JP2017129477A - 漏れ検査装置及び方法 - Google Patents
漏れ検査装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017129477A JP2017129477A JP2016009485A JP2016009485A JP2017129477A JP 2017129477 A JP2017129477 A JP 2017129477A JP 2016009485 A JP2016009485 A JP 2016009485A JP 2016009485 A JP2016009485 A JP 2016009485A JP 2017129477 A JP2017129477 A JP 2017129477A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- measurement
- tank
- inspection
- gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 118
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 125
- 230000006854 communication Effects 0.000 claims abstract description 41
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 16
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 48
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 13
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
一方、検査対象が小さいと、大漏れ品における圧力漏れの度合が上記変動幅以下(例えば100Pa程度)になる。このため、測定圧力が閾値を越えていても、それが圧力漏れに因るものであるのか、テスト圧の不可避的な変動に因るものであるのか不明であり、正確に漏れ判定できないという問題があった。圧力変動を小さく抑えられる高精度の圧力制御弁を用いることも考えられるが、そうすると、漏れ検査装置の製品コストが高くなってしまう。
圧力源と接続されるタンクと、
前記タンクと前記圧力源との間に介在されて、前記タンクの圧力を調節する圧力制御手段と、
前記タンクの圧力を測定する圧力測定手段と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断した後、前記タンクと前記検査空間とを連通する開閉手段と、
前記連通前における前記圧力測定手段による第1測定圧力と、前記連通後における前記圧力測定手段による第2測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定手段と
を備えたことを特徴とする。
前記比較値を求めることによって、前記連通前のタンクの圧力(テスト圧)の変動を補償することができる。したがって、検査対象が小型であっても、大漏れを確実に検出でき、漏れ検査の信頼性を高めることができる。
圧力源と接続されたタンクの圧力を、前記タンクと前記圧力源との間に介在された圧力制御手段によって調節する圧力調節工程と、
前記タンクの圧力を測定する測定工程と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断する遮断工程と、
前記遮断工程の後、前記タンクと前記検査空間とを連通する連通工程と、
前記連通前における前記測定工程による第1測定圧力と、前記連通後における前記測定工程による第2測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定工程と
を備えたことを特徴とする。
前記第1測定圧力及び前記第2測定圧力がそれぞれ絶対圧力であり、
前記第1測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第1測定ゲージ圧力と、前記第2測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第2測定ゲージ圧力との比に基づいて、前記漏れ判定を行なうことが好ましい。
これによって、検査室の開け閉め、人の出入り、風の有無等で周辺の大気圧が変動しても、正確に漏れ検査できる。前記第1測定ゲージ圧力と第2測定ゲージ圧力との比(比較値)を取ることによって、前記連通前のタンクの圧力(テスト圧)の変動を補償することができる。
前記タンクを大気解放し、かつ前記タンク用の前記圧力測定手段(絶対圧力計)を用いて、前記タンクの大気解放された内圧を測定することによって、前記大気圧測定値を求めてもよい。これによって、圧力計の数を減らすことができ、設備コストを削減できる。
前記タンク用の圧力測定手段とは別の絶対圧測定手段によって、前記大気圧測定値を求めてもよい。
<第1実施形態>
図1及び図2は、本発明の第1実施形態を示したものである。
図1に示すように、漏れ検査装置1は、検査回路10と、カプセル20(検査対象収容器)を備えている。カプセル20に検査対象9が収容されている。検査対象9の内部に密閉空間9aが形成されている。密閉空間9aの内容積は、例えば数cc以下程度である。検査対象9としては、例えば錠剤用のSP包装(strip package)やPTP包装(press through package)が挙げられるが、これに限定されるものではない。
カプセル20の内壁と検査対象9との間に検査空間29が画成されている。言い換えると、検査対象9が、カプセル20と協働して検査空間29を画成している。検査空間29の内容積は、例えば数十cc程度である。
タンク圧調整路11の端部に真空ポンプ2(圧力源)が接続されている。タンク圧調整路11には、真空ポンプ2側から順に、真空レギュレータ3と、タンク弁V1と、タンク4(圧力槽)が配置されている。言い換えると、タンク4が、タンク圧調整路11を介して真空ポンプ2と接続されている。真空ポンプ2の真空排気によってタンク4内が、ゲージ圧で例えば−数十kPa〜−100kPa程度の真空圧(負の圧力)になる。タンク4の内容積は、好ましくは検査空間29の内容積(正確には、検査空間29に加えて、これに連なる測定路12、小漏れ測定路13a,13c、及び後記弁V4より上流側の後記残圧解放路14、並びに後記被検室31の合計容積)よりも小さい。
<検査対象9の設置工程>
カプセル20を開けて、検査すべき検査対象9をカプセル20内に収容した後、カプセル20を密閉する。この段階の検査空間29は、大気圧になっている。
漏れ検査装置1は、カプセル20内の検査対象9に対して、先ず大漏れの有無の検査を行ない、続いて小漏れの有無の検査を行なう。
図1に示すように漏れ検査開始時には、タンク弁V1は開状態、測定弁V2は閉状態、小漏れ測定弁V3は開状態、残圧解放弁V4は開状態、急速破壊弁V5は閉状態になっている。
真空ポンプ2の駆動によって、タンク4内を真空圧にする。
さらに、真空レギュレータ3によって、タンク4の内圧(テスト圧)を設定圧になるように調節する。設定圧は、例えば−80kPa〜−100kPa(ゲージ圧)の範囲内で設定する。ここで、真空レギュレータ3の感度ないしは性能には限界があるために、タンク4の内圧(テスト圧)は、上記の設定圧と完全に一致する大きさに継続的に維持されるのではなく、厳密には、設定値の例えば0.5%程度の範囲で変動する。つまり、設定値を中心にして、フルスケールで400Pa〜500Pa程度の変動幅がある。
次に、タンク弁V1及び残圧解放弁V4を閉じる。タンク弁V1の閉止によって、タンク4が真空ポンプ2から遮断される。タンク4の内圧は、遮断時の値に維持される。
<第1測定工程>
このタンク4の内圧(ゲージ圧)を圧力計40によって測定する。測定結果すなわち前記遮断後かつ後記連通前の第1測定圧力P1(第1測定ゲージ圧力)をコントローラのメモリに記憶しておく。なお、P1として記憶するデータは、圧力計40の出力(電圧値又は電流値)を圧力値に換算したものである必要はなく、圧力計40の出力値(電圧値又は電流値)そのものであってもよい。
第1測定工程の後(ひいては遮断工程の後)、測定弁V2を開く。これによって、タンク4と検査空間29とが連通され、互いに等圧になる。漏れが無い場合、連通後のタンク4及び検査空間29の圧力は、前記遮断後かつ連通前におけるタンク4の圧力と検査空間29の圧力(大気圧)との間の値になる。具体的には例えば、−20kPa〜−30kPa(ゲージ圧)程度になる。この値は、前記遮断後かつ連通前のタンク4の圧力(P1)及び検査空間29の圧力(大気圧)の他、タンク4の容積及び検査空間29の容積等に応じて決まる。ここで、検査空間29の圧力(大気圧)は略一定であり、かつタンク4の容積及び検査空間29の容積は不変である。したがって、連通後のタンク4及び検査空間29の圧力は、前記遮断後かつ連通前のタンク4の圧力すなわち第1測定圧力P1と比例ないしは相関すると言える。
次いで、圧力計40によって、前記連通後のタンク4(ひいては検査空間29)の圧力(ゲージ圧)を測定する。測定結果すなわち第2測定圧力P2(第2測定ゲージ圧力)をコントローラのメモリに記憶する。なお、P2として記憶するデータは、圧力計40の出力(電圧値又は電流値)を圧力値に換算したものである必要はなく、圧力計40の出力値(電圧値又は電流値)そのものであってもよい。
その後、コントローラにおいて、第1測定圧力P1と第2測定圧力P2との比(比較値)に基づいて、検査空間29からの大漏れの有無を判定する。詳しくは、下式(1)の演算を行なう。
PKは、基準圧力(Pa)であり、具体的には、真空レギュレータ3によるタンク4の設定圧(テスト圧)付近の値であってもよく、大漏れ無しの場合の補正後第2測定圧力P'2が第2測定圧力P2の変動範囲の平均値付近となるような値であってもよい。
そして、補正後第2測定圧力P'2が閾値以内であれば、検査対象9を「大漏れ無し」と判定する。
補正後第2測定圧力P'2が閾値を越えていた(閾値よりも大気圧に近い値であった)ときは、検査対象9を「大漏れ有り(NG品)」と判定する。
真空レギュレータ3を超高感度ないしは超高性能にする必要がなく、漏れ検査装置1の製品コストを抑えることができる。
「大漏れ有り」と判定された検査対象9については、この時点で漏れ検査を終了してもよい。
「大漏れ無し」と判定された検査対象9については、引き続いて、小漏れの検査を行なう。
詳しくは、測定弁V2を閉じるとともに、小漏れ測定弁V3を閉じることで、被検室31と基準室32とを遮断する。そして、平衡工程が経過した後、差圧センサ30によって被検室31と基準室32との間の差圧を測定する。この測定差圧が小漏れの閾値以内であれば、「OK品」と判定し、閾値を越えていれば「小漏れ有り(NG品)」と判定する。
その後、タンク弁V1を開く。
また、小漏れ測定弁V3及び残圧解放弁V4を開けるとともに、急速破壊弁V5を開ける。そして、コンプレッサ5からエアを、急速破壊路15、基準側連通路13d、被検側連通路13c、及び測定路12を順次経て、検査空間29へ強制導入する。これによって、検査空間29を短時間で大気圧に戻すことができる。
その後、カプセル20を開けて、検査対象9を交換する。
そして、次の検査対象9の漏れ検査を同様の手順で行う。
<第2実施形態>
図3は、本発明の第2実施形態を示したものである。第2実施形態の漏れ検査装置1Bでは、タンク4に第1圧力計41が接続されている。第1圧力計41の測定レンジは、第1測定圧力P1を測定可能な範囲に設定されている。
測定路12には第2圧力計42が設けられている。第2圧力計42の測定レンジは、第2測定圧力P2を測定可能な範囲に設定されている。
一方、第2測定工程では、第2圧力計42によって検査空間29の圧力ひいてはタンク4の圧力(第2測定圧力P2)を測定する。
したがって、第1圧力計41の測定レンジは、第1測定圧力P1だけに対応していればよい。また、第2圧力計42の測定レンジは、第2測定圧力P2だけに対応していればよい。よって、各圧力計41,42の測定レンジを狭くでき、測定感度を高めることができる。
図4に示すように、第3実施形態では、圧力測定手段としてゲージ圧力計40に代えて、絶対圧力計43(絶対圧力測定手段)が用いられている。タンク4に絶対圧力計43が接続されている。
図5のフローチャートに示すように、第3実施形態では、タンク4にテスト圧を導入するのに先立ち、次のような大気圧測定工程を実行する。すなわち、タンク弁V1を閉じ、かつ、測定弁V2を閉き、残圧解放弁V4を開く。また、急速破壊弁V5を閉じる。これによって、タンク4が、測定弁V2及び残圧解放弁V4を介して大気開放される。この状態で、絶対圧力計43でタンク4の内圧(絶対圧)を測定する。つまりは、漏れ検査装置1の周辺の大気圧P0を測定する。測定した大気圧値P0をコントローラのメモリに記憶しておく。
次に、タンク弁V1及び残圧解放弁V4を閉じる(遮断工程)。
次に、タンク4の内圧(絶対圧)を絶対圧力計43によって測定する(第1測定工程)。測定結果すなわち第1測定圧力P1A(絶対圧)をコントローラのメモリに記憶しておく。
或いは、前記大気圧測定値P0と第1測定圧力P1Aとから第1測定ゲージ圧力(P1A−P0)を求め、この第1測定ゲージ圧力(P1A−P0)をコントローラのメモリに記憶することにしてもよい。
次に、絶対圧力計43によって、前記連通後のタンク4ひいては検査空間29の圧力(絶対圧)を測定する(第2測定工程)。測定結果すなわち第2測定圧力P2A(絶対圧)をコントローラのメモリに記憶する。
或いは、前記大気圧測定値P0と第2測定圧力P2Aとから第2測定ゲージ圧力(P2A−P0)を求め、この第2測定ゲージ圧力(P2A−P0)をコントローラのメモリに記憶することにしてもよい。
これによって、試験室の開け閉め、人の出入り、風の有無等で漏れ検査装置1の周辺の大気圧が変動しても、正確に漏れ検査できる。第1測定ゲージ圧力(P1A−P0)と第2測定ゲージ圧力(P2A−P0)との比(比較値)を取ることによって、連通前のタンク4の圧力(テスト圧)の変動を補償することができる。
タンク4用の圧力計43を用いて、タンク4の大気解放時の内圧を測定し、これを大気圧測定値P0とすることで、別途、大気圧測定手段を設ける必要がない。したがって、設備コストの上昇を抑えることができる。
例えば、テスト圧が正圧であってもよい。圧力源として、真空ポンプ2に代えてコンプレッサ等の圧縮エア供給手段を用いてもよい。圧力制御手段として、真空レギュレータ3に代えて正圧レギュレータを用いてもよい。この場合、急速破壊路15の端部は大気解放されていてもよい。
式(1)に代えて、第1測定圧力P1と第2測定圧力P2との比(P2/P1)そのもので(基準圧力Pkを乗じることなく)、漏れ判定を行なってもよい。つまり、比(P2/P1)の閾値を設定しておき、判定工程では、比(P2/P1)の値が上記閾値を越えているか否かを判定してもよい。逆数比(P1/P2)で判定してもよい。
第1測定圧力P1は、必ずしもタンク4を圧力源2から遮断した後に限られず、圧力変動が僅少である範囲内において、遮断前(好ましくは遮断直前)における圧力計40,41による測定圧力であってもよい。
第2実施形態において、第2圧力計42をカプセル20に設けてもよい。
検査対象9の密閉空間9a自体が、検査空間29であってもよい。測定路12を密閉空間9aに接続してもよい。
複数の実施形態を組み合わせてもよい。例えば、第3実施形態(図4〜図5)においても、第2実施形態(図3)と同様に、タンク4に接続されて第1測定圧力P1A(絶対圧)を得る第1絶対圧力計と、検査空間29に接続されて第2測定圧力P2A(絶対圧)を得る第2絶対圧力計とを別々に設けてもよい。更に、漏れ検査装置1の周辺の大気圧(絶対圧)を測定する絶対圧力計を、第1、第2絶対圧力計とは別に設けてもよい。
本実施形態に記載した圧力値等の数値は、あくまでも例示であって、本発明が当該数値に限定されるものではない。
図1の漏れ検査装置1と同様の回路を有する装置を用いた。
真空レギュレータ3としては、株式会社フクダ製電空レギュレータAPUを用いた。なお、この電空レギュレータ(APU)の圧力変動幅は、設定圧の0.1%程度であり、一般的なレギュレータ(0.5%程度)よりも小さい。
タンク4の容積は、20ccであった。
検査空間29の容積(正確には、検査空間29に加えて、これに連なる測定路12、小漏れ測定路13a,13c、及び弁V4より上流側の後記残圧解放路14、並びに被検室31の合計容積)は、50ccであった。
カプセル20には、漏れの無い検査対象9を入れた。
タンク弁V1を開け、かつ測定弁V2を閉じた状態で、図6に示すように、電空レギュレータ(APU)の設定圧を変更することで、タンク4の内圧(テスト圧)の圧力変動を疑似的に作り出した。図6に示すように、テスト圧(第1測定圧力P1)の変動幅は、約1kPa程度とした。これは、一般的なレギュレータで設定圧を−100kPa程度としたときの変動幅(500Pa(=−100kPa×0.5%))の約2倍である。
図6に示すように、タンク4の内圧(テスト圧)すなわち第1測定圧力P1が大きくなるほど、第2測定圧力P2も大きくなった。
次に、各設定圧において、式(1)の演算を行い、補正後第2測定圧力P'2を求めた。基準圧力PKは、PK=70.0kPaとした。
図6から明らかな通り、補正後第2測定圧力P'2は、テスト圧の変動に拘わらず、概略一定の値を保った。
2 真空ポンプ(圧力源)
3 真空レギュレータ(圧力制御手段)
3a 調圧ばね
3b 二次圧路
4 タンク
5 コンプレッサ
9 検査対象
9a 密閉空間
10 検査回路
11 タンク圧調整路
12 測定路
13 小漏れ測定路
13a 被検室路
13b 基準室路
13c 被検側連通路
13d 基準側連通路
14 残圧解放路
15 急速破壊路
20 カプセル
29 検査空間
30 差圧センサ(小漏れ測定手段)
31 被検室
32 基準室
40 ゲージ圧力計(圧力測定手段)
41 第1圧力計
42 第2圧力計
43 絶対圧力計(圧力測定手段)
V1 タンク弁
V2 測定弁
V3 小漏れ測定弁
V4 残圧解放弁
V5 急速破壊弁
Claims (5)
- 検査空間を画成する検査対象を漏れ検査する装置であって、
圧力源と接続されるタンクと、
前記タンクと前記圧力源との間に介在されて、前記タンクの圧力を調節する圧力制御手段と、
前記タンクの圧力を測定する圧力測定手段と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断した後、前記タンクと前記検査空間とを連通する開閉手段と、
前記連通前における前記圧力測定手段による第1測定圧力と、前記連通後における前記圧力測定手段による第2測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定手段と
を備えたことを特徴とする漏れ検査装置。 - 前記圧力測定手段が、前記タンクに接続されて前記第1測定圧力を得る第1圧力計と、前記検査空間に接続されて前記第2測定圧力を得る第2圧力計とを含むことを特徴とする請求項1に記載の漏れ検査装置。
- 検査空間を画成する検査対象を漏れ検査する方法であって、
圧力源と接続されたタンクの圧力を、前記タンクと前記圧力源との間に介在された圧力制御手段によって調節する圧力調節工程と、
前記タンクの圧力を測定する測定工程と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断する遮断工程と、
前記遮断工程の後、前記タンクと前記検査空間とを連通する連通工程と、
前記連通前における前記測定工程による第1測定圧力と、前記連通後における前記測定工程による第2測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定工程と
を備えたことを特徴とする漏れ検査方法。 - 前記比較値に基準圧を乗じた補正後第2測定圧力に基づいて前記判定を行なうことを特徴とする請求項3に記載の漏れ検査方法。
- 大気圧を測定する大気圧測定工程を更に含み、
前記第1測定圧力及び前記第2測定圧力がそれぞれ絶対圧力であり、
前記第1測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第1測定ゲージ圧力と、前記第2測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第2測定ゲージ圧力との比に基づいて、前記漏れ判定を行なうことを特徴とする請求項3又は4に記載の漏れ検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016009485A JP6695153B2 (ja) | 2016-01-21 | 2016-01-21 | 漏れ検査装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016009485A JP6695153B2 (ja) | 2016-01-21 | 2016-01-21 | 漏れ検査装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017129477A true JP2017129477A (ja) | 2017-07-27 |
JP6695153B2 JP6695153B2 (ja) | 2020-05-20 |
Family
ID=59396191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016009485A Active JP6695153B2 (ja) | 2016-01-21 | 2016-01-21 | 漏れ検査装置及び方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6695153B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020169888A (ja) * | 2019-04-03 | 2020-10-15 | 株式会社フクダ | 漏れ検査方法 |
JP7445439B2 (ja) | 2020-01-27 | 2024-03-07 | 株式会社フクダ | エアリークテスト装置 |
-
2016
- 2016-01-21 JP JP2016009485A patent/JP6695153B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020169888A (ja) * | 2019-04-03 | 2020-10-15 | 株式会社フクダ | 漏れ検査方法 |
JP7353060B2 (ja) | 2019-04-03 | 2023-09-29 | 株式会社フクダ | 漏れ検査方法 |
JP7445439B2 (ja) | 2020-01-27 | 2024-03-07 | 株式会社フクダ | エアリークテスト装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6695153B2 (ja) | 2020-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6636044B2 (ja) | 漏れ検査装置及び方法 | |
KR100990882B1 (ko) | 누설 검사 방법 및 그것을 사용한 누설 검사 장치 | |
US20090064756A1 (en) | Vacuum gauge calibration apparatus capable of calibrating and testing without displacement and operating method thereof | |
KR20090003195A (ko) | 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치 | |
JP6529892B2 (ja) | 弁座漏れ検査装置 | |
CN103998910A (zh) | 用于在非刚性待测样本上进行泄漏检测的方法 | |
AU2015320899A1 (en) | Device and method for calibrating a film chamber for leak detection | |
JP5806462B2 (ja) | 洩れ検査装置及び方法 | |
JP2008309698A (ja) | 気密検査装置および気密検査方法並びに気密性製品の製造方法 | |
TWI494554B (zh) | Method and device for differential pressure measurement | |
AU2015317023A1 (en) | Film chamber with measuring volume for gross leak detection | |
JP6695153B2 (ja) | 漏れ検査装置及び方法 | |
JP6233757B2 (ja) | 漏れ検出システムを検査する方法 | |
TWI582401B (zh) | Helium leak detector | |
JP2012255687A (ja) | 圧力洩れ測定方法 | |
JP3983479B2 (ja) | 電池の液漏れ検査装置 | |
JP2018004429A (ja) | 漏れ検査装置および漏れ検査方法 | |
JP2016118528A (ja) | 弾性体の漏れ計測方法及び漏れ計測装置 | |
JP2010266282A (ja) | リークテスト装置及び方法 | |
JP2017116387A (ja) | 差圧変化量算出装置及び差圧変化量算出方法 | |
JP2023043985A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP3186644B2 (ja) | 気体漏洩検査方法 | |
JP2012122756A (ja) | 洩れ検査装置 | |
JP7353060B2 (ja) | 漏れ検査方法 | |
US11473999B2 (en) | Leak inspection device and leak inspection method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190828 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190910 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200407 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6695153 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |