JP2934415B2 - リーク量測定装置 - Google Patents
リーク量測定装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は容器のリーク量を測
定するリーク量測定装置に関する。
定するリーク量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】今日では部品等の信頼性を向上させるた
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリーク量を測定する必要がある。
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリーク量を測定する必要がある。
【０００３】また、自動車等においてはエアコンディシ
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを判定しなければならない。従来、低リー
ク量を測定する方法としては、差圧法がある。
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを判定しなければならない。従来、低リー
ク量を測定する方法としては、差圧法がある。
【０００４】差圧法は、図５に示すように、マスタチャ
ンバ１および取付具２に取付けられた検査物３を排気ポ
ンプ５で排気し、所定の気圧に排気されたならばバルブ
Ｖ1およびＶ2 を閉じ、バルブＶ3 およびＶ4 を開いて
差圧計４で差圧を測定してリーク量を測定するものであ
る。
ンバ１および取付具２に取付けられた検査物３を排気ポ
ンプ５で排気し、所定の気圧に排気されたならばバルブ
Ｖ1およびＶ2 を閉じ、バルブＶ3 およびＶ4 を開いて
差圧計４で差圧を測定してリーク量を測定するものであ
る。
【０００５】 すなわち、時間ｔ＝Ｔ1 で測定した差圧をＤＰ1 、 時間ｔ＝Ｔ1 ＋Ｔで測定した差圧をＤＰ2 、 取付具＋検査物の容積をＱ、 とすると、リーク量Ｌは Ｌ＝Ｑ（ＤＰ1 −ＤＰ2 ）／Ｔ ……（１） で算出することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この方法によればリー
ク量を容易に短時間で測定することができる。しかし、
流れ作業で出来上った製品には多くの水蒸気やその他の
ガスが含まれており、１０-5cc/sec以下のリーク量を測
定した場合、測定されたリーク量はこれらのガスの放出
によるものと考えられる多くの誤差が含まれ、表１に示
すように、測定値がバラつき、実際上使いものにはなら
なかった。
ク量を容易に短時間で測定することができる。しかし、
流れ作業で出来上った製品には多くの水蒸気やその他の
ガスが含まれており、１０-5cc/sec以下のリーク量を測
定した場合、測定されたリーク量はこれらのガスの放出
によるものと考えられる多くの誤差が含まれ、表１に示
すように、測定値がバラつき、実際上使いものにはなら
なかった。
【０００７】
【表１】
【０００８】本発明は簡単な装置構成で正確にリーク量
を測定可能にしたリーク量測定装置を提供することを課
題とする。
を測定可能にしたリーク量測定装置を提供することを課
題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本発明が採用した手段を説明する。第１の発明に
おいては、マスタチャンバと取付具に取付けられた検査
物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化
より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置
において、前記取付具に接続された真空状態のタンク
と、前記検査物の排気開始時に前記タンクと接続して急
激に検査物内の空気を排気した後、排気手段によって検
査物の排気を行わせる制御手段と、を備える。
めに、本発明が採用した手段を説明する。第１の発明に
おいては、マスタチャンバと取付具に取付けられた検査
物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化
より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置
において、前記取付具に接続された真空状態のタンク
と、前記検査物の排気開始時に前記タンクと接続して急
激に検査物内の空気を排気した後、排気手段によって検
査物の排気を行わせる制御手段と、を備える。
【００１０】真空状態のタンクを設け、検査物の排気開
時に先ずタンクと接続して検査物内の空気を急激に排気
させ、その後排気手段で排気するようにしたので、差圧
測定時に検査物より放出されるガス量の変化が少なくな
り、測定値がバラつかず正確な値を得ることができる。
時に先ずタンクと接続して検査物内の空気を急激に排気
させ、その後排気手段で排気するようにしたので、差圧
測定時に検査物より放出されるガス量の変化が少なくな
り、測定値がバラつかず正確な値を得ることができる。
【００１１】また第２の発明においては、前記排気手段
が前記マスタチャンバおよび検査物より排気している間
は前記タンクの排気を停止し、前記マスタチャンバおよ
び検査物よりの排気を停止している間は前記タンクの排
気を行なわせる。排気手段によってマスタチャンバおよ
び検査物の排気を行っているときはタンクの排気は行な
わず、マスタチャンバおよび検査物よりの排気を行って
いないときはタンクの排気を行なわせるようにしたの
で、排気手段を有効に活用することができ、小さな排気
手段で排気することができる。また排気手段にかかる負
荷が連続してほぼ一定負荷となるため排気手段の寿命を
長くすることができる。
が前記マスタチャンバおよび検査物より排気している間
は前記タンクの排気を停止し、前記マスタチャンバおよ
び検査物よりの排気を停止している間は前記タンクの排
気を行なわせる。排気手段によってマスタチャンバおよ
び検査物の排気を行っているときはタンクの排気は行な
わず、マスタチャンバおよび検査物よりの排気を行って
いないときはタンクの排気を行なわせるようにしたの
で、排気手段を有効に活用することができ、小さな排気
手段で排気することができる。また排気手段にかかる負
荷が連続してほぼ一定負荷となるため排気手段の寿命を
長くすることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１〜図
３を参照して説明する。図１は本発明の実施例の構成
図、図２および図３は同実施例の動作フローチャートで
ある。図１において、１はマスタチャンバ、２は検査物
３を取付ける取付具、４は差圧計、５は排気ポンプ、６
は空気圧を調整するレギュレータ、７はレギュレータ６
で調圧された空気をマスタチャンバ１に放出するノズ
ル、８，９は圧力計、１０はタンク、またＶ1 〜Ｖ10は
バルブである。
３を参照して説明する。図１は本発明の実施例の構成
図、図２および図３は同実施例の動作フローチャートで
ある。図１において、１はマスタチャンバ、２は検査物
３を取付ける取付具、４は差圧計、５は排気ポンプ、６
は空気圧を調整するレギュレータ、７はレギュレータ６
で調圧された空気をマスタチャンバ１に放出するノズ
ル、８，９は圧力計、１０はタンク、またＶ1 〜Ｖ10は
バルブである。
【００１３】また、１１はマスタチャンバに放出する放
出流量を記録する放出流量記録部、１２は放出流量記録
部１１に記録されている放出流量がマスタチャンバに放
出するようにレギュレータ６の圧力に変換する流量圧力
変換部、１３はレギュレータ制御部、１４はリーク量算
出部、１５は制御部、１６はインタフェース（Ｉ／
Ｏ）、１７は処理を実行するプロセッサ（ＣＰＵ）であ
る。
出流量を記録する放出流量記録部、１２は放出流量記録
部１１に記録されている放出流量がマスタチャンバに放
出するようにレギュレータ６の圧力に変換する流量圧力
変換部、１３はレギュレータ制御部、１４はリーク量算
出部、１５は制御部、１６はインタフェース（Ｉ／
Ｏ）、１７は処理を実行するプロセッサ（ＣＰＵ）であ
る。
【００１４】まず放出流量記録部１１に記録する放出流
量について説明する。検査物を或る真空圧にしたとき、
検査物には水蒸気やその他のガスが含まれているため、
図４に示すように、ガスが放出される。ガスの放出流量
は、始めは多く、時間とともに減少し、長時間真空状態
にすると殆んどのガスが放出されてガスの放出が無くな
る。マスタチャンバ１や取付具２は、リークが無く、か
つ、このようにエージングされた状態のものが使用され
る。
量について説明する。検査物を或る真空圧にしたとき、
検査物には水蒸気やその他のガスが含まれているため、
図４に示すように、ガスが放出される。ガスの放出流量
は、始めは多く、時間とともに減少し、長時間真空状態
にすると殆んどのガスが放出されてガスの放出が無くな
る。マスタチャンバ１や取付具２は、リークが無く、か
つ、このようにエージングされた状態のものが使用され
る。
【００１５】放出流量記録部に記録する放出流量は、先
ず検査物と同一種類の検査物を取付具２に取付け、設定
真空圧になったときの差圧計４の差圧を前述した式
（１）に代入してリーク量Ｌ1 を求める。この求められ
たＬ1 には真のリーク量に加えて放出ガス量も含まれて
いる。
ず検査物と同一種類の検査物を取付具２に取付け、設定
真空圧になったときの差圧計４の差圧を前述した式
（１）に代入してリーク量Ｌ1 を求める。この求められ
たＬ1 には真のリーク量に加えて放出ガス量も含まれて
いる。
【００１６】次に真空状態を長時間保った後、または何
度も真空状態をくり返す等を行って放出ガスが無視でき
るような状態で再度設定真空圧にし、式（１）よりリー
ク量Ｌ2 を求める。このようにして求めたＬ2 は真のリ
ーク量のみとなる。そこで、Ｌ1 −Ｌ2 の演算を行ない
放出流量Ｌ3 を算出し、放出流量記録部１１に予め記録
する。なおマスタチェンバ１の容量Ｑ′と取付具２＋検
査物３の容量Ｑが等しくない場合は、（Ｌ1 −Ｌ2 ）
Ｑ′／Ｑを放出流量Ｌ3 として記録する。
度も真空状態をくり返す等を行って放出ガスが無視でき
るような状態で再度設定真空圧にし、式（１）よりリー
ク量Ｌ2 を求める。このようにして求めたＬ2 は真のリ
ーク量のみとなる。そこで、Ｌ1 −Ｌ2 の演算を行ない
放出流量Ｌ3 を算出し、放出流量記録部１１に予め記録
する。なおマスタチェンバ１の容量Ｑ′と取付具２＋検
査物３の容量Ｑが等しくない場合は、（Ｌ1 −Ｌ2 ）
Ｑ′／Ｑを放出流量Ｌ3 として記録する。
【００１７】つぎに流量圧力変換部１２について説明す
る。ノズル７の孔の直径およびマスタチャンバ１の真空
圧が決まれば、レギュレータ６で調圧する圧力とマスタ
チャンバ１に放出される放出流量の関係を求めることが
できる。
る。ノズル７の孔の直径およびマスタチャンバ１の真空
圧が決まれば、レギュレータ６で調圧する圧力とマスタ
チャンバ１に放出される放出流量の関係を求めることが
できる。
【００１８】ノズル７の直径を精密に測定してレギュレ
ータ１の圧力を求めることもできるが、従来例で説明し
たガスを用いる方法等によって圧力と放出流量の関係を
求めるようにしてもよい。流量圧力変換部１２には、こ
のようにして得られた放出流量に対応するレギュレータ
の圧力を予め記録する。
ータ１の圧力を求めることもできるが、従来例で説明し
たガスを用いる方法等によって圧力と放出流量の関係を
求めるようにしてもよい。流量圧力変換部１２には、こ
のようにして得られた放出流量に対応するレギュレータ
の圧力を予め記録する。
【００１９】また、レギュレータ制御部１３は、後述す
るリーク量測定中は、放出流量記録部１１に記録されて
いる放出流量を読出し、読出した放出流量に対応する圧
力を流量圧力変換部１２により変換し、Ｉ／Ｏ１６を介
して入力される圧力計８の圧力が流量圧力変換部１２で
変換された圧力となるようにＩ／Ｏ１６を介してレギュ
レータ６を制御する。
るリーク量測定中は、放出流量記録部１１に記録されて
いる放出流量を読出し、読出した放出流量に対応する圧
力を流量圧力変換部１２により変換し、Ｉ／Ｏ１６を介
して入力される圧力計８の圧力が流量圧力変換部１２で
変換された圧力となるようにＩ／Ｏ１６を介してレギュ
レータ６を制御する。
【００２０】つぎに図２および図３を参照して実施例の
動作を説明する。先ず、検査物３を取付具２に取付けて
動作が開始される。ステップＳ１では、制御部１５は、
先ず各バルブＶ1 〜Ｖ10の初期設定を行なう。
動作を説明する。先ず、検査物３を取付具２に取付けて
動作が開始される。ステップＳ１では、制御部１５は、
先ず各バルブＶ1 〜Ｖ10の初期設定を行なう。
【００２１】すなわち、バルブＶ8 およびＶ9 （以後バ
ルブは略しＶn とする）を閉じて取付具２に空気が吸気
されるのを防止する。またＶ10も閉じてタンクの排気を
防止する。またＶ3 およびＶ4 も閉じ、Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ
5 ，Ｖ6 およびＶ7 を開とする。
ルブは略しＶn とする）を閉じて取付具２に空気が吸気
されるのを防止する。またＶ10も閉じてタンクの排気を
防止する。またＶ3 およびＶ4 も閉じ、Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ
5 ，Ｖ6 およびＶ7 を開とする。
【００２２】ステップＳ２では、ステップＳ１でＶ1 お
よびＶ2 が開となると排気ポンプ５によりマスタチャン
バ１および検査物３と取付具２内にある空気が排気され
る。ステップＳ３では、制御部１５は、圧力計９の指示
する圧力をＩ／Ｏ１６を介して読込み、測定開始準備圧
力になったか否かを判定し、準備圧力になるまで待機す
る。すなわち、リーク量測定時の圧力（設定圧力）に達
するまでに設けられた準備圧力になるまで待機する。
よびＶ2 が開となると排気ポンプ５によりマスタチャン
バ１および検査物３と取付具２内にある空気が排気され
る。ステップＳ３では、制御部１５は、圧力計９の指示
する圧力をＩ／Ｏ１６を介して読込み、測定開始準備圧
力になったか否かを判定し、準備圧力になるまで待機す
る。すなわち、リーク量測定時の圧力（設定圧力）に達
するまでに設けられた準備圧力になるまで待機する。
【００２３】ステップＳ４では、制御部１５は、準備圧
力になるとＶ3 およびＶ4 を開とし、Ｖ5 およびＶ6 を
閉じるよう指示する。このように、先ずＶ5 およびＶ6
を開にした状態でＶ3 およびＶ4 を開にしＶ 5 およびＶ
6 を閉にする理由は、短時間で差圧計４の振れを停止さ
せるためである。
力になるとＶ3 およびＶ4 を開とし、Ｖ5 およびＶ6 を
閉じるよう指示する。このように、先ずＶ5 およびＶ6
を開にした状態でＶ3 およびＶ4 を開にしＶ 5 およびＶ
6 を閉にする理由は、短時間で差圧計４の振れを停止さ
せるためである。
【００２４】高感度の差圧計は振動の周期が長く、最初
に大きな差圧があるものを入力した場合は大きく振動
し、その振動が停止するまでには長時間を要する。そこ
で、先ず同じＶ5 およびＶ6 を開状態として同じ圧力の
ものを入力し、次にＶ3 およびＶ4 を開いても、その差
圧による影響は無視できるようになり、Ｖ5 およびＶ6
を閉じて差圧の測定を開始させるようにしている。
に大きな差圧があるものを入力した場合は大きく振動
し、その振動が停止するまでには長時間を要する。そこ
で、先ず同じＶ5 およびＶ6 を開状態として同じ圧力の
ものを入力し、次にＶ3 およびＶ4 を開いても、その差
圧による影響は無視できるようになり、Ｖ5 およびＶ6
を閉じて差圧の測定を開始させるようにしている。
【００２５】このように短時間で差圧の測定を開始でき
るようにすることにより正確なリーク量を測定すること
ができる。すなわち、放出ガス量は、図４で説明したよ
うに、時間とともに大きく変化する。したがって、振動
が停止するまでの時間が大きく異なった場合は、放出流
量記録部１１に記録されている放出流量と実際に検査物
より放出されるガス量に違いを生じ、リーク量の測定結
果に大きな誤差を生ずるが、短時間で測定可能であれば
記録されている放出流量と同じとなり、誤差が含まれな
くなる。
るようにすることにより正確なリーク量を測定すること
ができる。すなわち、放出ガス量は、図４で説明したよ
うに、時間とともに大きく変化する。したがって、振動
が停止するまでの時間が大きく異なった場合は、放出流
量記録部１１に記録されている放出流量と実際に検査物
より放出されるガス量に違いを生じ、リーク量の測定結
果に大きな誤差を生ずるが、短時間で測定可能であれば
記録されている放出流量と同じとなり、誤差が含まれな
くなる。
【００２６】つぎに、また動作にもどって、ステップＳ
５では、制御部１５は、圧力計９の指示する圧力が設定
圧力になったか否かを判定し、設定圧力となるまで待機
する。設定圧力になるとステップＳ６に移り、ステップ
Ｓ６では、制御部１５は、Ｖ 1 およびＶ2 を閉じて排気
を停止させる。またＶ10を開にしてタンク１０の排気を
開始する。
５では、制御部１５は、圧力計９の指示する圧力が設定
圧力になったか否かを判定し、設定圧力となるまで待機
する。設定圧力になるとステップＳ６に移り、ステップ
Ｓ６では、制御部１５は、Ｖ 1 およびＶ2 を閉じて排気
を停止させる。またＶ10を開にしてタンク１０の排気を
開始する。
【００２７】ステップＳ７では、制御部１５は、差圧計
４の指示する差圧ＤＰ1 を取込み、ステップＳ８に移っ
て設定時間（Ｔ）経過させ、ステップＳ９に移って差圧
ＤＰ 2 を取込む。ステップＳ１０では、リーク量算出部
１４は、式（１）に基づいてＤＰ1 およびＤＰ2 よりリ
ーク量Ｌを算出して出力する。
４の指示する差圧ＤＰ1 を取込み、ステップＳ８に移っ
て設定時間（Ｔ）経過させ、ステップＳ９に移って差圧
ＤＰ 2 を取込む。ステップＳ１０では、リーク量算出部
１４は、式（１）に基づいてＤＰ1 およびＤＰ2 よりリ
ーク量Ｌを算出して出力する。
【００２８】ステップＳ１１では、制御部１５は、
Ｖ3 、Ｖ4 およびＶ7 を閉じてステップＳ１２に移り、
Ｖ8 を開にして取付具２と検査物３内に空気を流し込み
大気圧にする。ステップＳ１３では、検査物３を交換す
る。
Ｖ3 、Ｖ4 およびＶ7 を閉じてステップＳ１２に移り、
Ｖ8 を開にして取付具２と検査物３内に空気を流し込み
大気圧にする。ステップＳ１３では、検査物３を交換す
る。
【００２９】ステップＳ１３で検査物３の交換が終了す
ると、ステップＳ１４に移り、制御部１５は、Ｖ8 を閉
じて検査物へ吸気されるのを防止する。またＶ10を閉じ
てタンク１０の排気を停止する。ステップＳ１５では、
制御部１５は、Ｖ9 を開にし、検査物３および取付具２
内の空気を急激に排気する。
ると、ステップＳ１４に移り、制御部１５は、Ｖ8 を閉
じて検査物へ吸気されるのを防止する。またＶ10を閉じ
てタンク１０の排気を停止する。ステップＳ１５では、
制御部１５は、Ｖ9 を開にし、検査物３および取付具２
内の空気を急激に排気する。
【００３０】ステップＳ１６では、制御部１５は、ステ
ップＳ１５で検査物３および取付具２内のタンク１０に
よる排気が終了すると、Ｖ9 を閉じて排気を停止させ、
Ｖ5、Ｖ6 およびＶ7 を開にすると共にＶ1 およびＶ2
を開にしてマスタチャンバ１および検査物３と取付具２
内の排気を開始し、以下ステップＳ２に移り、ステップ
Ｓ２〜Ｓ１６が繰返えされる。
ップＳ１５で検査物３および取付具２内のタンク１０に
よる排気が終了すると、Ｖ9 を閉じて排気を停止させ、
Ｖ5、Ｖ6 およびＶ7 を開にすると共にＶ1 およびＶ2
を開にしてマスタチャンバ１および検査物３と取付具２
内の排気を開始し、以下ステップＳ２に移り、ステップ
Ｓ２〜Ｓ１６が繰返えされる。
【００３１】以上説明したように、検査物３および取付
具２内の空気の排気を開始する前に、ステップＳ１５で
説明したようにバルブＶ9 を開いて急激に排気を行なわ
せ、その後で更に規定の真空圧になるよう排気を開始す
ることによって、表２に示すように、測定データのバラ
つきが非常に小さくなり、正確にリーク量を測定するこ
とができた。
具２内の空気の排気を開始する前に、ステップＳ１５で
説明したようにバルブＶ9 を開いて急激に排気を行なわ
せ、その後で更に規定の真空圧になるよう排気を開始す
ることによって、表２に示すように、測定データのバラ
つきが非常に小さくなり、正確にリーク量を測定するこ
とができた。
【００３２】
【表２】
【００３３】このような測定値のバラつきが小さくなる
理由としては、急激に排気を行なうことによって検査物
３の内面および内面に近い部分に含まれる水蒸気等のガ
スが一気に放出されるため、以後の差圧測定時に放出さ
れるガス量は物質によって定まる量のみとなり、測定値
のバラつきが小さくなるものと思われる。
理由としては、急激に排気を行なうことによって検査物
３の内面および内面に近い部分に含まれる水蒸気等のガ
スが一気に放出されるため、以後の差圧測定時に放出さ
れるガス量は物質によって定まる量のみとなり、測定値
のバラつきが小さくなるものと思われる。
【００３４】なお実施例では放出流量記録部１１に記録
する放出流量を１点としたが、この場合はステップＳ９
で設定した時間Ｔが小さい場合であって、Ｔが大の場合
は時間Ｔ内の放出流量を複数個記録させ、時間の経過と
ともに放出流量を変化させれば正確なリーク量を測定す
ることができる。
する放出流量を１点としたが、この場合はステップＳ９
で設定した時間Ｔが小さい場合であって、Ｔが大の場合
は時間Ｔ内の放出流量を複数個記録させ、時間の経過と
ともに放出流量を変化させれば正確なリーク量を測定す
ることができる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
の効果が得られる。真空状態のタンクを設け、検査物の
排気開時に先ずタンクと接続して検査物内の空気を急激
に排気させ、その後排気手段で排気するようにしたの
で、差圧測定時に検査物より放出されるガス量の変化が
少なくなり、測定値がバラつかず正確な値を得ることが
できる。
の効果が得られる。真空状態のタンクを設け、検査物の
排気開時に先ずタンクと接続して検査物内の空気を急激
に排気させ、その後排気手段で排気するようにしたの
で、差圧測定時に検査物より放出されるガス量の変化が
少なくなり、測定値がバラつかず正確な値を得ることが
できる。
【００３６】排気手段によってマスタチャンバおよび検
査物の排気を行っているときはタンクの排気は行なわ
ず、マスタチャンバおよび検査物よりの排気を行ってい
ないときはタンクの排気を行なわせるようにしたので、
排気手段を有効に活用することができ、小さな排気手段
で排気することができる。また排気手段にかかる負荷が
連続して一定負荷となるため排気手段の寿命を長くする
ことができる。
査物の排気を行っているときはタンクの排気は行なわ
ず、マスタチャンバおよび検査物よりの排気を行ってい
ないときはタンクの排気を行なわせるようにしたので、
排気手段を有効に活用することができ、小さな排気手段
で排気することができる。また排気手段にかかる負荷が
連続して一定負荷となるため排気手段の寿命を長くする
ことができる。
【図１】本発明の実施例の構成図である。
【図２】同実施例の動作フローチャートである。
【図３】同実施例の動作フローチャートである。
【図４】時間に対する放出ガス量を説明するための図で
ある。
ある。
【図５】従来例の構成図である。
１ マスタチャンバ ２ 取付具 ３ 検査物 ４ 差圧計 ５ 排気ポンプ ６ レギュレータ ７ ノズル ８，９ 圧力計 １０ タンク Ｖ1 〜Ｖ10 バルブ １１ 放出流量記録部 １２ 流量圧力変換部 １３ レギュレータ制御部 １４ リーク量算出部 １５ 制御部 １６ インタフェース（Ｉ／Ｏ） １７ プロセッサ（ＣＰＵ）
Claims (2)
- 【請求項１】 マスタチャンバと取付具に取付けられた
検査物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の
変化より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定
装置において、 前記取付具に接続された真空状態のタンクと、 前記検査物の排気開始時に前記タンクと接続して急激に
検査物内の空気を排気した後、排気手段によって検査物
の排気を行わせる制御手段と、を備えたことを特徴とす
るリーク量測定装置。 - 【請求項２】 前記排気手段が前記マスタチャンバおよ
び検査物より排気している間は前記タンクの排気を停止
し、前記マスタチャンバおよび検査物よりの排気を停止
している間は前記タンクの排気を行なわせるようにした
ことを特徴とする請求項１記載のリーク量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10317997A JP2934415B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | リーク量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10317997A JP2934415B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | リーク量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10293076A JPH10293076A (ja) | 1998-11-04 |
| JP2934415B2 true JP2934415B2 (ja) | 1999-08-16 |
Family
ID=14347294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10317997A Expired - Fee Related JP2934415B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | リーク量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2934415B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5664521B2 (ja) | 2011-10-26 | 2015-02-04 | トヨタ自動車株式会社 | リークテスト方法およびリークテスト装置 |
| CN103091056B (zh) * | 2013-01-14 | 2015-02-18 | 清华大学 | 一种多功能刷式密封实验系统 |
-
1997
- 1997-04-21 JP JP10317997A patent/JP2934415B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10293076A (ja) | 1998-11-04 |
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