JP5634323B2 - クライオポンプシステム、クライオポンプのための再生方法 - Google Patents
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- 粗引きポンプを共用し、各々が粗引きバルブを含む複数のクライオポンプと、
前記複数のクライオポンプの再生のために各粗引きバルブを制御するコントローラと、を備え、
開放されている粗引きバルブの閉鎖と閉鎖されている他の粗引きバルブの開放との間に遅延時間が設定され、
前記遅延時間は、前記閉鎖されている他の粗引きバルブを粗引きポンプに接続する粗引き配管の圧力が、前記閉鎖されている他の粗引きバルブを含むクライオポンプの内圧以下へと該遅延時間内に減圧されるように設定されることを特徴とするクライオポンプシステム。 - 前記コントローラは、所定の内圧以下のクライオポンプがある場合に前記遅延時間を有効とすることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプシステム。
- 前記コントローラは、前記閉鎖されている他の粗引きバルブをもつクライオポンプの内圧が、前記開放されている粗引きバルブをもつクライオポンプの内圧よりも低い場合に、前記遅延時間を有効とすることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプシステム。
- 前記遅延時間は、クライオポンプの動作開始圧力であるベース圧レベルに前記粗引き配管の圧力を低下させる時間に設定されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
- 前記遅延時間は、1秒から10秒の範囲から選択されることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
- 複数のクライオポンプのための再生方法であって、該複数のクライオポンプは共通の粗引きラインに接続されており、
クライオポンプを前記粗引きラインを通じて排気する第1粗引きをすることと、
前記第1粗引きから遅延時間を経て、他のクライオポンプを前記粗引きラインを通じて排気する第2粗引きをすることと、を含み、
前記遅延時間は、前記粗引きラインの圧力が前記他のクライオポンプの内圧以下へと該遅延時間内に減圧されるように設定されることを特徴とする方法。 - 前記第1粗引きの前に、前記他のクライオポンプを前記粗引きラインを通じて、前記第1粗引きの終了圧よりも低い圧まで排気することをさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。
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