JP2009156220A - クライオポンプおよびその再生方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプは、ポンプ容器14と、真空排気時に低温に冷却されるクライオパネル16,18と、冷却機17とを備え、水を含む各種気体をクライオパネルに凝縮して真空排気を行う。クライオポンプの再生方法では、クライオパネルの温度を上昇させクライオパネルの排気面に凝縮した気体分子を気化させる温度上昇化工程S12、ポンプ容器内の排気を実行する排気工程S17、ポンプ容器の内部圧力が摂氏零度(0℃)での水の蒸気圧よりも大きな設定圧力に達したか否かを判定する判定工程S18、排気を停止しかつ圧力上昇試験を行う圧力上昇試験工程S20と、ポンプ容器の内部圧力に基づき水の残留を観測する観測工程S21とを備える。
【選択図】図2
Description
これにより、制御手段は、観測手段の観測で水の残留が確認されるときクライオパネルの温度上昇と排気と判定手段による判定と圧力上昇試験と観測手段による観測を繰り返し、観測手段の観測で水の残留が確認されないとき再生処理を終了する。
11 クライオポンプユニット
13 クライオポンプ
14 ポンプ容器
16 第1クライオパネル
17 冷凍機
18 第2クライオパネル
19 圧縮ユニット
20 真空計
21 パージガス供給機構
22 パージガスバルブ
23 リリーフ弁
24 バルブ
25 真空ポンプ
26 温度センサ
Claims (5)
- ポンプ容器と、前記ポンプ容器内に配置されるクライオパネルと、前記クライオパネルを冷却する冷凍機とを備え、水蒸気を含む気体分子を前記クライオパネルに凝縮することにより排気を行うクライオポンプにおいて、
前記クライオパネルの温度を上昇させ、前記クライオパネルに凝縮された前記気体分子を気化して前記ポンプ容器内に放出する温度上昇化工程と、
前記クライオパネルの温度条件に基づき排気を実行する排気工程と、
前記ポンプ容器内部の圧力が摂氏零度での水の蒸気圧よりも大きな設定圧力に達したか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程で前記ポンプ容器内部の圧力が前記設定圧力に達したと判定されたとき、排気を停止し、圧力上昇試験を行う圧力上昇試験工程と、
前記圧力上昇試験工程の間に前記ポンプ容器の内部圧力に基づき水の残留を観測する観測工程と、
を備えることを特徴とするクライオポンプの再生方法。 - 前記圧力上昇試験工程は、前記ポンプ容器内に存在する水が液体状態で実行されることを特徴とする請求項1記載のクライオポンプの再生方法。
- 前記温度上昇化工程は、前記ポンプ容器内へのパージガスの導入、ヒータの加熱、減圧化での放置のうちのいずれかの1つの方法、またはこれらの方法の組み合わせで実行されることを特徴とする請求項1記載のクライオポンプの再生方法。
- 前記観測工程で、前記ポンプ容器の内部圧力に係る情報は前記ポンプ容器に付設された真空計で検出されることを特徴とする請求項1記載のクライオポンプの再生方法。
- ポンプ容器と、前記ポンプ容器内に配置されるクライオパネルと、前記クライオパネルを冷却する冷凍機と、前記ポンプ容器の内部圧力を検出する真空計と、装置全体の動作を制御する制御手段とを備え、水を含む気体分子を前記クライオパネルに凝縮して対象装置の真空排気を行うクライオポンプにおいて、
前記制御手段は、
前記クライオパネルの温度を上昇させ、前記クライオパネルに凝縮された前記気体分子を気化して前記ポンプ容器内に放出し、さらに前記クライオパネルの温度条件に基づき排気を実行する再生処理の段階で、
前記真空計の検出情報に基づき前記ポンプ容器の内部圧力が摂氏零度での水の蒸気圧よりも大きな設定圧力に達したか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段による判定で前記内部圧力が前記設定圧力に達したと判定されたとき、排気を停止しかつ圧力上昇試験を行う試験実行手段と、
前記圧力上昇試験の間に前記ポンプ容器の内部圧力に基づき水の残留を観測する観測手段とを備えることを特徴とするクライオポンプ。
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