JPS61167197A - 真空処理装置 - Google Patents
真空処理装置Info
- Publication number
- JPS61167197A JPS61167197A JP770285A JP770285A JPS61167197A JP S61167197 A JPS61167197 A JP S61167197A JP 770285 A JP770285 A JP 770285A JP 770285 A JP770285 A JP 770285A JP S61167197 A JPS61167197 A JP S61167197A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pressure
- rotary pump
- oil rotary
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は真空処理装置に関し、特に例えば半導体素子
などの製造に際して、真空減圧状態下で成膜、エツチン
グなどを行なうための、油回転ポンプを用いる真空処理
装置の改良に係るものである。
などの製造に際して、真空減圧状態下で成膜、エツチン
グなどを行なうための、油回転ポンプを用いる真空処理
装置の改良に係るものである。
従来例から使用されているこの種の真空処理装置の概要
構成を第２図に示す。すなわち、この第２図において、
符号１は真空処理槽、２はこの真空処理槽１に配管３．
荒引きバルブ４．配管５を介して管路接続された油回転
ポンプであり、また６は前記真空処理槽ｌ内の真空圧を
検出して出力する圧力ゲージ、７はこの圧力ゲージ６か
らの圧力情報信号６ａに基ずいて、前記荒引きバルブ４
にバルブ開閉命令信号７ａを指令するバルブ制御回路で
ある。
構成を第２図に示す。すなわち、この第２図において、
符号１は真空処理槽、２はこの真空処理槽１に配管３．
荒引きバルブ４．配管５を介して管路接続された油回転
ポンプであり、また６は前記真空処理槽ｌ内の真空圧を
検出して出力する圧力ゲージ、７はこの圧力ゲージ６か
らの圧力情報信号６ａに基ずいて、前記荒引きバルブ４
にバルブ開閉命令信号７ａを指令するバルブ制御回路で
ある。
そしてこの従来例構成の場合、油回転ポンプ２の作動に
伴ない、閉弁されている荒引きバルブ４までの配管５内
を真空引きしている状態で、大気圧下にある真空処理槽
１内を真空減圧させるのには、バルブ制御回路７からバ
ルブ開閉命令信号７ａを出力し、荒引きバルブ４を開弁
じて真空処理槽１内を真空引きし、ついで同真空処理槽
１内が所定の真空圧に達したときには、その真空圧を圧
力ゲージ６により検出させ、この圧力ゲージ６からの圧
力情報信号６ａに基すいて、バルブ制御回路７より再度
バルブ開閉命令信号７ａを出力し、荒引きバルブ４を閉
弁して真空引きを完了するようにしている。
伴ない、閉弁されている荒引きバルブ４までの配管５内
を真空引きしている状態で、大気圧下にある真空処理槽
１内を真空減圧させるのには、バルブ制御回路７からバ
ルブ開閉命令信号７ａを出力し、荒引きバルブ４を開弁
じて真空処理槽１内を真空引きし、ついで同真空処理槽
１内が所定の真空圧に達したときには、その真空圧を圧
力ゲージ６により検出させ、この圧力ゲージ６からの圧
力情報信号６ａに基すいて、バルブ制御回路７より再度
バルブ開閉命令信号７ａを出力し、荒引きバルブ４を閉
弁して真空引きを完了するようにしている。
しかしながら前記のように作動制御される従来の真空処
理装置では、荒引きバルブ４を開弁する以前は、油回転
ポンプ２側が真空圧、真空処理槽１側が大気圧になって
おり、これらの両者間の圧力差が非常に大きいため、こ
の圧力差によって荒引きバルブ４を開弁じた瞬間に、真
空処理槽ｌ内に激しい乱気流を生じ、これが同種１内で
の好ましくない発塵の原因になるという問題点を看する
ものであった。
理装置では、荒引きバルブ４を開弁する以前は、油回転
ポンプ２側が真空圧、真空処理槽１側が大気圧になって
おり、これらの両者間の圧力差が非常に大きいため、こ
の圧力差によって荒引きバルブ４を開弁じた瞬間に、真
空処理槽ｌ内に激しい乱気流を生じ、これが同種１内で
の好ましくない発塵の原因になるという問題点を看する
ものであった。
この発明は従来のこのような欠点に鑑み、真空処理槽に
対する真空引き時の圧力差を解消して、同槽内での乱気
流発生を防ｌにしＶ＋＋るようにした真空処理装置を提
供することを「Ｉ的とする。
対する真空引き時の圧力差を解消して、同槽内での乱気
流発生を防ｌにしＶ＋＋るようにした真空処理装置を提
供することを「Ｉ的とする。
前記目的を達成するために、この発明に係る真空処理装
置は、真空処理装置側の圧力ゲージに併せて、油回転ポ
ンプ側にも圧力ゲージ、それに大気圧開放のための窒素
パージバルブを設け、これらの真空処理装置側、および
油回転ポンプ側それぞれの各圧力ゲージの圧力情報信号
をバルブ制御回路に入力させて、このバルブ制御回路に
より所定の作動シーケンスに従い、荒引きバルブ、およ
び窒素パージバルブの開閉制御をなすと共に、真空処理
装置側圧力ゲージの圧力情報信号と、バルブ制御回路の
作動制御信号とを油回転ポンプ制御回路に入力させ、こ
の油回転ポンプ制御回路により所定の作動シーケンスに
従い、油回転ポンプの真空圧に対応した回転数制御、お
よび作動制御をなすようにしたものである。
置は、真空処理装置側の圧力ゲージに併せて、油回転ポ
ンプ側にも圧力ゲージ、それに大気圧開放のための窒素
パージバルブを設け、これらの真空処理装置側、および
油回転ポンプ側それぞれの各圧力ゲージの圧力情報信号
をバルブ制御回路に入力させて、このバルブ制御回路に
より所定の作動シーケンスに従い、荒引きバルブ、およ
び窒素パージバルブの開閉制御をなすと共に、真空処理
装置側圧力ゲージの圧力情報信号と、バルブ制御回路の
作動制御信号とを油回転ポンプ制御回路に入力させ、こ
の油回転ポンプ制御回路により所定の作動シーケンスに
従い、油回転ポンプの真空圧に対応した回転数制御、お
よび作動制御をなすようにしたものである。
従ってこの発明においては、油回転ポンプを始動初期に
は低速回転に維持させ、かつ真空圧の上■に伴い次第に
高速回転に移行させるように制御させることで、真空処
理槽内の気流の乱れを可及的に抑制した状態で真空引き
作動を行ない得るのである。
は低速回転に維持させ、かつ真空圧の上■に伴い次第に
高速回転に移行させるように制御させることで、真空処
理槽内の気流の乱れを可及的に抑制した状態で真空引き
作動を行ない得るのである。
以下この発明に係る真空処理装置の一実施例につき、第
１図を参照して詳細に説明する。
１図を参照して詳細に説明する。
第１図はこの実施例による真空処理装置の概要を示すブ
ロック構成図である。この第１図実施例構成において、
符号１１は真空処理槽、１２はこの真空処理槽１１に配
管１３．荒引きバルブ１４．配管１５を介して管路接続
された油回転ポンプであり、これらによって真空系を構
成している。また１６は前記真空処理槽１１内の真空圧
を検出して、圧力情報信号ｌｅａ 、 １８ｂを出力す
る圧力ゲージ、１７は前記配管１５内の圧力を検出して
、圧力情報信号１？ａを出力する圧力ゲージ、１８は前
記配管１５内を大気圧に開放する窒素ガスパージバルブ
である。さらに１９は前記各圧力ゲージ１８．１７から
の圧力情報信号１６ａ。
ロック構成図である。この第１図実施例構成において、
符号１１は真空処理槽、１２はこの真空処理槽１１に配
管１３．荒引きバルブ１４．配管１５を介して管路接続
された油回転ポンプであり、これらによって真空系を構
成している。また１６は前記真空処理槽１１内の真空圧
を検出して、圧力情報信号ｌｅａ 、 １８ｂを出力す
る圧力ゲージ、１７は前記配管１５内の圧力を検出して
、圧力情報信号１？ａを出力する圧力ゲージ、１８は前
記配管１５内を大気圧に開放する窒素ガスパージバルブ
である。さらに１９は前記各圧力ゲージ１８．１７から
の圧力情報信号１６ａ。
１７ａに基すいて、前記荒引きバルブ１４．窒素ガスパ
ージバルブ１８にバルブ開閉命令信号１９ａｊ９ｂを指
令するバルブ制御回路、２０は前記圧力ゲージ１８から
の圧力情報信号１６ｂ、およびバルブ制御回路１９から
の作動制御信号１９ｃに基すいて、前記油回転ポンプ１
２に作動１回転数制御命令性号２０ａを指令する油回転
ポンプ制御回路であり、これらの各制御回路１９．２０
には、所定の動作シーケンスを組込んである。
ージバルブ１８にバルブ開閉命令信号１９ａｊ９ｂを指
令するバルブ制御回路、２０は前記圧力ゲージ１８から
の圧力情報信号１６ｂ、およびバルブ制御回路１９から
の作動制御信号１９ｃに基すいて、前記油回転ポンプ１
２に作動１回転数制御命令性号２０ａを指令する油回転
ポンプ制御回路であり、これらの各制御回路１９．２０
には、所定の動作シーケンスを組込んである。
次にこの実施例装置の動作について述べる。
真空引き開始前にあって、真空処理槽１１側、および油
回転ポンプ１２側は共に大気圧に開放されており、これ
らの両者の圧力状態はそれぞれに圧力ゲージ１８．１７
により検出され、その圧力情報信号１６ａ、１７ａがバ
ルブ制御回路１８に入力されていて、荒引きバルブ１４
．窒素パージバルブ１８は共に閉弁状態にある。
回転ポンプ１２側は共に大気圧に開放されており、これ
らの両者の圧力状態はそれぞれに圧力ゲージ１８．１７
により検出され、その圧力情報信号１６ａ、１７ａがバ
ルブ制御回路１８に入力されていて、荒引きバルブ１４
．窒素パージバルブ１８は共に閉弁状態にある。
前記状態において、今、真空処理槽ｌｌ内を真空引きす
るのには、各圧力ゲージ１８．１７の圧力情報信号＋６
ａ、＋７ａの下に、バルブ制御回路１８からはバルブ開
閉命令信号１９ａを出力させて、荒引きバルブ１４を開
弁させると共に、このパルプ制Ｗ＠路１９からの作動制
御信号１９ｃの下に、油回転ポンプ制御回路２０からは
作動２回転数制御命令性号２０ａを出力させて、油回転
ポンプ１１を始動させる。
るのには、各圧力ゲージ１８．１７の圧力情報信号＋６
ａ、＋７ａの下に、バルブ制御回路１８からはバルブ開
閉命令信号１９ａを出力させて、荒引きバルブ１４を開
弁させると共に、このパルプ制Ｗ＠路１９からの作動制
御信号１９ｃの下に、油回転ポンプ制御回路２０からは
作動２回転数制御命令性号２０ａを出力させて、油回転
ポンプ１１を始動させる。
しかして前記油回転ポンプ１１は常時制御回路２０から
の作動１回転数制御命令性号２０ａにより制御されてお
り、始動初期には低速回転に維持され、かつ真空圧のＪ
−Ｒに伴い次第に高速回転に移行されて、真空処理槽１
１内の気流の乱れを可及的に抑制した状態で真空引き作
動がなされる。
の作動１回転数制御命令性号２０ａにより制御されてお
り、始動初期には低速回転に維持され、かつ真空圧のＪ
−Ｒに伴い次第に高速回転に移行されて、真空処理槽１
１内の気流の乱れを可及的に抑制した状態で真空引き作
動がなされる。
ついで真空処理槽１１内の真空圧が所定の設定値に達す
ると、これを圧力ゲージ１６が検出して、圧力情報信号
１６ａをバルブ制御回路１９に入力させ、このバルブ制
御回路１９では、バルブ開閉命令信号＋９ａを出力して
、荒引きバルブ１３を閉弁させると共に、同時に作動制
御信号１９ｃを油回転ポンプ制御回路２０に出力して、
この油回転ポンプ制御回路２０からの作動９回転数制御
命令性号２０ａにより、油回転ポンプ１２を停止させ、
その後、バルブ制御回路１９からバルブ開閉命令性ｑ
ｔ９ｂを出力し、窒素パージバルブＩ８を開弁して油回
転ポンプＩ２側をｍ−大気圧に開放し、再度これを閉弁
して大気圧に維持Ｘせておくのである。
ると、これを圧力ゲージ１６が検出して、圧力情報信号
１６ａをバルブ制御回路１９に入力させ、このバルブ制
御回路１９では、バルブ開閉命令信号＋９ａを出力して
、荒引きバルブ１３を閉弁させると共に、同時に作動制
御信号１９ｃを油回転ポンプ制御回路２０に出力して、
この油回転ポンプ制御回路２０からの作動９回転数制御
命令性号２０ａにより、油回転ポンプ１２を停止させ、
その後、バルブ制御回路１９からバルブ開閉命令性ｑ
ｔ９ｂを出力し、窒素パージバルブＩ８を開弁して油回
転ポンプＩ２側をｍ−大気圧に開放し、再度これを閉弁
して大気圧に維持Ｘせておくのである。
すなわち、このようにして実施例装置の構成では、真空
処理槽内の気流の乱れを可及的に抑制した状態で、真空
引きを行なうことができるのである。
処理槽内の気流の乱れを可及的に抑制した状態で、真空
引きを行なうことができるのである。
以上詳述したようにこの発明によれば、真空処理槽、荒
引きバルブ、および油回転ポンプによる真空系において
、真空処理槽側、および油回転ポンプ側を共に大気圧状
態から、油回転ポンプを始動初期には低速回転に維持さ
せ、かつ真空圧の−にｙに伴い次第に高速回転に移行制
御させるようにしたから、真空処理槽内の気運の乱れを
可及的に抑制した状態での真空引き作動が可能となり、
従って真空処理槽内の発塵を効果的に防止でき、併せて
油回転ポンプの作動回転数の可変制御に伴い真空減圧の
ための排気時間を短縮し得るなどの特長を有するもので
ある。
引きバルブ、および油回転ポンプによる真空系において
、真空処理槽側、および油回転ポンプ側を共に大気圧状
態から、油回転ポンプを始動初期には低速回転に維持さ
せ、かつ真空圧の−にｙに伴い次第に高速回転に移行制
御させるようにしたから、真空処理槽内の気運の乱れを
可及的に抑制した状態での真空引き作動が可能となり、
従って真空処理槽内の発塵を効果的に防止でき、併せて
油回転ポンプの作動回転数の可変制御に伴い真空減圧の
ための排気時間を短縮し得るなどの特長を有するもので
ある。
第１図はこの発明に係る真空処理装置の一実施例による
概要を示すブロック構成図であり、また第２図は同」二
従来例装置の概要を示すブロック構成図である。 １１・・・・真空処理槽、１２・・・・油回転ポンプ、
１４・・・・荒引きバルブ、１６・・・・真空処理槽側
の圧力ゲージ、１［１ａ、１８ｂ・・・・同圧力ゲージ
の圧力情報信号および作動制御信号、１７・・・・油回
転ポンプ側の圧力ゲージ、１７ａ・・・・同圧力ゲージ
の圧力情報信号、１８・・・・窒素ガスパージバルブ、
１９・・・・バルブ制御回路、１９ａ、１９ｂ、および
１９ｃ・・・・同バルブ開閉命令信号および作動制御信
号、２０・・・・油回転ポンプ制御回路、２０ａ・・・
・開作動１回転数制御命令値号。 第１図 １４： 戎３）づべ゛ルフ″ １６．１７ ： 丘カゲ“−ジ １８： なキがスパーシバ’＋Ｖブ 第２図 □・
概要を示すブロック構成図であり、また第２図は同」二
従来例装置の概要を示すブロック構成図である。 １１・・・・真空処理槽、１２・・・・油回転ポンプ、
１４・・・・荒引きバルブ、１６・・・・真空処理槽側
の圧力ゲージ、１［１ａ、１８ｂ・・・・同圧力ゲージ
の圧力情報信号および作動制御信号、１７・・・・油回
転ポンプ側の圧力ゲージ、１７ａ・・・・同圧力ゲージ
の圧力情報信号、１８・・・・窒素ガスパージバルブ、
１９・・・・バルブ制御回路、１９ａ、１９ｂ、および
１９ｃ・・・・同バルブ開閉命令信号および作動制御信
号、２０・・・・油回転ポンプ制御回路、２０ａ・・・
・開作動１回転数制御命令値号。 第１図 １４： 戎３）づべ゛ルフ″ １６．１７ ： 丘カゲ“−ジ １８： なキがスパーシバ’＋Ｖブ 第２図 □・
Claims (1)
- 真空処理槽、荒引きバルブ、および油回転ポンプからな
る真空系と、真空処理槽側の圧力を検出して圧力情報信
号を出力する圧力ゲージと、油回転ポンプ側の圧力を検
出して圧力情報信号を出力する圧力ゲージ、および油回
転ポンプ側を大気圧に開放する窒素ガスパージバルブと
、前記真空処理装置側、および油回転ポンプ側各圧力ゲ
ージの圧力情報信号により、前記荒引きバルブ、および
窒素パージバルブの開閉制御をなすバルブ制御回路と、
前記真空処理装置側圧力ゲージの圧力情報信号、および
前記バルブ制御回路の作動制御信号により、前記油回転
ポンプを真空圧に対応して回転数制御、および作動制御
をなす油回転ポンプ制御回路とを備え、前記油回転ポン
プを始動初期には低速回転に維持し、かつ真空圧の上昇
に伴つて次第に高速回転に移行制御し得るようにしたこ
とを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP770285A JPS61167197A (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP770285A JPS61167197A (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 真空処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61167197A true JPS61167197A (ja) | 1986-07-28 |
Family
ID=11673083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP770285A Pending JPS61167197A (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61167197A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016046285A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
| GB2592573A (en) * | 2019-12-19 | 2021-09-08 | Leybold France S A S | Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method. |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5419207A (en) * | 1977-07-13 | 1979-02-13 | Toshiba Corp | Control device of leak valve |
| JPS5641192B2 (ja) * | 1978-08-11 | 1981-09-26 | ||
| JPS58145380A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビ−ム溶接機真空排気システム |
-
1985
- 1985-01-18 JP JP770285A patent/JPS61167197A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5419207A (en) * | 1977-07-13 | 1979-02-13 | Toshiba Corp | Control device of leak valve |
| JPS5641192B2 (ja) * | 1978-08-11 | 1981-09-26 | ||
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016046285A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
| GB2592573A (en) * | 2019-12-19 | 2021-09-08 | Leybold France S A S | Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method. |
| CN114787517A (zh) * | 2019-12-19 | 2022-07-22 | 莱宝法国有限责任公司 | 润滑剂密封真空泵、润滑剂过滤器和方法 |
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