JPH06185621A - 真空排気方法 - Google Patents
真空排気方法Info
- Publication number
- JPH06185621A JPH06185621A JP35576892A JP35576892A JPH06185621A JP H06185621 A JPH06185621 A JP H06185621A JP 35576892 A JP35576892 A JP 35576892A JP 35576892 A JP35576892 A JP 35576892A JP H06185621 A JPH06185621 A JP H06185621A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- vacuum
- pressure
- exhaust
- inert gas
- Prior art date
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- Pending
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- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 加熱が不可能な真空チャンバーを高真空領域
以下の圧力まで真空排気するのに要する時間を短縮でき
る排気方法を提供する。 【構成】 真空チャンバー内を大気圧から所定の中間圧
力まで排気した後、真空チャンバー内に乾燥不活性ガス
を導入し、不活性ガスの導入を遮断した後、再度到達圧
力まで排気する。
以下の圧力まで真空排気するのに要する時間を短縮でき
る排気方法を提供する。 【構成】 真空チャンバー内を大気圧から所定の中間圧
力まで排気した後、真空チャンバー内に乾燥不活性ガス
を導入し、不活性ガスの導入を遮断した後、再度到達圧
力まで排気する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空チャンバーを真
空に排気する方法に関し、到達圧力までの排気時間を短
縮できるようにしたものである。
空に排気する方法に関し、到達圧力までの排気時間を短
縮できるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】真空チャンバーを真空排気するには、真
空チャンバーに導管を介して接続した排気ポンプで真空
チャンバー内の気体を排気している。排気ポンプには油
回転ポンプ、メカニカルブースター、油拡散ポンプ、ス
パッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプ等種々の形式の
ものがあり、真空チャンバー内に必要な到達真空圧力、
残留ガスの種類等を考慮して、最適な形式を選定して、
排気系を構成するようにしている。
空チャンバーに導管を介して接続した排気ポンプで真空
チャンバー内の気体を排気している。排気ポンプには油
回転ポンプ、メカニカルブースター、油拡散ポンプ、ス
パッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプ等種々の形式の
ものがあり、真空チャンバー内に必要な到達真空圧力、
残留ガスの種類等を考慮して、最適な形式を選定して、
排気系を構成するようにしている。
【０００３】真空チャンバー内の到達真空圧力を高真空
領域（１０-8 Torr ＝以下の圧力）以下とする場合に
は、前記真空チャンバー壁や導管を加熱して、内壁に吸
着した水分子を脱着させ、排気するようにしている。水
分子の吸着エネルギーが高いので、加熱を必要としたも
ので、加熱をしないで所要の到達真空圧力まで排気する
には長時間の排気時間を必要としていた。
領域（１０-8 Torr ＝以下の圧力）以下とする場合に
は、前記真空チャンバー壁や導管を加熱して、内壁に吸
着した水分子を脱着させ、排気するようにしている。水
分子の吸着エネルギーが高いので、加熱を必要としたも
ので、加熱をしないで所要の到達真空圧力まで排気する
には長時間の排気時間を必要としていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記真空チャンバー
は、その内部に真空の空間を形成するものであり、真空
チャンバー内には、種々の製品、部材その他の真空処理
対象物が収容され、真空処理対象物によっては、真空チ
ャンバーの加熱ができない場合がある。処理対象物も加
熱される為である。
は、その内部に真空の空間を形成するものであり、真空
チャンバー内には、種々の製品、部材その他の真空処理
対象物が収容され、真空処理対象物によっては、真空チ
ャンバーの加熱ができない場合がある。処理対象物も加
熱される為である。
【０００５】このような場合、真空処理対象物を真空チ
ャンバーに収容する際、真空チャンバーが大気圧に解放
され、大気中の水分が真空チャンバーの内壁に吸着する
ので、高真空領域まで真空排気するのに、長時間の排気
時間を必要として、作業能率が悪い問題点があった。
ャンバーに収容する際、真空チャンバーが大気圧に解放
され、大気中の水分が真空チャンバーの内壁に吸着する
ので、高真空領域まで真空排気するのに、長時間の排気
時間を必要として、作業能率が悪い問題点があった。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】この発明は前記の如くの問
題点に鑑みてなされたもので、加熱が不可能な真空チャ
ンバーを高真空領域以下の圧力まで真空排気するのに要
する時間を短縮できる排気方法を提供することを目的と
している。
題点に鑑みてなされたもので、加熱が不可能な真空チャ
ンバーを高真空領域以下の圧力まで真空排気するのに要
する時間を短縮できる排気方法を提供することを目的と
している。
【０００７】斯る目的を達成するこの発明の真空排気方
法は、真空チャンバー内を真空に排気する方法であっ
て、真空チャンバー内を大気圧から所定の中間圧力まで
排気した後、真空チャンバー内に乾燥不活性ガスを導入
し、不活性ガスの導入を遮断した後、再度到達圧力まで
排気することを特徴としたものである。
法は、真空チャンバー内を真空に排気する方法であっ
て、真空チャンバー内を大気圧から所定の中間圧力まで
排気した後、真空チャンバー内に乾燥不活性ガスを導入
し、不活性ガスの導入を遮断した後、再度到達圧力まで
排気することを特徴としたものである。
【０００８】前記乾燥不活性ガスとしては、乾燥アルゴ
ンガス、乾燥窒素ガスなどを使用することができる。夫
々、不純物濃度が１ ppm以下のものとして露点が−７５
℃以下が、到達圧力として１０-8 Torr 以下の高真空を
得る場合には必要である。
ンガス、乾燥窒素ガスなどを使用することができる。夫
々、不純物濃度が１ ppm以下のものとして露点が−７５
℃以下が、到達圧力として１０-8 Torr 以下の高真空を
得る場合には必要である。
【０００９】
【作用】この発明の排気方法によれば、大気圧に解放し
た後の真空チャンバーを高真空領域以下の到達圧力まで
短時間で排気することができる。真空チャンバーの内壁
や、真空チャンバー内に収容した真空処理対象物に吸着
した水分子の脱着が、導入した乾燥不活性ガスによって
促進されると考えられる。
た後の真空チャンバーを高真空領域以下の到達圧力まで
短時間で排気することができる。真空チャンバーの内壁
や、真空チャンバー内に収容した真空処理対象物に吸着
した水分子の脱着が、導入した乾燥不活性ガスによって
促進されると考えられる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例について説明する。
図１は実施例で使用した真空システムで、アルミニウム
製の真空チャンバー（容積１５０ l）にゲートバルブ２
を介して、ターボ分子ポンプ３（排気速度１５００ l／
sec ）と油回転ポンプ４（排気速度６００ l／min ）で
なる排気系５を接続すると共に、真空チャンバー１の別
の側壁にバルブ６を介してガス導入系７を接続した。ガ
ス導入系７は、乾燥不活性ガスボンベ８（図は乾燥窒素
ガスで示した）、水分除去フィルター９を有しており、
配管１０の途中には更に、流量計、圧力調整弁等が介設
されているが、これらは図示を省略してある。
図１は実施例で使用した真空システムで、アルミニウム
製の真空チャンバー（容積１５０ l）にゲートバルブ２
を介して、ターボ分子ポンプ３（排気速度１５００ l／
sec ）と油回転ポンプ４（排気速度６００ l／min ）で
なる排気系５を接続すると共に、真空チャンバー１の別
の側壁にバルブ６を介してガス導入系７を接続した。ガ
ス導入系７は、乾燥不活性ガスボンベ８（図は乾燥窒素
ガスで示した）、水分除去フィルター９を有しており、
配管１０の途中には更に、流量計、圧力調整弁等が介設
されているが、これらは図示を省略してある。
【００１１】真空チャンバー１は、前壁１ａを開閉扉と
して、開放できるようになっており、チャンバー１内に
真空処理対象物を出入れできるようになっている。
して、開放できるようになっており、チャンバー１内に
真空処理対象物を出入れできるようになっている。
【００１２】上記のように構成された真空システムの排
気特性を示したのが図２である。
気特性を示したのが図２である。
【００１３】曲線ａは、真空チャンバー１を大気に開放
した後、ターボ分子ポンプ３および油回転ポンプ４で構
成した排気系５で排気した場合の特性で、２００分で８
×１０-8 Torr の到達圧力が得られた。
した後、ターボ分子ポンプ３および油回転ポンプ４で構
成した排気系５で排気した場合の特性で、２００分で８
×１０-8 Torr の到達圧力が得られた。
【００１４】曲線ｂは、この発明の排気方法によるもの
で、前記と同様に大気へ開放後、排気を開始した後、真
空チャンバー１内の圧力が約１×１０-1 Torr に低下し
た時、ゲートバルブ２を閉めて排気系５の接続を遮断
し、バルブ６を開けて、乾燥窒素ガス（不純物濃度１ p
pm以下、露点−７５℃以下）を真空チャンバー１へ大気
圧近辺まで導入した。
で、前記と同様に大気へ開放後、排気を開始した後、真
空チャンバー１内の圧力が約１×１０-1 Torr に低下し
た時、ゲートバルブ２を閉めて排気系５の接続を遮断
し、バルブ６を開けて、乾燥窒素ガス（不純物濃度１ p
pm以下、露点−７５℃以下）を真空チャンバー１へ大気
圧近辺まで導入した。
【００１５】然る後、バルブ６を閉じて、乾燥窒素ガス
の導入を遮断すると共に、ゲートバルブ２を開けて、再
び排気した。このような排気を行うことによって、８×
１０-8 Torr までの排気時間は、曲線ａの２００分に比
べて約２０分（１０％）短縮されて、約１８０分に短縮
できると共に、真空チャンバー１を１０-9 Torr 台まで
到達圧力を低くすることができた。
の導入を遮断すると共に、ゲートバルブ２を開けて、再
び排気した。このような排気を行うことによって、８×
１０-8 Torr までの排気時間は、曲線ａの２００分に比
べて約２０分（１０％）短縮されて、約１８０分に短縮
できると共に、真空チャンバー１を１０-9 Torr 台まで
到達圧力を低くすることができた。
【００１６】真空排気の途中で、乾燥窒素ガスを導入し
て、一旦真空チャンバー１内の圧力を上昇させることに
よって、真空チャンバー１の内壁に吸着した水分子の脱
着が促進される結果、排気時間の短縮、到達真空圧力の
低下が図られたものと認められる。
て、一旦真空チャンバー１内の圧力を上昇させることに
よって、真空チャンバー１の内壁に吸着した水分子の脱
着が促進される結果、排気時間の短縮、到達真空圧力の
低下が図られたものと認められる。
【００１７】前記乾燥窒素は、乾燥アルゴンなどの他の
不活性ガスとすることもできる。これらの乾燥不活性ガ
スの導入時期、即ち真空チャンバー１内の中間圧力は１
Torr 〜１×１０-6 Torr の領域で行うのが効果的と認
められた。１ Torr より高い圧力では、水分子の脱着を
促進する効果は無く、１×１０-6 Torr より低い圧力で
は、排気時間の短縮効果が無くなる為である。
不活性ガスとすることもできる。これらの乾燥不活性ガ
スの導入時期、即ち真空チャンバー１内の中間圧力は１
Torr 〜１×１０-6 Torr の領域で行うのが効果的と認
められた。１ Torr より高い圧力では、水分子の脱着を
促進する効果は無く、１×１０-6 Torr より低い圧力で
は、排気時間の短縮効果が無くなる為である。
【００１８】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば、乾燥不活性ガスの導入によって排気時間の短縮、到
達真空圧力の低下を図ることができ、真空チャンバーを
加圧できない場合でも、高真空領域以下の圧力への真空
排気を能率良くできる効果がある。
ば、乾燥不活性ガスの導入によって排気時間の短縮、到
達真空圧力の低下を図ることができ、真空チャンバーを
加圧できない場合でも、高真空領域以下の圧力への真空
排気を能率良くできる効果がある。
【図１】この発明の実施例の真空システムの構成図であ
る。
る。
【図２】同じく実施例の真空システムの排気特性のグラ
フである。
フである。
１ 真空チャンバー ２ ゲートバルブ ３ ターボモレキュラーポンプ ４ 油回転ポンプ ５ 排気系 ６ バルブ ７ ガス導入系 ８ 乾燥不活性ガスボンベ ９ 水分除去フィルター １０ 配管
Claims (1)
- 【請求項１】 真空チャンバー内を真空に排気する方法
であって、真空チャンバー内を大気圧から所定の中間圧
力まで排気した後、真空チャンバー内に乾燥不活性ガス
を導入し、不活性ガスの導入を遮断した後、再度到達圧
力まで排気することを特徴とする真空排気方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35576892A JPH06185621A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 真空排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35576892A JPH06185621A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 真空排気方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185621A true JPH06185621A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18445656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35576892A Pending JPH06185621A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 真空排気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06185621A (ja) |
-
1992
- 1992-12-17 JP JP35576892A patent/JPH06185621A/ja active Pending
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