JPH03161042A - 真空排気系 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はスパッタリング装置等の真空成膜装置に用い
られる真空排気系に関するものである。

（従来の技術） スパッタリング装置に用いられる従来の真空排気系は第
２図に示されており、同図において、真空処理室ｌと真
空回転ボンプ２とは粗引用排気管３で接続され、その粗
引用排気管３の途中には粗引用バルブ４が設けられてい
る。また、真空処理室ｌとターボ分子ボンブ５とは本引
用排気管６で接続され、その本引用排気管６の途中には
排気されるガスの流れにしたがって主バルブ７、コンダ
クタンスバルブ８、冷却用トラップ９の順序でこれらが
設けられている。なお、図において、ＩＯはガス導入管
、１１は補助バルブである。

このような真空排気系において、真空処理室ｌ内を真空
排気するには、最初、真空回転ポンプ２で粗引き排気す
る。その後、ターボ分子ボンプ５で本引き排気する。そ
して、このような本引き排気により、真空処理室１内が
所定の圧力、例えば、スパッタリング装置では１０”′
〜１０’Ｐａに達すると、今度は、ガス導入管１０より
ガスを導入しながら、コンダクタンスバルブ８の開度を
絞って排気速度を制御する。このとき、排気されるガス
は、コンダクタンスバルブ８で排気速度を制御された後
、冷却用トラップ９で冷却され、ガス中の水分が除去さ
れるようになる。このような排気速度の制御によ０、真
空処理室ｌ内の圧力は昇圧して、所定の圧力に維持され
る。スパッタリング装置の場合、維持される圧力は１０
”Ｐａ台である。なお、このときの真空処理室ｌ内に導
入されるガス流量は２　０　ｓｅｃｍ　〜２　０　０　
ｓｅｃｍである。

（発明が解決しようとする課題） 従来の真空排気系は、上記のようにターボ分子ボンプ５
で排気されるガスがコンダクタンスバルブ８で排気速度
を制御されてから、冷却用トラップ９で冷却され、ガス
中の水分が除去されるようにしている。そのため、コン
ダクタンスバルブ８で排気速度を減速すると、これに伴
って、冷却用トラップ９によるガス中の水分除去速度も
減速するようになる。このようにして排気されるガス中
の水分除去速度が減速されると、真空処理室ｌ内の水の
分圧が高くなり、スパッタリングによる成膜時の膜質が
水の分圧の影響を受けて低下する問題が起きた。

この発明の目的は、従来の問題を解決して、排気速度を
減速制御しても、真空処理室内の水の分圧が高くならず
、成膜時の膜質の低下しない真空排気系を提供すること
にある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、この発明は、真空処理室と
ターボ分子ボンブとを接続する排気管の途中に冷却用ト
ラップを設けている真空排気系において、上記冷却用ト
ラップと上記ターボ分子ポンプとの間の排気管の途中に
コンダクタンスバルブを設けたことを特徴とするもので
ある。

（作用） この発明において、コンダクタンスバルブで排気速度を
制御しながら真空処理室内のガスをターボ分子ポンプで
排気するとき、そのガスは冷却用トラップで冷却され、
水分除去されてから、コンダクタンスバルブを通過する
ようになる。

（実施例） 以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。

第ｌ図はこの発明の実施例を示しており、同図において
、真空処理室１とターボ分子ボンプ５とを接続する本引
用排気管６の途中には、排気されるガスの流れにしたが
って主バルブ７、冷却用トラップ９、コンダクタンスバ
ルブ８の順序でこれらが設けられている。したがって、
冷却用トラップ９とターボ分子ボンプ５との間の本引用
排気管６の途中にコンダクタンスバルブ８が設けられて
いる。なお、その他の符号は従来のものを示す第２図と
同一につき説明を省略する。

このような実施例において、真空処理室ｌ内を真空排気
する手順および排気速度を制御する方法は、従来と同様
であるので、その説明を省略するが、従来と相違して、
コンダクタンスバルブ８で排気速度を制御しながら真空
処理室ｌ内のガスをターボ分子ボンプ５で排気するとき
、そのガスは冷却用トラップ９で冷却され、水分除去さ
れてから、コンダクタンスバルブ８を通過するようにな
る。したがって、コンダクタンスバルブ８で排気速度が
制御により減速されても、冷却用トラップ９でのガス中
の水分除去速度はほとんど減速しない。この理由は、コ
ンダクタンスバルブ８の上流側に冷却用トラップ９が位
置しているためである。

このようにコンダクタンスバルブ８での排気速度を制御
しても、冷却用トラップ９でのガス中の水分除去速度は
ほとんど減速しないから、真空処理室１内の水の分圧は
高くならず、スパッタリングによる或膜時の膜質が低下
しなくなる。

（発明の効果） この発明は、上記のようにコンダクタンスバルブで排気
速度を制御しながら真空処理室内のガスをターボ分子ボ
ンブで排気するとき、そのガスは冷却用トラップで冷却
され、水分除去されてから、コンダクタンスバルブを通
過するようになるので、冷却用トラップでのガス中の水
分除去速度はほとんど減速しなくなる。そのため、真空
処理室内の水の分圧は高くならず、成膜時の膜質が低下
しなくなる。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図はこの発明の実施例を示す説明図、第２図は従来
の真空排気系を示す説明図である。 図中、 ｌ・・・・・真空処理室 ５　−　●　・　● ６　・　・　・　・ ８　・　・　・　・ ９　・　・　・　・ なお、図中、 示す。 ・ターボ分子ポンプ ・本引用排気管 ・コンダクタンスバルブ ・冷却用トラップ 同一符号は同一または相当部分を

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．真空処理室とターボ分子ポンプとを接続する排気管
   の途中に冷却用トラップを設けている真空排気系におい
   て、上記冷却用トラップと上記ターボ分子ポンプとの間
   の排気管の途中にコンダクタンスバルブを設けたことを
   特徴とする真空排気系。