110706

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110930

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20111007

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111104

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111117

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4877567

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141209

Year of fee payment: 3

EXPY Cancellation because of completion of term