JP2934415B2 - リーク量測定装置 - Google Patents

リーク量測定装置

Info

Publication number
JP2934415B2
JP2934415B2 JP10317997A JP10317997A JP2934415B2 JP 2934415 B2 JP2934415 B2 JP 2934415B2 JP 10317997 A JP10317997 A JP 10317997A JP 10317997 A JP10317997 A JP 10317997A JP 2934415 B2 JP2934415 B2 JP 2934415B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
exhaust
inspection
leak amount
tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP10317997A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10293076A (ja
Inventor
長桓 小川
Original Assignee
小川技研株式会社
トヨタ自動車株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 小川技研株式会社, トヨタ自動車株式会社 filed Critical 小川技研株式会社
Priority to JP10317997A priority Critical patent/JP2934415B2/ja
Publication of JPH10293076A publication Critical patent/JPH10293076A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2934415B2 publication Critical patent/JP2934415B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は容器のリーク量を測
定するリーク量測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】今日では部品等の信頼性を向上させるた
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリーク量を測定する必要がある。
【0003】また、自動車等においてはエアコンディシ
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを判定しなければならない。従来、低リー
ク量を測定する方法としては、差圧法がある。
【0004】差圧法は、図5に示すように、マスタチャ
ンバ1および取付具2に取付けられた検査物3を排気ポ
ンプ5で排気し、所定の気圧に排気されたならばバルブ
1およびV2 を閉じ、バルブV3 およびV4 を開いて
差圧計4で差圧を測定してリーク量を測定するものであ
る。
【0005】 すなわち、時間t=T1 で測定した差圧をDP1 、 時間t=T1 +Tで測定した差圧をDP2 、 取付具+検査物の容積をQ、 とすると、リーク量Lは L=Q(DP1 −DP2 )/T ……(1) で算出することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この方法によればリー
ク量を容易に短時間で測定することができる。しかし、
流れ作業で出来上った製品には多くの水蒸気やその他の
ガスが含まれており、10-5cc/sec以下のリーク量を測
定した場合、測定されたリーク量はこれらのガスの放出
によるものと考えられる多くの誤差が含まれ、表1に示
すように、測定値がバラつき、実際上使いものにはなら
なかった。
【0007】
【表1】
【0008】本発明は簡単な装置構成で正確にリーク量
を測定可能にしたリーク量測定装置を提供することを課
題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本発明が採用した手段を説明する。第1の発明に
おいては、マスタチャンバと取付具に取付けられた検査
物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化
より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置
において、前記取付具に接続された真空状態のタンク
と、前記検査物の排気開始時に前記タンクと接続して急
激に検査物内の空気を排気した後、排気手段によって検
査物の排気を行わせる制御手段と、を備える。
【0010】真空状態のタンクを設け、検査物の排気開
時に先ずタンクと接続して検査物内の空気を急激に排気
させ、その後排気手段で排気するようにしたので、差圧
測定時に検査物より放出されるガス量の変化が少なくな
り、測定値がバラつかず正確な値を得ることができる。
【0011】また第2の発明においては、前記排気手段
が前記マスタチャンバおよび検査物より排気している間
は前記タンクの排気を停止し、前記マスタチャンバおよ
び検査物よりの排気を停止している間は前記タンクの排
気を行なわせる。排気手段によってマスタチャンバおよ
び検査物の排気を行っているときはタンクの排気は行な
わず、マスタチャンバおよび検査物よりの排気を行って
いないときはタンクの排気を行なわせるようにしたの
で、排気手段を有効に活用することができ、小さな排気
手段で排気することができる。また排気手段にかかる負
荷が連続してほぼ一定負荷となるため排気手段の寿命を
長くすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図1〜図
3を参照して説明する。図1は本発明の実施例の構成
図、図2および図3は同実施例の動作フローチャートで
ある。図1において、1はマスタチャンバ、2は検査物
3を取付ける取付具、4は差圧計、5は排気ポンプ、6
は空気圧を調整するレギュレータ、7はレギュレータ6
で調圧された空気をマスタチャンバ1に放出するノズ
ル、8,9は圧力計、10はタンク、またV1 〜V10
バルブである。
【0013】また、11はマスタチャンバに放出する放
出流量を記録する放出流量記録部、12は放出流量記録
部11に記録されている放出流量がマスタチャンバに放
出するようにレギュレータ6の圧力に変換する流量圧力
変換部、13はレギュレータ制御部、14はリーク量算
出部、15は制御部、16はインタフェース(I/
O)、17は処理を実行するプロセッサ(CPU)であ
る。
【0014】まず放出流量記録部11に記録する放出流
量について説明する。検査物を或る真空圧にしたとき、
検査物には水蒸気やその他のガスが含まれているため、
図4に示すように、ガスが放出される。ガスの放出流量
は、始めは多く、時間とともに減少し、長時間真空状態
にすると殆んどのガスが放出されてガスの放出が無くな
る。マスタチャンバ1や取付具2は、リークが無く、か
つ、このようにエージングされた状態のものが使用され
る。
【0015】放出流量記録部に記録する放出流量は、先
ず検査物と同一種類の検査物を取付具2に取付け、設定
真空圧になったときの差圧計4の差圧を前述した式
(1)に代入してリーク量L1 を求める。この求められ
たL1 には真のリーク量に加えて放出ガス量も含まれて
いる。
【0016】次に真空状態を長時間保った後、または何
度も真空状態をくり返す等を行って放出ガスが無視でき
るような状態で再度設定真空圧にし、式(1)よりリー
ク量L2 を求める。このようにして求めたL2 は真のリ
ーク量のみとなる。そこで、L1 −L2 の演算を行ない
放出流量L3 を算出し、放出流量記録部11に予め記録
する。なおマスタチェンバ1の容量Q′と取付具2+検
査物3の容量Qが等しくない場合は、(L1 −L2
Q′/Qを放出流量L3 として記録する。
【0017】つぎに流量圧力変換部12について説明す
る。ノズル7の孔の直径およびマスタチャンバ1の真空
圧が決まれば、レギュレータ6で調圧する圧力とマスタ
チャンバ1に放出される放出流量の関係を求めることが
できる。
【0018】ノズル7の直径を精密に測定してレギュレ
ータ1の圧力を求めることもできるが、従来例で説明し
たガスを用いる方法等によって圧力と放出流量の関係を
求めるようにしてもよい。流量圧力変換部12には、こ
のようにして得られた放出流量に対応するレギュレータ
の圧力を予め記録する。
【0019】また、レギュレータ制御部13は、後述す
るリーク量測定中は、放出流量記録部11に記録されて
いる放出流量を読出し、読出した放出流量に対応する圧
力を流量圧力変換部12により変換し、I/O16を介
して入力される圧力計8の圧力が流量圧力変換部12で
変換された圧力となるようにI/O16を介してレギュ
レータ6を制御する。
【0020】つぎに図2および図3を参照して実施例の
動作を説明する。先ず、検査物3を取付具2に取付けて
動作が開始される。ステップS1では、制御部15は、
先ず各バルブV1 〜V10の初期設定を行なう。
【0021】すなわち、バルブV8 およびV9 (以後バ
ルブは略しVn とする)を閉じて取付具2に空気が吸気
されるのを防止する。またV10も閉じてタンクの排気を
防止する。またV3 およびV4 も閉じ、V1 ,V2 ,V
5 ,V6 およびV7 を開とする。
【0022】ステップS2では、ステップS1でV1
よびV2 が開となると排気ポンプ5によりマスタチャン
バ1および検査物3と取付具2内にある空気が排気され
る。ステップS3では、制御部15は、圧力計9の指示
する圧力をI/O16を介して読込み、測定開始準備圧
力になったか否かを判定し、準備圧力になるまで待機す
る。すなわち、リーク量測定時の圧力(設定圧力)に達
するまでに設けられた準備圧力になるまで待機する。
【0023】ステップS4では、制御部15は、準備圧
力になるとV3 およびV4 を開とし、V5 およびV6
閉じるよう指示する。このように、先ずV5 およびV6
を開にした状態でV3 およびV4 を開にしV 5 およびV
6 を閉にする理由は、短時間で差圧計4の振れを停止さ
せるためである。
【0024】高感度の差圧計は振動の周期が長く、最初
に大きな差圧があるものを入力した場合は大きく振動
し、その振動が停止するまでには長時間を要する。そこ
で、先ず同じV5 およびV6 を開状態として同じ圧力の
ものを入力し、次にV3 およびV4 を開いても、その差
圧による影響は無視できるようになり、V5 およびV6
を閉じて差圧の測定を開始させるようにしている。
【0025】このように短時間で差圧の測定を開始でき
るようにすることにより正確なリーク量を測定すること
ができる。すなわち、放出ガス量は、図4で説明したよ
うに、時間とともに大きく変化する。したがって、振動
が停止するまでの時間が大きく異なった場合は、放出流
量記録部11に記録されている放出流量と実際に検査物
より放出されるガス量に違いを生じ、リーク量の測定結
果に大きな誤差を生ずるが、短時間で測定可能であれば
記録されている放出流量と同じとなり、誤差が含まれな
くなる。
【0026】つぎに、また動作にもどって、ステップS
5では、制御部15は、圧力計9の指示する圧力が設定
圧力になったか否かを判定し、設定圧力となるまで待機
する。設定圧力になるとステップS6に移り、ステップ
S6では、制御部15は、V 1 およびV2 を閉じて排気
を停止させる。またV10を開にしてタンク10の排気を
開始する。
【0027】ステップS7では、制御部15は、差圧計
4の指示する差圧DP1 を取込み、ステップS8に移っ
て設定時間(T)経過させ、ステップS9に移って差圧
DP 2 を取込む。ステップS10では、リーク量算出部
14は、式(1)に基づいてDP1 およびDP2 よりリ
ーク量Lを算出して出力する。
【0028】ステップS11では、制御部15は、
3 、V4 およびV7 を閉じてステップS12に移り、
8 を開にして取付具2と検査物3内に空気を流し込み
大気圧にする。ステップS13では、検査物3を交換す
る。
【0029】ステップS13で検査物3の交換が終了す
ると、ステップS14に移り、制御部15は、V8 を閉
じて検査物へ吸気されるのを防止する。またV10を閉じ
てタンク10の排気を停止する。ステップS15では、
制御部15は、V9 を開にし、検査物3および取付具2
内の空気を急激に排気する。
【0030】ステップS16では、制御部15は、ステ
ップS15で検査物3および取付具2内のタンク10に
よる排気が終了すると、V9 を閉じて排気を停止させ、
5、V6 およびV7 を開にすると共にV1 およびV2
を開にしてマスタチャンバ1および検査物3と取付具2
内の排気を開始し、以下ステップS2に移り、ステップ
S2〜S16が繰返えされる。
【0031】以上説明したように、検査物3および取付
具2内の空気の排気を開始する前に、ステップS15で
説明したようにバルブV9 を開いて急激に排気を行なわ
せ、その後で更に規定の真空圧になるよう排気を開始す
ることによって、表2に示すように、測定データのバラ
つきが非常に小さくなり、正確にリーク量を測定するこ
とができた。
【0032】
【表2】
【0033】このような測定値のバラつきが小さくなる
理由としては、急激に排気を行なうことによって検査物
3の内面および内面に近い部分に含まれる水蒸気等のガ
スが一気に放出されるため、以後の差圧測定時に放出さ
れるガス量は物質によって定まる量のみとなり、測定値
のバラつきが小さくなるものと思われる。
【0034】なお実施例では放出流量記録部11に記録
する放出流量を1点としたが、この場合はステップS9
で設定した時間Tが小さい場合であって、Tが大の場合
は時間T内の放出流量を複数個記録させ、時間の経過と
ともに放出流量を変化させれば正確なリーク量を測定す
ることができる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
の効果が得られる。真空状態のタンクを設け、検査物の
排気開時に先ずタンクと接続して検査物内の空気を急激
に排気させ、その後排気手段で排気するようにしたの
で、差圧測定時に検査物より放出されるガス量の変化が
少なくなり、測定値がバラつかず正確な値を得ることが
できる。
【0036】排気手段によってマスタチャンバおよび検
査物の排気を行っているときはタンクの排気は行なわ
ず、マスタチャンバおよび検査物よりの排気を行ってい
ないときはタンクの排気を行なわせるようにしたので、
排気手段を有効に活用することができ、小さな排気手段
で排気することができる。また排気手段にかかる負荷が
連続して一定負荷となるため排気手段の寿命を長くする
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の構成図である。
【図2】同実施例の動作フローチャートである。
【図3】同実施例の動作フローチャートである。
【図4】時間に対する放出ガス量を説明するための図で
ある。
【図5】従来例の構成図である。
【符号の説明】
1 マスタチャンバ 2 取付具 3 検査物 4 差圧計 5 排気ポンプ 6 レギュレータ 7 ノズル 8,9 圧力計 10 タンク V1 〜V10 バルブ 11 放出流量記録部 12 流量圧力変換部 13 レギュレータ制御部 14 リーク量算出部 15 制御部 16 インタフェース(I/O) 17 プロセッサ(CPU)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マスタチャンバと取付具に取付けられた
    検査物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の
    変化より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定
    装置において、 前記取付具に接続された真空状態のタンクと、 前記検査物の排気開始時に前記タンクと接続して急激に
    検査物内の空気を排気した後、排気手段によって検査物
    の排気を行わせる制御手段と、を備えたことを特徴とす
    るリーク量測定装置。
  2. 【請求項2】 前記排気手段が前記マスタチャンバおよ
    び検査物より排気している間は前記タンクの排気を停止
    し、前記マスタチャンバおよび検査物よりの排気を停止
    している間は前記タンクの排気を行なわせるようにした
    ことを特徴とする請求項1記載のリーク量測定装置。
JP10317997A 1997-04-21 1997-04-21 リーク量測定装置 Expired - Fee Related JP2934415B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10317997A JP2934415B2 (ja) 1997-04-21 1997-04-21 リーク量測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10317997A JP2934415B2 (ja) 1997-04-21 1997-04-21 リーク量測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10293076A JPH10293076A (ja) 1998-11-04
JP2934415B2 true JP2934415B2 (ja) 1999-08-16

Family

ID=14347294

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10317997A Expired - Fee Related JP2934415B2 (ja) 1997-04-21 1997-04-21 リーク量測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2934415B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5664521B2 (ja) 2011-10-26 2015-02-04 トヨタ自動車株式会社 リークテスト方法およびリークテスト装置
CN103091056B (zh) * 2013-01-14 2015-02-18 清华大学 一种多功能刷式密封实验系统

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10293076A (ja) 1998-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5625141A (en) Sealed parts leak testing method and apparatus for helium spectrometer leak detection
US6314794B1 (en) Method and apparatus for detecting leaks in heat exchangers for motor vehicles
US7899629B2 (en) Method for determining the total leak rate of systems impinged upon by pressure, and control apparatus for carrying out said method
JP2934415B2 (ja) リーク量測定装置
US6522980B1 (en) Method and algorithm for predicting leak rates
JP3349130B2 (ja) リーク検査装置
JP3038321B2 (ja) リーク量測定装置
JP3383633B2 (ja) リーク検査装置
JP3383634B2 (ja) リーク検査装置
JP3536098B2 (ja) リーク検査装置
JP3372840B2 (ja) ドライエッチング装置およびガス流量制御の検査方法
JP3502687B2 (ja) 圧力洩れ測定方法
JP4562303B2 (ja) 漏洩試験装置及び漏洩試験方法
JP3349131B2 (ja) 放出ガス測定装置
CN107907273B (zh) 一种产品局部密封外表面气密性检测方法
JP2006053106A (ja) 漏れ試験装置
JP3715543B2 (ja) 気密性能試験方法
JPH08338784A (ja) 圧力洩れ測定方法
JPH11241971A (ja) リークテスト装置
JP2735231B2 (ja) 半導体製造装置
JP3371924B2 (ja) 逆拡散測定によるヘリウムリーク量検出方法
JP3186644B2 (ja) 気体漏洩検査方法
JP3324619B2 (ja) パッケージリーク測定装置
JP2003065886A (ja) リーク検査装置
JPH07146201A (ja) 気密試験方法及びその装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990511

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080528

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090528

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees