JP5342367B2 - 真空排気装置および真空排気装置の使用方法 - Google Patents
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Description
を備え、
前記バルブによる前記吸気口の閉栓時に、前記吸気口から隔離された副ポンプが配された副ポンプ隔離室が、前記弁体および前記弁座によって形成されている真空排気装置を提供する。
本実施形態の真空排気装置102では、コールドコイル25の個数と、主ポンプ11の個数と、が一対一に対応する例を述べたが、これに限らない。
本実施形態の真空排気装置102では、コールドトラップの一例として、金属配管からなるコールドコイル25を例示したが、これに限らない。
本実施形態の真空排気装置102では、外壁22Aと弁板22Bとが一体に構成され、内壁23Aと鍔板23Bとが一体に構成されている例を述べたが、これに限らない。
本実施形態の真空排気装置102では、弁体22が外壁22Aを含み、弁座23が内壁23Aを含む例を述べたが、これに限らない。
本実施形態の真空排気装置102では、二重環構造のシール部材22C、22Dを弁体22に設ける例を述べたが、これに限らない。
本実施形態の真空排気装置102では、コールドコイル25が、弁座23の近傍に固定されている例を述べたが、これに限らない。
本実施形態の真空排気装置102では、副ポンプ隔離室としてのコールドコイル室27が、弁体22および弁座23によって吸気口11Aからコールドコイル25を隔離させるよう、形成されている例を述べたが、これに限らない。
11 主ポンプ
11A 吸気口
13 粗引ポンプ
14 粗引バルブ
16 フォアラインバルブ
20 メインバルブ
20A 排気通路
21 シリンダ
21A シリンダ本体
21B ピストンロッド
22 弁体
22A 外壁
22B 弁板
22C、22D シール部材
23 弁座
23A 内壁
23B 鍔板
25 コールドコイル(副ポンプ;コールドトラップ)
26 受皿
27 コールドコイル室(副ポンプ隔離室;コールドトラップ室)
28 ベントバルブ
30 冷凍機
40 先端部
41 支持部
42 水平方向の面内
100 真空装置
102 真空排気装置
S1 第1領域
S2 第2領域
P1 負圧
P2 大気圧
Claims (15)
- 真空槽内を排気できる主ポンプと、
前記主ポンプの吸気口の開閉に用いられ、互いに対置された弁体および弁座を有するバルブと、
を備え、
前記バルブによる前記吸気口の閉栓時に、前記吸気口から隔離された副ポンプが配された副ポンプ隔離室が、前記弁体および前記弁座によって形成されている真空排気装置。 - 前記副ポンプが、前記弁体と前記弁座との間に配され、前記真空槽内のガスを凍結トラップできるコールドトラップであり、前記副ポンプ隔離室が、前記コールドトラップを格納できるコールドトラップ室である請求項1に記載の真空排気装置。
- 環状の前記コールドトラップ室が、前記吸気口の周囲に形成されており、環状の前記コールドトラップが、前記コールドトラップ室に配されている請求項2に記載の真空排気装置。
- 前記コールドトラップ室を気密に保つことができる二重環構造のシール部材が、前記弁体に配されている請求項3に記載の真空排気装置。
- 前記バルブの開閉用の駆動力を発生できる駆動装置を備え、
前記弁体が、前記駆動装置のピストンロッドに連結され、前記ピストンロッドの往復運動によって、前記バルブによる前記コールドトラップ室の開閉および前記吸気口の開閉が同時に行われる請求項2に記載の真空排気装置。 - 前記弁体および前記弁座のうちの少なくとも一方が、前記ピストンロッドの軸方向に平行に延びる筒状壁を含み、
前記コールドトラップ室を仕切る二重筒構造の内壁および外壁が、前記筒状壁によって構成されている請求項5に記載の真空排気装置。 - 前記バルブによる前記吸気口の閉栓時において、前記外壁によって押圧されている環状のシール部材が、前記コールドトラップ室と前記真空槽との間の気密性の確保に用いられる請求項6に記載の真空排気装置。
- 前記バルブによる前記吸気口の閉栓時において、前記内壁によって押圧されている環状のシール部材が、前記コールドトラップ室と前記主ポンプとの間の気密性の確保に用いられる請求項6に記載の真空排気装置。
- 前記弁体が、前記弁座に向かって立設する前記外壁を含み、
前記バルブによる前記吸気口の開栓時において、前記コールドトラップが前記真空槽内に露出する請求項6に記載の真空排気装置。 - 前記弁座が、前記弁体に向かって立設する前記内壁を含み、
前記内壁に囲まれた領域が、前記吸気口となっている請求項6に記載の真空排気装置。 - 前記弁体は、前記ピストンロッドの軸方向に直交するように配された平板状の弁板を含み、
前記弁板は、前記吸気口を塞ぐ第1領域と、前記第1領域を囲み、前記コールドトラップ室を仕切る環状の第2領域とを有しており、
前記バルブによる前記吸気口の閉栓時において、前記真空槽が大気に開放され、前記主ポンプが減圧された場合、前記真空槽の内圧と前記主ポンプの内圧との間の差圧が、前記コールドトラップ室の密閉を保つ方向に前記第1領域に作用している請求項5に記載の真空排気装置。 - 前記弁体は、前記真ピストンロッドの軸方向に直交するように配された平板状の弁板を含み、
前記弁板は、前記吸気口を塞ぐ第1領域と、前記第1領域を囲み、前記コールドトラップ室を仕切る環状の第2領域とを有しており、
前記バルブによる前記吸気口の閉栓時において、前記コールドトラップ室が大気に開放され、前記真空槽および前記主ポンプが減圧された場合、前記真空槽の内圧と前記コールドトラップ室の内圧との間の差圧が、前記第2領域のみに作用している請求項5に記載の真空排気装置。 - 主ポンプを用いて真空槽内を排気するとともに、コールドトラップを用いて前記真空槽内のガスを凍結トラップする工程と、
前記主ポンプの吸気口をバルブによって閉めると同時に、前記コールドトラップを格納するコールドトラップ室を前記バルブによって形成する工程と、
を備える真空排気装置の使用方法。 - 前記コールドトラップ室に格納された前記コールドトラップを再生する工程と、
前記コールドトラップを再生する工程の後、前記吸気口を前記バルブによって開くと同時に、前記コールドトラップ室を前記バルブによって開放する工程と、
を更に備える請求項13に記載の真空排気装置の使用方法。 - 前記コールドトラップを再生する工程は、前記コールドトラップを常温に戻す工程と、前記主ポンプおよび前記真空槽を気密した状態で、前記コールドトラップ室に大気を導入する工程と、を備える請求項13に記載の真空排気装置の使用方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009183116A JP5342367B2 (ja) | 2009-08-06 | 2009-08-06 | 真空排気装置および真空排気装置の使用方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009183116A JP5342367B2 (ja) | 2009-08-06 | 2009-08-06 | 真空排気装置および真空排気装置の使用方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011033007A JP2011033007A (ja) | 2011-02-17 |
JP5342367B2 true JP5342367B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=43762314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009183116A Active JP5342367B2 (ja) | 2009-08-06 | 2009-08-06 | 真空排気装置および真空排気装置の使用方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5342367B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108884821B (zh) * | 2016-02-15 | 2021-04-13 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及闸阀 |
DE202023107255U1 (de) | 2023-12-07 | 2024-01-09 | Vat Holding Ag | Anordnung umfassend eine Kammer |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6071002A (ja) * | 1983-09-27 | 1985-04-22 | Toshiba Corp | 真空用コ−ルドトラップ |
JPH04159466A (ja) * | 1990-10-19 | 1992-06-02 | Nissin Electric Co Ltd | 真空装置 |
JPH0774635B2 (ja) * | 1990-11-20 | 1995-08-09 | 株式会社神戸製鋼所 | 真空排気装置 |
JP3130128B2 (ja) * | 1992-06-17 | 2001-01-31 | 株式会社大阪真空機器製作所 | クライオトラップ付き真空ポンプ |
JPH08105383A (ja) * | 1994-10-07 | 1996-04-23 | Hitachi Ltd | 高真空排気装置 |
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2009
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011033007A (ja) | 2011-02-17 |
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