JP2881154B2 - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
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- JP2881154B2 JP2881154B2 JP30375989A JP30375989A JP2881154B2 JP 2881154 B2 JP2881154 B2 JP 2881154B2 JP 30375989 A JP30375989 A JP 30375989A JP 30375989 A JP30375989 A JP 30375989A JP 2881154 B2 JP2881154 B2 JP 2881154B2
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- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造装置、分析機等、真空且高清浄
雰囲気が要求される装置の真空排気装置に関するもので
ある。
雰囲気が要求される装置の真空排気装置に関するもので
ある。
［従来の技術］ 半導体製造装置、分析機等、真空且高清浄雰囲気で各
種処理を行う装置にあっては、排気時間の長短は生産
性、稼動率を向上させる大きな要因となっている。又、
真空室内部の微塵の無有は製品品質、処理精度に大きく
影響を与える。ところが、排気時間の短縮は、急激な排
気につながり、排気の過程で活流を生じる。この乱流に
より、真空室内壁に付着した物質を剥取り微塵の発生を
招いていた。
種処理を行う装置にあっては、排気時間の長短は生産
性、稼動率を向上させる大きな要因となっている。又、
真空室内部の微塵の無有は製品品質、処理精度に大きく
影響を与える。ところが、排気時間の短縮は、急激な排
気につながり、排気の過程で活流を生じる。この乱流に
より、真空室内壁に付着した物質を剥取り微塵の発生を
招いていた。
従って、従来排気の初期は排気流量を少くし、所要の
圧力より下ったところで排気流量を大きくするという方
法をとっていた。
圧力より下ったところで排気流量を大きくするという方
法をとっていた。
第２図に於いて、従来の真空排気装置を説明する。
図中１は真空室であり、該真空室１に主排気ライン２
が接続され、該主排気ライン２の上流側より、圧力検出
器３、主電磁弁４、タービン真空ポンプ５、ロータリ真
空ポンプ６が順次設けられている。又、圧力検出器３と
主電磁弁４との間とタービン真空ポンプ５の下流側とが
主排気ライン２に比べ小口径、小容量のバイパスライン
７で接続され、該バイパスライン７に副電磁弁８が設け
られている。
が接続され、該主排気ライン２の上流側より、圧力検出
器３、主電磁弁４、タービン真空ポンプ５、ロータリ真
空ポンプ６が順次設けられている。又、圧力検出器３と
主電磁弁４との間とタービン真空ポンプ５の下流側とが
主排気ライン２に比べ小口径、小容量のバイパスライン
７で接続され、該バイパスライン７に副電磁弁８が設け
られている。
又、９は制御器であって、圧力検出器３からの信号を
基に前記主電磁弁４、副電磁弁８及び前記両真空ポンプ
5,6を動作させる様になっている。
基に前記主電磁弁４、副電磁弁８及び前記両真空ポンプ
5,6を動作させる様になっている。
斯かる真空排気装置で真空室１の排気を行う場合、先
ず主電磁弁４を閉じ、副電磁弁８を開いて、ロータリ真
空ポンプ６でバイパスライン７による排気を行う。前記
した様に、バイパスライン７は、主排気ライン２よりも
小容量であり、真空ポンプもロータリ真空ポンプ６のみ
であるので排気速度は遅い。圧力検出器３の検出圧力が
3000Paとなったところで、主電磁弁４を開き、副電磁弁
８を閉じ、更にタービン真空ポンプ５を駆動する。大口
径、大容量の主排気ライン２で而もタービン真空ポンプ
５とロータリ真空ポンプ６との２段引により排気は急速
に行われる。
ず主電磁弁４を閉じ、副電磁弁８を開いて、ロータリ真
空ポンプ６でバイパスライン７による排気を行う。前記
した様に、バイパスライン７は、主排気ライン２よりも
小容量であり、真空ポンプもロータリ真空ポンプ６のみ
であるので排気速度は遅い。圧力検出器３の検出圧力が
3000Paとなったところで、主電磁弁４を開き、副電磁弁
８を閉じ、更にタービン真空ポンプ５を駆動する。大口
径、大容量の主排気ライン２で而もタービン真空ポンプ
５とロータリ真空ポンプ６との２段引により排気は急速
に行われる。
斯かる排気による圧力の減少の様子は第３図の曲線
によって示される。
によって示される。
［発明が解決しようとする課題］ 上記した従来の真空排気装置では乱流による発塵を考
慮して、初期の排気はバイパスラインで行っているが、
それでも排気を始めた極初期は、時間に対する圧力降下
は極めて大きく、本発明者は第３図中Ａの範囲で乱流が
生じることを確認している。この為、排気初期の乱流を
防止する為バイパスラインの口径を更に小さくしてバイ
パスラインでの排気速度を制限すると、第３図曲線の
様になり、実用的な排気時間とすることができない。
慮して、初期の排気はバイパスラインで行っているが、
それでも排気を始めた極初期は、時間に対する圧力降下
は極めて大きく、本発明者は第３図中Ａの範囲で乱流が
生じることを確認している。この為、排気初期の乱流を
防止する為バイパスラインの口径を更に小さくしてバイ
パスラインでの排気速度を制限すると、第３図曲線の
様になり、実用的な排気時間とすることができない。
本発明は、斯かる事情に鑑みなされたものであり、排
気初期で乱流が生じるのを完全に防止し、更に排気時間
の短縮を図ろうとするものである。
気初期で乱流が生じるのを完全に防止し、更に排気時間
の短縮を図ろうとするものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、主排気ラインと該主排気ラインに対して排
気容量の小さいバイパスラインを有し、真空室側の圧力
が所定の値よりも大きい時にはバイパスラインで排気
し、真空室側の圧力が所定の値よりも小さくなった時に
は主排気ラインで排気する様にし、前記バイパスライン
に排気の負圧が大きくなるにしたがい開度が増大する圧
力感応型流量調整弁を設けたことを特徴とするものであ
る。
気容量の小さいバイパスラインを有し、真空室側の圧力
が所定の値よりも大きい時にはバイパスラインで排気
し、真空室側の圧力が所定の値よりも小さくなった時に
は主排気ラインで排気する様にし、前記バイパスライン
に排気の負圧が大きくなるにしたがい開度が増大する圧
力感応型流量調整弁を設けたことを特徴とするものであ
る。
［作用］ 排気の初期はバイパスラインによる排気であり、排気
の極初期は、流量調整弁は最大に絞られており、排気速
度は遅い。排気が進み排気の負圧が大きくなると流量調
整弁の開度が大きくなって、排気速度は早くなる。排気
が所定の圧力に達すると主排気ラインによる主排気が行
われる。
の極初期は、流量調整弁は最大に絞られており、排気速
度は遅い。排気が進み排気の負圧が大きくなると流量調
整弁の開度が大きくなって、排気速度は早くなる。排気
が所定の圧力に達すると主排気ラインによる主排気が行
われる。
［実 施 例］ 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明す
る。
る。
第１図中、第２図中で示したものと同一のものには同
符号を付してある。
符号を付してある。
真空室１に接続した主排気ライン２に、その上流側よ
り、圧力検出器３、主電磁弁４、タービン真空ポンプ
５、ロータリ真空ポンプ６を順次設ける。又、圧力検出
器３と主電磁弁４との間とタービン真空ポンプ５の下流
側とを主排気ライン２に比べ小容量のバイパスライン７
で接続し、該バイパスライン７に上流側より、圧力感応
型流量調整弁10、副電磁弁８を設ける。
り、圧力検出器３、主電磁弁４、タービン真空ポンプ
５、ロータリ真空ポンプ６を順次設ける。又、圧力検出
器３と主電磁弁４との間とタービン真空ポンプ５の下流
側とを主排気ライン２に比べ小容量のバイパスライン７
で接続し、該バイパスライン７に上流側より、圧力感応
型流量調整弁10、副電磁弁８を設ける。
制御器９は圧力検出器３からの信号に基づき、前記主
電磁弁４、副電磁弁８及び前記両真空ポンプ5,6を動作
させる様になっている。
電磁弁４、副電磁弁８及び前記両真空ポンプ5,6を動作
させる様になっている。
以下、作動を説明する。
主電磁弁４を閉じ、副電磁弁８を開いて、ロータリ真
空ポンプ６を駆動してバイパスライン７による排気を行
う。
空ポンプ６を駆動してバイパスライン７による排気を行
う。
前記圧力感応型流量調整弁10はスプリング11により閉
方向に付勢され、更に上流側の負圧力を該スプリング11
に抗する様に作用させる。従って、該流量調整弁10の上
流側の負圧力が小さい（圧力が大きい）時は、流量は最
小に絞られる様になっている。
方向に付勢され、更に上流側の負圧力を該スプリング11
に抗する様に作用させる。従って、該流量調整弁10の上
流側の負圧力が小さい（圧力が大きい）時は、流量は最
小に絞られる様になっている。
排気が進み負圧が大きくなるにつれ流量調整弁10の開
度が大きくなり、排気流量も大きくなる。更に、排気ラ
イン自体の口径を前記した従来の排気ラインの口径より
も大きくしておけば、排気初期、即ち3000Paに達する迄
の排気時間を短くできる。
度が大きくなり、排気流量も大きくなる。更に、排気ラ
イン自体の口径を前記した従来の排気ラインの口径より
も大きくしておけば、排気初期、即ち3000Paに達する迄
の排気時間を短くできる。
圧力検出器３の検出圧力が3000Paとなったところで、
主電磁弁４を開き、副電磁弁８を閉じ、更にタービン真
空ポンプ５を駆動する。大経口径、大容量の主排気ライ
ン２により、タービン真空ポンプ５、ロータリ真空ポン
プ６で主排気を行う。
主電磁弁４を開き、副電磁弁８を閉じ、更にタービン真
空ポンプ５を駆動する。大経口径、大容量の主排気ライ
ン２により、タービン真空ポンプ５、ロータリ真空ポン
プ６で主排気を行う。
斯かる排気の様子は、第３図の曲線に示される。
曲線に示される様に、排気を始めた極初期では、時
間に対する圧力降下は著しく緩かであって、Ａの範囲を
充分に越えたところで、圧力降下は大きくなる。而し
て、排気の総時間を従来の曲線に比べると短縮されて
いるのが分る。
間に対する圧力降下は著しく緩かであって、Ａの範囲を
充分に越えたところで、圧力降下は大きくなる。而し
て、排気の総時間を従来の曲線に比べると短縮されて
いるのが分る。
［発明の効果］ 以上述べた如く本発明よれば、真空排気に於いて、排
気初期には乱流を生じない様に充分緩やかに、乱流の生
じる範囲を越えたところでは速く排気する様にし、発塵
を防止すると共に排気時間の短縮もなし得るという優れ
た効果を発揮する。
気初期には乱流を生じない様に充分緩やかに、乱流の生
じる範囲を越えたところでは速く排気する様にし、発塵
を防止すると共に排気時間の短縮もなし得るという優れ
た効果を発揮する。
第１図は、本発明の一実施例を示す説明図、第２図は従
来例の説明図、第３図は排気状態を示す線図である。 １は真空室、２は主排気ライン、３は圧力検出器、７は
バイパスライン、10は圧力感応型流量調整弁を示す。
来例の説明図、第３図は排気状態を示す線図である。 １は真空室、２は主排気ライン、３は圧力検出器、７は
バイパスライン、10は圧力感応型流量調整弁を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】主排気ラインと該主排気ラインに対して排
気容量の小さいバイパスラインを有し、真空室側の圧力
が所定の値よりも大きい時にはバイパスラインで排気
し、真空室側の圧力が所定の値よりも小さくなった時に
は主排気ラインで排気する様にし、前記バイパスライン
に排気の負圧が大きくなるにしたがい開度が増大する圧
力感応型流量調整弁を設けたことを特徴とする真空排気
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30375989A JP2881154B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30375989A JP2881154B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03164581A JPH03164581A (ja) | 1991-07-16 |
| JP2881154B2 true JP2881154B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=17924933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30375989A Expired - Fee Related JP2881154B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2881154B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7362048B2 (ja) * | 2019-07-31 | 2023-10-17 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | 真空排気方法及び装置 |
| JP7650633B2 (ja) * | 2020-10-06 | 2025-03-25 | エドワーズ株式会社 | 真空排気システム |
-
1989
- 1989-11-22 JP JP30375989A patent/JP2881154B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03164581A (ja) | 1991-07-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |