JPH04159466A - 真空装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は真空装置に関する。

（従来の技術） 成膜装置のような真空容器を真空化するのに利用する真
空装置に、真空ポンプが使用されている。

この種真空ポンプとして、ターボ分子ポンプを使用する
か、またはこれにクライオポンプを追加装備することが
行なわれている。

（発明が解決しようとする課題） しかしターボ分子ポンプを使用する場合は、排気に要す
る時間が長くなる欠点がある。またこれにクライオポン
プを追加装備し、ターボ分子ポンプを粗排気に使用し、
本排気にクライオポンプを使用すれば、排気に要する時
間が短縮されるが。

しかし構成が煩雑となり、しかも高価となる欠点がある
。

この発明は、構成が簡単で高速排気を可能にすることを
目的とする。

（課題を解決するための手段） この発明は、真空ポンプによって真空化される真空チャ
ンバーに、液体窒素溜を備え、かつ内部が真空排気され
てあるコールドトラップチャンバーを、仕切弁を介して
連結し、真空チャンバーが大気に戻されているとき、お
よび真空チャンバーの真空ポンプによる粗排気中はこの
仕切弁を閉じておき、そのあとの本排気の際に、この仕
切弁を開放して真空チャンバーに連通ずるようにしたこ
とを特徴とする。

（作用） 真空チャンバーの真空ポンプによる粗排気中は、仕切弁
は閉じられている。そのためこの粗排気中はコールドト
ラップチャンバーと真空チャンバーとは遮断されるので
、真空チャンバー内の水分その他のガス類が液体窒素溜
に触れることがない。

これによって多量のガス類が液体窒素溜に触れてその機
能が損われる恐れはなくなる。

粗排気が終って本排気を開始する時期に至って、仕切弁
を開放してコールドトラップチャンバーを真空チャンバ
ーに連通させる。これによって真空チャンバー内のガス
類は液体窒素溜に触れてトラップされ、真空チャンバー
内は急速に高真空化される。

（実施例） この発明の実施例を図によって説明する。第２図におい
てｌは真空チャンバーで、これは真空ポンプまたとえば
ターボ分子ポンプ３．またはこれに弁４を介して追加装
備される油回転ポンプ５によって真空排気される。６は
排気弁で、排気作業の際に開かれる。

なお真空チャンバー１としては、たとえば成膜チャンバ
ーに連通して配置される。基板の搬入出に使用する予備
室が例示される。このような予備室は頻繁に真空排気と
大気圧に戻す作業が繰り返される。したがって高速排気
が特に要求される。

７は真空チャンバー１に連結されているコールドトラッ
プチャンバーで、内部に液体窒素溜８を備えている。図
に示す液体窒素溜８は、二重筒構成である。９，１０は
液体窒素溜８内への液体を流出入させるための通路であ
る。

１１はコールドトラップチャンバー７と真空チャンバー
１との間に設けられている開閉自在の仕切弁で、これは
外部から操作されるハンドル１２によって駆動される。

１３は仕切用のガスケットである。

真空チャンバー１の粗排気は真空ポンプ２によって行な
う。このときは仕切弁１１は閉じられており、したがっ
て真空チャンバー１内のガス類がコールドトラップチャ
ンバー７内に侵入することはない。

本排気にあたって、ハンドル１２を操作して仕切弁１１
を開放する。すると真空チャンバー１内の残留していた
ガス類は、液体窒素溜８に触れてトラップされ、真空ポ
ンプ２と協動して急速に排気される。

真空チャンバー１内は既に粗排気されているので、ガス
類の量はそれほど多くないため、コールドトラップチャ
ンバー８が多量のガス類によって、その機能が損われる
といった懸念は全くない。

真空チャンバー１を大気圧に戻すときは、それにさきだ
って仕切弁１１を閉じる。したがってコールドトラップ
チャンバー７は大気圧になることはない。

液体窒素溜８によるトラッピング効果が低下してきたと
きは、コールドトラップチャンバー７内を図示しない排
気弁を通じて加熱排気する。そのためにはこのコールド
トラップチャンバー７はたとえば加熱温度２００〜２５
０℃でベーキング可能な構造としておくとよい。

なお真空チャンバー１の大気開放時間が長いときは、そ
の間コールドトラップチャンバー７の真空度が低下する
のを回避するために、排気弁１４を介してコールドトラ
ップチャンバー７を真空ポンプ２に連通し、これを利用
して真空排気するようにしてもよい。

なお第１図の構成ではハンドル１２によって仕切弁１１
を下降させたときに、閉じられる構成としているが、こ
れに代えて第３図のように仕切弁１１を上昇させたとき
に、閉じられる構成としてもよい。

（発明の効果） 以上詳述したようにこの発明によれば、コールドトラッ
プチャンバーを真空ポンプに併用して使用するようにし
たので、従来構成よりも構成を簡単にして、真空チャン
バーの真空立ち上がりに要する時間を大巾に短縮するこ
とができるとともに。

このようなコールドトラップチャンバーを設置しても、
仕切弁を設置したことによって、そのトラップ機能が著
しく損われることが簡単に回避できる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示す断面図、第２図は真空
排気系統を示す系統図、第３図はこの発明の他の実施例
を示す部分断面図である。 １・・・真空チャンバー、２・・・真空ポンプ、７・・
・コールドトラップチャンバー、８・・・液体窒素溜、
１１・・・仕切弁。 第１日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　真空化される真空チャンバーに真空ポンプを連結して
   なる真空装置において、 液体窒素溜を備え、かつ内部が真空排気されてあるコー
   ルドトラップチャンバーを、仕切弁を介して前記真空チ
   ャンバーに連結し、前記真空チャンバーが大気に戻され
   ているとき、および前記真空ポンプによる粗排気中は、
   前記仕切弁を閉じておき、そのあとの本排気の際に、前
   記仕切弁を開放して前記真空チャンバーに連通するよう
   にしてなる 真空容器用搬出入装置。