CN205576272U - 一种真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空镀膜机，包括：镀膜罐体,所述镀膜罐体的侧壁上开设有多个抽气口,多个所述抽气口在所述镀膜罐体的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布；多个抽气装置，每个所述抽气口均通过管道对应连接一个抽气装置。本实用新型通过在镀膜罐体的侧壁上开设多个抽气口，多个抽气口在镀膜罐体外侧壁的高度方向上布置，从而有效改善了镀膜过程中工艺反应气体在镀膜区的均匀分布，进而大大提高了镀件的整体膜层质量、外观颜色的均匀度。

Description

一种真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机的抽气系统,尤其涉及一种具有该抽气系统的真空镀膜机。

背景技术

利用真空蒸发技术在工件表面镀制一层具有特殊性能膜层的技术，已经成熟运用于工业生产及装饰材料上。目前，较大型的立式真空镀膜机，在镀膜工艺及提高生产效率的要求下，普遍采用在镀膜罐体外表面的同一水平位置上布置两个或多个出气口，组成真空镀膜机的两组抽气系统。这种水平布置的抽气系统，由于真空罐体的上下端距离，使在中间位置布置的抽气口纵向尺寸较大，而且整体抽气又集中在真空罐体的中段，工艺反应气体从加气管排出到从真空罐体抽出的过程中，罐体内镀膜区中的工艺反应气体分布不均，上下段少而中间段多，真空罐体的高度尺寸越大，上下段、中段工艺气体的分布越不均匀，从而影响镀膜质量及镀膜层颜色的均匀度。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种真空镀膜机。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种真空镀膜机，包括：

镀膜罐体,所述镀膜罐体的侧壁上开设有多个抽气口,多个所述抽气口在所述镀膜罐体的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布；

多个抽气装置，每个所述抽气口均通过管道对应连接一个抽气装置。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在镀膜罐体的侧壁上开设多个抽气口，多个抽气口在镀膜罐体外侧壁的高度方向上布置，从而有效改善了镀膜过程中工艺反应气体在镀膜区的均匀分布，进而大大提高了镀件的整体膜层质量、外观颜色的均匀度。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，多个所述抽气口中心的连线在同一条直线上。

采用上述进一步方案的有益效果是：通过设置多个抽气口中心的连线在同一条直线上，可更方便镀膜。

进一步，多个所述抽气口中心的连线与镀膜罐体的底部所在平面垂直。

采用上述进一步方案的有益效果是：通过设置多个抽气口中心的连线与镀膜罐体底部所在平面垂直，方便通过抽气系统通过抽气口将工艺反应气体排出到镀膜罐体外。

进一步,多个所述抽气口在所述镀膜罐体的侧壁上沿其高度方向错位布置。

进一步，所述镀膜罐体的侧壁上开设有2个-10个抽气口。

进一步，每个所述抽气口均一体连接有一个抽气管，每个所述抽气管上均安装有一个节流阀。

采用上述进一步方案的有益效果是：通过在抽气管上设置节流阀，可通过调节节流阀的开口大小来控制工艺反应气体在镀膜区通过的速度和时间，以达到镀膜工艺要求。

进一步，所述镀膜罐体上设有多个蒸发源，多个所述蒸发源在所述镀膜罐体侧壁上均匀布置。

进一步,所述镀膜罐体呈圆柱形结构或横截面为多边形的柱状结构。

附图说明

图1为本实施例的镀膜罐体的主视结构示意图；

图2为本实施例的镀膜罐体的俯视结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、镀膜罐体；11、抽气管；12、抽气口；13、节流阀；2、蒸发源。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1和图2所示，一种真空镀膜机，包括：

镀膜罐体1,所述镀膜罐体1的侧壁上开设有多个抽气口12,多个所述抽气口12在所述镀膜罐体1的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布；所述镀膜罐体1可以根据需要采用任意形状的柱状结构，本实施例的所述镀膜罐体1优选采用圆柱状结构或横截面为多边形的柱状结构，多变形优选采用四边形；

多个抽气装置，每个所述抽气口12均通过管道对应连接一个抽气装置。

本实施例通过在镀膜罐体的侧壁上开设多个抽气口，多个抽气口在镀膜罐体外侧壁的高度方向上布置，从而有效改善了镀膜过程中工艺反应气体在镀膜区的均匀分布，进而大大提高了镀件的整体膜层质量、外观颜色的均匀度。

本实施例的抽气口12的排布方式有两种实施方式：

实施方式一：多个所述抽气口12中心的连线在同一条直线上。多个所述抽气口12中心的连线与镀膜罐体1的底部所在平面垂直。通过设置多个抽气口中心的连线在同一条直线上，可更方便镀膜。通过设置多个抽气口中心的连线与镀膜罐体底部所在平面垂直，方便通过抽气系统通过抽气口将工艺反应气体排出到镀膜罐体外。

实施方式二：多个所述抽气口12在所述镀膜罐体1的侧壁上沿其高度方向错位布置。即各个抽气口是相互错位布置的，各个抽气口不在同一条直线上，这样的布置方式使镀膜罐体内的气体分布更均匀。

本实施例的所述镀膜罐体1的侧壁上优选开设有2个-10个抽气口12，具体更优选为4个、5个、6个、7个、8个、9个等任意个数，具体个数可根据镀膜罐体的大小和高度来具体设定。

如图1和图2所示，本实施例的每个所述抽气口12均一体连接有一个抽气管11，每个所述抽气管11上均安装有一个节流阀13。通过在抽气管上设置节流阀，可通过调节节流阀的开口大小来控制工艺反应气体在镀膜区通过的速度和时间，以达到镀膜工艺要求。

如图1和图2所示，本实施例的所述镀膜罐体1上设有多个蒸发源2，多个所述蒸发源2在所述镀膜罐体1侧壁上均匀布置。

本实施例的真空镀膜机的工作过程为：工艺反应气体通入镀膜罐体内，进入设置在镀膜罐体上蒸发源产生电离形成的镀膜区，在镀件表面上形成所需要的膜层及颜色,最后抽气装置通过抽气口将剩余的工艺反应气体排出镀膜罐体外,抽气口上设置的抽气管上安装有节流阀,通过调节节流阀的开口大小来控制工艺反应气体在镀膜区通过的速度和时间,以达到镀膜工艺的要求。

本实施例的立式真空镀膜机具有以下优点：1、本实施例的立式真空镀膜机根据镀膜工艺要求及生产效率需要有两个及多个抽气装置时，抽气口在镀膜罐体外侧壁高度方向上布置，同时根据结构和工艺要求，各个抽气口可在同一条纵线上布置，也可以在同一条纵线上相互错位布置，解决了现有的水平布置的抽气口镀膜罐体的上下段工艺气体较少、中段工艺气体较多而形成的气流分布不均匀的问题，从而影响镀件的膜层质量和膜层表面颜色不均匀的问题。2、采用抽气口在镀膜罐体侧壁上沿其高度方向上布置，使得镀膜罐体的高度不受长度较大的镀件的限制，在镀膜罐体侧壁高度方向上布置多个抽气口，以满足结构和工艺的要求。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机，其特征在于，包括:

镀膜罐体(1),所述镀膜罐体(1)的侧壁上开设有多个抽气口(12),多个所述抽气口(12)在所述镀膜罐体(1)的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布；

多个抽气装置，每个所述抽气口(12)均通过管道对应连接一个抽气装置。

2.根据权利要求1所述一种真空镀膜机，其特征在于，多个所述抽气口(12)中心的连线在同一条直线上。

3.根据权利要求2所述一种真空镀膜机，其特征在于，多个所述抽气口(12)中心的连线与镀膜罐体(1)的底部所在平面垂直。

4.根据权利要求1所述一种真空镀膜机，其特征在于，多个所述抽气口(12)在所述镀膜罐体(1)的侧壁上沿其高度方向错位布置。

5.根据权利要求1至4任一项所述一种真空镀膜机，其特征在于，所述镀膜罐体(1)的侧壁上开设有2个-10个抽气口。

6.根据权利要求1至4任一项所述一种真空镀膜机，其特征在于，每个所述抽气口(12)均一体连接有一个抽气管(11)，每个所述抽气管(11)上均安装有一个节流阀(13)。

7.根据权利要求1所述一种真空镀膜机，其特征在于，所述镀膜罐体(1)上设有多个蒸发源(2)，多个所述蒸发源(2)在所述镀膜罐体(1)侧壁上均匀布置。

8.根据权利要求1所述一种真空镀膜机，其特征在于，所述镀膜罐体(1)呈圆柱形结构或横截面为多边形的柱状结构。