KR101577329B1

KR101577329B1 - 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치

Info

Publication number: KR101577329B1
Application number: KR1020147010460A
Authority: KR
Inventors: 데츠야 야마구치
Original assignee: 도요타 지도샤（주）
Priority date: 2011-10-26
Filing date: 2012-10-22
Publication date: 2015-12-14
Also published as: EP2771662A2; AU2012328118A1; US9404828B2; EP2771662B1; CN103890556B; WO2013061130A3; AU2012328118B2; US20140338427A1; WO2013061130A2; JP5664521B2; CN103890556A; KR20140063849A; BR112014009764B1; JP2013092481A; BR112014009764A2; PL2771662T3

Abstract

본 리크 테스트 방법은, 워크의 검사 공간 내의 제1압력 및 마스터 챔버의 공간 내의 제2압력을 감압하는 공정; 상기 워크의 검사 공간을 가습하는 공정; 및 상기 워크의 검사 공간을 수증기 포화시킨 상태에서, 상기 워크의 검사 공간과 상기 마스터 챔버의 공간 간의 차압의 변화를 검출하는 공정을 포함한다. 또한, 상기 리크 테스트 방법에 있어서, 상기 워크의 검사 공간 내의 누설은 상기 차압의 변화로부터 검출되는 것을 특징으로 한다.

Description

리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치{LEAK TEST METHOD AND LEAK TEST APPARATUS}

본 발명은 워크(work)의 피검사 공간, 즉 워크의 검사 공간의 누설을 검출하는 리크(leak) 테스트 방법 및 리크 테스트 장치의 기술에 관한 것이다.

종래 기술에 따른 리크 테스트 방법에서는, 워크의 검사 공간과 마스터 챔버의 공간을 가압하고, 가압 상태를 유지하고 있을 때, 상기 공간들 간의 차압의 변화를 검출함으로써 상기 워크의 검사 공간의 누설을 검출하고 있다. 이러한 리크 테스트 방법에 의하면, 가압 시 워크에 반력이 발생한다. 그러므로, 상기 워크를 시일(seal)하는 지그(jig)에 추력을 가하는 실린더 등이 대형화된다. 즉, 리크 테스트 방법을 행하기 위한 설비가 대형화된다.

일본실용신안출원공보 제60-111249호(JP60-111249U)에는, 워크의 검사 공간과 기준 탱크(즉, 마스터 챔버)의 공간을 감압하고, 상기 감압 상태를 유지하고 있을 때, 상기 공간들 간의 차압의 변화를 차압검출기를 이용하여 검출하는 리크 테스트 방법에 관한 기술이 개시되어 있다. 이러한 각 공간들을 감압하는 리크 테스트 방법에 의하면, 워크에 반력이 발생하지 않으므로, 리크 테스트 방법을 행하기 위한 설비가 소형화될 수 있다.

도 16은 워크의 검사 공간 내의 잔류 수분이 증발하는 방식을 도시한 도면이다. 도 16에 도시된 바와 같이, 누설이 검출되는 워크의 검사 공간에는, 누설을 검출하기 전에 행하여지는 공정에서 사용되는 수분(예를 들면, 냉각수(coolant) 등)이 잔류하는 경우들이 있다. 대기압 상태에서 검사 공간 내의 잔류 수분이 도 16에 도시되어 있다. 이러한 경우로는, 예를 들면 기계가공에 의해 워크들을 제조하는 양산 환경 하에서, 워크의 검사 공간의 누설을 검출하는 경우 등이 있다.

워크의 검사 공간 내의 압력은, 공기(즉, 공기 분자 및 수증기)가 외부로 배출됨으로써 감압되기 때문에, 감압의 정도에 따라 습도가 떨어진다. 감압되었을 때의 검사 공간이 도 16에 도시되어 있다. 즉, 워크의 검사 공간은, 감압 시에 건조된다. 워크의 검사 공간의 누설 검출은 감압 상태를 유지해서 이루어진다. 그 결과, 워크의 검사 공간은 건조한 상태가 유지되어, 잔류 수분의 기화가 촉진되어버린다. 이러한 잔류 수분의 기화에 의해, 워크의 검사 공간 내의 수증기압이 상승하게 된다. 진공 유지 시의 검사 공간 내의 수증기압의 상승이 도 16에 도시되어 있다. 그러므로, 누설 검출 시, 검사 공간의 압력이 변화하고, 차압 변화도 발생하게 된다.

즉, JP60-111249U에 개시된 기술에 의하면, 도 17a에 도시된 바와 같이, 워크의 검사 공간에 수분이 남아있는 경우, 상기 워크의 검사 공간에 누설이 없는 경우에도, 잔류 수분의 기화로 인하여 큰 차압의 변화가 발생한다. 또한 JP60-111249U에 개시된 기술에 의하면, 도 17a에 도시된 잔류 수분의 기화로 인한 차압의 변화와, 도 17b에 도시된 바와 같이, 워크의 검사 공간에 누설이 있어 외부로부터 검사 공간 내에 공기가 유입되는 경우의 차압의 변화 간에 식별하는 것이 가능하지 않다. 도 17b에서, 검사 공간에 유입되는 공기의 흐름은 화살표로 표시되어 있다. 즉, JP60-111249U에 개시된 기술에 의하면, 검사 공간에 누설이 없는 워크를, 검사 공간에 누설이 있는 워크로 검출해버릴 가능성이 있다. 즉, 수증기압의 상승으로 인하여 오류 검출이 발생해버릴 가능성이 있다.

그러므로, 본 발명은 수증기압의 상승에 의한 오류 검출의 발생을 방지하거나 최소화하는 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치를 제공한다. 이하, "수증기 포화(water-vapor saturated)"라는 용어는, 워크 내의 검사 공간이 완전히 수증기 포화된 상태 뿐만 아니라, 상기 워크 내의 검사 공간이 수증기압의 상승으로 인하여 오류 검출이 발생하는 것을 방지하는 정도로 가습된 상태를 포함하는 용어로 사용된다.

본 발명의 제1형태는, 워크의 검사 공간 내의 제1압력 및 마스터 챔버의 공간 내의 제2압력을 감압하는 공정; 상기 워크의 검사 공간을 가습하는 공정; 및 상기 워크의 검사 공간을 수증기 포화시킨 상태에서, 상기 워크의 검사 공간과 상기 마스터 챔버의 공간 간의 차압의 변화를 검출하는 공정을 포함하는 리크 테스트 방법에 관한 것이다. 또한, 이러한 리크 테스트 방법에 있어서는, 상기 워크의 검사 공간 내의 누설이 상기 차압의 변화로부터 검출된다.

본 발명의 제1형태에 있어서, 상기 워크의 검사 공간을 가습하는 공정에 있어서, 상기 워크의 검사 공간은, 상기 워크에 연결되는 가습 디바이스에 의하여, 상기 워크의 검사 공간 내에 수증기를 포함하는 유체를 도입함으로써 외부로부터 가습될 수도 있다.

상술된 구조에 있어서, 상기 제1압력 및 상기 제2압력은, 상기 워크의 검사 공간 내로 도입되는 유체의 유량을 스로틀 밸브에 의해 조정한 상태에서, 상기 제1압력을 감압하여 상기 워크의 검사 공간의 가습과 동시에 감압될 수도 있다.

본 발명의 제1형태에 있어서, 상기 워크의 검사 공간을 가습하는 공정에 있어서, 상기 제1압력은, 상기 워크의 검사 공간에 보수성 재료(water-retentive material)를 배치한 상태에서 감압될 수도 있다.

본 발명의 제2형태는, 마스터 챔버, 감압 디바이스, 가습 디바이스, 및 검출 디바이스를 포함하는 리크 테스트 장치에 관한 것이다. 상기 감압 디바이스는, 워크의 검사 공간 내의 제1압력 및 마스터 챔버의 공간 내의 제2압력을 감압하도록 구성되어 있다. 상기 가습 디바이스는, 상기 워크의 검사 공간을 가습하도록 구성되어 있다. 상기 검출 디바이스는, 상기 워크의 검사 공간을 수증기 포화시킨 상태에서, 상기 워크의 검사 공간과 상기 마스터 챔버의 공간 간의 차압의 변화를 검출하도록 구성되어 있다. 또한, 상기 워크의 검사 공간 내의 누설은 상기 차압의 변화로부터 검출된다.

본 발명의 제2형태에 있어서, 상기 가습 디바이스는, 상기 워크에 연결될 수도 있고, 상기 워크의 검사 공간 내로 수증기를 포함하는 유체를 도입함으로써 외부로부터 상기 워크의 검사 공간을 가습할 수도 있다.

상술된 구조를 갖는 리크 테스트 장치는 또한 상기 워크의 검사 공간 내에 도입되는 유체의 유량을 조정하는 스로틀 밸브를 포함할 수도 있다. 또한, 상기 제1압력 및 상기 제2압력은, 상기 유체의 유량을 스로틀 밸브에 의해 조정한 상태에서, 상기 제1압력을 감압하여 상기 워크의 검사 공간의 가습과 동시에 감압된다.

본 발명의 제2형태에 있어서, 상기 가습 디바이스는, 상기 워크의 검사 공간에 배치되는 보수성 재료를 포함할 수도 있고, 상기 보수성 재료 내의 수분은 상기 제1압력을 감압하여 기화될 수도 있다.

본 발명의 제2형태에 있어서, 차압의 변화가 검출되면, 워크의 검사 공간은 수증기 포화 상태로 된다. 그러므로, 워크의 검사 공간에 잔류하는 수분의 기화가 억제되어, 상기 검출 공정에서 수증기압의 상승으로 인한 오류 검출의 발생을 방지하게 된다.

본 발명의 예시적인 실시예들의 특징, 장점, 그리고 기술적 및 산업상 현저성은, 동일한 부호들이 동일한 요소들을 나타내는 첨부 도면들을 참조하여 후술하기로 한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 리크 테스트 장치의 구성을 나타내는 도면;
도 2는 가습 기구의 본체의 구성을 나타내는 도면;
도 3은 가습 기구의 동작을 나타내는 도면;
도 4는 밸브 시퀀스를 나타내는 도면;
도 5는 감압 공정 및 가습 공정에 있어서의 각 밸브의 상태를 나타내는 도면;
도 6은 가습 공정에 있어서의 워크의 검사 공간의 습도의 변화를 나타내는 도면;
도 7은 평형 공정 및 검출 공정에 있어서의 각 밸브의 상태를 나타내는 도면;
도 8은 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법에 있어서의 워크의 검사 공간의 상태를 나타내는 도면;
도 9는 진공 파괴(vacuum break) 시의 각 밸브의 상태를 나타내는 도면;
도 10은 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법을 사용한 시험 결과들을 나타내는 도면;
도 11은 리크 테스트 장치의 제1변형예를 나타내는 도면;
도 12는 리크 테스트 장치의 제2변형예를 나타내는 도면;
도 13은 리크 테스트 장치의 제3변형예를 나타내는 도면;
도 14는 제3변형예에 있어서의 가습 공정을 나타내는 도면;
도 15는 워크와 감압 펌프 사이에 리크 테스트 장치의 본체를 배치하는 경우, 검사 공간의 감압 시의 공기의 흐름을 나타내는 도면;
도 16은 종래 기술에 따른 워크의 검사 공간의 잔류 수분이 기화하는 방식을 도시한 도면;
도 17a는 종래 기술에 따른 워크의 검사 공간에 잔류하는 수분을 나타내는 도면; 및
도 17b는 워크의 검사 공간에서의 누설을 도시한 도면이다.

이하에서는, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치(1)에 대해 설명하기로 한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 상기 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치(1)는, 워크(W)에 형성되는 검사 공간(W2)의 누설의 유무를 검출한다.

본 예시적인 실시예의 워크(W)는 실린더 블록이다. 상기 검사 공간(W2)은, 실린더 블록의 보어(W1)에 의해 형성되는 공간이다. 상기 워크(W) 및 검사 공간(W2)이 본 예시적인 실시예로 한정되는 것은 아니다.

상기 리크 테스트 장치(1)는, 상기 리크 테스트 장치(1)의 본체(10), 마스터 챔버(20), 감압 펌프(30), 가습 기구(40), 스로틀 밸브(50), 및 가압 펌프(60) 등을 포함한다. 상기 리크 테스트 장치(1)는, 각 구성 부재를 복수의 방향제어밸브(즉, 제1밸브(VL1) 내지 제6밸브(VL6)) 및 배관 등에 의해 서로 연결함으로써 구성된다.

상기 리크 테스트 장치(1)의 본체(10)는, 워크(W)와 마스터 챔버(20) 사이에 배치되어 있다. 상기 리크 테스트 장치(1)의 본체(10)는, 차압 센서(11)를 이용하여 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)과 상기 마스터 챔버(20)의 공간(21) 간의 차압의 변화를 검출한다. 상기 리크 테스트 장치(1)의 본체(10)의 내측에는, 제2밸브(VL2), 제3밸브(VL3), 및 제4밸브(VL4)가 배치된다.

상기 제2밸브(VL2)는, 제1밸브(VL1), 및 워크(W)와 마스터 챔버(20) 사이에 배치되어, 상기 제2밸브(VL2)가 온이 되었을 때에 개방된다. 상기 제2밸브(VL2)가 개방되면, 상기 워크(W) 및 마스터 챔버(20)는, 상기 제2밸브(VL2)에 대하여 상기 제1밸브(VL1)측의 배관과 연통한다. 상기 제2밸브(VL2)가 폐쇄되면, 상기 제1밸브(VL1), 워크(W), 및 마스터 챔버(20)가 서로 컷오프(cut off)된다.

상기 제3밸브(VL3)는, 제4밸브(VL4), 및 워크(W)와 마스터 챔버(20) 사이에 배치되어, 상기 제3밸브(VL3)가 오프가 되었을 때에 개방된다. 상기 제3밸브(VL3)가 개방되면, 상기 워크(W) 및 마스터 챔버(20)는, 상기 제3밸브(VL3)에 대하여 상기 제4밸브(VL4)측의 배관과 연통한다. 상기 제3밸브(VL3)가 폐쇄되면, 상기 제4밸브(VL4), 워크(W), 및 마스터 챔버(20)가 서로 컷오프된다.

상기 제4밸브(VL4)는, 제3밸브(VL3)와 대기가 도입되는 소음기 사이에 배치되어, 상기 제4밸브(VL4)가 온이 되었을 때에 개방된다. 상기 제4밸브(VL4)가 개방되면, 상기 소음기는 상기 제4밸브(VL4)에 대하여 상기 제3밸브(VL3)측의 배관과 연통한다. 상기 제4밸브(VL4)가 폐쇄되면, 상기 소음기는, 상기 제4밸브(VL4)에 대하여 상기 제3밸브(VL3)측의 배관과 컷오프된다. 또한, 상기 제3밸브(VL3)를 턴 오프시키고 상기 제4밸브(VL4)를 턴 온시킴으로써, 워크(W) 및 마스터 챔버(20)가 상기 소음기와 연통하게 되어, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)과 상기 마스터 챔버(20)의 공간(21) 안으로 대기가 도입되게 된다(도 9 참조).

상기 마스터 챔버(20)는, 그 내측에 형성되는 공간(21)로부터 공기가 새어나가지 않도록 밀폐되어 있는 용기이다. 상기 마스터 챔버(20)는, 제1밸브(VL1) 및 제2밸브(VL2)를 통해 가압 펌프(60)에 연결되고, 제3밸브(VL3) 및 제5밸브(VL5)를 통해 감압 펌프(30)에 연결된다.

상기 제5밸브(VL5)는, 워크(W)와 감압 펌프(30) 사이에 배치되어, 상기 제5밸브(VL5)가 온이 되었을 때에 개방된다. 상기 제5밸브(VL5)가 개방되면, 상기 워크(W)는 상기 감압 펌프(30)와 연통되고, 상기 제5밸브(VL5)가 폐쇄되면, 상기 워크(W)는 상기 감압 펌프(30)와 컷오프된다.

상기 감압 펌프(30)는, 상기 공간들(W2, 21) 내의 공기를 흡인해서 그것(즉, 공기)을 외부로 배출하므로, 상기 공간들(W2, 21)을 감압하게 된다. 즉, 상기 리크 테스트 장치(1)는, 감압 시에 흡인하는 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 내의 공기가 상기 리크 테스트 장치(1)의 본체(10)를 통과하지 않도록 구성되어 있다. 즉, 상기 감압 펌프(30)는 상기 워크(W)에 직접적으로 연결된다. 여기서, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 내의 압력은 제1압력으로서의 역할을 하고, 마스터 챔버(20)의 공간(21) 내의 압력은 제2압력으로서의 역할을 한다.

상기 가습 기구(40)는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 가습한다. 상기 가습 기구(40)는, 상기 가습 기구(40)의 본체(41), 순환 펌프(42), 및 수조(43)를 포함한다. 상기 가습 기구(40)는, 상기 가습 기구(40)의 본체(41)에 상기 순환 펌프(42) 및 상기 수조(43)를 연결함으로써 구성된다.

도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 상기 가습 기구(40)의 본체(41)에는, 복수의 중공사막(hollow fiber membranes; 41a)이 수용되어 있다. 상기 중공사막(41a)의 양 단부들은 길이 방향으로 개방되어 있다. 상기 개구부들은 서로 연속해서 연결되어 있는데, 즉 상기 개구부들은 한 평면에 서로 인접하여 배치되어 있다. 상술된 바와 같이, 상기 중공사막(41a)은 튜브로 형성되어 있다. 상기 중공사막(41a)은, 가습하는 방향(즉, 도 2가 도시된 지면의 좌측에서 우측으로 향하는 방향, 즉 길이 방향)으로 묶이고, 그 길이 방향의 양 단부들이 서로 수지(4lb)에 의해 고정된다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 가습 기구(40)는, 상기 수조(43)의 물(43a)을, 상기 순환 펌프(42)를 이용하여 상기 가습 기구(40)의 본체(41)와 수조(43) 사이에서 순환시킨다. 도 2에서, 상기 가습 기구(40)의 본체(41)의 상측에 있는 화살표(즉, 길이 방향에 수직인 방향을 가리키는 화살표)들은 상기 가습 기구(40)의 본체(41)와 상기 수조(43) 사이에서 순환하는 물의 흐름을 나타낸다. 이에 따라, 상기 가습 기구(40)는, 수증기만을 상기 중공사막(41a) 안으로 선택적으로 투과시켜, 상기 중공사막(41a)의 내측을 통과하는 공기를 수증기 포화시킨다. 여기서, 공기가 수증기 포화되는 방식은, 도 2의 상기 가습 기구(40)의 본체(41)의 좌우 양측에 있는 화살표(즉, 길이 방향으로 가리키는 화살표)들, 및 도 3에 나타내는 수증기로 표시되어 있다. 이러한 종류의 가습 기구(40)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제6밸브(VL6)를 통해 워크(W)에 연결된다.

상기 제6밸브(VL6)는, 워크(W)와 가습 기구(40) 사이에 배치되어, 상기 제6밸브(VL6)가 온이 되었을 때에 개방된다. 상기 제6밸브(VL6)가 개방되면, 상기 워크(W)가 상기 가습 기구(40)와 연통되며, 상기 제6밸브(VL6)가 폐쇄되면, 상기 워크(W)가 상기 가습 기구(40)로부터 컷오프된다. 즉, 상기 가습 기구(40)는, 상기 제6밸브(VL6)를 턴 온시키고, 상기 가습 기구(40)로부터 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 내로 수증기 포화 상태의 공기를 도입함으로써, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 가습시킨다(도 5 참조).

상기 스로틀 밸브(50) 안으로는 소음기에 의해 대기가 도입된다. 상기 스로틀 밸브(50)의 개방도를 조정함으로써 대기의 유량이 상기 가습 기구(40) 안으로 도입되기 전에 상기 대기의 유량이 조정된다.

상기 가압 펌프(60)는, 각각의 공간들(W2, 21)에 압축 에어를 충전하여 상기 공간들(W2, 21)을 가압하게 된다. 상기 가압 펌프(60)는, 제1밸브(VL1) 및 제2밸브(VL2)를 통해 상기 워크(W) 및 상기 마스터 챔버(20)에 연결된다.

상기 제1밸브(VL1)는, 가압 펌프(60)와 제2밸브(VL2) 사이에 배치되어, 상기 제1밸브(VL1)가 온이 되었을 때에 개방된다. 상기 제1밸브(VL1)가 개방되면, 상기 가압 펌프(60)는 상기 제1밸브(VL1)에 대하여 제2밸브(VL2)측의 배관과 연통되고, 상기 제1밸브(VL1)가 폐쇄되면, 상기 가압 펌프(60)는 상기 제2밸브(VL2)측의 배관으로부터 컷오프된다. 즉, 상기 공간들(W2, 21)을 가압하는 경우, 상기 제1밸브(VL1) 및 상기 제2밸브(VL2)가 온 된다.

상기 밸브들(VL1 내지 VL6)은, 도시하지 않는 컨트롤러로부터 소정의 신호들을 수신함으로써 소정의 밸브 순서 제어(예를 들면, 도 4에 나타나 있는 바와 같은 밸브 순서 제어)를 행한다.

상기 워크(W)는, 제2밸브(VL2) 및 제3밸브(VL3)을 통해 마스터 챔버(20)에 연결된다. 상기 차압 센서(11)는, 상기 모든 밸브들(VL1 내지 VL6)을 닫은 상태에서, 상기 공간들(W2, 21) 간의 차압의 변화를 검출한다(도 7 참조). 상기 검사 공간(W2)의 누설을 검출하면, 상기 워크(W)에는 상기 검사 공간(W2)을 밀폐하는 지그(W10)가 장착된다.

본 실시예에서와 같이, 상기 워크(W)가 실린더 블록인 경우, 상기 지그(W10)의 하측에는 상기 워크(W)를 시일하는 하나의 러버 코드(rubber cord; W11)가 장착된다. 상기 워크(W)의 상측에는, 엔진의 냉각수를 순환시키는 워터 재킷(water jacket; W3)이 형성된다. 그러므로, 상기 지그(W10)의 상측에는, 보어(W1)와 워터 재킷(W3)을 분리시켜 상기 워크(W)를 시일하는 두 개의 러버 코드(W11)가 장착된다.

이러한 종류의 지그(W10)에는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)의 용적을 저감하기 위한 코어(W12)가 설치된다. 상기 지그(W10)에 상기 코어(W12)를 설치함으로써, 누설에 의한 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 내의 압력 변동을 상대적으로 크게 하여, 상기 차압 센서(11)의 측정값이 훨씬 더 커지게 된다.

다음으로, 리크 테스트 장치(1)를 사용하여 행하는 리크 테스트 방법의 동작에 대해서 설명하기로 한다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 먼저 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법에서는, 감압 공정 및 가습 공정을 행한다. 도 4는 상기 밸브들(VL1 내지 VL6)의 스위칭 상태들을 시퀀스들로서 나타내고 있다. 보다 상세하게는, 도 4에 도시된 밸브 시퀀스들에 있어서, 상기 시퀀스들을 나타내는 라인들이 상측에 위치하는 경우에는, 상기 밸브들(VL1 내지 VL6)이 온이 되고, 상기 시퀀스들을 나타내는 라인들이 하측에 위치하는 경우에는, 상기 밸브들(VL1 내지 VL6)이 오프가 되는 것을 나타내고 있다.

감압 공정 및 가습 공정에 있어서는, 도 1 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 소정의 시간이 경과할 때까지 상기 밸브들(VL1 내지 VL6)이 턴 오프된다. 그리고 소정의 시간이 경과한 후, 감압 공정 및 가습 공정에 있어서는, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 제2밸브(VL2), 제5밸브(VL5), 및 제6밸브(VL6)가 턴 온된다. 즉, 감압 공정 및 가습 공정에 있어서는, 제2밸브(VL2), 제3밸브(VL3), 제5밸브(VL5), 및 제6밸브(VL6)가 개방된다. 이 때, 상기 감압 펌프(30) 및 상기 가습 기구(40)가 그 동작을 개시한다.

즉, 상기 리크 테스트 장치(1)는, 상기 감압 펌프(30)를 이용하여 상기 공간들(W2, 21)로부터 공기를 흡인하고, 그것(즉, 공기)을 외부로 배출한다. 도 5에 나타내는 화살표 R1은, 흡인되어 외부로 배출되는 공기의 흐름을 나타낸다. 이러한 방식으로, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 의하여, 상기 공간들(W2, 21) 내부를 감압하는 감압 공정을 행한다.

상기 공간들(W2, 21)을 감압하는 경우, 상기 가습 기구(40)의 공기도 상기 감압 펌프(30)에 의해 흡인되어, 상기 가습 기구(40)로부터 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 안으로 상기 수증기 포화 상태의 공기가 도입되게 된다. 도 5에 나타내는 화살표 R2는, 도입되는 수증기 포화 상태의 공기의 흐름을 나타낸다. 이에 따라, 도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)이 점진적으로 가습된다. 이러한 방식으로, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 의하여, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 가습하는 가습 공정을 행한다. 또한, 상기 가습 기구(40)는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 가습하기 위한 가습 디바이스로서 기능한다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 가습하는 경우, 상기 스로틀 밸브(50)를 통해 상기 가습 기구(40) 안으로 대기가 도입된다. 즉, 상기 가습 기구(40)로부터 상기 워크(W) 안으로 도입되는 수증기 포화 상태의 공기의 유량은, 상기 감압 펌프(30)에 의해 배출되는 공기의 유량보다 적다. 따라서, 상기 감압 펌프(30)는, 상기 감압 펌프(30)에 의한 감압 정도가 상기 가습 기구(40)로부터 도입되고 있는 공기로 인하여 약간 저하되지만, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 내부를 점진적으로 감압한다.

즉, 상기 리크 테스트 장치(1)에 의하면, 상기 가습 기구(40)에 의한 영향을 고려하여, 상기 감압 펌프(30)에 의한 감압 정도가 설정된다. 또한, 상기 스로틀 밸브(50)의 개방도가 조정된다.

본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 있어서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 시간 T가 경과한 경우, 감압 공정 및 가습 공정이 종료한다. 이 때, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 내의 압력은, 누설의 검출 시에 설정된 소정의 압력까지 감압되고, 수증기 포화된다. 도 8은 감압 공정 및 가습 공정 시에 수증기 포화된 상태에 있는 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 보여준다.

이러한 방식으로, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 있어서, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 안으로 도입하는 수증기 포화 상태의 공기의 유량을 상기 스로틀 밸브(50)에 의해 조정한 상태에서, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 감압함으로써 상기 감압 공정 및 상기 가습 공정을 동시에 행한다. 즉, 제1압력(즉, 워크(W)의 검사 공간(W2) 내의 압력) 및 제2압력(즉, 마스터 챔버(20)의 공간(21) 내의 압력)은, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 안으로 도입되는 유체의 유량을 상기 스로틀 밸브(50)에 의해 조정한 상태에서, 상기 제1압력을 감압시켜 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)의 가습과 동시에 감압된다. 또한, 상기 리크 테스트 장치는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 안으로 도입하는 수증기 포화 상태의 공기의 유량을 상기 스로틀 밸브(50)에 의해 조정한 상태에서, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 감압함으로써, 상기 공간들(W2, 21)의 감압과 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)의 가습을 동시에 행한다.

이에 따라, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 장치(1) 및 상기 리크 테스트 방법은, 단지 제2밸브(VL2), 제3밸브(VL3), 제5밸브(VL5), 및 제6밸브(VL6)를 개방시켜 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)의 감압 및 가습을 행한다. 즉, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 장치(1) 및 리크 테스트 방법은, 감압 공정 및 가습 공정에 있어서의 밸브 순서 제어를 단순화할 수 있다.

상기 스로틀 밸브(50)의 배치 위치는, 수증기 포화 상태의 공기의 유량을 조정할 수 있는 위치이기만 하면 되고, 본 실시예로 한정되는 것은 아니다.

감압이 이루어지면, 결과적으로 상기 공간들(W2, 21)의 온도도 저하한다. 그리고, 상기 공간들(W2, 21)의 온도가 소정의 시간이 경과할 때까지 상승한 다음, 안정화된다. 이러한 종류의 온도 상승은 누설의 검출 결과에 영향을 준다. 그러므로, 감압 공정 및 가습 공정이 종료한 후, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법에 있어서는, 도 1 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 밸브들(VL1 내지 VL6)을 턴 오프시킨 다음, 일정 시간 동안 대기하는 등압(pressure-equalizing) 공정을 행한다. 그 결과, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 의하면, 상기 공간들(W2, 21)의 온도가 안정화된다.

상기 등압 공정을 행한 후, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에서는, 도 4 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 제3밸브(VL3)만을 턴 온시킨 다음, 일정 시간 동안 대기하는 평형(equilibrating) 공정을 행한다. 즉, 상기 평형 공정에서는, 상기 제3밸브(VL3)가 폐쇄되어, 상기 모든 밸브들(VL1 내지 VL6)이 폐쇄되게 된다. 그 결과, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 의하면, 제3밸브(VL3)가 폐쇄되는 경우에 발생하는 압력 변동이, 누설의 검출 결과들에 영향을 주는 것을 방지하게 된다.

상기 평형 공정을 행한 후, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에서는 검출 공정을 행한다. 상기 검출 공정에서는, 상기 밸브들(VL1 내지 VL6)이 폐쇄된 상태에서, 상기 차압 센서(11)에 의해 상기 공간들(W2, 21) 간의 차압의 변화를 검출한다. 상기 차압 센서(11)의 측정값이 소정의 임계값을 초과하는 경우, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에서는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 누설이 있다고 판단한다. 따라서, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치(1)가, 감압된 공간들(W2, 21) 간의 차압의 변화로부터, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)의 누설을 검출하게 된다.

도 8에 나타내는 바와 같이, 상기 검출 공정에 있어서, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)은, 소정의 압력까지 감압된 상태에 있고, 수증기 포화된 상태에 있다. 상술된 바와 같이, 도 8은 감압 공정 및 가습 공정 시의 수증기 포화된 상태에 있는 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 보여준다. 따라서, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 의하면, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 수분(W4)이 잔류하는 경우에도, 상기 검출 공정에 있어서, 상기 잔류 수분(W4)의 기화가 억제된다. 도 8은 검출 공정 시에 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 내의 잔류 수분(W4)의 기화가 억제되는 방식을 보여준다.

즉, 종래 기술에 의하면, 잔류 수분(W4)으로 인하여 차압의 변화가 발생하지만, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 의하면, 상기 차압의 변화가 억제된다. 그러므로, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에 의하면, 상기 차압 센서(11)에 의해 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 누설이 있는 경우에만, 차압의 변화가 검출된다. 상술된 바와 같이, 도 17b는 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 누설이 있는 상태를 도시하고 있는 도면이다.

본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치(1)에 따르면, 상기 검사 공간(W2)에 누설이 없는 워크(W)를, 상기 검사 공간(W2)에 누설이 있는 워크(W)로서 검출해버리는 것을 방지할 수 있다. 즉, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치(1)는, 수증기압의 상승으로 인한 오류 검출의 발생을 방지할 수 있다.

이러한 방식으로, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법에 의하면, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 수증기 포화시킨 상태에서, 차압의 변화를 검출하는 검출 공정을 행한다. 또한, 상기 리크 테스트 장치(1)는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 수증기 포화시킨 상태에서, 차압의 변화를 검출하기 위한 검출디바이스로서 기능한다.

상기 검출 공정을 행한 후, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에서는, 도 4 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 제3밸브(VL3)를 턴 오프시키고 제4밸브(VL4)를 턴 온시켜 진공 파괴를 행한다. 즉, 제3밸브(VL3) 및 제4밸브(VL4)를 개방하여, 상기 공간들(W2, 21) 안으로 대기를 도입하고, 그 결과 상기 공간들(W2, 21) 내의 압력을 대기압 상태가 되게 한다. 이에 따라, 상기 검사 공간(W2)의 누설의 검출이 종료한다. 이하, 이러한 누설 검출을 "리크 테스트"라고 명명하기로 한다.

상기 진공 파괴를 행한 후, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법에서는, 도 1 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 밸브들(VL1 내지 VL6)이 턴 오프되고, 상기 리크 테스트 장치(1)는 대기 상태로 된다. 대기 상태에서는, 리크 테스트를 종료한 워크(W)가 별도의 검사 대상 워크(W)로 대체된다.

본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치(1)에 의하면, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 수분(W4)이 잔류하고 있는 것이 상정되는 환경(예를 들면, 워크(W)들이 기계가공에 의해 제조되는 양산 환경 등)에서도, 수증기압의 상승으로 인한 오류 검출이 발생하지 않아(또는 오류 검출의 발생을 억제하면서) 리크 테스트를 행할 수 있다.

상기 가습 공정에서는, 상기 리크 테스트의 결과에 영향이 없는 범위 내에서, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 가습하면 된다. 반드시 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 완전히 수증기 포화시킬 필요는 없다.

다음으로, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법에 관한 시험 결과들에 대해서 설명하기로 한다.

상기 테스트에 있어서는, 검사 공간(W2)에 리크가 발생하지 않는 워크(W)에 대하여, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법을 사용하는 리크 테스트 및 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법을 사용하지 않는(즉, 가습 공정을 행하지 않는) 리크 테스트를 반복해서 행하였다. 또한, 차압 센서(11)의 측정값이 환산되는 누설량의 평균값을 산출하였다. 도 10은 시험 결과들을 나타내는 도면이다.

도 10의 좌단에 도시된 막대 그래프는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 소정량의 수분(W4)을 잔류시켜, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법을 사용하지 않고 리크 테스트를 행한 결과를 나타낸다. 이러한 종류의 리크 테스트의 결과로서, 상기 리크 테스트 장치(1)의 측정 오차로서 설정되는 규정값 n을 크게 초과하는 누설이 검출되었다.

상기 좌단에 도시된 막대 그래프로부터, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 수분(W4)이 잔류하여, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법을 사용하지 않고 리크 테스트를 행하였을 경우에는, 상기 리크 테스트의 결과가, 잔류 수분(W4)의 기화에 의한 차압의 변화에 영향을 받게 된다는 것은 자명하다. 즉, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법을 사용하지 않고 리크 테스트를 행하였을 경우에는, 수증기압의 상승으로 인하여 오류 검출이 발생해버리는 것은 자명하다. 상술된 바와 같이, 수증기압의 상승으로 인하여 오류 검출이 발생하는 방식이 도 17a에 예시되어 있다.

도 10의 좌우 방향으로 중앙에 도시된 막대 그래프는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 소정량의 수분(W4)을 잔류시켜, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법을 사용한 리크 테스트를 행한 결과를 나타낸다. 이러한 종류의 리크 테스트의 결과로서, 상기 규정값 n 보다 작은 누설량이 검출되었다.

이러한 막대 그래프로부터, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 수분(W4)이 잔류하고 있는 상태에서, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법을 사용하여 리크 테스트를 행하였을 경우에는, 잔류 수분(W4)의 기화를 억제할 수 있기 때문에, 적절한 검출 결과가 얻어진 것이 분명하다. 즉, 본 예시적인 실시예에 따른 리크 테스트 방법을 사용하여 리크 테스트를 행하였을 경우에는, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법을 사용하지 않은 경우에서와 같이, 수증기압의 상승에 의한 오류 검출의 발생을 방지할 수 있다는 것이 분명하다.

도 10의 우단에 도시된 막대 그래프는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 수분(W4)을 잔류시키지 않고, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법을 사용하여 리크 테스트를 행한 결과를 나타낸다. 이러한 종류의 리크 테스트의 결과로서, 상기 규정값 n 보다 작은 누설량이 검출되었다.

이상에서, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 잔류하는 수분(W4)의 유무에 관계없이, 본 예시적인 실시예의 리크 테스트 방법을 사용하여 리크 테스트를 행하는 경우에는, 적절한 검출 결과가 얻어지는 것이 분명하다.

상기 가습 공정에 있어서, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)은, 상기 리크 테스트의 결과에 영향을 주지 않을 범위 내에서 가습되기만 하면 된다. 반드시 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 완전히 수증기 포화시킬 필요는 없다. 예를 들어, 수증기 포화 상태는 또한 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)이 규정값 n 보다 작은 누설량이 검출될 정도까지 가습되는 상태를 포함할 수도 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 상기 리크 테스트 장치(1)는, 상기 가압 펌프(60)를 이용하여 상기 공간들(W2, 21)을 가압하고, 상기 차압 센서(11)를 이용하여 차압의 변동을 검출하는 리크 테스트를 실시하도록 구성될 수도 있다.

이 경우, 상기 리크 테스트 장치(1)는, 도 4에 도시된 감압 공정 및 가습 공정 대신에 가압 공정을 행할 수도 있다. 이러한 가압 공정에서는, 제1밸브(VL1) 및 제2밸브(VL2)를 턴 온시키고, 제3밸브(VL3) 내지 제6밸브(VL6)를 턴 오프시키며, 상기 공간들(W2, 21)에 압축 에어를 충전하여 가압한다. 상기 가압 공정 이후는 상술한 바와 같은 리크 테스트의 경우와 같다.

상기 공간들(W2, 21)을 감압하는 리크 테스트에 있어서는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 진공으로 하는 경우의 압력까지 상기 워크(W)에 압력을 가할 수 밖에 없다.

여기서, 상기 리크 테스트에 있어서는, 상기 워크(W)가 배기되는 경우의 압력보다 높은 압력을 가하여 리크 테스트를 행하는 것이 바람직할 수도 있다. 이러한 경우로서는, 예컨대 상기 워크(W)를 소정의 용도로 사용하는 경우에 높은 압력이 가해지는 부위(예를 들면, 워터 재킷(W3) 등)에 대하여 리크 테스트를 행할 수도 있다.

즉, 감압 펌프(30) 및 가압 펌프(60)를 이용하여 상기 공간들(W2, 21)을 감압 및 가압하도록 구성함으로써, 상기 리크 테스트 장치(1)는, 상기 워크(W)의 부위에 따라 최적인 리크 테스트를 행한다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 상기 감압 펌프(30)는, 상기 워크(W)에 직접적으로 연결되도록 구성되어 있다. 이에 따라, 상기 리크 테스트 장치(1)는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 내부의 공기에 수증기 등을 직접 배출하게 된다.

도 15에 나타내는 바와 같이, 도 5에 도시된 가압 펌프(60)의 위치에 감압 펌프(30)를 배치한다면, 상기 공간들(W2, 21)을 감압할 때, 상기 수증기 등은 상기 리크 테스트 장치(1)의 본체(10)를 통과할 것이다. 도 15에서, 화살표 R11은 상기 리크 테스트 장치(1)의 본체(10)를 통과하는 수증기 등의 흐름을 나타낸다. 이 경우, 상기 차압 센서(11) 등에는 상기 수증기가 부착되어 버릴 수도 있고, 이는 차압 센서(11) 등이 파손될 가능성도 있다.

다른 한편으로, 도 5에서는, 상기 감압 펌프(30)를 상기 워크(W)에 직접적으로 연결함으로써 상기 차압 센서(11) 등이 파손되는 것이 방지된다.

상기 가습 기구(40)의 구성은 본 예시적인 실시예로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 가습 기구(40)는 후술하는 변형예들에 기술된 바와 같은 구성일 수도 있다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 제1변형예에 따른 리크 테스트 장치(101)의 가습 기구(140)는, 수증기원(141) 및 버퍼 탱크(142)를 포함한다. 상기 수증기원(141) 및 버퍼(142)는 상기 워크(W)에 연결된다. 이러한 제1변형예의 가습 기구(140)는, 상기 수증기원(141)에 의해 수증기나 물의 미스트를 발생시켜, 상기 수증기나 물의 미스트를 상기 버퍼 탱크(142)에 저장한다.

도 12에 나타내는 바와 같이, 제2변형예에 따른 리크 테스트 장치(201)의 가습 기구(240)는 수증기 발생 탱크로 구성되어, 상기 워크(W)에 연결된다. 이러한 제2변형예의 가습 기구(240)는, 온수(241)를 저장하고, 나머지 공간(즉, 온수(241)와 수증기 발생 탱크의 내부 사이에 형성된 공간)에 수증기 포화 상태에 가까운 상태까지 가습된 공기를 발생시킨다. 도 12에서, 포화된 수증기는 검정 삼각형들로 표시되어 있다. 상기 가습 기구(240)는, 도시하지 않은 온도 조정 기구에 의해, 저장되는 온수(241)를 소정의 온도로 유지한다.

제1변형예 및 제2변형예의 가습 기구(140, 240)를 사용하여 가습 공정을 행하는 경우에는, 도 4에 도시된 가습 공정 시의 밸브 시퀀스에 의거하여 밸브들(VL1 내지 VL6)을 제어하고, 상기 감압 펌프(30)에 의해 상기 공간들(W2, 21)을 감압한다. 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 감압함으로써, 제1변형예 및 제2변형예의 가습 기구(140, 240)는, 수증기, 물의 미스트, 또는 가습된 공기를 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 안으로 도입시킨다. 그 결과, 제1변형예 및 제2변형예의 가습 기구(140, 240)가 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 외부로부터 가습하게 된다.

제2변형예의 가습 기구(240)의 온수(241)는, 가습 공정 시의 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)의 온도보다 높은 온도로 설정된다. 따라서, 상기 가습 기구(240)로부터 도입되는 가습된 공기는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 있어서 포화 수증기량을 초과하는 수증기를 포함하게 된다. 그 결과, 상기 제2변형예의 가습 기구(240)가, 상기 가습 공정에서 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 수증기 포화시키게 된다.

이러한 방식으로, 상기 가습 공정에서는, 상기 워크(W)에 연결되는 가습 기구(40, 140, 240)를 이용하여 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 안으로 유체(수증기 포화 상태의 공기, 수증기, 물의 미스트, 또는 가습된 공기 등)를 도입함으로써 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 외부로부터 가습한다. 또한, 상기 가습 기구(40, 140, 240)는, 상기 워크(W)에 연결되어, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2) 안으로 유체를 도입시킨다. 그러므로, 상기 가습 기구(40, 140, 240)가 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 외부로부터 가습하기 위한 가습 디바이스로서 기능한다.

상기 제2변형예의 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치(1, 101, 201)는, 리크 테스트가 종료한 워크(W)를 교환하는 것만으로도 리크 테스트를 연속해 행할 수도 있다. 즉, 도 4에 나타내는 대기 상태에서의 순서가 단순화될 수 있다. 또한, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 외부로부터 가습하는 경우, 본 예시적인 실시예에서와 같은 중공사막(41a)들을 사용하는 가습 기구(40)를 이용하는 것은, 상기 가습 기구(40)의 소형화를 허용한다.

도 13에 나타내는 바와 같이, 제3변형예에 따른 리크 테스트 장치(301)의 가습 기구(340)는 보수성 재료를 포함한다. 상기 보수성 재료는, 물을 함유(즉, 포함)하는 코어(W112)에 장착된다. 즉, 제3변형예의 리크 테스트 장치(301)에 의하면, 상기 가습 기구(340)가 상기 워크(W)에 연결되지 않고, 본 예시적인 실시예에서와 같이 제6밸브(VL6) 및 스로틀 밸브(50) 등이 설치되지 않는다(도 1 참조).

상기 보수성 재료는, 감압 시에 상기 재료의 수분이 기화하기 쉬운 소재, 예를 들면 큰 수분-함유 표면적을 갖는 다공질(porous material)로 형성되어 있다.

제3변형예의 가습 기구(340)를 사용하여 가습 공정을 행하는 경우, 도 4에 도시된 가습 공정 시의 밸브 시퀀스에 의거하여 제1밸브(VL1) 내지 제5밸브(VL5)를 제어하고, 상기 감압 펌프(30)를 이용하여 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 감압한다.

도 14에 나타내는 바와 같이, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 감압함으로써 보수성 재료 내의 수분의 기화가 촉진된다. 상기 보수성 재료로부터의 수분의 기화는 도 14에 나타내는 수증기로 표시되어 있다. 그 결과, 제3변형예의 가습 기구(340)는 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 내부로부터 가습한다.

이러한 방식으로, 상기 가습 공정에서는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)에 보수성 재료를 배치하고, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 감압한다. 결과적으로, 상기 보수성 재료 내의 수분을 기화시켜, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 내부로부터 가습한다. 또한, 제3변형예의 가습 기구(340)는, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 감압함으로써 보수성 재료 내의 수분을 기화시켜, 상기 워크(W)의 검사 공간(W2)을 내부로부터 가습하기 위한 가습 디바이스로서 기능한다.

제3변형예의 리크 테스트 방법 및 리크 테스트 장치(301)에 따르면, 제6밸브(VL6) 및 스로틀 밸브(50) 등을 설치할 필요가 없어지기 때문에, 밸브 시퀀스를 단순화할 수 있다. 또한, 상기 리크 테스트 장치(301)의 구성을 간소화할 수 있으므로, 비용을 저감할 수 있게 된다.

Claims

리크 테스트 방법으로서,
워크(W)의 검사 공간(W2) 내의 제1압력 및 마스터 챔버(20)의 공간(21) 내의 제2압력을 감압하는 공정;
상기 워크의 검사 공간을 가습하는 공정; 및
상기 워크의 검사 공간을 수증기 포화시킨 상태에서, 상기 워크의 검사 공간과 상기 마스터 챔버의 공간 간의 차압의 변화를 검출하는 공정을 포함하여 이루어지고,
상기 워크의 검사 공간 내의 누설은 상기 차압의 변화로부터 검출되는 것을 특징으로 하는 리크 테스트 방법.
제1항에 있어서,
상기 워크의 검사 공간을 가습하는 공정 시, 상기 워크의 검사 공간은, 상기 워크에 연결되는 가습 디바이스(40)에 의하여, 상기 워크의 검사 공간 안으로 유체를 도입시켜 외부로부터 가습되는 리크 테스트 방법.
제2항에 있어서,
상기 제1압력 및 상기 제2압력은, 상기 워크의 검사 공간 안으로 도입되는 유체의 유량을 스로틀 밸브(50)에 의해 조정한 상태에서, 상기 제1압력을 감압하여 상기 워크의 검사 공간의 가습과 동시에 감압되는 리크 테스트 방법.
제1항에 있어서,
상기 워크의 검사 공간을 가습하는 공정 시, 상기 제1압력은, 상기 워크의 검사 공간에 보수성 재료를 배치한 상태에서 감압되는 리크 테스트 방법.
리크 테스트 장치(1)로서,
마스터 챔버(20);
워크(W)의 검사 공간(W2) 내의 제1압력 및 마스터 챔버의 공간(21) 내의 제2압력을 감압하도록 구성되어 있는 감압 디바이스(30);
상기 워크의 검사 공간을 가습하도록 구성되어 있는 가습 디바이스(40); 및
상기 워크의 검사 공간을 수증기 포화시킨 상태에서, 상기 워크의 검사 공간과 상기 마스터 챔버의 공간 간의 차압의 변화를 검출하도록 구성되어 있는 검출 디바이스(11)를 포함하여 이루어지고,
상기 워크의 검사 공간 내의 누설은 상기 차압의 변화로부터 검출되는 리크 테스트 장치.
제5항에 있어서,
상기 가습 디바이스는, 상기 워크에 연결되어 있고, 상기 워크의 검사 공간 안으로 유체를 도입시켜 외부로부터 상기 워크의 검사 공간을 가습하며,
상기 유체는 수증기를 포함하는 리크 테스트 장치.
제6항에 있어서,
상기 워크의 검사 공간 안으로 도입되는 유체의 유량을 조정하도록 구성되어 있는 스로틀 밸브(50)를 더 포함하여 이루어지고,
상기 제1압력 및 상기 제2압력은, 상기 워크의 검사 공간 안으로 도입되는 유체의 유량을 상기 스로틀 밸브에 의해 조정한 상태에서, 상기 제1압력을 감압하여 상기 워크의 검사 공간의 가습과 동시에 감압되는 리크 테스트 장치.
제5항에 있어서,
상기 가습 디바이스는, 상기 워크의 검사 공간에 배치되는 보수성 재료를 포함하고,
상기 보수성 재료 내의 수분은, 상기 제1압력을 감압하여 기화되는 리크 테스트 장치.