JP3130128B2 - クライオトラップ付き真空ポンプ - Google Patents
クライオトラップ付き真空ポンプInfo
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- JP3130128B2 JP3130128B2 JP04158176A JP15817692A JP3130128B2 JP 3130128 B2 JP3130128 B2 JP 3130128B2 JP 04158176 A JP04158176 A JP 04158176A JP 15817692 A JP15817692 A JP 15817692A JP 3130128 B2 JP3130128 B2 JP 3130128B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等に使
用されるクライオトラップ付き真空ポンプに関する。
用されるクライオトラップ付き真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、クライオトラップ付き真空ポンプ
として図３に示すものが存在する。即ち、同図の真空ポ
ンプは、吸気口50及び排気口（図示省略）とを有するケ
ーシーング51内に、複数のステータ53と、該ステータ53
間に回転自在に配置された動翼54を有するロータ55とか
らなるポンプ段56が構成され、該ポンプ段56よりも吸気
口２側の空間Ａ１には、該ポンプ段56における排気に限
度がある水分子等を排気することによりポンプ能力の向
上を図るべく、クライオパネル58及び冷凍機59からなる
クライオトラップ60が設けられている。
として図３に示すものが存在する。即ち、同図の真空ポ
ンプは、吸気口50及び排気口（図示省略）とを有するケ
ーシーング51内に、複数のステータ53と、該ステータ53
間に回転自在に配置された動翼54を有するロータ55とか
らなるポンプ段56が構成され、該ポンプ段56よりも吸気
口２側の空間Ａ１には、該ポンプ段56における排気に限
度がある水分子等を排気することによりポンプ能力の向
上を図るべく、クライオパネル58及び冷凍機59からなる
クライオトラップ60が設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の真空ポンプ
において、前記クライオトラップ60は、常時空間Ａ１に
晒されているので、吸気口50に連通するチャンバー（図
示省略）内の空気を吸引する初期排気時や、チャンバー
内に作業用のプロセスガスを導入し、該ガス雰囲気下に
おいて半導体製造作業を行うプロセス作業の際には、プ
ロセスガス等の水分子以外の気体をも吸着してしまうこ
とになる。
において、前記クライオトラップ60は、常時空間Ａ１に
晒されているので、吸気口50に連通するチャンバー（図
示省略）内の空気を吸引する初期排気時や、チャンバー
内に作業用のプロセスガスを導入し、該ガス雰囲気下に
おいて半導体製造作業を行うプロセス作業の際には、プ
ロセスガス等の水分子以外の気体をも吸着してしまうこ
とになる。
【０００４】特に、プロセス作業時においては、プロセ
スガスの吸着は好ましくないことから、プロセスガスを
吸着しないように、クライオパネル58の温度を制御する
制御装置が必要となり、そのため装置の複雑化、大型化
を招来するという欠点があった。
スガスの吸着は好ましくないことから、プロセスガスを
吸着しないように、クライオパネル58の温度を制御する
制御装置が必要となり、そのため装置の複雑化、大型化
を招来するという欠点があった。
【０００５】また、クライオトラップ60は、許容排気容
量を越えた場合、吸着した気体分子を除去する再生作業
が必要となるのであるが、この再生作業は、クライオパ
ネル58を所定温度に上昇させたり、雰囲気圧力を所定圧
力に上昇させたりして行うため、その間ポンプ段56での
排気ができなくなるという問題があった。
量を越えた場合、吸着した気体分子を除去する再生作業
が必要となるのであるが、この再生作業は、クライオパ
ネル58を所定温度に上昇させたり、雰囲気圧力を所定圧
力に上昇させたりして行うため、その間ポンプ段56での
排気ができなくなるという問題があった。
【０００６】しかも、段取り換え等によりチャンバー内
及びポンプ内を大気圧に戻す際には、冷凍機の温度を常
温にする必要があり、プロセス作業を再開すべく冷凍機
を再び冷却する際には長時間を要するため、作業の立ち
上がり時間が長くなるという欠点があった。
及びポンプ内を大気圧に戻す際には、冷凍機の温度を常
温にする必要があり、プロセス作業を再開すべく冷凍機
を再び冷却する際には長時間を要するため、作業の立ち
上がり時間が長くなるという欠点があった。
【０００７】本発明は、上記の如き従来の問題点に鑑み
てなされたもので、装置の簡素化及び小型化が図れ、ク
ライオトラップの再生時においても、チャンバー内の気
体を連続して排気することができ、しかも、段取り換え
等による立ち上がり時間を短くすることができるクライ
オトラップ付き真空ポンプを提供することを課題とす
る。
てなされたもので、装置の簡素化及び小型化が図れ、ク
ライオトラップの再生時においても、チャンバー内の気
体を連続して排気することができ、しかも、段取り換え
等による立ち上がり時間を短くすることができるクライ
オトラップ付き真空ポンプを提供することを課題とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明が、上記課題を解
決するために講じた技術的手段は、吸気口２及び排気口
３とを有するポンプケーシング１内に、複数のステータ
14、17と、該ステータ14、17と対向して回転自在に配置
されたロータ９とからなるポンプ段５が構成され、該ポ
ンプ段５よりも吸気口２側には、クライオパネル23を冷
却するための冷凍機24を備えたコールドトラップ22か設
けられた真空ポンプにおいて、前記吸気口２と連通する
空間Ａとコールドトラップ22が収納される空間Ｂとを開
閉自在に隔離する区画手段と、該区画手段を作動させる
ための作動手段30とが設けられ、しかも、前記ポンプ段
５は、第１ポンプ段６と第２ポンプ段７とから構成さ
れ、前記空間Ｂは、該空間Ｂを第２ポンプ段７の作用に
より排気できるように、第１ポンプ段６と第２ポンプ段
７との間に形成された排気路36に、バルブ37を介して連
通されてなることにある。
決するために講じた技術的手段は、吸気口２及び排気口
３とを有するポンプケーシング１内に、複数のステータ
14、17と、該ステータ14、17と対向して回転自在に配置
されたロータ９とからなるポンプ段５が構成され、該ポ
ンプ段５よりも吸気口２側には、クライオパネル23を冷
却するための冷凍機24を備えたコールドトラップ22か設
けられた真空ポンプにおいて、前記吸気口２と連通する
空間Ａとコールドトラップ22が収納される空間Ｂとを開
閉自在に隔離する区画手段と、該区画手段を作動させる
ための作動手段30とが設けられ、しかも、前記ポンプ段
５は、第１ポンプ段６と第２ポンプ段７とから構成さ
れ、前記空間Ｂは、該空間Ｂを第２ポンプ段７の作用に
より排気できるように、第１ポンプ段６と第２ポンプ段
７との間に形成された排気路36に、バルブ37を介して連
通されてなることにある。
【０００９】しかも、前記区画手段は、ポンプケーシン
グ１に気密状に当接する弁体26と、一端が該弁体26に連
結され、他端がポンプケーシング１に連結されたベロー
ズ29とから構成するのが好ましい。
グ１に気密状に当接する弁体26と、一端が該弁体26に連
結され、他端がポンプケーシング１に連結されたベロー
ズ29とから構成するのが好ましい。
【００１０】また、吸気口２及び排気口３とを有するポ
ンプケーシング１内に、複数のステータ14、17と、該ス
テータ14、17と対向して回転自在に配置されたロータ９
とからなるポンプ段５が構成され、該ポンプ段５よりも
吸気口２側には、クライオパネル23を冷却するための冷
凍機24を備えたコールドトラップ22か設けられた真空ポ
ンプにおいて、前記吸気口２と連通する空間Ａとコール
ドトラップ22が収納される空間Ｂとを開閉自在に隔離す
べく、前記ポンプケーシング１に気密状に当接する弁体
26と、一端が該弁体26に連結され且つ他端がポンプケー
シング１に連結されたベローズ29と、該弁体26を開閉さ
せるための作動手段30とが設けられてなることことにあ
る。
ンプケーシング１内に、複数のステータ14、17と、該ス
テータ14、17と対向して回転自在に配置されたロータ９
とからなるポンプ段５が構成され、該ポンプ段５よりも
吸気口２側には、クライオパネル23を冷却するための冷
凍機24を備えたコールドトラップ22か設けられた真空ポ
ンプにおいて、前記吸気口２と連通する空間Ａとコール
ドトラップ22が収納される空間Ｂとを開閉自在に隔離す
べく、前記ポンプケーシング１に気密状に当接する弁体
26と、一端が該弁体26に連結され且つ他端がポンプケー
シング１に連結されたベローズ29と、該弁体26を開閉さ
せるための作動手段30とが設けられてなることことにあ
る。
【００１１】
【作用】本発明の真空ポンプにおいて、作動手段30によ
り区画手段が作動して空間Ａと空間Ｂとを気密状に隔離
するため、チャンバー内にプロセスガスを導入しても、
クライオトラップ22は低温度に維持されているにもかか
わらず、プロセスガスを吸着してしまうことはない。
り区画手段が作動して空間Ａと空間Ｂとを気密状に隔離
するため、チャンバー内にプロセスガスを導入しても、
クライオトラップ22は低温度に維持されているにもかか
わらず、プロセスガスを吸着してしまうことはない。
【００１２】しかも、クライオトラップの再生は、空間
Ａと空間Ｂとを隔離した状態において空間Ｂ内のクライ
オトラップ22の昇温及び排気が可能となり、空間Ａを介
して行われるチャンバー内の排気とは無関係に行うこと
ができ、従って、該チャンバー内の排気を中断すること
なく連続して行うことができる。
Ａと空間Ｂとを隔離した状態において空間Ｂ内のクライ
オトラップ22の昇温及び排気が可能となり、空間Ａを介
して行われるチャンバー内の排気とは無関係に行うこと
ができ、従って、該チャンバー内の排気を中断すること
なく連続して行うことができる。
【００１３】更に、段取り換え等によりチャンバー及び
空間Ａ内の圧力を大気圧に戻すようなことがあっても、
空間Ａと隔離された空間Ｂ内のクライオトラップ22の温
度を低温度に維持しておくことができ、再びプロセス作
業を行う際に、クライオトラップ22を冷却する必要がな
く、立ち上がり時間を短縮できることとなる。
空間Ａ内の圧力を大気圧に戻すようなことがあっても、
空間Ａと隔離された空間Ｂ内のクライオトラップ22の温
度を低温度に維持しておくことができ、再びプロセス作
業を行う際に、クライオトラップ22を冷却する必要がな
く、立ち上がり時間を短縮できることとなる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面に従って
説明する。図１において、１はポンプケーシングで、そ
の上部には図外の真空用チャンバーに取付けられるフラ
ンジ1aを有し、該フランジ1aには吸気口２が、ポンプケ
ーシング１の吸気口２と反対側の下方には排気口３がそ
れぞれ形成されている。
説明する。図１において、１はポンプケーシングで、そ
の上部には図外の真空用チャンバーに取付けられるフラ
ンジ1aを有し、該フランジ1aには吸気口２が、ポンプケ
ーシング１の吸気口２と反対側の下方には排気口３がそ
れぞれ形成されている。
【００１５】５は第１ポンプ段としてのターボ分子ポン
プ段６と第２ポンプ段としてのねじ溝ポンプ段７とから
なる複合分子ポンプ段を示し、そのロータ９は、吸気口
２側の動翼11と排気口３側の筒状のねじ溝ロータ15とを
一体に形成した複合型のものである。
プ段６と第２ポンプ段としてのねじ溝ポンプ段７とから
なる複合分子ポンプ段を示し、そのロータ９は、吸気口
２側の動翼11と排気口３側の筒状のねじ溝ロータ15とを
一体に形成した複合型のものである。
【００１６】即ち、ロータ９はポンプケーシング１に固
定された駆動用モータ12のシャフト12ａに回転自在に取
付けられており、その上部の外周には複数の段にそれぞ
れ前記動翼11が間隔を有して水平に突設されている。ま
た、前記ロータ９の動翼11よりも下方には、外周に螺旋
状のねじ溝が形成された前記筒状のねじ溝ロータ15が一
体的に垂下されている。
定された駆動用モータ12のシャフト12ａに回転自在に取
付けられており、その上部の外周には複数の段にそれぞ
れ前記動翼11が間隔を有して水平に突設されている。ま
た、前記ロータ９の動翼11よりも下方には、外周に螺旋
状のねじ溝が形成された前記筒状のねじ溝ロータ15が一
体的に垂下されている。
【００１７】前記ポンプケーシング１内周には、前記多
段の動翼11と交互に位置するように静翼を持ったステー
タ14が取付けられ、これら動翼11及びステータ14により
ターボ分子ポンプ段６が構成されている。更に、前記ね
じ溝ロータ15を囲繞するように、前記ポンプケーシング
１には、内周面がロータ15外周面と僅かな隙間を持った
ステータ17が取付けられ、これらねじ溝ロータ15および
ステータ17によりねじ溝ポンプ段７が構成されている。
尚、ねじ溝ポンプ段７において、ねじ溝をステータ17の
内周面に設け、それに対向するロータ15の外周面は単に
円筒面とした構成でも良い。
段の動翼11と交互に位置するように静翼を持ったステー
タ14が取付けられ、これら動翼11及びステータ14により
ターボ分子ポンプ段６が構成されている。更に、前記ね
じ溝ロータ15を囲繞するように、前記ポンプケーシング
１には、内周面がロータ15外周面と僅かな隙間を持った
ステータ17が取付けられ、これらねじ溝ロータ15および
ステータ17によりねじ溝ポンプ段７が構成されている。
尚、ねじ溝ポンプ段７において、ねじ溝をステータ17の
内周面に設け、それに対向するロータ15の外周面は単に
円筒面とした構成でも良い。
【００１８】22は前記ポンプケーシング１上部に形成さ
れた径大部1c内に設けられたクライオトラップで、該ク
ライオトラップ22は水分子等を吸着するクライオパネル
23と、該クライオパネル23を冷却するための冷凍機24と
を備え、該冷凍機24はフランジ25を介してポンプケーシ
ング１に固定され、その一部分は図外に延設されてい
る。
れた径大部1c内に設けられたクライオトラップで、該ク
ライオトラップ22は水分子等を吸着するクライオパネル
23と、該クライオパネル23を冷却するための冷凍機24と
を備え、該冷凍機24はフランジ25を介してポンプケーシ
ング１に固定され、その一部分は図外に延設されてい
る。
【００１９】26は前記ポンプケーシング１の天壁1b内面
にシール体27を介して気密状に当接する環状の弁体で、
該弁体26は、ベローズ29の上端に固定され、且つ、該ベ
ローズ29の下端はポンプケーシング１に固定され、弁体
26が天壁1bに当接した際には、ポンプケーシング１内の
吸気口２側の空間は、常時チャンバー及び複合分子ポン
プ段５に連通する空間Ａと前記クライオトラップ22が収
納される空間Ｂとに気密状に区画されるようになってい
る。尚、弁体26及びベローズ29により区画手段が構成さ
れている。
にシール体27を介して気密状に当接する環状の弁体で、
該弁体26は、ベローズ29の上端に固定され、且つ、該ベ
ローズ29の下端はポンプケーシング１に固定され、弁体
26が天壁1bに当接した際には、ポンプケーシング１内の
吸気口２側の空間は、常時チャンバー及び複合分子ポン
プ段５に連通する空間Ａと前記クライオトラップ22が収
納される空間Ｂとに気密状に区画されるようになってい
る。尚、弁体26及びベローズ29により区画手段が構成さ
れている。
【００２０】前記弁体26は、空間Ａと空間Ｂとを隔離あ
るいは連通すべく上下方向に移動可能なように、連結体
28を介して作動手段としてのシリンダー装置30のロッド
31に連結されている。該シリンダー装置30はそのロッド
31が空間Ｂに位置するようにポンプケーシング１に固定
され、該ロッド31には前記空間Ｂと大気側とを封止する
ベローズ33が外嵌されている。
るいは連通すべく上下方向に移動可能なように、連結体
28を介して作動手段としてのシリンダー装置30のロッド
31に連結されている。該シリンダー装置30はそのロッド
31が空間Ｂに位置するようにポンプケーシング１に固定
され、該ロッド31には前記空間Ｂと大気側とを封止する
ベローズ33が外嵌されている。
【００２１】35は前記ポンプケーシング１の空間Ｂと、
ターボ分子ポンプ段６及びねじ溝ポンプ段７との中間の
排気路36とを連通する配管で、該配管35にはバルブ37が
接続されている。
ターボ分子ポンプ段６及びねじ溝ポンプ段７との中間の
排気路36とを連通する配管で、該配管35にはバルブ37が
接続されている。
【００２２】次に、以上の構成における真空ポンプの使
用例について説明する。先ず、前記シリンダー装置30の
一方側ｂにエアーを供給して、そのロッド31を伸長させ
ると、ベローズ29の伸長と共に弁体26が上昇し、該弁体
26はポンプケーシング１の天壁1bに密着状に当接する。
ここに、ポンプケーシング１の吸気口側は空間Ａと空間
Ｂとに区画される。
用例について説明する。先ず、前記シリンダー装置30の
一方側ｂにエアーを供給して、そのロッド31を伸長させ
ると、ベローズ29の伸長と共に弁体26が上昇し、該弁体
26はポンプケーシング１の天壁1bに密着状に当接する。
ここに、ポンプケーシング１の吸気口側は空間Ａと空間
Ｂとに区画される。
【００２３】更に、前記駆動用モータ12の作動によりロ
ータ９が高速回転し、ターボ分子ポンプ段６とねじ溝ポ
ンプ段７との作用により、吸気口２より空間Ａ及び排気
路36を経て排気口３から補助真空ポンプによって気体が
排気され、チャンバー内の排気が行われる。一方、前記
空間Ｂ内は、開放さたバルブ37、配管35及び排気路36を
経ておおよそ10-1〜10-3Ｐａまで排気される。そして、
冷凍機24が低温まで冷却すれば前記バルブ37を閉じる。
このとき、クライオパネル23は空間Ｂ内の窒素分子、酸
素分子及び水分子等を吸着するだけである。
ータ９が高速回転し、ターボ分子ポンプ段６とねじ溝ポ
ンプ段７との作用により、吸気口２より空間Ａ及び排気
路36を経て排気口３から補助真空ポンプによって気体が
排気され、チャンバー内の排気が行われる。一方、前記
空間Ｂ内は、開放さたバルブ37、配管35及び排気路36を
経ておおよそ10-1〜10-3Ｐａまで排気される。そして、
冷凍機24が低温まで冷却すれば前記バルブ37を閉じる。
このとき、クライオパネル23は空間Ｂ内の窒素分子、酸
素分子及び水分子等を吸着するだけである。
【００２４】更に、チャンバ内の圧力が、例えば10-1〜
10-2Ｐａになれば、前記シリンダー装置30の他方側ａに
エアーを供給して弁体26を下降させ、空間Ａと空間Ｂと
を連通させる。10-1〜10-4Ｐａにおける気体成分は、水
の分圧が支配的であるため、水分子は吸気口２、空間Ａ
を経て空間Ｂのクライオパネル23により効果的に凝縮排
気される。
10-2Ｐａになれば、前記シリンダー装置30の他方側ａに
エアーを供給して弁体26を下降させ、空間Ａと空間Ｂと
を連通させる。10-1〜10-4Ｐａにおける気体成分は、水
の分圧が支配的であるため、水分子は吸気口２、空間Ａ
を経て空間Ｂのクライオパネル23により効果的に凝縮排
気される。
【００２５】そして、チャンバー内の圧力が所定の圧力
（例えば、10-5Ｐａ以下）に達した際に、該チャンバ内
に凝縮濃度の高いプロセスガスを導入して、電子機器の
製造作業を行うべく、再びシリンダー装置30の作動によ
り弁体26を上昇させ、空間Ａと空間Ｂとを隔離する。従
って、クライオパネル23は例えば絶対温度50度〜80度の
低温度であっても、上記プロセスガスを吸着してしまう
ことはなく、プロセス作業を好適に行うことができるの
である。
（例えば、10-5Ｐａ以下）に達した際に、該チャンバ内
に凝縮濃度の高いプロセスガスを導入して、電子機器の
製造作業を行うべく、再びシリンダー装置30の作動によ
り弁体26を上昇させ、空間Ａと空間Ｂとを隔離する。従
って、クライオパネル23は例えば絶対温度50度〜80度の
低温度であっても、上記プロセスガスを吸着してしまう
ことはなく、プロセス作業を好適に行うことができるの
である。
【００２６】また、クライオパネル23に吸着された水分
子等を除去すべく、該クライオパネル23の再生を行う場
合には、空間Ａと空間Ｂとを隔離した状態で、冷凍機24
を昇温させ、且つ、空間Ｂ内の圧力を10〜100 Ｐａ程度
に上昇させて水分子等の離脱を容易且つ迅速に行えるよ
うにすると共に、前記バルブ37を開放し、配管35等を介
してねじ溝ポンプ段７の作用によりクライオパネル23に
吸着していた水分子等を排気する。尚、ねじ溝ポンプ段
７の排気速度をある程度大きく設定することにより、ク
ライオパネル23からの水分子を排気しながらでも、ター
ボ分子ポンプ段６によるチャンバー内の気体の排気速度
を維持することができる。
子等を除去すべく、該クライオパネル23の再生を行う場
合には、空間Ａと空間Ｂとを隔離した状態で、冷凍機24
を昇温させ、且つ、空間Ｂ内の圧力を10〜100 Ｐａ程度
に上昇させて水分子等の離脱を容易且つ迅速に行えるよ
うにすると共に、前記バルブ37を開放し、配管35等を介
してねじ溝ポンプ段７の作用によりクライオパネル23に
吸着していた水分子等を排気する。尚、ねじ溝ポンプ段
７の排気速度をある程度大きく設定することにより、ク
ライオパネル23からの水分子を排気しながらでも、ター
ボ分子ポンプ段６によるチャンバー内の気体の排気速度
を維持することができる。
【００２７】更に、段取り換えの際に、チャンバー内及
び空間Ａ内を大気圧に戻しても、空間Ｂは空間Ａと隔離
されているため、クライオトラップ22をプロセス作業時
の低温度に維持しておくことができる。そして、作業を
再開する際には、空間Ａの圧力が所定圧まで下がった後
に、前記と同様に弁体26を下げて空間Ａと空間Ｂとを連
通する。尚、段取り換え時には、クライオトラップ22の
クライオパネル23は隔離された狭い空間Ｂ内の気体のみ
吸着するだけなので、再びプロセス作業をする際に、吸
着能力が低下するおそれはない。
び空間Ａ内を大気圧に戻しても、空間Ｂは空間Ａと隔離
されているため、クライオトラップ22をプロセス作業時
の低温度に維持しておくことができる。そして、作業を
再開する際には、空間Ａの圧力が所定圧まで下がった後
に、前記と同様に弁体26を下げて空間Ａと空間Ｂとを連
通する。尚、段取り換え時には、クライオトラップ22の
クライオパネル23は隔離された狭い空間Ｂ内の気体のみ
吸着するだけなので、再びプロセス作業をする際に、吸
着能力が低下するおそれはない。
【００２８】しかも、前記の如くチャンバー内の排気に
際して、水の分圧が支配的な状態になったときに、弁体
26を開放してクライオパネル23にてほとんど水分子のみ
大量に処理でき、クライオトラップ22の再生までの時間
が長くなる。
際して、水の分圧が支配的な状態になったときに、弁体
26を開放してクライオパネル23にてほとんど水分子のみ
大量に処理でき、クライオトラップ22の再生までの時間
が長くなる。
【００２９】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、例えば、上記実施例では、ポンプ段５として
ターボ分子ポンプ段６とねじ溝ポンプ段７とを備えたも
のを例示したが、ターボ分子ポンプ段６あるいはねじ溝
ポンプ段７の一方を備えた構造であっても良い。尚、タ
ーボ分子ポンプ段６のみを備えた構成の場合には、ねじ
溝ポンプ段７に代えて別途専用の排気ポンプ装置を設け
る必要がある。その他、区画手段及び作動手段30の具体
的な構成も決して上記実施例に限定されるものではな
い。
ではなく、例えば、上記実施例では、ポンプ段５として
ターボ分子ポンプ段６とねじ溝ポンプ段７とを備えたも
のを例示したが、ターボ分子ポンプ段６あるいはねじ溝
ポンプ段７の一方を備えた構造であっても良い。尚、タ
ーボ分子ポンプ段６のみを備えた構成の場合には、ねじ
溝ポンプ段７に代えて別途専用の排気ポンプ装置を設け
る必要がある。その他、区画手段及び作動手段30の具体
的な構成も決して上記実施例に限定されるものではな
い。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明は、前記吸気口と連
通する空間Ａとコールドトラップが収納される空間Ｂと
を開閉自在に隔離する区画手段と、該区画手段を作動さ
せるための作動手段とが設けられているので、区画手段
により空間Ａと空間Ｂとを隔離することにより、クライ
オトラップがプロセスガスを不用意に吸着するのを防止
できる。従って、従来の如くクライオトラップの温度を
制御する制御装置が不要となり、装置全体の簡素化及び
小型化を図ることが可能となる。
通する空間Ａとコールドトラップが収納される空間Ｂと
を開閉自在に隔離する区画手段と、該区画手段を作動さ
せるための作動手段とが設けられているので、区画手段
により空間Ａと空間Ｂとを隔離することにより、クライ
オトラップがプロセスガスを不用意に吸着するのを防止
できる。従って、従来の如くクライオトラップの温度を
制御する制御装置が不要となり、装置全体の簡素化及び
小型化を図ることが可能となる。
【００３１】また、クライオトラップの再生は、空間Ａ
と空間Ｂとを隔離させた状態で行うことができるので、
該クライオトラップの再生をしながらチャンバー内の排
気を行うことができ、クライオトラップの再生に無関係
に排気を連続して行うことができるという利点がある。
と空間Ｂとを隔離させた状態で行うことができるので、
該クライオトラップの再生をしながらチャンバー内の排
気を行うことができ、クライオトラップの再生に無関係
に排気を連続して行うことができるという利点がある。
【００３２】更に、段取り換え等において、空間Ａ内の
温度及び圧力とは無関係に冷凍機を常時冷却した状態に
維持しておくことができ、立ち上がり時間を短くするこ
とができるという利点がある。
温度及び圧力とは無関係に冷凍機を常時冷却した状態に
維持しておくことができ、立ち上がり時間を短くするこ
とができるという利点がある。
【００３３】しかも、前記空間Ｂが、該空間Ｂを第２ポ
ンプ段７の作用により排気できるように、第１ポンプ段
と第２ポンプ段との間に形成された排気路に連通されて
いる場合には、空間Ｂ内の排気及びクライオトラップの
再生時の排気を第２ポンプ段で行うことができることか
ら、別途専用の排気ポンプ装置が不要となり、更に装置
の簡素化及び小型化を図ることができる。
ンプ段７の作用により排気できるように、第１ポンプ段
と第２ポンプ段との間に形成された排気路に連通されて
いる場合には、空間Ｂ内の排気及びクライオトラップの
再生時の排気を第２ポンプ段で行うことができることか
ら、別途専用の排気ポンプ装置が不要となり、更に装置
の簡素化及び小型化を図ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示し、弁体を閉じた状態の
断面図。
断面図。
【図２】同弁体を開放した状態の断面図。
【図３】従来例を示す断面図。
１…ポンプケーシング、２…吸気口、３…排気口、５…
ポンプ段、６…第１段ポンプ段、７…第２段ポンプ段、
９…ロータ、14…ステータ、17…ステータ、22…クライ
オトラップ、23…クライオパネル、24…冷凍機、26…弁
体、29…ベローズ、30…シリンダー装置（作動手段）、
36…排気路、37…バルブ、Ａ，Ｂ…空間
ポンプ段、６…第１段ポンプ段、７…第２段ポンプ段、
９…ロータ、14…ステータ、17…ステータ、22…クライ
オトラップ、23…クライオパネル、24…冷凍機、26…弁
体、29…ベローズ、30…シリンダー装置（作動手段）、
36…排気路、37…バルブ、Ａ，Ｂ…空間
Claims (3)
- 【請求項１】 吸気口２及び排気口３とを有するポンプ
ケーシング１内に、複数のステータ14、17と、該ステー
タ14、17と対向して回転自在に配置されたロータ９とか
らなるポンプ段５が構成され、該ポンプ段５よりも吸気
口２側には、クライオパネル23を冷却するための冷凍機
24を備えたコールドトラップ22か設けられたクライオト
ラップ付き真空ポンプにおいて、前記吸気口２と連通す
る空間Ａとコールドトラップ22が収納される空間Ｂとを
開閉自在に隔離する区画手段と、該区画手段を作動させ
るための作動手段30とが設けられ、しかも、前記ポンプ
段５は、第１ポンプ段６と第２ポンプ段７とから構成さ
れ、前記空間Ｂは、該空間Ｂを第２ポンプ段７の作用に
より排気できるように、第１ポンプ段６と第２ポンプ段
７との間に形成された排気路36に、バルブ37を介して連
通されてなることを特徴とするクライオトラップ付き真
空ポンプ。 - 【請求項２】 前記区画手段は、ポンプケーシング１に
気密状に当接する弁体26と、一端が該弁体26に連結さ
れ、他端がポンプケーシング１に連結されたベローズ29
とからなる請求項１に記載のクライオトラップ付き真空
ポンプ。 - 【請求項３】 吸気口２及び排気口３とを有するポンプ
ケーシング１内に、複数のステータ14、17と、該ステー
タ14、17と対向して回転自在に配置されたロータ９とか
らなるポンプ段５が構成され、該ポンプ段５よりも吸気
口２側には、クライオパネル23を冷却するための冷凍機
24を備えたコールドトラップ22か設けられたクライオト
ラップ付き真空ポンプにおいて、前記吸気口２と連通す
る空間Ａとコールドトラップ22が収納される空間Ｂとを
開閉自在に隔離すべく、前記ポンプケーシング１に気密
状に当接する弁体26と、一端が該弁体26に連結され且つ
他端がポンプケーシング１に連結されたベローズ29と、
該弁体26を開閉させるための作動手段30とが設けられて
なることを特徴とするクライオトラップ付き真空ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04158176A JP3130128B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | クライオトラップ付き真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04158176A JP3130128B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | クライオトラップ付き真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH062694A JPH062694A (ja) | 1994-01-11 |
| JP3130128B2 true JP3130128B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=15665938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04158176A Expired - Fee Related JP3130128B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | クライオトラップ付き真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3130128B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5342367B2 (ja) * | 2009-08-06 | 2013-11-13 | 新明和工業株式会社 | 真空排気装置および真空排気装置の使用方法 |
-
1992
- 1992-06-17 JP JP04158176A patent/JP3130128B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH062694A (ja) | 1994-01-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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