JP2010266282A - リークテスト装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】温度補償用の感温部材を含むリークテスト装置において、差圧検出路を簡素化する。
【解決手段】検査対象１０の内部空間１１の内面と良熱伝導材料からなる感温部材６０の外面との間に被検室１３を形成する。被検室１３の温度変化に対する該被検室１３の圧力変化と感温部材６０の内部の感温室６１の圧力変化が略同じになるよう調節しておく。被検室１３に連なる第１通路３１と、感温室６１に連なる第２通路３２の間に差圧センサ３３を設け、被検室１３と感温室６１の差圧を検出する。
【選択図】図１

Description

この発明は、検査対象の内部空間に加圧気体を導入してリークテストを行なう装置及び方法に関する。

一般に差圧式のリークテストでは、検査対象の内部空間と基準となる空間とに圧縮エア等の加圧気体を導入した後、この内部空間と基準空間とを互いに遮断して各々閉鎖系とする。検査対象から漏れがあったときは、これが差圧として検出される。これによって、検査対象の良否を判定することができる（特許文献１参照）。

検査対象の内部空間に加圧気体を導入すると、断熱圧縮により昇温し、その後、経時的に放熱し、温度が下がる。また、検査対象が加温又は冷却され周辺の設備や雰囲気との間に温度差があったり、加圧気体が検査対象とは異なる温度であったりすると、検査対象の内部温度が経時的に変動する。このような温度変化も圧変化の原因となる。

そこで、特許文献２に記載のリークテスト方法では、検査対象の内部空間の圧変化だけでなく温度変化をも測定し、圧変化のうち温度変化による分を除く補正（温度補償）を行なっている。これにより、漏れ判定ひいては検査対象の良否判定の精度を高めることができる。

具体的には、例えば、良熱伝導性の感温部材を用意する。感温部材の内部には感温室が形成されている。この感温部材を検査対象の内部空間に配置する等して、検査対象の内部空間の内面と感温部材の外面との間に被検室を形成する。被検室に差圧センサを含む第１の差圧検出路を接続する。感温室に別の差圧センサを含む第２の差圧検出路を接続する。これら差圧検出路を介して被検室と感温室に加圧気体をそれぞれ導入する。そして、第１差圧検出路の差圧センサによって基準圧に対する被検室の差圧を測定するとともに、第２差圧検出路の差圧センサによって第２の基準圧に対する感温室の差圧を測定する。感温室の圧変化は、主に被検室の温度変化に起因する。したがって、感温室の測定差圧の経時データに基づいて、被検室の測定差圧の経時データを補正することで、被検室の圧変化のうち温度変化に起因する分を除くことができる。補正後のデータに基づいて漏れ判定する。感温部材の感温室の内圧は微小な温度変化にも大きく感応する。よって、温度測定の感度を高めることができる。また、被検室の温度を平均的に測定できるため、被検室内に温度分布があっても信頼性を確保できる。

特開２００４−０６１２０１号公報 特開２００７−０６４７３７号公報

上掲特許文献２のシステムでは、検査対象用と感温部材用の２系統の差圧検出路を要し、２つの差圧センサを要する。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、内部空間を有する検査対象からの漏れを判定するリークテスト装置において、
（イ） 内部に感温室を有し、外面が前記内部空間の内面との間に被検室を形成するよう配置された良熱伝導材料からなる感温部材と、
（ロ） 前記被検室に連なる第１通路と、前記感温室に連なるとともに前記第１通路と連通・遮断可能な第２通路とを有する差圧検出路と、
（ハ） 前記第１通路と第２通路の間に設けられ、これら通路ひいては前記被検室と感温室の差圧を検出する差圧センサと、
を備え、前記第１通路と第２通路を連通させた状態でこれら通路を介して加圧気体を前記被検室と感温室にそれぞれ導入した後、前記第１通路と第２通路を遮断して前記差圧センサの検出差圧に基づいて前記漏れ判定を行なうことを特徴とする。
これによって、差圧センサが１つで済み、差圧検出路を簡素化でき、コストを低減できる。
被検室の温度変化は、感温部材の躯体内を経て感温室に伝達され、感温室の圧力変化になって現われる。
前記被検室の温度変化に対する前記感温室の圧力変化が前記被検室の圧力変化と略同じになるよう調節しておくことが好ましい。そうすることで、被検室と感温室との間に被検室の温度変化に起因する差圧が殆ど生じないようにすることができる。したがって、被検室と感温室との間に差圧が生じた場合、その差圧のほぼ全体が被検室からの漏れに起因する。よって、差圧センサの検出差圧をそのまま用いて漏れ判定を行なうことができ、検出差圧から温度変化の分を差し引く等の補正補償を行なう必要がなく、漏れ判定を簡易化できる。
ここで、「略同じ」とは、被検室の温度変化に対する感温室の圧力変化の度合いと被検室の圧力変化の度合いが完全に一致する場合の他、漏れ判定に影響が及ばない範囲でずれている場合を含む意である。

リークテスト装置が、前記被検室の温度変化に対する被検室又は感温室の圧力変化を調節する調節手段を、更に備えていることが好ましい。
前記調節手段によって、被検室の温度変化に対する該被検室と感温室の圧力変化の度合いが互いに略同じなるように調節できる。検査対象の種類（形状、内部空間の容積等）が違っても容易に対応できる。同じ種類の検査対象では、一度、前記圧力変化調節をしておけば、個々の検査対象ごとに検出差圧を温度補償する必要がなく、漏れ判定を簡易化できる。

前記調節手段が、前記被検室と前記第１通路を含む第１の閉鎖空間及び前記感温室と前記第２通路を含む第２の閉鎖空間のうち少なくとも一方の閉鎖空間の容積を増減させる容積変更器を含んでいてもよい。
閉鎖空間の容積を増減させることで、被検室の温度変化に対する該被検室の圧力変化の度合い又は感温室の圧力変化の度合いを調節でき、ひいては、被検室の温度変化に対する被検室と感温室の圧力変化の度合いが互いに略同じなるように調節できる。
容積変更器は、第１通路に設けられていてもよく、第２通路に設けられていてもよい。
容積変更器が、感温部材に設けられていてもよい。感温室が容積変更可能になっていてもよい。

前記調節手段が、前記感温部材に取り外し可能に設けられたフィンを含んでいてもよい。
そうすると、フィンの数を調節したり、形状、材質等が異なるフィンに取り替えたりすることができる。これによって、フィン手段の吸放熱能を調節できる。ひいては感温部材の伝熱能力、すなわち感温部材が被検室の熱を当該感温部材の躯体を介して感温室に伝える能力を増減できる。これにより、被検室の温度変化に対する感温室の温度変化の度合い、ひいては感温室の圧力変化の度合いを調節できる。更には、被検室の温度変化に対する被検室と感温室の圧力変化の度合いが互いに略同じになるよう調節できる。

また、本発明は、内部空間を有する検査対象からの漏れを判定するリークテスト方法において、
内部に感温室を有する良熱伝導性の感温部材を、前記内部空間の内面との間に被検室を形成するように配置し、かつ前記被検室の温度変化に対する被検室及び感温室の圧力変化が互いに略同じになるよう調節しておき、
前記被検室と感温室を互いに連通させた状態でこれら室に加圧気体をそれぞれ導入した後、これら室を互いに遮断し、
差圧センサによって前記被検室と感温室の差圧を検出し、この検出差圧に基づいて前記漏れ判定を行なうことを特徴とする。
被検室の温度変化に対する該被検室と感温室の圧力変化の度合いが互いに略同じであるため、被検室の温度変化に起因して被検室と感温室との間に差圧が生じることは殆どない。したがって、被検室と感温室との間に差圧が生じた場合、その差圧のほぼ全体が被検室からの漏れに起因している。よって、差圧センサの検出差圧をそのまま用いて漏れ判定を行なうことができ、検出差圧から温度変化の分を差し引く等の補正補償を行なう必要がなく、漏れ判定を簡易化できる。差圧センサが１つで済み、差圧検出路を簡素化でき、コストを低減できる。

漏れが無い検査対象と前記感温部材とにより形成された被検室と感温室を互いに連通させた状態でこれら室に加圧気体をそれぞれ導入した後、これら室を互いに遮断して各室の圧力変化を測定し、この測定結果に基づいて前記圧力変化調節を行うことが好ましい。
これにより、被検室の温度変化に対する被検室及び感温室の圧力変化が互いに確実に略同じになるようにできる。

前記被検室を含む第１閉鎖空間の容積と前記感温室を含む第２閉鎖空間の容積のうち少なくとも一方を増減させることにより、前記圧力変化調節を行なうことにしてもよい。
閉鎖空間の容積を増減させることで、被検室の温度変化に対する該被検室の圧力変化の度合い又は感温室の圧力変化の度合いを調節でき、ひいては、被検室の温度変化に対する被検室と感温室の圧力変化の度合いが互いに略同じなるように調節できる。

前記感温部材の伝熱能力の増減により前記圧力変化調節を行うことにしてもよい。
感温部材の伝熱能力を変えることで、被検室の温度変化に対する感温室の温度変化の度合い、ひいては感温室の圧力変化の度合いを調節できる。更には、被検室の温度変化に対する被検室と感温室の圧力変化の度合いが互いに略同じになるよう、調節できる。

前記感温部材の外面又は前記感温室の内面にフィンを取り外し可能に設け、このフィンの着脱又は取り替えによって前記伝熱能力の増減を行なうことにしてもよい。
フィンの取り付け数量、形状、材質等を変えることで、吸放熱能を調節でき、ひいては感温部材の伝熱能力を増減できる。これにより、被検室の温度変化に対する感温室の温度変化の度合い、ひいては感温室の圧力変化の度合いを調節できる。更には、被検室の温度変化に対する被検室と感温室の圧力変化の度合いが互いに略同じになるよう調節できる。
感温部材本体の材質、形状、厚さ等を変えることで前記伝熱能力の増減を行なってもよい。

本発明によれば、差圧センサが１つで済み、差圧検出路を簡素化でき、コストを低減できる。被検室の温度変化に対する該被検室と感温室の圧力変化の度合いを互いに略同じにしておくことで、個々の検査対象ごとに検出差圧を温度補償する必要がなく、漏れ判定を簡易化できる。

本発明の第１実施形態に係るリークテスト装置の概略構成を示す回路図である。 図２（ａ）は、被検室の圧力変動を例示したグラフである。図２（ｂ）は、感温室の圧力変動を例示したグラフであり、実線は圧力変化調節工程前を示し、二点鎖線は圧力変化調節工程後を示す。図２（ｃ）は、被検室と感温室の差圧の変動を例示したグラフである。 本発明の第２実施形態に係るリークテスト装置の一部を示す回路図である。 本発明の第３実施形態に係るリークテスト装置の一部を示す回路図である。

以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図１に、リークテスト装置１の回路構成の概略を示す。リークテスト装置１の検査対象１０は、例えば自動車エンジンのシリンダブロック等である。検査対象１０は、内部空間１１を有している。

図１に示すように、リークテスト装置１は、加圧気体供給源としての圧縮エア源２と、差圧検出路３と、設置台４を備えている。圧縮エア源２は、数百ｋＰａオーダーのエア圧を供給できるようになっている。検査対象１０が、内部空間１１の開口を下に向けて設置台４上に設置されている。内部空間１１の開口が設置台４によって塞がれている。図示は省略するが、設置台４には、検査対象１０の上記開口の周縁部と当該設置台４との間を気密にシールするＯリング等のシール部材が設けられている。

リークテスト装置１の差圧検出路３は、次のように構成されている。
圧縮エア源２から差圧検出路３の共通路３０が延びている。共通路３０には、レギュレータＲ_３０と共通開閉弁Ｖ_３０が上流側から順次設けられている。レギュレータＲ_３０によって共通路３０の二次圧が調節される。共通開閉弁Ｖ_３０より下流の共通路３０から排気路３４が延びている。排気路３４に排気用開閉弁Ｖ_３４が設けられている。排気路３４の下流端は大気に開放されている。

共通路３０の下流端から第１通路３１と第２通路３２が分岐されている。第１通路３１に第１開閉弁Ｖ_３１が設けられている。第２通路３２に第２開閉弁Ｖ_３２が設けられている。

第１通路３１と第２通路３２の間に差圧センサ３３が設けられている。差圧センサ３３は、第１室３３ａと第２室３３ｂを含む。第１室３３ａが、第１センサ接続路３１ａを介して第１開閉弁Ｖ_３１より下流の第１通路３１に接続されている。第２室３３ｂが、第２センサ接続路３２ａを介して第２開閉弁Ｖ_３２より下流の第２通路３２に接続されている。

リークテスト装置１には、更に感温部材６０が備えられている。感温部材６０は、アルミニウム等の良熱伝導性の材料にて構成されている。感温部材６０の外面には複数のフィン６２が設けられている。感温部材６０の内部には感温室６１が形成されている。感温室６１の内面には複数のフィン６３が設けられている。

感温部材６０は、検査対象１０の内部空間１１より小さく、内部空間１１に収容可能になっている。感温部材６０を検査対象１０の内部空間１１に収容すると、検査対象１０の内部空間１１の内面と感温部材６０の外面との間に被検室１３が形成される。被検室１３の下方への開口が設置台４により塞がれ、被検室１３が密閉されている。

被検室１３に第１通路３１の下流端が接続されている。
感温部材６０の感温室６１に第２通路３２の下流端が接続されている。

リークテスト装置１には、容積可変器７０（調節手段）が更に備えられている。容積可変器７０は、第２センサ接続路３２ａの分岐部より下流の第２通路３２に接続されている。容積可変器７０は、シリンダ７１と、このシリンダ７１に挿入されたピストン７２を有している。シリンダ７１の内周とピストン７２の先端とによって容積調節室７３が形成されている。ピストン７２を進退させることで容積調節室７３の容積が増減される。容積調節室７３に容積可変器接続路７４を介して第２通路３２が連なっている。

開閉弁Ｖ_３１を閉じると、開閉弁Ｖ_３１より下流の第１通路３１と、第１センサ接続路３１ａと、第１室３３ａと、被検室１３とにより、第１の閉鎖空間３５が形成される。
開閉弁Ｖ_３２を閉じると、開閉弁Ｖ_３２より下流の第２通路３２と、第２センサ接続路３２ａと、第２室３３ｂと、感温室６１と、容積可変器接続路７４と、容積調節室７３とにより、第２の閉鎖空間３６が形成される。第１閉鎖空間３５と第２閉鎖空間３６とは、互いに遮断されている。

図示は省略するが、リークテスト装置１は、後記のリークテスト方法を実施するための制御手段を更に備えている。制御手段は、開閉弁Ｖ_３０，Ｖ_３１，Ｖ_３２，Ｖ_３４の駆動回路、信号変換回路を含む入出力部、制御プログラムを格納したＲＯＭ、差圧センサ３３の測定データ等を格納するＲＡＭ、検査対象１０の漏れ判定（良否判定）を含む制御動作を行なうＣＰＵ等を有している。

上記構成のリークテスト装置１を用いたリークテスト方法を説明する。
（１）準備作業（温度補償操作）
検査対象１０に対する本検査に先立ち、リークテストの温度補償のための準備作業を以下の手順で行なう。

（１−１）設置工程
漏れの無いことが判明している検査対象１０を用意する。以下、この温度補償操作用の検査対象１０の符号を「１０Ｘ」とし、本検査での検査対象１０と区別することにする。検査対象１０Ｘは、本検査における検査対象１０と同一種類、同一構造、同一形状である。検査対象１０Ｘの初期温度は、本検査における検査対象１０の初期温度と同じになるようにすることが好ましい。この検査対象１０Ｘをリークテスト装置１の設置台４に設置する。検査対象１０Ｘの内部空間１１に感温部材６０を収容する。これにより、検査対象１０Ｘの内部空間１１の内面と感温部材６０の外面との間に被検室１３が形成される。被検室１３に第１通路３１を接続する。感温部材６０内の感温室６１に第２通路３２を接続する。

（１−２）圧力導入工程
排気用開閉弁Ｖ_３４を閉じ、開閉弁Ｖ_３０，Ｖ_３１，Ｖ_３２を開ける。そして、圧縮エア源２から差圧検出路３に数百ｋＰａの圧縮エア（加圧気体）を導入する。圧縮エアは、第１通路３１を経て、被検室１３に導入されるとともに、第２通路３２を経て、感温室６１に導入される。

（１−３）閉鎖工程
次に、共通開閉弁Ｖ_３０を閉じる。続いて、第１、第２開閉弁Ｖ_３１、Ｖ_３２を閉じる。これにより、第１通路３１と第２通路３２が互いに遮断され、ひいては被検室１３と感温室６１が互いに遮断され、互いに独立した２つの閉鎖空間３５，３６が形成される。

（１−４）圧力変化測定工程
次に、第１閉鎖空間３５ひいては被検室１３の圧力の経時変化を測定するとともに、第２閉鎖空間３６ひいては感温室６１の圧力の経時変化を測定する。例えば、閉鎖空間３５，３６にそれぞれ圧力計を設け、これら圧力計の測定圧力を経時的に記録する。差圧センサ３３の検出差圧を経時的に記録してもよい。

検査対象１０Ｘには漏れが無いから、被検室１３の圧力変化の主な要因は、周辺環境と検査対象１０Ｘとの温度差や断熱圧縮後の放熱によって生じる被検室１３の温度変化である。被検室１３の熱は、感温部材６０の主に外部フィン６２によって捕捉され、感温部材６０の壁を伝わり、更に内部フィン６３から感温室６１内の気体に伝達される。これにより、被検室１３の温度変化に応じて、感温室６１の温度ひいては圧力が変化する。

（１−５）圧力変化調節工程
被検室１３及び感温室６１の圧力変化の測定データを取得したら、これら２つの測定データに基づいて感温室６１の圧力変化の度合いを調節する。この調節方法を、図２のグラフを参照して説明する。

図２（ａ）は、被検室１３の圧力の経時変化を例示したグラフである。図２（ｂ）の実線は、感温室６１の圧力の経時変化を例示したグラフである。これらグラフは、測定開始時からの圧力変動量を縦軸の正方向にとっている。被検室１３の実際の内圧は、時間の経過とともに減少する。同様に、感温室６１の実際の内圧は、時間の経過とともに減少する。感温室６１の圧力変化は、通常、被検室１３の圧力変化に対し時間遅れがあるが、圧力変化測定工程の開始時点を調節することにより、両室１３，６１の圧力変化が共に直線状になる領域をピックアップすることができる。図２の例示では、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が、被検室１３の圧力の経時変化の勾配より小さい。

これら２つの圧力変化データを比較し、容積変更器７０を操作する。具体的には、図２（ａ）及び（ｂ）のように、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が、被検室１３の圧力の経時変化の勾配より小さい場合、ピストン７２を押して容積調節室７３を小さくする。ひいては、第２閉鎖空間３６の容積を小さくする。これにより、被検室１３の温度変化ひいては感温室６１の温度変化に対して、感温室６１の圧力がより大きく変動するようになる。したがって、図２（ｂ）において矢印ｂにて示すように、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が急になり、被検室１３の圧力の経時変化に近づく。

図２の例示とは反対に、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が、被検室１３の圧力の経時変化の勾配より大きい場合には、ピストン７２を引いて容積調節室７３を大きくし、ひいては第２閉鎖空間３６の容積を大きくする。これにより、被検室１３の温度変化ひいては感温室６１の温度変化に対して感温室６１の圧力がより小さく変動するようになる。したがって、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が緩やかになり、被検室１３の圧力の経時変化に近づく。

このようにして、閉鎖空間３６の容積を変更することにより、図２（ｂ）において二点鎖線にて示すように、被検室１３の温度変化に対する感温室６１の圧力変化の度合いを、図２（ａ）に示す被検室１３の圧力変化の度合いと略同じになるように調節することができる。

圧力変化測定工程における圧力変化測定手段として差圧センサ３３を用いた場合、図２（ｃ）に例示するように、被検室１３と感温室６１の差圧の経時変化データが得られる。この場合、圧力変化調節工程では、容積変更器７０を操作して、同図２（ｃ）の矢印ｃに示すように、差圧の経時変化がゼロになるよう閉鎖空間３６の容積を変更する。

（２）本検査
感温室６１の圧力変化が被検室１３の圧力変化と略一致した状態で容積可変器７０を固定し、ひいては閉鎖空間３６の容積を固定する。そして、調節用検査対象１０Ｘを取り外し、漏れ検査すべき検査対象１０に対する本検査に移行する。

本検査は、次の手順で行なう。
（２−１）設置工程
図１に示すように、検査対象１０を設置台４に設置する。検査対象１０の初期温度は、例えば周辺の環境温度より高温になっている。勿論、検査対象１０の初期温度が環境温度と同じでもよく、環境温度より低くてもよい。検査対象１０の内部１１に感温部材６０を収容する。被検室１３に第１通路３１を接続し、感温室６１に第２通路３２を接続する。

（２−２）圧力導入工程
排気用開閉弁Ｖ_３４を閉じ、開閉弁Ｖ_３０，Ｖ_３１，Ｖ_３２を開ける。そして、圧縮エア源２から差圧検出路３に数百ｋＰａの圧縮エア（加圧気体）を導入する。圧縮エアは、第１通路３１を経て、被検室１３に導入されるとともに、第２通路３２を経て、感温室６１に導入される。

（２−３）閉鎖工程
次に、共通開閉弁Ｖ_３０を閉じる。続いて、第１、第２開閉弁Ｖ_３１、Ｖ_３２を閉じる。これにより、第１通路３１と第２通路３２が互いに遮断され、ひいては被検室１３と感温室６１が互いに遮断され、互いに独立した２つの閉鎖空間３５，３６が形成される。

（２−４）差圧検出工程
次に、差圧センサ３３にて、閉鎖空間３５，３６の差圧、ひいては被検室１３と感温室６１の差圧を検出する。この検出差圧に基づいて、漏れ判定を行なう。すなわち、検出差圧が所定値以内であれば、検査対象１０からのエア漏れが無く、検査対象１０を良品と判定する。検出差圧が所定値を上回っているときは、検査対象１０からエア漏れが有り、検査対象１０を不良品と判定する。
感温部材６０の体積の分だけ検査対象１０の被検室１３の容積を内部空間１１の容積より小さくできる。したがって、被検室１３からの漏れ流量に対する該被検室１４の圧力変化の度合いを大きくでき、漏れ感度を高めることができる。

圧力変化調節工程によって、被検室１３の温度変化に対する該被検室１３と感温室６１の圧力変化が互いに同じになるように調節されているため、被検室１３と感温室６１との間に被検室１３の温度変化に起因する差圧が生じることがない。したがって、被検室１３と感温室６１との間に差圧が生じた場合、その差圧のほぼ全体が被検室１３からのエア漏れに起因している。よって、本検査工程では、差圧センサ３３の検出差圧をそのまま用いて漏れ判定を行なうことができ、検出差圧から温度変化の分を差し引く等の温度補償を行なう必要がない。予め、感温室６１の圧力変化の度合いを被検室の圧力変化度合いと一致するように準備作業を行なっておけば、本検査における個々の検査対象１０ごとに温度補償を行なう必要がなく、漏れ検査を容易に行なうことができる。

リークテスト装置１においては、感温部材６０が、差圧センサ３３の基準圧を与えるマスタータンクの役目を果たす。差圧センサ３３は１つだけあればよく、差圧検出路３を簡素化でき、製品コストを低廉化できる。

次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において、既述の実施形態と重複する構成に関しては図面に同一符号を付して説明を省略する。
図３に示すように、本発明の第２実施形態では、容積変更器７０が、第２通路３２ではなく、第１通路３１に接続されている。温度補償のための圧力変化調節工程では、容積変更器７０を操作することによって、第１閉鎖空間３５の容積を増減でき、これにより、被検室１３の温度変化に対する該被検室１３の圧力変化の度合いを調節できる。

例えば、図２に例示するように、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が、被検室１３の圧力の経時変化の勾配より小さい場合、ピストン７２を引いて容積調節室７３を大きくし、ひいては第１閉鎖空間３５の容積を大きくする。これにより、被検室１３の温度変化に対する該被検室１３の圧力変化が小さくなる。一方、被検室１３から感温部材６０に伝わる熱は不変であるから、感温室６１の圧力の経時変化は容積変更器７０の操作に影響されない。したがって、被検室１３の圧力変化の勾配が感温室６１の圧力変化の勾配に近づく。

図２の例示とは反対に、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が、被検室１３の圧力の経時変化の勾配より大きい場合には、ピストン７２を押して容積調節室７３を小さくし、ひいては第１閉鎖空間３５の容積を小さくする。これにより、被検室１３の温度変化に対する該被検室１３の圧力変化が大きくなり、該被検室１３の圧力変化の勾配が感温室６１の圧力変化の勾配に近づく。
このようにして、閉鎖空間３５の容積を変更することにより、被検室１３の温度変化に対する被検室１３と感温室６１の圧力変化の度合いを互いに略同じになるように調節することができる。

図４に示すように、本発明の第３実施形態に係るリークテスト装置１には、容積変更器７０が設けられていない。更に、第３実施形態では、感温部材６０の外部フィン６２Ｘ及び内部フィン６３Ｘが、感温室６１を有する感温部材本体６９と別体になっている。これらフィン６２Ｘ，６３Ｘの基端部が、それぞれ着脱機構６４を介して感温部材本体６９に取り外し可能に連結されている。したがって、第２実施形態の感温部材６０は、フィン６２Ｘ，６３Ｘの数を増減できるようになっている。また、形状や材質の異なるフィンに取り替えることもできる。フィン６２Ｘ，６３Ｘの数を変えたり形状や材質を変えたりすることにより、感温部材６０の吸放熱能ひいては伝熱能力が変化する。

着脱機構６４は、フィン６２Ｘ，６３Ｘを感温部材本体６９にネジ止めするネジ機構でもよい。着脱機構６４が、フィン６２Ｘ，６３Ｘと感温部材本体６９の一方に設けられた嵌合凹部と他方に設けられた嵌合凸部により構成され、嵌合凹部に嵌合凸部が嵌合するようになっていてもよい。その他、着脱機構６４は、マグネットにて構成されていてもよい。

第３実施形態では、温度補償のための圧力変化調節工程において、フィン６２Ｘ，６３Ｘの取り付け数を増やしたり減らしたりする。
例えば、図２に例示するように、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が、被検室１３の圧力の経時変化の曲線の勾配より小さい場合、フィン６２Ｘ，６３Ｘの数を増やす。これにより、感温部材６１の吸放熱能ひいては伝熱能力が大きくなり、被検室１３の温度変化に応じて感温室６１の温度がより敏感に変化し、ひいては感温室６１の圧力変化が大きくなる。図２の例示とは反対に、感温室６１の圧力の経時変化の勾配が、被検室１３の圧力の経時変化の勾配より大きい場合、フィン６２Ｘ，６３Ｘの数を減らす。これにより、感温部材６１の吸放熱能ひいては伝熱能力が小さくなり、被検室１３の温度変化に応じた感温室６１の温度変化が鈍くなり、ひいては感温室６１の圧力変化が小さくなる。このようにして、被検室１３の温度変化に対する被検室１３と感温室６１の圧力変化の度合いを互いに略同じになるように調節することができる。
なお、外部フィン６２Ｘを増減すると、該フィン６２Ｘの体積の分だけ被検室１３の容積が変化する。したがって、被検室１３の圧力変化の度合いが変化する。また、内部フィン６３Ｘの増減によって感温室６１の容積が変動し、感温室６１の圧力変化の度合いが変化する。そこで、フィン６２Ｘ，６３Ｘの数を調節する際は、それによる室１３，６１の容積変化をも考慮する。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の改変をなすことができる。
例えば、感温部材６０は、検査対象１０の内部空間１１の内面との間に被検室１３を形成するように配置されればよく、検査対象１０の内部空間１１に収容されるのに限られず、検査対象１０の外面に宛がわれ、該外面への内部空間１１の開口を塞ぐように配置されるようになっていてもよい。
リークテスト装置１の検査対象１０の種類が単一の場合、当該単一の検査対象１０に合わせて、被検室１３の温度変化に対する被検室１３と感温室６１の圧力変化の度合いが互いに略同じになるように感温室６１や差圧検出路３０の容積、感温部材６０の伝熱能力等を設計し、調節手段を省いてもよい。
温度補償のための圧力変化調節工程において、第３実施形態の変形例として、感温部材本体６９の材質、形状、厚さ等を変えることで、感温部材６０の伝熱能を増減させることにしてもよい。

各実施形態の要素を互いに組み合わせてもよい。
例えば、リークテスト装置１が、容積可変器７０と着脱式フィン６２Ｘ，６３Ｘの両方を備えていてもよく、容積可変器７０による閉鎖空間３５，３６の容積調節とフィン６２Ｘ，６３Ｘの数量調節を組み合わせて、被検室１３と感温室６１の圧力変化調節を行なうことにしてもよい。

１ リークテスト装置
１０ 検査対象
１０Ｘ 温度補償操作用検査対象
１１ 内部空間
１３ 被検室
２ 圧縮エア源（加圧気体供給源）
３ 差圧検出路
３０ 共通路
３１ 第１通路
３１ａ 第１センサ接続路
３２ 第２通路
３２ａ 第２センサ接続路
３３ 差圧センサ
３３ａ 第１室
３３ｂ 第２室
３４ 排気路
３５ 第１閉鎖空間
３６ 第２閉鎖空間
６０ 感温部材
６１ 感温室
６２ フィン
６２Ｘ 着脱式フィン（調節手段）
６３ フィン
６３Ｘ 着脱式フィン（調節手段）
６９ 感温部材本体
７０ 容積可変器（調節手段）
７１ シリンダ
７２ ピストン
７３ 容積調節室
７４ 容積可変器接続路
Ｒ_３０ レギュレータ
Ｖ_３０ 共通開閉弁
Ｖ_３１ 第１開閉弁
Ｖ_３２ 第２開閉弁
Ｖ_３４ 排気用開閉弁

Claims (9)

1. 内部空間を有する検査対象からの漏れを判定するリークテスト装置において、
   （イ） 内部に感温室を有し、外面が前記内部空間の内面との間に被検室を形成するよう配置され、前記被検室の温度変化に対する前記感温室の圧力変化が前記被検室の圧力変化と略同じになるよう調節された良熱伝導材料からなる感温部材と、
   （ロ） 前記被検室に連なる第１通路と、前記感温室に連なるとともに前記第１通路と連通・遮断可能な第２通路とを有する差圧検出路と、
   （ハ） 前記第１通路と第２通路の間に設けられ、これら通路ひいては前記被検室と感温室の差圧を検出する差圧センサと、
   を備え、前記第１通路と第２通路を連通させた状態でこれら通路を介して加圧気体を前記被検室と感温室にそれぞれ導入した後、前記第１通路と第２通路を遮断して前記差圧センサの検出差圧に基づいて前記漏れ判定を行なうことを特徴とするリークテスト装置。
2. 前記被検室の温度変化に対する被検室又は感温室の圧力変化を調節する調節手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のリークテスト装置。
3. 前記調節手段が、前記被検室と前記第１通路を含む第１の閉鎖空間及び前記感温室と前記第２通路を含む第２の閉鎖空間のうち少なくとも一方の閉鎖空間の容積を増減させる容積変更器を含むことを特徴とする請求項２に記載のリークテスト装置。
4. 前記調節手段が、前記感温部材に取り外し可能に設けられたフィンを含むことを特徴とする請求項２又は３に記載のリークテスト装置。
5. 内部空間を有する検査対象からの漏れを判定するリークテスト方法において、
   内部に感温室を有する良熱伝導性の感温部材を、前記内部空間の内面との間に被検室を形成するように配置し、かつ前記被検室の温度変化に対する被検室及び感温室の圧力変化が互いに略同じになるよう調節しておき、
   前記被検室と感温室を互いに連通させた状態でこれら室に加圧気体をそれぞれ導入した後、これら室を互いに遮断し、
   差圧センサによって前記被検室と感温室の差圧を検出し、この検出差圧に基づいて前記漏れ判定を行なうことを特徴とするリークテスト方法。
6. 漏れが無い検査対象と前記感温部材とにより形成された被検室と感温室を互いに連通させた状態でこれら室に加圧気体をそれぞれ導入した後、これら室を互いに遮断して各室の圧力変化を測定し、この測定結果に基づいて前記圧力変化調節を行うことを特徴とする請求項５に記載のリークテスト方法。
7. 前記被検室を含む第１閉鎖空間の容積と前記感温室を含む第２閉鎖空間の容積のうち少なくとも一方を増減させることにより、前記圧力変化調節を行なうことを特徴とする請求項５又は６に記載のリークテスト方法。
8. 前記感温部材の伝熱能力の増減により前記圧力変化調節を行うことを特徴とする請求項５〜７の何れか１項に記載のリークテスト方法。
9. 前記感温部材の外面又は前記感温室の内面にフィンを取り外し可能に設け、このフィンの着脱又は取り替えによって前記伝熱能力の増減を行なうことを特徴とする請求項８に記載のリークテスト方法。

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