JP3383633B2 - リーク検査装置 - Google Patents
リーク検査装置Info
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- JP3383633B2 JP3383633B2 JP2000047501A JP2000047501A JP3383633B2 JP 3383633 B2 JP3383633 B2 JP 3383633B2 JP 2000047501 A JP2000047501 A JP 2000047501A JP 2000047501 A JP2000047501 A JP 2000047501A JP 3383633 B2 JP3383633 B2 JP 3383633B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は容器のリークを検査
するリーク検査装置に関する。
するリーク検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】今日では部品等の信頼性を向上させるた
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリークを検査する必要がある。
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリークを検査する必要がある。
【０００３】また、自動車等においてはエアコンディシ
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを検査しなければならない。従来、低リー
ク量を検査する方法としては、例えばハロゲン、ヘリウ
ム等のガスを使用する方法、真空放置法、差圧法等があ
る。
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを検査しなければならない。従来、低リー
ク量を検査する方法としては、例えばハロゲン、ヘリウ
ム等のガスを使用する方法、真空放置法、差圧法等があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ガスによる方法は１０
-9Pa・cc/sec程度のリーク量を容易に検査することがで
きるが、ガスを使用するためにランニングコストが高
く、リークしたガス量を検出する測定装置が複雑高価
で、更にガスがリークして測定できるようになるまでの
時間（応答時間）が長くなり、流れ作業によって作られ
る製品のリークを検査するには検査系が膨大となる欠点
がある。
-9Pa・cc/sec程度のリーク量を容易に検査することがで
きるが、ガスを使用するためにランニングコストが高
く、リークしたガス量を検出する測定装置が複雑高価
で、更にガスがリークして測定できるようになるまでの
時間（応答時間）が長くなり、流れ作業によって作られ
る製品のリークを検査するには検査系が膨大となる欠点
がある。
【０００５】また真空放置法は検査物の容器の圧力を設
定した圧力（真空）にして放置し、所定時間後の容器の
圧力との差よりリークを検査する方法であるが、低リー
ク量の場合はリーク量が測定可能となる圧力に変化する
までに長時間を要する欠点がある。
定した圧力（真空）にして放置し、所定時間後の容器の
圧力との差よりリークを検査する方法であるが、低リー
ク量の場合はリーク量が測定可能となる圧力に変化する
までに長時間を要する欠点がある。
【０００６】また差圧法は、図９に示すように、マスタ
チャンバ２１および取付具２２に取付けられた検査物２
３を排気ポンプ２５で排気し、所定の気圧に排気された
ならばバルブＶ1 およびＶ2 を閉じ、バルブＶ3 および
Ｖ4 を開いて差圧計２４で差圧を測定してリークを検査
するものである。
チャンバ２１および取付具２２に取付けられた検査物２
３を排気ポンプ２５で排気し、所定の気圧に排気された
ならばバルブＶ1 およびＶ2 を閉じ、バルブＶ3 および
Ｖ4 を開いて差圧計２４で差圧を測定してリークを検査
するものである。
【０００７】
すなわち、時間ｔ＝Ｔ1 で測定した差圧をＤＰ1
時間ｔ＝Ｔ1 ＋Ｔで測定した差圧をＤＰ2
Ｐ＝排気圧
取付具＋検査物の容積をＱ
とすると、リーク量Ｌは
Ｌ＝ＱＰ（ＤＰ1 −ＤＰ2 ）／Ｔ
で算出することができる。
【０００８】この方法によればリーク量が１０-2Pa・cc
/sec程度のものを容易に検査することができるが、検査
測定系の構成が複雑であった。
/sec程度のものを容易に検査することができるが、検査
測定系の構成が複雑であった。
【０００９】本発明は簡単な装置構成で短時間にリーク
検査を可能にしたリーク検査装置を提供することを課題
とする。
検査を可能にしたリーク検査装置を提供することを課題
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明において
は、排気ポンプと接続され、入出力孔等を密封した検査
物を収納するチャンバと、前記排気ポンプおよび前記チ
ャンバに接続されたタンクと、前記チャンバ内の真空圧
を測定する真空圧計と、前記チャンバと前記タンクとの
間に設けられたバルブと、判定圧力を記録した判定圧力
記録部と、所定時間を計時する計時部と、前記排気ポン
プで前記タンク内を排気させ、前記タンク内の真空圧が
所定値になった時、前記バルブを開いて前記タンク内の
真空圧により前記チャンバ内の空気を排気させ、続いて
前記排気ポンプで前記チャンバ内の空気を排気させると
共に前記計時部で計時を開始させ、所定時間計時された
とき前記真空圧計の圧力値と前記判定圧力記録部に記録
されている判定圧力とを比較し、該比較結果を出力する
制御部と、を備える。
は、排気ポンプと接続され、入出力孔等を密封した検査
物を収納するチャンバと、前記排気ポンプおよび前記チ
ャンバに接続されたタンクと、前記チャンバ内の真空圧
を測定する真空圧計と、前記チャンバと前記タンクとの
間に設けられたバルブと、判定圧力を記録した判定圧力
記録部と、所定時間を計時する計時部と、前記排気ポン
プで前記タンク内を排気させ、前記タンク内の真空圧が
所定値になった時、前記バルブを開いて前記タンク内の
真空圧により前記チャンバ内の空気を排気させ、続いて
前記排気ポンプで前記チャンバ内の空気を排気させると
共に前記計時部で計時を開始させ、所定時間計時された
とき前記真空圧計の圧力値と前記判定圧力記録部に記録
されている判定圧力とを比較し、該比較結果を出力する
制御部と、を備える。
【００１１】請求項２の発明においては、前記制御部
が、前記真空圧計の圧力値が前記判定圧記録部に記録さ
れている判定圧力より低いとき検査合格を出力する。
が、前記真空圧計の圧力値が前記判定圧記録部に記録さ
れている判定圧力より低いとき検査合格を出力する。
【００１２】請求項３の発明においては、前記チャンバ
と前記真空圧計との間に第２のバルブを設け、該第２の
バルブを前記比較結果の出力後に閉じ、次の検査物の検
査時に前記計時部が前記所定時間より短い時間計時され
たとき一旦開いた後に再度閉じ、更に前記所定時間の直
前で開く。請求項４の発明においては、前記チャンバと
前記真空圧計との間に第２のバルブを設け、該第２のバ
ルブを前記比較結果の出力後に閉じ、次の検査物の検査
時に前記所定時間の直前で開く。
と前記真空圧計との間に第２のバルブを設け、該第２の
バルブを前記比較結果の出力後に閉じ、次の検査物の検
査時に前記計時部が前記所定時間より短い時間計時され
たとき一旦開いた後に再度閉じ、更に前記所定時間の直
前で開く。請求項４の発明においては、前記チャンバと
前記真空圧計との間に第２のバルブを設け、該第２のバ
ルブを前記比較結果の出力後に閉じ、次の検査物の検査
時に前記所定時間の直前で開く。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を説明する前
に、本発明が適用されるリーク検査装置の一例を、図１
〜図３を参照して説明する。図１は構成図、図２および
図３は動作フローチャートである。図１において、１は
検査物４を収納するチャンバ、２はチャンバ１内の空気
を排気する排気ポンプ、３はチャンバ１内の真空圧を測
定する真空圧計、Ｖ1 ，Ｖ2 およびＶ3 はバルブ、１１
は判定圧力記録部、１２は所定時間を計時する計時部、
１３は制御部、１４および１５はインタフェース（Ｉ／
Ｏ）、１６は処理を実行するプロセッサ（ＣＰＵ）であ
る。
に、本発明が適用されるリーク検査装置の一例を、図１
〜図３を参照して説明する。図１は構成図、図２および
図３は動作フローチャートである。図１において、１は
検査物４を収納するチャンバ、２はチャンバ１内の空気
を排気する排気ポンプ、３はチャンバ１内の真空圧を測
定する真空圧計、Ｖ1 ，Ｖ2 およびＶ3 はバルブ、１１
は判定圧力記録部、１２は所定時間を計時する計時部、
１３は制御部、１４および１５はインタフェース（Ｉ／
Ｏ）、１６は処理を実行するプロセッサ（ＣＰＵ）であ
る。
【００１４】検査物４の入出力孔を蓋４ａで密封し、チ
ャンバ１に収納後、チャンバ１の蓋１ａでチャンバ１を
密封する。なお１ｂはパッキンである。
ャンバ１に収納後、チャンバ１の蓋１ａでチャンバ１を
密封する。なお１ｂはパッキンである。
【００１５】つぎに、上述した装置の原理を図４を参照
して説明する。バルブＶ2 を閉じ、バルブＶ1 を開いて
チャンバ１内の空気を排気ポンプ２で排気すると、チャ
ンバ１内の圧力は、図４に示されるように、大気圧より
時間ｔの経過と共に低下する。
して説明する。バルブＶ2 を閉じ、バルブＶ1 を開いて
チャンバ１内の空気を排気ポンプ２で排気すると、チャ
ンバ１内の圧力は、図４に示されるように、大気圧より
時間ｔの経過と共に低下する。
【００１６】いま、チャンバ１内に収納した検査物４に
リークが無い場合は、Ａで示すようにチャンバ１内の圧
力は時間と共に低下するが、検査物４にリークが有る場
合は検査物１内の空気がリークしてチャンバ１内に放出
され、Ｂで示すように、リークが無い場合に比べて時間
に対する圧力の低下が少なくなる。
リークが無い場合は、Ａで示すようにチャンバ１内の圧
力は時間と共に低下するが、検査物４にリークが有る場
合は検査物１内の空気がリークしてチャンバ１内に放出
され、Ｂで示すように、リークが無い場合に比べて時間
に対する圧力の低下が少なくなる。
【００１７】上述した装置はこの原理を応用したもので
あり、予め許容されるリーク量が判明している検査物を
チャンバに収納して図４で示す時間対圧力の関係を求め
る。つぎに、図４のＡで示すリーク無しに対して、或る
程度の圧力差が発生する所定時間Ｔ（Ｔ＝Ｔ2 −Ｔ1 、
Ｔ1 ：開弁時間、Ｔ2 ：計測時間）と計測時間Ｔ2にお
ける圧力Ｐ2 を読取り、読取った所定時間Ｔを計時部１
２に設定し、また圧力Ｐ2 を判定圧力記録部１１に記録
して初期設定を終了する。
あり、予め許容されるリーク量が判明している検査物を
チャンバに収納して図４で示す時間対圧力の関係を求め
る。つぎに、図４のＡで示すリーク無しに対して、或る
程度の圧力差が発生する所定時間Ｔ（Ｔ＝Ｔ2 −Ｔ1 、
Ｔ1 ：開弁時間、Ｔ2 ：計測時間）と計測時間Ｔ2にお
ける圧力Ｐ2 を読取り、読取った所定時間Ｔを計時部１
２に設定し、また圧力Ｐ2 を判定圧力記録部１１に記録
して初期設定を終了する。
【００１８】つぎに、図２および図３を参照して、図１
の装置の動作を説明する。ステップＳ１では、操作者は
入出力孔等に蓋をして密封された検査物４をチャンバ１
内に収納し、チャンバ１に蓋１ａをかぶせて密封する。
の装置の動作を説明する。ステップＳ１では、操作者は
入出力孔等に蓋をして密封された検査物４をチャンバ１
内に収納し、チャンバ１に蓋１ａをかぶせて密封する。
【００１９】ステップＳ２では、操作者が図示しない動
作スイッチをオンにすると、制御部１３は、Ｉ／Ｏ１５
を介してバルブＶ2 を閉じると共にバルブＶ1 を開にし
て排気ポンプ２によってチャンバ１内の空気の排気を開
始させる。
作スイッチをオンにすると、制御部１３は、Ｉ／Ｏ１５
を介してバルブＶ2 を閉じると共にバルブＶ1 を開にし
て排気ポンプ２によってチャンバ１内の空気の排気を開
始させる。
【００２０】ステップＳ３では、制御部１３は、チャン
バ１内の排気を開始させると、計時部１２に指令して時
間の計時を開始させる。ステップＳ４では、制御部１３
は、計時部１２で所定時間Ｔ′の計時完了信号が出力さ
れるまで待機する。
バ１内の排気を開始させると、計時部１２に指令して時
間の計時を開始させる。ステップＳ４では、制御部１３
は、計時部１２で所定時間Ｔ′の計時完了信号が出力さ
れるまで待機する。
【００２１】ステップＳ５では、制御部１３は、真空圧
計３のバルブＶ3 を一旦開いた後に再度閉にする。ステ
ップＳ６では、制御部１３は、計時部１２で所定時間
Ｔ″の計時完了信号が出力されるまで待機する。
計３のバルブＶ3 を一旦開いた後に再度閉にする。ステ
ップＳ６では、制御部１３は、計時部１２で所定時間
Ｔ″の計時完了信号が出力されるまで待機する。
【００２２】ステップＳ７では、制御部１３は、バルブ
Ｖ3 を開にする。なおステップＳ４〜Ｓ７でのバルブＶ
3 を開閉させる理由については後で説明する。ステップ
Ｓ８では、制御部１３は、計時部１２で所定時間Ｔの計
時完了信号が出力されるまで待機する。
Ｖ3 を開にする。なおステップＳ４〜Ｓ７でのバルブＶ
3 を開閉させる理由については後で説明する。ステップ
Ｓ８では、制御部１３は、計時部１２で所定時間Ｔの計
時完了信号が出力されるまで待機する。
【００２３】ステップＳ９では、制御部１３は、Ｉ／Ｏ
１４を介して真空圧計３が出力する圧力値Ｐを取込み、
ステップＳ１０に移って取込んだ圧力値Ｐが判定圧力記
録部１１に記録されている判定圧力Ｐ2 より低いか否か
を判定する。ステップＳ１０で、圧力値Ｐが判定圧力Ｐ
2 より低い場合はステップＳ１１に移って検査合格を、
また高い場合はステップＳ１２に移って検査不合格を出
力してステップＳ１３に移る。
１４を介して真空圧計３が出力する圧力値Ｐを取込み、
ステップＳ１０に移って取込んだ圧力値Ｐが判定圧力記
録部１１に記録されている判定圧力Ｐ2 より低いか否か
を判定する。ステップＳ１０で、圧力値Ｐが判定圧力Ｐ
2 より低い場合はステップＳ１１に移って検査合格を、
また高い場合はステップＳ１２に移って検査不合格を出
力してステップＳ１３に移る。
【００２４】ステップＳ１３では、制御部１３は、バル
ブＶ1 およびＶ3 を閉じて排気を停止させると共にバル
ブＶ2 を開にしてチャンバ１内に吸気する。ステップＳ
１０では、操作者はチャンバ１の蓋１ａを開いて検査物
４を取出し、ステップＳ１に移って次の検査物の検査を
開始する。
ブＶ1 およびＶ3 を閉じて排気を停止させると共にバル
ブＶ2 を開にしてチャンバ１内に吸気する。ステップＳ
１０では、操作者はチャンバ１の蓋１ａを開いて検査物
４を取出し、ステップＳ１に移って次の検査物の検査を
開始する。
【００２５】つぎに、ステップＳ４〜Ｓ７およびＳ１３
でのバルブＶ3 を開閉させる理由を説明する。検査が終
了し、前述したステップＳ１３でバルブＶ2 を開にする
とチャンバ１内の圧力は排気圧より大気圧に急激に変化
する。このためチャンバ１内の圧力を測定する真空圧計
３にダメージを与える。
でのバルブＶ3 を開閉させる理由を説明する。検査が終
了し、前述したステップＳ１３でバルブＶ2 を開にする
とチャンバ１内の圧力は排気圧より大気圧に急激に変化
する。このためチャンバ１内の圧力を測定する真空圧計
３にダメージを与える。
【００２６】したがって、バルブＶ2 を開にする前にバ
ルブＶ3 を閉じて真空圧計３の圧力を検査終了時の排気
圧に保ち、バルブＶ3 の開は次の検査物４の検査を開始
し、リーク検査の判定を行う時間に近づいた時に開にす
る。
ルブＶ3 を閉じて真空圧計３の圧力を検査終了時の排気
圧に保ち、バルブＶ3 の開は次の検査物４の検査を開始
し、リーク検査の判定を行う時間に近づいた時に開にす
る。
【００２７】図５はバルブＶ3 の開閉による真空圧計３
の圧力を示している。図５において、点線はチャンバ１
内の圧力を示し、時間Ｔ1 ，Ｔ2 およびＴは図４で説明
した通りである。時間Ｔ1 でバルブＶ1 を開き、チャン
バ１内の空気の排気を開始（ステップＳ２）すると、点
線で示されるように圧力が低下する。
の圧力を示している。図５において、点線はチャンバ１
内の圧力を示し、時間Ｔ1 ，Ｔ2 およびＴは図４で説明
した通りである。時間Ｔ1 でバルブＶ1 を開き、チャン
バ１内の空気の排気を開始（ステップＳ２）すると、点
線で示されるように圧力が低下する。
【００２８】チャンバ１内の圧力が真空圧計３の圧力に
近づいた時間Ｔ3 になると、バルブＶ3 を開にして真空
圧計３の圧力をチャンバ１内の圧力と同じにしてバルブ
３を閉じる（ステップＳ５）。さらに時間が経過し、時
間Ｔ2 の直前である時間Ｔ4 になるとバルブＶ3 を開と
し（ステップＳ７）、リーク検査に対処させる。
近づいた時間Ｔ3 になると、バルブＶ3 を開にして真空
圧計３の圧力をチャンバ１内の圧力と同じにしてバルブ
３を閉じる（ステップＳ５）。さらに時間が経過し、時
間Ｔ2 の直前である時間Ｔ4 になるとバルブＶ3 を開と
し（ステップＳ７）、リーク検査に対処させる。
【００２９】時間Ｔ（＝Ｔ2 −Ｔ1 ）とともに、時間
Ｔ′（＝Ｔ3 −Ｔ1 ）およびＴ″（Ｔ4 −Ｔ1 ）を予め
記録させ、ステップＳ４では記録されている時間Ｔ′経
過したか否かを判定させ、またステップＳ６では記録さ
れている時間Ｔ″経過したか否かを判定させている。
Ｔ′（＝Ｔ3 −Ｔ1 ）およびＴ″（Ｔ4 −Ｔ1 ）を予め
記録させ、ステップＳ４では記録されている時間Ｔ′経
過したか否かを判定させ、またステップＳ６では記録さ
れている時間Ｔ″経過したか否かを判定させている。
【００３０】またＴ，Ｔ′およびＴ″との間には、図５
で示されるように、Ｔ′＜Ｔ″＜Ｔなる関係があり、こ
れらの値は予め実験によって求める。
で示されるように、Ｔ′＜Ｔ″＜Ｔなる関係があり、こ
れらの値は予め実験によって求める。
【００３１】なお図１〜図３の例ではステップＳ４およ
びＳ５で時間Ｔ′でバルブＶ3 を開にして再度閉じてい
たが、ステップＳ４およびＳ５を削除して時間Ｔ″経過
したときバルブＶ3 を開にするようにしてもよい。
びＳ５で時間Ｔ′でバルブＶ3 を開にして再度閉じてい
たが、ステップＳ４およびＳ５を削除して時間Ｔ″経過
したときバルブＶ3 を開にするようにしてもよい。
【００３２】つぎに、図６および図７を参照して、本発
明の実施例を説明する。図６は本発明の実施例の構成
図、図７は本発明の実施例の動作フローチャートであ
る。本発明の実施例の構成は、図６に示されるように、
図１で説明した例の構成にタンク５、真空圧計６および
バルブＶ4 が付加される。
明の実施例を説明する。図６は本発明の実施例の構成
図、図７は本発明の実施例の動作フローチャートであ
る。本発明の実施例の構成は、図６に示されるように、
図１で説明した例の構成にタンク５、真空圧計６および
バルブＶ4 が付加される。
【００３３】図１〜図３の例ではチャンバ内の圧力が低
下し、検査物内の圧力との間に差が生じ、検査物内の空
気がチャンバ内にリークすることにより、図４で説明し
たように、リーク有とリーク無しの場合とで圧力差が生
じる。したがって、短時間で検査を行うには短時間でチ
ャンバ内の圧力を低下させればよい。
下し、検査物内の圧力との間に差が生じ、検査物内の空
気がチャンバ内にリークすることにより、図４で説明し
たように、リーク有とリーク無しの場合とで圧力差が生
じる。したがって、短時間で検査を行うには短時間でチ
ャンバ内の圧力を低下させればよい。
【００３４】本発明の実施例においては、バルブＶ1 を
閉じて予めタンク５を排気ポンプで排気させておき、図
８に示すように、バルブＶ1 を時間ｔ＝Ｔ1 で開にする
とチャンバ内の圧力は大気圧よりＰ3 に急激に低下す
る。したがって、図１〜図３の例に比べて、本発明の実
施例ではチャンバ内の圧力を大気圧より圧力Ｐ3 に低下
させるまでの時間を短縮することができる。
閉じて予めタンク５を排気ポンプで排気させておき、図
８に示すように、バルブＶ1 を時間ｔ＝Ｔ1 で開にする
とチャンバ内の圧力は大気圧よりＰ3 に急激に低下す
る。したがって、図１〜図３の例に比べて、本発明の実
施例ではチャンバ内の圧力を大気圧より圧力Ｐ3 に低下
させるまでの時間を短縮することができる。
【００３５】なお本発明の実施例では、バルブＶ1 を開
にしたとき、毎回チャンバ内の圧力がＰ3 となるよう
に、バルブＶ1 を開く前のタンク５の圧力を真空圧計６
により測定して所定の圧力になるよう調整している。
にしたとき、毎回チャンバ内の圧力がＰ3 となるよう
に、バルブＶ1 を開く前のタンク５の圧力を真空圧計６
により測定して所定の圧力になるよう調整している。
【００３６】つぎに、図７を参照して、本発明の実施例
の動作を説明する。本発明の実施例では、図１〜図３の
例で説明した図２および図３のステップＳ１とステップ
Ｓ２との間に、図７で示すステップＳ２０が、またステ
ップＳ２に続いてＳ２１が挿入され、またステップＳ１
３に代えてステップＳ１３′が実行される。
の動作を説明する。本発明の実施例では、図１〜図３の
例で説明した図２および図３のステップＳ１とステップ
Ｓ２との間に、図７で示すステップＳ２０が、またステ
ップＳ２に続いてＳ２１が挿入され、またステップＳ１
３に代えてステップＳ１３′が実行される。
【００３７】すなわち、ステップＳ２０では、制御部１
３は、真空圧計６の圧力値が所定値になるよう制御し、
所定の圧力値になったときステップＳ２に移り、バルブ
Ｖ2を閉じると共にバルブＶ1 を開いてチャンバ１内の
空気を排気する。
３は、真空圧計６の圧力値が所定値になるよう制御し、
所定の圧力値になったときステップＳ２に移り、バルブ
Ｖ2を閉じると共にバルブＶ1 を開いてチャンバ１内の
空気を排気する。
【００３８】ステップＳ２での排気が終了するとステッ
プＳ２１に移り、直ちにバルブＶ4を閉じ、タンク５よ
り排気を無くする。またステップＳ１３′では、ステッ
プＳ１３のバルブＶ1 およびＶ3 の閉、およびバルブＶ
2 の開に加えて、バルブＶ4 を開にしてタンク５内の空
気を排気する。
プＳ２１に移り、直ちにバルブＶ4を閉じ、タンク５よ
り排気を無くする。またステップＳ１３′では、ステッ
プＳ１３のバルブＶ1 およびＶ3 の閉、およびバルブＶ
2 の開に加えて、バルブＶ4 を開にしてタンク５内の空
気を排気する。
【００３９】
【発明の効果】密封した検査物をチャンバ内に収納し、
バルブを開いて排気ポンプでチャンバ内の空気を排気さ
せ、所定時間経過後のチャンバ内の圧力値と予め記録さ
れている判定圧力とを比較して検査の合否を出力させる
ようにしたので、簡単な装置構成で短時間にリーク検査
を行うことができる。
バルブを開いて排気ポンプでチャンバ内の空気を排気さ
せ、所定時間経過後のチャンバ内の圧力値と予め記録さ
れている判定圧力とを比較して検査の合否を出力させる
ようにしたので、簡単な装置構成で短時間にリーク検査
を行うことができる。
【図１】本発明以前のリーク検査装置の一例の構成図で
ある。
ある。
【図２】図１の装置の動作フローチャートである。
【図３】図１の装置の動作フローチャートである。
【図４】図１の装置の原理を説明するための図である。
【図５】バルブＶ3 の動作を説明するための図である。
【図６】本発明の実施例の構成図である。
【図７】本発明の実施例の動作フローチャートである。
【図８】本発明の実施例の原理を説明するための図であ
る。
る。
【図９】従来例の説明図である。
１ チャンバ
１ａ，４ａ 蓋
１ｂ パッキン
２ 排気ポンプ
３，６ 真空圧計
４ 検査物
５ タンク
１１ 判定圧力記録部
１２ 計時部
１３ 制御部
１４，１５ インタフェース（Ｉ／Ｏ）
１６ プロセッサ（ＣＰＵ）
Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ 4 バルブＶ 3 バルブ（第２のバルブ）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01M 3/32
G01M 3/26
Claims (4)
- 【請求項１】 排気ポンプと接続され、入出力孔等を密
封した検査物を収納するチャンバと、 前記排気ポンプおよび前記チャンバに接続されたタンク
と、 前記チャンバ内の真空圧を測定する真空圧計と、前記チャンバと前記タンクとの間に設けられたバルブ
と、 判定圧力を記録した判定圧力記録部と、 所定時間を計時する計時部と、 前記排気ポンプで前記タンク内を排気させ、前記タンク
内の真空圧が所定値になった時、前記バルブを開いて前
記タンク内の真空圧により前記チャンバ内の空気を排気
させ、続いて前記排気ポンプで前記チャンバ内の空気を
排気させると共に前記計時部で計時を開始させ、所定時
間計時されたとき前記真空圧計の圧力値と前記判定圧力
記録部に記録されている判定圧力とを比較し、該比較結
果を出力する制御部と、 を備えたことを特徴とするリーク検査装置。 - 【請求項２】 前記制御部が、前記真空圧計の圧力値が
前記判定圧記録部に記録されている判定圧力より低いと
き検査合格を出力するようにしたことを特徴とする請求
項１記載のリーク検査装置。 - 【請求項３】 前記チャンバと前記真空圧計との間に第
２のバルブを設け、該第２のバルブを前記比較結果の出
力後に閉じ、次の検査物の検査時に前記計時部が前記所
定時間より短い時間計時されたとき一旦開いた後に再度
閉じ、更に前記所定時間の直前で開くようにしたことを
特徴とする請求項１または２記載のリーク検査装置。 - 【請求項４】 前記チャンバと前記真空圧計との間に第
２のバルブを設け、該第２のバルブを前記比較結果の出
力後に閉じ、次の検査物の検査時に前記所定時間の直前
で開くようにしたことを特徴とする請求項１または２記
載のリーク検査装置。
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