JP5251952B2 - リーク検査装置およびリーク検査方法 - Google Patents
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Description
本発明は、リーク検査装置およびリーク検査方法の技術に関する。
従来、検査対象であるワークの内部に気体を封入し、ワークからの漏れを検査するリーク検査の技術は公知である。例えば、自動車工場では、エンジンのシリンダブロック等のリーク検査が実施されている。
特許文献1は、マスタチャンバと呼ばれる一定容積の漏れ無しマスタと、ワーク内部と、を同時に加圧し、その差圧変化からワークからの漏れを検出するリーク検査方法を開示している。しかし、ワーク内部の圧力は、ワークの環境およびワーク自体を含めたワークの温度変化、あるいは、ワーク内部の水残り等、といった外乱の影響を受ける。特許文献1に開示されるリーク検査方法では、これらの外乱について対策できておらず、外乱要因が多く存在する現場環境では、確実に漏れを検出できるとはいえない。
特許文献2は、加熱源を用いて、ワーク内部の水分量を調整するリーク検査方法を開示している。しかし、加熱源によるワーク昇温によってワーク内部の水残りを完全に蒸発させるには、加熱源によって相当な熱量を与える必要がある。このような相当な熱量を与える加熱源は、自動車工場等の量産ラインの検査設備として規模が大きく現実的ではない。また、昇温後のワークが、周囲との熱交換の影響を無視できる程度にまで降温し、検査への外乱影響が無視できる程度までには、長時間の冷却が必要とされる。このような長時間の冷却を自動車工場等の量産ラインで実現するには、検査工数が長時間となって現実的ではない。
特許文献3は、特殊な加減圧サイクルを伴いながら、圧力計によって時々刻々の圧力と前回測定時からの圧力変化量を求め、ワークからの漏れ量を求めるリーク検査方法を開示している。しかし、特許文献3が開示する検査方法では、シリンダブロックのような大容量ワークにおける微小な漏れ量を検査する場合には、必要な感度が得らない。また、外乱の一つであるワーク内部の水残りに対しては対策できておらず、外乱要因が多く存在する現場環境では、確実に漏れを検出できるとはいえない。
以上より、従来のリーク検査方法では、リーク検査を実施する際の外乱となるワークの温度変化およびワーク内部の水残りについて完全に対策できていないため、確実に漏れを検出できるとはいえない。
本発明の解決しようとする課題は、リーク検査を実施する際の外乱となるワークの温度変化およびワーク内部の水残りを除去できるリーク検査装置およびリーク検査方法を提供することである。
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
即ち、請求項1においては、ワークの内部に気体を封入または吸引して該ワークからの漏れを検査するリーク検査装置であって、前記ワーク内部の気体を減圧する減圧手段と、前記ワーク内部の気体を加圧する加圧手段と、前記ワークの温度を検出する温度検出手段と、前記ワーク内部の気体の圧力を検出する圧力検出手段と、前記減圧手段および前記加圧手段によって前記ワーク内の気体の圧力を制御する制御手段と、を具備し、前記制御手段は、前記減圧手段によって、前記ワークの温度と同じ温度の飽和水蒸気圧を算出し、前記ワーク内部の気体を該飽和水蒸気圧まで減圧し、前記ワーク内部の気化した水蒸気を吸引し、前記加圧手段によって、前記ワーク内部に気体を封入し、前記温度検出手段によって検出される前記ワークの温度が所定温度になるまで前記ワーク内部の気体を加圧するものである。
請求項2においては、ワークの内部に気体を封入または吸引して該ワークからの漏れを検査するリーク検査方法であって、前記ワーク内部の気体を、前記ワークの温度と同じ温度の飽和水蒸気圧まで減圧し、蒸発した水蒸気を吸引する減圧工程と、前記ワーク内部に気体を封入し、前記ワークが所定温度になるまで前記ワーク内部の気体を加圧する加圧工程と、を具備するものである。
本発明のリーク検査装置およびリーク検査方法によれば、リーク検査を実施する際の外乱となるワークの温度変化およびワーク内部の水残りを除去できる。
図1を用いて、第1実施形態であるリーク検査装置10について説明する。
なお、図1、図4、図6では、実線がリーク検査装置10の空気配管を表し、破線がバルブ制御用の空気配管を表し、二点鎖線が電気信号線を表している。
なお、図1、図4、図6では、実線がリーク検査装置10の空気配管を表し、破線がバルブ制御用の空気配管を表し、二点鎖線が電気信号線を表している。
第1実施形態であるリーク検査装置10は、実際にワークWの内部に気体を封入し、ワークWからの漏れを検査する以前に、リーク検査時の外乱となるワークW内部の水残り、ならびに、ワークWの温度変化を除去する装置の構成である。
リーク検査装置10は、自動車工場の検査設備に設けられている。リーク検査装置10は、エンジンのシリンダブロック(以下、ワークW)の内部に気体を封入し、リーク検査時の外乱となるワークW内部の水残り、ならびに、ワークWの温度変化を除去する装置である。本実施形態では、気体としてドライエアを使用している。
リーク検査装置10は、減圧手段としての減圧装置11と、加圧手段としての加圧装置12と、減圧タンク21と、を具備している。減圧装置11、加圧装置12および減圧タンク21は、空気配管で接続され空気圧回路A1を構成している。減圧装置11は、真空ポンプによって構成され、空気圧回路A1を真空状態まで減圧できる装置である。加圧装置12は、圧縮機によって構成され、空気圧回路A1を加圧できる装置である。減圧タンク21は、少なくともリーク検査装置10が検査するワークWより十分に容量の大きいタンクであり、減圧装置11によりタンク内が減圧されるものである。
リーク検査装置10は、バルブVL0〜バルブVL8と、消音器MU1と、消音器MU2と、を具備している。バルブVL0〜バルブVL8、消音器MU1および消音器MU2は、空気配管で接続され空気圧回路A1を構成している。バルブVL0〜バルブVL8は、スプリングリターン型の2位置弁であって、後述するバルブ制御用空気圧回路60の空気圧をパイロットとして作動される方向制御弁である。消音器MU1および消音器MU2は、大気中と連通しており、空気圧回路A1の気体を大気に開放する、あるいは、大気を空気圧回路A1に導入することができる。
リーク検査装置10は、制御手段としてのコントローラ50と、バルブ制御用空気圧回路60と、圧力検出手段としての圧力センサ51と、温度検出手段としての温度センサ52と、を具備している。バルブ制御用空気圧回路60、圧力センサ51、温度センサ52は、コントローラ50に接続されている。コントローラ50は、減圧装置11および加圧装置12を用いて、ワークW内部の圧力Piを制御するものである。圧力センサ51は、ワークW内部に直近の空気配管に設けられ、ワークW内部の圧力Piを計測するものである。温度センサ52は、ワークWの所定位置に設けられ、ワークW自体の温度Toを計測するものである。本実施形態の温度センサ52は、シリンダブロックのシリンダの壁面に設けられている。また、ワークW内部の温度を温度Tiと定義する。
図2を用いて、実施形態1のリーク検査制御について説明する。
実施形態1のリーク検査制御は、実際にワークWの内部に気体を封入し、ワークWからの漏れを検査する以前に、リーク検査時の外乱となるワークW内部の水残り、ならびに、ワークWの温度変化を除去する制御である。また、図2では、コントローラ50によるアクチュエータの作動制御のみについて説明する。なお、コントローラ50による空気圧回路A1のバルブシーケンス制御については後述する。
実施形態1のリーク検査制御は、実際にワークWの内部に気体を封入し、ワークWからの漏れを検査する以前に、リーク検査時の外乱となるワークW内部の水残り、ならびに、ワークWの温度変化を除去する制御である。また、図2では、コントローラ50によるアクチュエータの作動制御のみについて説明する。なお、コントローラ50による空気圧回路A1のバルブシーケンス制御については後述する。
コントローラ50は、ステップS100において、飽和水蒸気圧Psを算出する。ここで、飽和水蒸気圧Psとは、水がワーク温度Toと同じ温度Toと仮定したとき、温度Toにおける飽和水蒸気圧Psであって、温度計により計測したワーク温度Toと、コントローラ50に予め設定された温度―飽和水蒸気圧曲線により算出されるものとする。コントローラ50は、ステップS110において、減圧装置11によってワークW内部の圧力Piを減圧する。次に、コントローラ50は、ステップS120において、圧力センサ51によって検出されるワークW内部の圧力Piが飽和水蒸気圧Psより小さい値であるかを確認する。ステップS120において、圧力Piが飽和水蒸気圧Psより小さい値でなければ、圧力Piを減圧し続ける。一方、ステップS120において、圧力Piが飽和水蒸気圧Psより小さい値となれば、ワークW内部の水残りは水蒸気として完全に気化する。そこで、コントローラ50は、ステップS130において、減圧装置11によって気化した水蒸気を吸引する。
コントローラ50は、ステップS140において、加圧装置12によってワークW内部の圧力Piを加圧する。このとき、ワークW内部の気体は、断熱圧縮により温度が上昇し、ワークW自体の温度Toも内部の気体温度上昇に伴い上昇する。次に、コントローラ50は、ステップS150において、温度センサ52によって検出されるワークW自体の温度Toが所定温度T1より大きい値であるかを確認する。ここで、所定温度T1とは、大気温度より少し高い程度の温度であって、予めコントローラ50に記憶されているものとする。ステップS150において、温度Toが所定温度T1より大きい値でなければ、圧力Piを加圧し続ける。一方、ステップS150において、温度Toが所定温度T1より大きい値であれば、外乱除去の制御を終了して、実際にワークWの内部に大気を封入し、ワークWからの漏れを検査するリーク検査を実施する(実施形態2または3参照)。
図3を用いて、実施形態1のリーク検査制御について説明する。ここでは、コントローラ50による空気圧回路A1のバルブシーケンス制御について説明する。なお、図3、図5、図7では、各バルブの切換え状態を各シーケンスとして表し、各シーケンスの編み掛けの部分は、各バルブがONとなった状態を表している。
コントローラ50は、減圧工程としてのシーケンスSE1において、バルブVL0およびバルブVL1をONとして(その他のバルブVL2〜バルブVL8はOFF)、減圧装置11と減圧タンク21とを連通させ、減圧タンク21の内部を減圧する。なお、以下では、コントローラ50は、バルブ制御用空気圧回路60を介してバルブVL0〜バルブVL8を制御するものとする。
コントローラ50は、減圧タンク21の減圧が完了した後、減圧工程としてのシーケンスSE2において、バルブVL0およびバルブVL1をOFFとするとともに、バルブVL5をONとして、減圧タンク21とワークWとを連通させ、減圧タンク21の内部の負圧によってワークWの内部を減圧する。そして、コントローラ50は、圧力センサ51によって検出されるワークW内部の圧力Piが飽和水蒸気圧Psより小さい値となれば(上述のステップS120に対応)、シーケンスSE2からシーケンスSE3へ移行する。
コントローラ50は、シーケンスSE3において、バルブVL5をOFFとするとともに、バルブVL3およびバルブVL6をONとして、加圧装置12と減圧タンク21と消音器MU2とを全て連通させ、減圧タンク21の内部をパージする。
コントローラ50は、加圧工程としてのシーケンスSE4において、バルブVL3およびバルブVL6をOFFとするとともに、バルブVL4、バルブVL7およびバルブVL8をONとして、加圧装置12とワークWとを連通させ、ワークWの内部を加圧する。このとき、ワークWは、内部が加圧されることで温度が上昇する。
コントローラ50は、温度センサ52によって検出されるワークW自体の温度Toが所定温度T1より大きい値であれば(上述のステップS150に対応)、シーケンスSE4からシーケンスSE5へ移行する。そして、コントローラ50は、シーケンスSE5において、バルブVL4およびバルブVL7をOFFとし、バルブVL1、バルブVL2、バルブVL5およびバルブVL6をONとするとともに、バルブVL8のON状態を維持して、減圧タンク21と消音器MU1とを連通させ、減圧タンク21を大気中に開放する。同時に、ワークWと消音器MU2とを連通させ、ワークWの内部を大気中に開放する。
このような構成とすることで、リーク検査を実施する前に、ワークWの内部の水残りを水蒸気として気化して吸引することで、ワークWの内部から水残りを完全に除去できる。また、リーク検査を実施する前に、ワークW自体を所定温度T1まで上昇させることで、ワークWは大気中において最も周囲から影響を受けにくい温度となる。ワークWの環境およびワークW自体を含めたワークWの温度変化に影響されずにリーク検査を実施できる。
このようにして、リーク検査を実施する前に、リーク検査を実施する際の外乱となるワークWの温度変化およびワークW内部の水残りを除去できるため、リーク検査において確実に漏れを検出できる。
図4を用いて、第2実施形態であるリーク検査装置20について説明する。
第2実施形態であるリーク検査装置20は、第1実施形態であるリーク検査の外乱となるワークW内部の水残り、ならびに、ワークWの温度変化を除去するリーク検査装置10の構成に対し、ワークWの内部に気体を封入してワークWからの漏れを検査する、正圧エアリークテストを行う装置の構成を追加したものである。以下、第1実施形態と同符号のものについては、第1実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。但し、第2実施形態におけるバルブVL6〜バルブVL9は、それぞれ第1実施形態におけるバルブVL5〜バルブVL8に相当するものであり、第2実施形態におけるバルブVL5およびバルブVL10〜バルブVL12は、ワークWからの漏れを検査する際に用いられるバルブとして、新たに設けられたものである。
第2実施形態であるリーク検査装置20は、第1実施形態であるリーク検査の外乱となるワークW内部の水残り、ならびに、ワークWの温度変化を除去するリーク検査装置10の構成に対し、ワークWの内部に気体を封入してワークWからの漏れを検査する、正圧エアリークテストを行う装置の構成を追加したものである。以下、第1実施形態と同符号のものについては、第1実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。但し、第2実施形態におけるバルブVL6〜バルブVL9は、それぞれ第1実施形態におけるバルブVL5〜バルブVL8に相当するものであり、第2実施形態におけるバルブVL5およびバルブVL10〜バルブVL12は、ワークWからの漏れを検査する際に用いられるバルブとして、新たに設けられたものである。
リーク検査装置20は、減圧手段としての減圧装置11と、加圧手段としての加圧装置12と、同じく加圧手段としての加圧装置13と、減圧タンク21と、マスタチャンバMと、を具備している。減圧装置11、加圧装置12、加圧装置13、減圧タンク21およびマスタチャンバMは、空気配管で接続され空気圧回路A2を構成している。マスタチャンバMは、ワークWと同程度の容積を持ち、完全な気密性を有する容器である。
リーク検査装置20は、バルブVL0〜バルブVL12と、消音器MU1と、消音器MU2と、消音器MU3と、を具備している。バルブVL0〜バルブVL12、消音器MU1、消音器MU2および消音器MU3は、空気配管で接続され空気圧回路A2を構成している。
リーク検査装置20は、制御手段としてのコントローラ50と、バルブ制御用空気圧回路60と、圧力検出手段としての圧力センサ51と、温度検出手段としての温度センサ52と、差圧センサ53と、を具備している。バルブ制御用空気圧回路60、圧力センサ51、温度センサ52および差圧センサ53は、コントローラ50に接続されている。差圧センサ53は、圧力の差を検知するセンサであって、実施形態2ではワークWとマスタチャンバMとの差圧を検知するものとして空気圧回路A2に接続されている。
図5を用いて、実施形態2のリーク検査制御について説明する。
図5では、コントローラ50による空気圧回路A1のバルブシーケンス制御について説明する。コントローラ50によるアクチュエータの作動については、実施形態1と同様であるため説明を省略する。
図5では、コントローラ50による空気圧回路A1のバルブシーケンス制御について説明する。コントローラ50によるアクチュエータの作動については、実施形態1と同様であるため説明を省略する。
実施形態2におけるシーケンスSE1、シーケンスSE2、シーケンスSE3およびシーケンスSE4は、実施形態1のシーケンスSE1、シーケンスSE2、シーケンスSE3およびシーケンスSE4と同様であるため説明を省略する。なお、以下では、コントローラ50は、バルブ制御用空気圧回路60を介してバルブVL0〜バルブVL12を制御するものとする。
コントローラ50は、シーケンスSE5において、シーケンスSE4にてONされていたバルブVL4、バルブVL8およびバルブVL9のON状態を保持したまま、さらにバルブVL5およびバルブVL11をONとして、加圧装置13とマスタチャンバMとワークWとを全て連通させ、マスタチャンバMとワークWとを加圧装置13によって加圧する。
コントローラ50は、シーケンスSE6において、バルブVL4、バルブVL8、バルブVL9およびバルブVL11のON状態を保持するとともに、バルブVL5をOFFとして、加圧装置13とマスタチャンバMおよびワークWとを絶縁させ、加圧されたマスタチャンバMとワークWとを等圧にする。
コントローラ50は、シーケンスSE7において、バルブVL4、バルブVL8、バルブVL9およびバルブVL11のON状態を保持するとともに、バルブVL10をONとして、マスタチャンバMとワークWとの連通を絶縁させ、マスタチャンバMおよびワークWを独立させた状態で安定させる。
コントローラ50は、シーケンスSE7の安定状態から所定時間経過した後のシーケンスSE8において(シーケンスSE7からのバルブ制御はない)、差圧センサ53によって検出されるマスタチャンバMとワークWとの差圧Pdを検出する。このとき、差圧Pdが所定値P1より小さければ、ワークWのリーク検査を合格とする。
コントローラ50は、シーケンスSE9において、バルブVL9およびバルブVL11のON状態を維持するとともに、バルブVL1、バルブVL2、バルブVL6、バルブVL7およびバルブVL12をONとして、消音器MU3とマスタチャンバMとワークWとを全て連通させ、マスタチャンバMおよびワークWの残圧を大気中に開放する。
このような構成として、リーク検査を実施する前に、ワークWの内部の水残りを水蒸気として気化して吸引することで、ワークWの内部から水残りを完全に除去できる。また、リーク検査を実施する前に、ワークW自体を所定温度T1まで上昇させることで、ワークWの環境およびワークW自体を含めたワークWの温度変化に影響されずにリーク検査を実施できる。
このようにして、リーク検査を実施する前に、リーク検査を実施する際の外乱となるワークWの温度変化およびワークW内部の水残りを除去できるため、リーク検査において確実に漏れを検出できる。また、ワークWとマスタチャンバMの差圧Pdによって、リーク検査を判定するため、微小な漏れについても検出できる。
図6を用いて、第3実施形態であるリーク検査装置30について説明する。
第3実施形態であるリーク検査装置30は、第1実施形態であるリーク検査の外乱となるワークW内部の水残り、ならびに、ワークWの温度変化を除去する装置の構成に対し、ワークWの内部から気体を吸引してワークWからの漏れを検査する、負圧エアリークテストを行う装置の構成を追加したものである。以下、第1実施形態および第2実施形態と同符号のものについては、第1実施形態および第2実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。
第3実施形態であるリーク検査装置30は、第1実施形態であるリーク検査の外乱となるワークW内部の水残り、ならびに、ワークWの温度変化を除去する装置の構成に対し、ワークWの内部から気体を吸引してワークWからの漏れを検査する、負圧エアリークテストを行う装置の構成を追加したものである。以下、第1実施形態および第2実施形態と同符号のものについては、第1実施形態および第2実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。
なお、第3実施形態におけるバルブVL2〜VL5は、それぞれ第1実施形態におけるバルブVL1〜VL4に、第3実施形態におけるバルブVL7〜VL10は、それぞれ第1実施形態におけるバルブVL5〜VL8に相当するものであり、第3実施形態におけるバルブVL1、バルブVL6ならびにバルブVL11〜VL13は、ワークWからの漏れを検査する際に用いられるバルブとして、新たに設けられたものである。また、第3実施形態における減圧タンク22は、第1実施形態における減圧タンク21に相当するものであり、減圧タンク21は、第3実施形態において新たに設けられたものである。
リーク検査装置30は、減圧手段としての減圧装置11と、加圧手段としての加圧装置12と、減圧タンク21と、減圧タンク22と、マスタチャンバMと、を具備している。減圧装置11、加圧装置12、減圧タンク21、減圧タンク22およびマスタチャンバMは、空気配管で接続され空気圧回路A3を構成している。
リーク検査装置30は、バルブVL0〜バルブVL13と、消音器MU1と、消音器MU2と、消音器MU3と、を具備している。バルブVL0〜バルブVL13、消音器MU1、消音器MU2および消音器MU3は、空気配管で接続され空気圧回路A3を構成している。
リーク検査装置30は、制御手段としてのコントローラ50と、バルブ制御用空気圧回路60と、圧力検出手段としての圧力センサ51と、温度検出手段としての温度センサ52と、差圧センサ53と、を具備している。バルブ制御用空気圧回路60、圧力センサ51、温度センサ52および差圧センサ53は、コントローラ50に接続されている。
図7を用いて、実施形態3のリーク検査制御について説明する。
図7では、コントローラ50による空気圧回路A3のバルブシーケンス制御について説明する。コントローラ50によるアクチュエータの作動については、実施形態1と同様であるため説明を省略する。
図7では、コントローラ50による空気圧回路A3のバルブシーケンス制御について説明する。コントローラ50によるアクチュエータの作動については、実施形態1と同様であるため説明を省略する。
以下では、コントローラ50は、バルブ制御用空気圧回路60を介してバルブVL0〜バルブVL13を制御するものとする。減圧工程としてのシーケンスSE1では、バルブVL0、バルブVL1およびバルブVL2をONとして(その他のバルブVL3〜バルブVL13はOFF)、減圧装置11と減圧タンク21・22とを連通させ、減圧タンク21・22の内部を減圧する。実施形態3におけるシーケンスSE2、シーケンスSE3およびシーケンスSE4は、実施形態1のシーケンスSE2、シーケンスSE3およびシーケンスSE4と同様であるため説明を省略する。
コントローラ50は、シーケンスSE5において、シーケンスSE4にてONされていたバルブVL5、バルブVL9およびバルブVL10のON状態を保持したまま、さらにバルブVL6およびバルブVL12をONとして、減圧タンク21とマスタチャンバMとワークWとを全て連通させ、マスタチャンバMとワークWとを減圧する。
コントローラ50は、シーケンスSE6において、バルブVL5、バルブVL9、バルブVL10およびバルブVL12のON状態を保持するとともに、バルブVL6をOFFとして、減圧タンク21とマスタチャンバMおよびワークWとを絶縁させ、減圧されたマスタチャンバMとワークWとを等圧にする。
コントローラ50は、シーケンスSE7において、バルブVL5、バルブVL9、バルブVL10およびバルブVL12のON状態を保持するとともに、バルブVL11をONとして、マスタチャンバMとワークWとの連通を絶縁させ、マスタチャンバMおよびワークWを独立させた状態で安定させる。
コントローラ50は、シーケンスSE7の安定状態から所定時間経過した後のシーケンスSE8において(シーケンスSE7からのバルブ制御はない)、差圧センサ53によって検出されるマスタチャンバMとワークWとの差圧Pdを検出する。このとき、差圧Pdが所定値P1より小さければ、ワークWのリーク検査を合格とする。
コントローラ50は、シーケンスSE9において、バルブVL10およびバルブVL12のON状態を維持するとともに、バルブVL1、バルブVL2、バルブVL3、バルブVL6、バルブVL7、バルブVL8およびバルブVL13をONとして、消音器MU1と消音器MU3と減圧タンク21とマスタチャンバMとワークWとを全て連通させ、マスタチャンバMおよびワークWの残圧を大気中に開放する。
このような構成として、リーク検査を実施する前に、ワークWの内部の水残りを水蒸気として気化して吸引することで、ワークWの内部から水残りを完全に除去できる。また、リーク検査を実施する前に、ワークW自体を所定温度T1まで上昇させることで、ワークWの環境およびワークW自体を含めたワークWの温度変化に影響されずにリーク検査を実施できる。
このようにして、リーク検査を実施する前に、リーク検査を実施する際の外乱となるワークWの温度変化およびワークW内部の水残りを除去できるため、リーク検査において確実に漏れを検出できる。また、ワークWとマスタチャンバMの差圧Pdによって、リーク検査を判定するため、微小な漏れについても検出できる。
10 リーク検査装置(第1実施形態)
20 リーク検査装置(第2実施形態)
30 リーク検査装置(第3実施形態)
11 減圧装置(減圧手段)
12 加圧装置(加圧手段)
13 加圧装置(加圧手段)
50 コントローラ(制御手段)
51 圧力センサ(圧力検出手段)
52 温度センサ(温度検出手段)
53 差圧センサ
20 リーク検査装置(第2実施形態)
30 リーク検査装置(第3実施形態)
11 減圧装置(減圧手段)
12 加圧装置(加圧手段)
13 加圧装置(加圧手段)
50 コントローラ(制御手段)
51 圧力センサ(圧力検出手段)
52 温度センサ(温度検出手段)
53 差圧センサ
Claims (2)
- ワークの内部に気体を封入または吸引して該ワークからの漏れを検査するリーク検査装置であって、
前記ワーク内部の気体を減圧する減圧手段と、
前記ワーク内部の気体を加圧する加圧手段と、
前記ワークの温度を検出する温度検出手段と、
前記ワーク内部の気体の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記減圧手段および前記加圧手段によって前記ワーク内の気体の圧力を制御する制御手段と、
を具備し、
前記制御手段は、
前記減圧手段によって、前記ワークの温度と同じ温度の飽和水蒸気圧を算出し、前記ワーク内部の気体を該飽和水蒸気圧まで減圧し、前記ワーク内部の気化した水蒸気を吸引し、
前記加圧手段によって、前記ワーク内部に気体を封入し、前記温度検出手段によって検出される前記ワークの温度が所定温度になるまで前記ワーク内部の気体を加圧する、
リーク検査装置。 - ワークの内部に気体を封入または吸引して該ワークからの漏れを検査するリーク検査方法であって、
前記ワーク内部の気体を、前記ワークの温度と同じ温度の飽和水蒸気圧まで減圧し、蒸発した水蒸気を吸引する減圧工程と、
前記ワーク内部に気体を封入し、前記ワークが所定温度になるまで前記ワーク内部の気体を加圧する加圧工程と、
を具備する、
リーク検査方法。
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