JP3186644B2 - 気体漏洩検査方法 - Google Patents
気体漏洩検査方法Info
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- JP3186644B2 JP3186644B2 JP12023197A JP12023197A JP3186644B2 JP 3186644 B2 JP3186644 B2 JP 3186644B2 JP 12023197 A JP12023197 A JP 12023197A JP 12023197 A JP12023197 A JP 12023197A JP 3186644 B2 JP3186644 B2 JP 3186644B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、容器の気密性を検
査するための気体漏洩検査方法に係り、特にマスタとの
差圧変化から気密性を検査する差圧方式の気体漏洩検査
方法に関する。
査するための気体漏洩検査方法に係り、特にマスタとの
差圧変化から気密性を検査する差圧方式の気体漏洩検査
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】容器の気密性の検査は、被検査物として
の容器に加圧気体を封じ込め、その圧力変化を監視して
行うのが一般であるが、被検査物に漏れがなくても検査
中に圧力変化が生ずることがある。この原因としては、
テスト圧力を加えることによる被検査物の変形の影響が
大きいが、これ以外にも加圧気体を供給した際の断熱変
化の影響がある。断熱変化は、ジュール・トムソン効果
による温度上昇をもたらし、加圧気体を封じ込めて行う
気密性検査ではその影響を避けることができない。
の容器に加圧気体を封じ込め、その圧力変化を監視して
行うのが一般であるが、被検査物に漏れがなくても検査
中に圧力変化が生ずることがある。この原因としては、
テスト圧力を加えることによる被検査物の変形の影響が
大きいが、これ以外にも加圧気体を供給した際の断熱変
化の影響がある。断熱変化は、ジュール・トムソン効果
による温度上昇をもたらし、加圧気体を封じ込めて行う
気密性検査ではその影響を避けることができない。
【０００３】そこで従来、漏れのない容器をマスタとし
て用い、このマスタと被検査物とに加圧気体を封じ込め
て、両者の差圧変化から被検査物の漏れを検出する差圧
方式の気体漏洩検査方法が採用されていた。この差圧方
式によれば、断熱変化による温度上昇の影響は、マスタ
と被検査物とに共通に現れるので、被検査物とマスタが
同じ条件であれば両者の差圧がこれによって影響を受け
ることはなく、したがって、両者の差圧変化を監視する
ことで被検査物の漏れを確実に検出できるようになる。
なお、この差圧方式の気体漏洩検査では、マスタと被検
査物とに加圧気体を封じ込める加圧行程、マスタおよび
被検査物内の圧力を安定させる平衡行程、およびマスタ
と被検査物との差圧変化から被検査物の漏れを検出する
検出行程を順に実行している。
て用い、このマスタと被検査物とに加圧気体を封じ込め
て、両者の差圧変化から被検査物の漏れを検出する差圧
方式の気体漏洩検査方法が採用されていた。この差圧方
式によれば、断熱変化による温度上昇の影響は、マスタ
と被検査物とに共通に現れるので、被検査物とマスタが
同じ条件であれば両者の差圧がこれによって影響を受け
ることはなく、したがって、両者の差圧変化を監視する
ことで被検査物の漏れを確実に検出できるようになる。
なお、この差圧方式の気体漏洩検査では、マスタと被検
査物とに加圧気体を封じ込める加圧行程、マスタおよび
被検査物内の圧力を安定させる平衡行程、およびマスタ
と被検査物との差圧変化から被検査物の漏れを検出する
検出行程を順に実行している。
【０００４】ところで、圧力変化から被検査物の漏洩検
査を行う場合、被検査物とマスタの条件が異なるとき断
熱変化の影響も現れ、また被検査物の温度変化も当然に
影響し、上記差圧変化を監視するだけでは正確に漏洩を
検出することはできない。そこで、例えば特開昭５９−
１９６４３７号公報には、放射性物質輸送容器等を対象
に、被検査部内の圧力と温度とを同時に検出して、圧力
値に温度変化による補正を加えることが記載されてお
り、これを差圧方式の気体漏洩検査に適用すれば、より
正確に漏洩を検査できることになる。
査を行う場合、被検査物とマスタの条件が異なるとき断
熱変化の影響も現れ、また被検査物の温度変化も当然に
影響し、上記差圧変化を監視するだけでは正確に漏洩を
検出することはできない。そこで、例えば特開昭５９−
１９６４３７号公報には、放射性物質輸送容器等を対象
に、被検査部内の圧力と温度とを同時に検出して、圧力
値に温度変化による補正を加えることが記載されてお
り、これを差圧方式の気体漏洩検査に適用すれば、より
正確に漏洩を検査できることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、生産ラ
イン上に上記差圧方式の漏洩検査工程を設定して、いわ
ゆるインラインで漏洩検査を行う場合は、ラインのタク
ト時間に合せて検査時間も短くなる。この場合、上記し
た最終の検出行程としても、極めて短い時間（１〜５
秒）しかとれず、このような短時間の間に温度変化を検
出して、上記公報に記載されたような温度補正を行うこ
とは、実質不可能で、温度補正なしで漏洩検査を行わざ
る得ない状況にあった。
イン上に上記差圧方式の漏洩検査工程を設定して、いわ
ゆるインラインで漏洩検査を行う場合は、ラインのタク
ト時間に合せて検査時間も短くなる。この場合、上記し
た最終の検出行程としても、極めて短い時間（１〜５
秒）しかとれず、このような短時間の間に温度変化を検
出して、上記公報に記載されたような温度補正を行うこ
とは、実質不可能で、温度補正なしで漏洩検査を行わざ
る得ない状況にあった。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、その課題とするところは、短時間の検出行
程の中でも確実に温度補正を行って、正確に気体漏洩を
検査できるようにし、もってインラインへの適用性を高
めた漏洩検査方法を提供することにある。
れたもので、その課題とするところは、短時間の検出行
程の中でも確実に温度補正を行って、正確に気体漏洩を
検査できるようにし、もってインラインへの適用性を高
めた漏洩検査方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、被検査物とマスタとに加圧気体を封じ込め
る加圧行程、気体の供給を止めて被検査物とマスタとの
圧力を安定させる平衡行程、およびマスタと被検査物と
の差圧変化から被検査物の漏れを検出する検出行程を順
に実行する気体漏洩検査方法において、前記平衡行程中
における被検査物内の気体の温度変化を計測して、この
計測結果に基づいて前記検出行程中の温度変化を予測す
ると共に、この予測結果に基づいて前記検出行程中にお
ける温度変化による補正量を算出し、この補正量により
前記検出行程で検出した差圧変化を補正することを特徴
とする。
決するため、被検査物とマスタとに加圧気体を封じ込め
る加圧行程、気体の供給を止めて被検査物とマスタとの
圧力を安定させる平衡行程、およびマスタと被検査物と
の差圧変化から被検査物の漏れを検出する検出行程を順
に実行する気体漏洩検査方法において、前記平衡行程中
における被検査物内の気体の温度変化を計測して、この
計測結果に基づいて前記検出行程中の温度変化を予測す
ると共に、この予測結果に基づいて前記検出行程中にお
ける温度変化による補正量を算出し、この補正量により
前記検出行程で検出した差圧変化を補正することを特徴
とする。
【０００８】図３は、被検査物とマスタとに加圧気体を
供給した後の、両者の差圧ＰD と被検査物内の気体温度
Ｔとの経時変化を示したものである。被検査物に供給さ
れた加圧気体は、前記ジュール・トムソン効果と被検査
物の温度との両方の影響を受けて加圧行程Ａでは大きく
変化するが、この加圧行程Ａに続く平衡行程Ｂでは熱的
に安定し、その温度は時間と共に直線的に低下する。こ
の場合、気体が被検査物に封じ込められた時期（加圧行
程Ａの最終時期）ではボイル・シャルルの法則が成立
し、被検査物に封じ込められた気体の絶対圧力をＰ0 、
被検査物の内容積を含む検出部分の容積をＶ、被検査物
内の気体の絶対温度をＴ0 とすると、下記(1) 式が成立
する。 Ｐ0 ・Ｖ／Ｔ0 ＝一定 …(1)
供給した後の、両者の差圧ＰD と被検査物内の気体温度
Ｔとの経時変化を示したものである。被検査物に供給さ
れた加圧気体は、前記ジュール・トムソン効果と被検査
物の温度との両方の影響を受けて加圧行程Ａでは大きく
変化するが、この加圧行程Ａに続く平衡行程Ｂでは熱的
に安定し、その温度は時間と共に直線的に低下する。こ
の場合、気体が被検査物に封じ込められた時期（加圧行
程Ａの最終時期）ではボイル・シャルルの法則が成立
し、被検査物に封じ込められた気体の絶対圧力をＰ0 、
被検査物の内容積を含む検出部分の容積をＶ、被検査物
内の気体の絶対温度をＴ0 とすると、下記(1) 式が成立
する。 Ｐ0 ・Ｖ／Ｔ0 ＝一定 …(1)
【０００９】そして、平衡行程Ｂ中に、被検査物内の気
体温度がΔＴB だけ下がり、かつ圧力もΔＰB だけ下が
ったとすると、上記(1) 式より下記(2) 式が成立し、こ
の(2) 式を展開すると、下記(3) 式となる。 Ｐ0 ・Ｖ／Ｔ0 ＝［Ｐ0 −ΔＰB ］・Ｖ／［Ｔ0 −ΔＴB ］ …(2) ΔＰB ＝Ｐ0 ・ΔＴB ／Ｔ0 …(3) ここで、平衡行程Ｂの時間をｔB 、検出行程Ｃの時間を
ｔC とすると、検出行程Ｃで予測される圧力変化量ΔＰ
C は、(3) 式に基づいて下記(4) 式のようになる。 ΔＰC ＝［Ｐ0 ・ΔＴB ／Ｔ0 ］×［ｔC ／ｔB ］ …(4)
体温度がΔＴB だけ下がり、かつ圧力もΔＰB だけ下が
ったとすると、上記(1) 式より下記(2) 式が成立し、こ
の(2) 式を展開すると、下記(3) 式となる。 Ｐ0 ・Ｖ／Ｔ0 ＝［Ｐ0 −ΔＰB ］・Ｖ／［Ｔ0 −ΔＴB ］ …(2) ΔＰB ＝Ｐ0 ・ΔＴB ／Ｔ0 …(3) ここで、平衡行程Ｂの時間をｔB 、検出行程Ｃの時間を
ｔC とすると、検出行程Ｃで予測される圧力変化量ΔＰ
C は、(3) 式に基づいて下記(4) 式のようになる。 ΔＰC ＝［Ｐ0 ・ΔＴB ／Ｔ0 ］×［ｔC ／ｔB ］ …(4)
【００１０】一方、平衡行程Ｂ中の被検査物内の気体の
温度変化量ΔＴBから検出行程Ｃ中における温度変化量
ΔＴC を予測すると、このΔＴC は下記(5) 式のように
なる。 ΔＴC ＝ｋ・ΔＴB …(5) この(5) 式の関係は、温度センサにより計測した温度差
と、漏れ検出工程における実際の気体の温度変化による
温度差には一定の相関があるとしたもので、この係数ｋ
は、予め漏れのない被検査物について温度変化を与えた
条件で計測することにより求めることができる。したが
ってこの(5) 式を上記(4) 式に代入して得られる下記
(6) 式における圧力変化量ΔＰC は、検出行程Ｃでの温
度変化によるドリフト量すなわち補正量を表しており、
(7) 式に表すようにこの補正量ΔＰC を検出行程Ｃで検
出したマスタと被検査物との差圧変化量ΔＰD から減算
すれば、温度補正した実際の漏れ差圧ΔＰL が得られる
ことになる。 ΔＰC ＝［Ｐ0 ・ΔＴC ／ｋＴ0 ］×［ｔC ／ｔB ］ …(6) ΔＰL ＝ΔＰD −ΔＰC …(7)
温度変化量ΔＴBから検出行程Ｃ中における温度変化量
ΔＴC を予測すると、このΔＴC は下記(5) 式のように
なる。 ΔＴC ＝ｋ・ΔＴB …(5) この(5) 式の関係は、温度センサにより計測した温度差
と、漏れ検出工程における実際の気体の温度変化による
温度差には一定の相関があるとしたもので、この係数ｋ
は、予め漏れのない被検査物について温度変化を与えた
条件で計測することにより求めることができる。したが
ってこの(5) 式を上記(4) 式に代入して得られる下記
(6) 式における圧力変化量ΔＰC は、検出行程Ｃでの温
度変化によるドリフト量すなわち補正量を表しており、
(7) 式に表すようにこの補正量ΔＰC を検出行程Ｃで検
出したマスタと被検査物との差圧変化量ΔＰD から減算
すれば、温度補正した実際の漏れ差圧ΔＰL が得られる
ことになる。 ΔＰC ＝［Ｐ0 ・ΔＴC ／ｋＴ0 ］×［ｔC ／ｔB ］ …(6) ΔＰL ＝ΔＰD −ΔＰC …(7)
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基いて説明する。
図面に基いて説明する。
【００１２】図１は、本発明に係る気体漏洩検査方法を
実行するための装置（空気圧回路）を示したものであ
る。同図において、Ｗは検査対象である被検査物、Ｍは
比較対象である漏れのないマスタで、両者は、空気圧源
１に対して第１の切換弁（Ｖ１）２を介して接続されて
いる。この第１の切換弁２は、空気圧源１に対してマス
タＭと被検査物Ｗとを同時に連通遮断する役割をなすも
ので、その入力ポートには空気圧源１から延ばした主管
路３が、その一対の出力ポートにはマスタＭおよび被検
査物Ｗまで並列に延ばした並列管路４ａ，４ｂがそれぞ
れ接続されている。ここで、第１の切換弁２は、常時は
主管路３に対して並列管路４ａ，４ｂを遮断する常閉弁
として構成され、その開弁は、第１のパイロット弁５か
らのパイロット圧の導入によってなされるようになって
いる。なお、主管路３にはフィルタ６、リリーフ弁７お
よび圧力計８が介装され、また、各並列管路４ａ，４ｂ
にはフィルタ９ａ，９ｂおよび開閉弁１０ａ，１０ｂが
それぞれ介装されている。
実行するための装置（空気圧回路）を示したものであ
る。同図において、Ｗは検査対象である被検査物、Ｍは
比較対象である漏れのないマスタで、両者は、空気圧源
１に対して第１の切換弁（Ｖ１）２を介して接続されて
いる。この第１の切換弁２は、空気圧源１に対してマス
タＭと被検査物Ｗとを同時に連通遮断する役割をなすも
ので、その入力ポートには空気圧源１から延ばした主管
路３が、その一対の出力ポートにはマスタＭおよび被検
査物Ｗまで並列に延ばした並列管路４ａ，４ｂがそれぞ
れ接続されている。ここで、第１の切換弁２は、常時は
主管路３に対して並列管路４ａ，４ｂを遮断する常閉弁
として構成され、その開弁は、第１のパイロット弁５か
らのパイロット圧の導入によってなされるようになって
いる。なお、主管路３にはフィルタ６、リリーフ弁７お
よび圧力計８が介装され、また、各並列管路４ａ，４ｂ
にはフィルタ９ａ，９ｂおよび開閉弁１０ａ，１０ｂが
それぞれ介装されている。
【００１３】上記第１の切換弁２とマスタＭおよび被検
査物Ｗとの間を接続する２つの並列管路４ａと４ｂは、
第２の切換弁（Ｖ２）１１を備えた連絡管路１２により
相互に接続され、また、この第２の切換弁１１には、第
３の切換弁（Ｖ３）１３と消音器１４とを備えた排気管
路１５が接続されている。第２の切換弁１１は、マスタ
Ｍと被検査物Ｗとを相互に連通して、両者の圧力的な平
衡を早期に達成させる平衡弁として機能するもの、第３
の切換弁１３は、マスタＭと被検査物Ｗとを大気に開放
する大気弁として機能するもので、両者は協働してその
機能を達成するようになっている。ここで、第２の切換
弁１１は、常時は連絡管路１２と排気管路１５とを開通
させる常開弁として、第３の切換弁１３は、常時は第２
の切換弁１１を大気側へ開通させる常開弁としてそれぞ
れ構成され、それらの閉弁は、第２、第３のパイロット
弁１６、１７からのパイロット圧の導入によってそれぞ
れなされるようになっている。
査物Ｗとの間を接続する２つの並列管路４ａと４ｂは、
第２の切換弁（Ｖ２）１１を備えた連絡管路１２により
相互に接続され、また、この第２の切換弁１１には、第
３の切換弁（Ｖ３）１３と消音器１４とを備えた排気管
路１５が接続されている。第２の切換弁１１は、マスタ
Ｍと被検査物Ｗとを相互に連通して、両者の圧力的な平
衡を早期に達成させる平衡弁として機能するもの、第３
の切換弁１３は、マスタＭと被検査物Ｗとを大気に開放
する大気弁として機能するもので、両者は協働してその
機能を達成するようになっている。ここで、第２の切換
弁１１は、常時は連絡管路１２と排気管路１５とを開通
させる常開弁として、第３の切換弁１３は、常時は第２
の切換弁１１を大気側へ開通させる常開弁としてそれぞ
れ構成され、それらの閉弁は、第２、第３のパイロット
弁１６、１７からのパイロット圧の導入によってそれぞ
れなされるようになっている。
【００１４】しかして、上記並列管路４ａと４ｂとの間
には、マスタＭと被検査物Ｗとの差圧（ＰD ）を検出す
る差圧センサ１８が介装され、また、平衡弁（第２の切
換弁）１１と大気弁（第３の切換弁）１３との間の管路
には、被検査物Ｗに供給した圧縮空気の絶対圧力（Ｐ
0 ）を検出する圧力センサ１９が接続され、さらに、被
検査物Ｗには、その内部の空気温度を検出する温度セン
サ（熱電対）２０が設けられている。また、被検査物Ｗ
に通じる並列回路４ｂにはオートリークキャリブレータ
２１が接続されている。このオートリークキャリブレー
タ２１は、被検査物Ｗの内容積およびこれに通じる管路
４ｂを含む検出部の容積（Ｖ）を検出するためのもの
で、その作動は第４のパイロット弁２２からのパイロッ
ト圧の導入によってなされるようになっている。なお、
被検査物Ｗには、通常、気体を封入するための孔が設け
られているので、この孔を利用して前記温度センサ１９
を取付けるようにする。
には、マスタＭと被検査物Ｗとの差圧（ＰD ）を検出す
る差圧センサ１８が介装され、また、平衡弁（第２の切
換弁）１１と大気弁（第３の切換弁）１３との間の管路
には、被検査物Ｗに供給した圧縮空気の絶対圧力（Ｐ
0 ）を検出する圧力センサ１９が接続され、さらに、被
検査物Ｗには、その内部の空気温度を検出する温度セン
サ（熱電対）２０が設けられている。また、被検査物Ｗ
に通じる並列回路４ｂにはオートリークキャリブレータ
２１が接続されている。このオートリークキャリブレー
タ２１は、被検査物Ｗの内容積およびこれに通じる管路
４ｂを含む検出部の容積（Ｖ）を検出するためのもの
で、その作動は第４のパイロット弁２２からのパイロッ
ト圧の導入によってなされるようになっている。なお、
被検査物Ｗには、通常、気体を封入するための孔が設け
られているので、この孔を利用して前記温度センサ１９
を取付けるようにする。
【００１５】また、別途演算装置２３が設置され、上記
差圧センサ１８、圧力センサ１９および温度センサ２０
からの信号がこの演算装置２３に取込まれるようになっ
ている。演算装置２３は、前記各センサ１８〜２０から
の信号を記憶する機能と、前記記憶した信号に基づいて
前記(2) 〜(7) 式を演算する機能と、前記演算結果に基
づいて被検査物Ｗの漏れが基準以内であるか否かを判断
する機能とを備えている。
差圧センサ１８、圧力センサ１９および温度センサ２０
からの信号がこの演算装置２３に取込まれるようになっ
ている。演算装置２３は、前記各センサ１８〜２０から
の信号を記憶する機能と、前記記憶した信号に基づいて
前記(2) 〜(7) 式を演算する機能と、前記演算結果に基
づいて被検査物Ｗの漏れが基準以内であるか否かを判断
する機能とを備えている。
【００１６】以下、上記装置による気体漏洩検査につい
て、図２および図３も参照して説明する。スタート信号
により、ステップＳ１で第１の切換弁（Ｖ１）２が開弁
すると共に、大気弁（Ｖ３）１３が閉弁し、空気圧源１
から送られた圧縮空気（高圧気体）が並列管路４ａ，４
ｂを経てマスタＭと被検査物Ｗとに共通に供給され、前
記した加圧行程Ａが行われる。この時、平衡弁１１は開
弁状態となって、マスタＭと被検査物Ｗとは連絡管路１
２を介して連通しているので、両者の加圧不安定は早期
に解消される。そして、所定時間が経過すると、ステッ
プＳ２の平衡行程Ｂに処理が移行し、切換弁（Ｖ１）２
と平衡弁（Ｖ２）１２とが同時に閉弁し、マスタＭと被
検査物Ｗには所定の圧縮空気が各独立に封じ込められ
る。この平衡行程Ｂの開始と同時に、圧力センサ１９お
よび温度センサ２０からの出力信号により被検査物Ｗ内
の空気の絶対圧力Ｐ0 と絶対温度Ｔ0 とが検出され、さ
らにオートリークキャリブレータ２１により検出部の容
積Ｖが測定される。
て、図２および図３も参照して説明する。スタート信号
により、ステップＳ１で第１の切換弁（Ｖ１）２が開弁
すると共に、大気弁（Ｖ３）１３が閉弁し、空気圧源１
から送られた圧縮空気（高圧気体）が並列管路４ａ，４
ｂを経てマスタＭと被検査物Ｗとに共通に供給され、前
記した加圧行程Ａが行われる。この時、平衡弁１１は開
弁状態となって、マスタＭと被検査物Ｗとは連絡管路１
２を介して連通しているので、両者の加圧不安定は早期
に解消される。そして、所定時間が経過すると、ステッ
プＳ２の平衡行程Ｂに処理が移行し、切換弁（Ｖ１）２
と平衡弁（Ｖ２）１２とが同時に閉弁し、マスタＭと被
検査物Ｗには所定の圧縮空気が各独立に封じ込められ
る。この平衡行程Ｂの開始と同時に、圧力センサ１９お
よび温度センサ２０からの出力信号により被検査物Ｗ内
の空気の絶対圧力Ｐ0 と絶対温度Ｔ0 とが検出され、さ
らにオートリークキャリブレータ２１により検出部の容
積Ｖが測定される。
【００１７】そして、平衡行程Ｂが終期に近づくと、そ
の中の所定時間内における温度変化量ΔＴ B が求めら
れ、ステップＳ３において、前記平衡行程Ｂ中に求めた
温度変化量ΔＴB から、前記(5) 式に基づいて検出行程
Ｃの温度変化量ΔＴC を予測演算し、続いてステップＳ
４において、前記予測結果、上記絶対圧力Ｐ 0 、検出行
程Ｃと平衡行程Ｂの時間比ｔ C ／ｔ B 等から前記(6) 式
に基づいてドリフト量（補正量）ΔＰC を演算し、さら
にステップＳ５において、前記(7) 式に基づいて検出行
程Ｃ中における漏れ差圧ΔＰL を演算する。その後、ス
テップＳ６において、前記漏れ差圧ΔＰL が予め設定し
た警報値ΔＰQ に達しているか否かを判断し、警報値Δ
ＰQ 未満であればステップＳ７において合格信号をオン
出力し、警報値ΔＰQ を超えていれば、処理をステップ
Ｓ８に移して不合格信号をオン出力し、検査を終了す
る。なお、検査終了後は、第２、第３の切換弁１１、１
３を開いてマスタＭおよび被検査物Ｗ内を大気に開放す
る。
の中の所定時間内における温度変化量ΔＴ B が求めら
れ、ステップＳ３において、前記平衡行程Ｂ中に求めた
温度変化量ΔＴB から、前記(5) 式に基づいて検出行程
Ｃの温度変化量ΔＴC を予測演算し、続いてステップＳ
４において、前記予測結果、上記絶対圧力Ｐ 0 、検出行
程Ｃと平衡行程Ｂの時間比ｔ C ／ｔ B 等から前記(6) 式
に基づいてドリフト量（補正量）ΔＰC を演算し、さら
にステップＳ５において、前記(7) 式に基づいて検出行
程Ｃ中における漏れ差圧ΔＰL を演算する。その後、ス
テップＳ６において、前記漏れ差圧ΔＰL が予め設定し
た警報値ΔＰQ に達しているか否かを判断し、警報値Δ
ＰQ 未満であればステップＳ７において合格信号をオン
出力し、警報値ΔＰQ を超えていれば、処理をステップ
Ｓ８に移して不合格信号をオン出力し、検査を終了す
る。なお、検査終了後は、第２、第３の切換弁１１、１
３を開いてマスタＭおよび被検査物Ｗ内を大気に開放す
る。
【００１８】このように、平衡行程Ｂ中の圧力および温
度の情報に基づいて検出行程Ｃ中における温度変化量Δ
ＴB を予測し、かつその温度変化量に応じた補正量ΔＰ
C を決定するので、検出工程Ｃが数秒（１〜５秒）程度
の短時間であっても、温度ドリフトを加えて正確に漏れ
差圧を求めることができ、生産ライン上で有効に漏洩検
査を行うことができるようになる。本実施の形態では特
に、平衡弁１１を設けてマスタＭと被検査物Ｗとを早期
に圧力平衡させるようにしているので、平衡行程Ａの時
間を可及的に短縮することができ、全体の検査時間の短
縮を達成できる。また、各切換弁２、１１、１３をパイ
ロット操作方式としているので、電磁方式とする場合よ
りも温度影響は少なくなり、検査精度はより向上するよ
うになる。
度の情報に基づいて検出行程Ｃ中における温度変化量Δ
ＴB を予測し、かつその温度変化量に応じた補正量ΔＰ
C を決定するので、検出工程Ｃが数秒（１〜５秒）程度
の短時間であっても、温度ドリフトを加えて正確に漏れ
差圧を求めることができ、生産ライン上で有効に漏洩検
査を行うことができるようになる。本実施の形態では特
に、平衡弁１１を設けてマスタＭと被検査物Ｗとを早期
に圧力平衡させるようにしているので、平衡行程Ａの時
間を可及的に短縮することができ、全体の検査時間の短
縮を達成できる。また、各切換弁２、１１、１３をパイ
ロット操作方式としているので、電磁方式とする場合よ
りも温度影響は少なくなり、検査精度はより向上するよ
うになる。
【００１９】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係る気
体漏洩検査方法によれば、平衡行程中の圧力および温度
の情報に基づいて検出行程中における温度変化を予測
し、かつその温度変化による補正量を決定するようにし
たので、検出行程が短時間であっても、マスタとの差圧
方式により被検査物の漏れを正確に検査することがで
き、インラインでの漏洩検査が可能になって、その利用
価値は著しく向上する。
体漏洩検査方法によれば、平衡行程中の圧力および温度
の情報に基づいて検出行程中における温度変化を予測
し、かつその温度変化による補正量を決定するようにし
たので、検出行程が短時間であっても、マスタとの差圧
方式により被検査物の漏れを正確に検査することがで
き、インラインでの漏洩検査が可能になって、その利用
価値は著しく向上する。
【図１】本発明に気体漏洩検査を実行するための装置を
示す空気圧回路図である。
示す空気圧回路図である。
【図２】本発明に係る気体漏洩検査の実行手順を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】気体漏洩検査中における差圧と温度との経時変
化を示すグラフである。
化を示すグラフである。
１ 空気圧源 ２ 切換弁 １１ 平衡弁 １３ 大気弁 １８ 差圧センサ １９ 圧力センサ ２０ 温度センサ ２３ 演算装置 Ｍ マスタ Ｗ 被検査物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−194257（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−174661（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−196437（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/26
Claims (1)
- 【請求項１】被検査物とマスタとに加圧気体を封じ込め
る加圧行程、気体の供給を止めて被検査物とマスタとの
圧力を安定させる平衡行程、およびマスタと被検査物と
の差圧変化から被検査物の漏れを検出する検出行程を順
に実行する気体漏洩検査方法において、前記平衡行程中
における被検査物内の気体の温度変化を計測して、この
計測結果に基づいて前記検出行程中の温度変化を予測す
ると共に、この予測結果に基づいて前記検出行程中にお
ける温度変化による補正量を算出し、この補正量により
前記検出行程で検出した差圧変化を補正することを特徴
とする気体漏洩検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12023197A JP3186644B2 (ja) | 1997-04-23 | 1997-04-23 | 気体漏洩検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12023197A JP3186644B2 (ja) | 1997-04-23 | 1997-04-23 | 気体漏洩検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10300624A JPH10300624A (ja) | 1998-11-13 |
| JP3186644B2 true JP3186644B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=14781109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12023197A Expired - Fee Related JP3186644B2 (ja) | 1997-04-23 | 1997-04-23 | 気体漏洩検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3186644B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5844081B2 (ja) * | 2011-07-19 | 2016-01-13 | 株式会社エイムテック | リーク試験方法及びリーク試験装置 |
| JP5948024B2 (ja) * | 2011-07-19 | 2016-07-06 | 株式会社エイムテック | リーク試験方法及びリーク試験装置 |
| CN112763163B (zh) * | 2020-12-23 | 2023-05-12 | 常州西电变压器有限责任公司 | 密闭容器的气密性检测方法、装置、设备及存储介质 |
-
1997
- 1997-04-23 JP JP12023197A patent/JP3186644B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10300624A (ja) | 1998-11-13 |
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