KR102093571B1 - 누설 검사 장치 및 방법 - Google Patents

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가부시키가이샤 후쿠다
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Abstract

동일한 크기의 밀봉 결함이면, 온도 및 압력 등의 조건이 달라지더라도 동일한 누설 판정 결과가 얻어지도록 한다. 규정된 온도 및 압력 하에서 규정된 누설을 발생시키는 누설 소자(5)를, 시험압이 공급되는 검사로(19)와 연통시켜, 누설 소자(5)로부터의 소자 실측 누설값을 누설 측정 수단(33)에 의하여 실측한다. 검사 대상(9)으로부터의 대상 실측 누설값을 누설 측정 수단(33)에 의하여 실측한다. 소자 실측 누설값에 기초하여 대상 실측 누설값을 상기 규정 조건 하에서의 규정 조건 환산 누설값으로 환산하고, 상기 규정 조건 환산 누설값에 기초하여 누설 판정한다.

Description

누설 검사 장치 및 방법
본 발명은 누설 검사 장치 및 방법에 관한 것이며, 특히 규정된 온도 및 압력 조건 하에서 일정한 누설량을 나타내는 누설 소자를 사용한 누설 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
에어 리크 테스터(누설 검사 장치)로 워크(검사 대상)의 적합 및 부적합을 판정하는 경우, 그 기준을 나타내는 단위로서는 일반적으로 「누설량」을 채용한다. 에어 리크 테스터의 내부에서는 압력의 강하(부압 또는 챔버법에서는 압력 상승이지만, 설명을 간결하게 하기 위하여 여기서는 가압법을 전제로 기재함)를 계측하고 있다. 이전에는 적합 및 부적합 판정의 역치를 강하 압력의 크기로 규정하는 경우가 많았지만, 동일한 양의 누설이 있더라도 워크의 용적이 상이하면 압력의 강하량도 달라져 버리기 때문에, 누설량으로 규정하는 것이 정착되어 가고 있다.
특허문헌 1(일본 특허 공개 제2012-112752호)에는, 에어 리크 테스터의 교정이나 보수 등에 사용되는 누설 소자가 기재되어 있다. 누설 검출로에 누설 소자가 접속된다. 누설 소자는 캐필러리관을 갖고 있다. 누설 소자에 의하면, 규정된 온도 및 압력 조건 하에서 캐필러리관으로부터 일정한 누설을 발생시킨다.
일본 특허 공개 제2012-112752호 공보
그러나 가는 통로를 흐르는 누설량은, 통로의 입구와 출구의 압력이 변화되면 달라져 버린다. 또한 온도가 달라져도 변화된다. 즉, 누설 시험의 조건(주로 압력 및 온도)이 달라지면, 실제로 흐르는 누설량은 변화된다. 따라서 어느 고정된 조건 하에서 누설량을 역치로서 정한 것만으로는, 압력 및 온도가 달라진 때 동일한 판정 기준으로 검사를 하고 있다고는 할 수 없다.
에어 리크 테스터로 검사하는 기체 누설의 범위는, 그 대부분이 점성류의 영역에 있다. 점성류의 대표적인 계산식으로서 하겐-푸아죄유의 식이 있다(식 1).
Figure 112018067647654-pct00001
여기서,
Q: 유량(㎩·㎥/s)
D: 관의 내경(m)
L: 도관의 길이(m)
η: 기체의 점성 계수(㎩·s)
P1: 입구의 압력(㎩)
P2: 출구의 압력(㎩)
이다.
식 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 유량 Q(누설량)을 변화시키는 파라미터는, "구멍", 즉 검사 대상의 밀봉 결함의 성상을 나타내는 D, L 이외에도 존재한다. 즉, 기체의 점성 계수 η는 온도(검사 대상의 온도나 주변 온도)에 의하여 변화된다. 입구 압력 P1(시험압)은 레귤레이터의 성능 등에 의하여 변동될 가능성이 있다. 출구 압력 P2(대기압)는 기상 조건이나 지역에 의하여 변동된다. 또한 식 (1)은 체적 유량의 계산이며, 누설 통로를 통과하는 기체는 온도 변화에 수반하는 수축/팽창의 영향도 더해진다. 이 때문에, 실제의 유량으로 판정하고 있으면, 시험 조건이 달라짐으로써 검사의 기준도 변동되어 버린다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는, 동일한 크기의 밀봉 결함이면, 온도 및 압력 등의 조건이 달라지더라도 동일한 결과가 얻어지는 누설 판정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 문제점을 해결하기 위하여 발명자는, 누설 판정의 기준을 "실제의 누설"로부터 "규정 조건 하에서의 누설", 나아가 "검사 대상의 밀봉 결함의 크기"로 옮기는 것을 착상하였다.
즉, 본 발명은, 검사 대상으로부터의 누설을 검사하는 누설 검사 방법이며,
규정된 온도 및 압력 하에서 규정된 누설을 발생시키는 기준 누설 구멍으로부터의 누설의 실측값에 기초하여, 상기 검사 대상으로부터의 누설의 실측값을, 상기 검사 대상의 가상 결함 구멍(가상의 밀봉 결함)의 크기에 상당하는 구멍 치수 상당값으로 환산하고, 상기 구멍 치수 상당값에 기초하여 누설 판정하는 것을 특징으로 한다.
상기 구멍 치수 상당값은, 온도 및 압력 등의 시험 조건 내지는 환경 조건이 달라지더라도 밀봉 결함의 크기가 동일하면, 동일한 값으로 된다. 이것에 의하여 동일한 누설 판정 결과를 얻을 수 있다.
본 발명 장치는, 검사 대상으로부터의 누설을 검사하는 누설 검사 장치이며,
상기 검사 대상에 접속되는 검사로를 갖고, 상기 검사로부터 상기 검사 대상으로 시험압을 공급하는 누설 검출로와,
상기 누설 검출로에 마련되어, 규정된 온도 및 압력(이하, 「규정 조건」이라 칭함) 하에서 규정된 누설(이하, 「규정 누설값」이라 칭함)을 발생시키는 누설 소자와,
상기 누설 검출로에 마련된 누설 측정 수단과,
처리 수단을 구비하고, 상기 처리 수단이,
상기 누설 측정 수단에 의하여 상기 누설 소자로부터의 누설(이하, 「소자 실측 누설값」이라 칭함)을 실측하는 소자 실측 동작과,
상기 누설 측정 수단에 의하여 상기 검사 대상으로부터의 누설(이하, 「대상 실측 누설값」이라 칭함)을 실측하는 대상 실측 동작과,
상기 소자 실측 누설값에 기초하여 상기 대상 실측 누설값을 상기 규정 조건 하에서의 규정 조건 환산 누설값으로 환산하고, 상기 규정 조건 환산 누설값에 기초하여 누설 판정하는 판정 동작을 행하는 것을 특징으로 한다.
상기 규정 조건 환산 누설값은, 상기 검사 대상의 가상 결함 구멍(가상의 밀봉 결함)의 크기에 상당하는 구멍 치수 상당값의 일례이며, 온도 및 압력 등의 조건이 달라지더라도 밀봉 결함의 크기가 동일하면, 동일한 값으로 된다. 이것에 의하여 동일한 누설 판정 결과를 얻을 수 있다.
상기 누설 검사 장치가, 장치 하우징과, 상기 검사 대상이 배치되는 검사부를 포함하고,
상기 장치 하우징에는 상기 누설 측정 수단 및 상기 처리 수단이 마련되고,
상기 검사부에는 상기 검사 대상의 배치부와 상기 누설 소자가 서로 근접하여 마련되어 있는 것이 바람직하다.
이것에 의하여 검사 대상과 누설 소자의 주변 온도 및 외부 압력(출구 압력)을 서로 대략 일치시킬 수 있다. 나아가 상기 환산의 적확성을 높일 수 있다.
상기 누설 검출로가, 기준 용기를 포함하는 기준로와, 상기 기준로와 상기 검사로를 연통, 차단 가능한 밸브 수단을 갖고,
상기 누설 측정 수단이, 상기 검사로와 상기 기준로 사이에 마련된 차압계이고,
상기 밸브 수단에 의하여 상기 측정 후에 상기 검사로가 대기 해방되는 한편, 상기 기준로, 나아가 상기 기준 용기가 시험압으로 유지되는 것이 바람직하다.
이것에 의하여, 기준 용기의 단열 압축 등에 의한 영향을 제거할 수 있다. 또한 부차적으로 이하의 효과가 기대된다.
(1) 가압 또는 배기 공정에서 격렬한 흐름이 발생하고 있는 타이밍에서는 센서부가 차단되어 있고, 센서에 연통하는 타이밍에서는 워크와 동일한 압력(테스트압)이며 흐름이 거의 없는 상태이기 때문에, 센서 내에 이물이 침입하는 경우가 없다.
(2) 마스터(기준 용기)는 워크(검사 대상)와 달리 가압과 배기를 반복하여 행한다. 그 때문에, 다습한 지역에서 사용하면, 내부에 결로한 물이 고이는 일이 있어 테스터의 고장으로 이어지는 경우가 있었지만, 본 방식에서는 피할 수 있다.
(3) 차압 센서(누설 측정 수단)의 가압·배기에 의한 스트레스가 감소하기 때문에 내구성의 향상이 기대된다.
상기 누설 검사 장치가, 상기 시험압을 측정하는 시험압 측정 수단과,
상기 누설 소자 또는 검사 대상의 외부 압력을 측정하는 외부 압력 측정 수단과,
상기 누설 소자 또는 검사 대상의 주변 온도를 측정하는 온도 측정 수단을
또한 구비하고, 상기 처리 수단이, 상기 대상 실측 동작 시에서의 상기 시험압 측정 수단, 외부 압력 측정 수단 및 온도 측정 수단의 측정값, 그리고 상기 누설 소자의 기준 누설 구멍의 크기에 의하여 정해지는 기준 누설 구멍 치수 계수 및 상기 규정 누설값에 기초하여, 상기 대상 실측 누설값을 상기 규정 조건 환산 누설값으로 환산하는 환산 계수를 산출하는 것이 바람직하다.
이것에 의하여, 검사 대상의 실측 시의 주변 온도나 외부 압력 등의 환경 조건에 맞추어 대상 실측 누설값을 규정 조건 환산 누설값으로 적확하게 환산할 수 있다.
본 발명 방법은, 검사 대상으로부터의 누설을 검사하는 누설 검사 방법이며,
규정된 온도 및 압력(이하, 「규정 조건」이라 칭함) 하에서 규정된 누설(이하, 「규정 누설값」이라 칭함)을 발생시키는 누설 소자를, 시험압을 공급하는 누설 검출로와 연통시켜, 상기 누설 소자로부터의 소자 실측 누설값을 실측하는 소자 실측 공정과,
검사 대상을 상기 누설 검출로와 접속하여 상기 검사 대상으로부터의 대상 실측 누설값을 실측하는 대상 실측 공정과,
상기 소자 실측 누설값에 기초하여 상기 대상 실측 누설값을 상기 규정 조건 하에서의 값으로 환산하고, 상기 환산한 값에 기초하여 누설 판정하는 판정 공정을
구비한 것을 특징으로 한다.
상기 규정 조건 환산 누설값은 구멍 치수 상당값이며, 온도 및 압력 등의 조건이 달라지더라도 밀봉 결함의 크기가 동일하면, 동일한 값으로 된다. 이것에 의하여 동일한 누설 판정 결과를 얻을 수 있다.
상기 규정된 누설값이 상기 검사 대상의 누설 판정의 역치의 0.8 내지 1.2배인 것이 바람직하다.
이것에 의하여, 누설 소자와 검사 대상 사이의 온도 및 압력에 대한 변동 특성의 어긋남을 가능한 한 작게 할 수 있다.
규정 상태에서 누설 소자의 누설 역치와 근사한 누설로 되는 검사 대상을 사용하는 것이 바람직하다.
복수의 검사 대상을 순차 누설 판정하고,
선순위의 양품 판정된 검사 대상의 실측 누설값에 대하여, 후순위의 양품 판정된 검사 대상의 실측 누설값이 소정 비율 이상 증감한 때는, 상기 소자 실측 공정을 다시 함으로써 상기 소자 실측 누설값을 갱신하는 것이 바람직하다.
이것에 의하여, 온도나 압력이 크게 변동된 경우, 소자 실측 누설값을 다시 설정함으로써 누설 판정의 정확성을 확보할 수 있다.
상기 선순위의 대상 실측 누설값은, 전회의 소자 실측 누설값의 취득 직후의 양품 검사 대상의 실측값이어도 된다.
상기 규정 누설값과 상기 소자 실측 누설값에 기초하여 환산 계수를 산출하고,
상기 환산 계수에 기초하여 상기 대상 실측 누설값을 규정 조건 환산 누설값으로 환산하는 것이 바람직하다. 상기 환산 계수는, 실측값을 규정 조건 하에서의 값으로 환산하기 위한 계수이다.
상기 대상 실측 공정 시의 시험압, 외부 압력 및 주변 온도, 그리고 상기 누설 소자의 기준 누설 구멍의 크기에 의하여 정해지는 기준 누설 구멍 치수 계수 및 상기 규정 누설값에 기초하여 환산 계수를 산출하고,
상기 환산 계수에 기초하여 상기 대상 실측 누설값을 규정 조건 환산 누설값으로 환산하는 것이 바람직하다.
이것에 의하여, 검사 대상을 검사할 때마다, 그 검사 시의 온도나 압력 등의 환경 조건을 반영한 환산 계수를 산출하여 대상 실측 누설값을 규정 조건 환산 누설값으로 환산할 수 있다. 따라서 동일한 크기의 밀봉 결함이면, 온도 및 압력 등의 조건이 달라지더라도 확실히 동일한 누설 판정 결과가 얻어지도록 할 수 있어, 누설 판정의 신뢰성을 한층 더 높일 수 있다.
상기 소자 실측 공정 시의 소자 실측 누설값, 시험압, 외부 압력 및 주변 온도에 기초하여 상기 기준 누설 구멍 치수 계수를 산출하는 것이 바람직하다.
이것에 의하여, 기준 누설 구멍의 크기(직경 및 길이 등)가 불확실하거나 직경이 일정하지 않거나 하더라도 기준 누설 구멍 치수 계수를 적확하게 설정할 수 있으며, 나아가 환산의 적확성을 높일 수 있다.
본 발명에 의하면, 동일한 크기의 밀봉 결함이면, 온도 및 압력 등의 조건이 달라지더라도 동일한 누설 판정 결과가 얻어지도록 할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 누설 검사 장치의 회로도이다.
도 2는, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 누설 검사 장치의 회로도이다.
도 3은, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 누설 검사 장치의 회로도이다.
도 4는, 상기 제3 실시 형태에 관한 누설 검사 장치의 동작의 타임차트이다.
도 5는, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 누설 검사 장치의 회로도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 따라 설명한다.
[제1 실시 형태]
도 1에 도시한 바와 같이, 누설 검사 장치(1)는 누설 검출로(10)와 처리 수단(3)(제어 수단)과 누설 소자(5)를 구비하고 있다. 누설 검출로(10)는 공통로(11)와 기준로(18)와 검사로(19)를 포함한다. 압력원(2)으로부터 공통로(11)가 뻗어 있다. 공통로(11)에는, 압력 조정 밸브(21)와, 압력계(31)(시험압 측정 수단)와, 3방 밸브로 이루어지는 가압 배기 밸브(22)가 압력원(2)측으로부터 순차 마련되어 있다.
공통로(11)로부터 기준로(18)와 검사로(19)가 분기되어 있다. 기준로(18)에는 기준 차단 밸브(28)가 마련되어 있다. 기준로(18)의 하류단은 기준 용기(8)에 접속되어 있다. 검사로(19)에는 검사 차단 밸브(29)가 마련되어 있다. 검사로(19)의 하류단은 검사 대상(9)에 접속되어 있다. 차단 밸브(28, 29)보다도 하류의 기준로(18) 및 검사로(19)끼리의 사이에 차압계(33)(누설 측정 수단)가 마련되어 있다.
밸브(21 내지 29)에 의하여 밸브 수단이 구성되어 있다.
또한 검사 차단 밸브(29)보다도 하류{검사 대상(9)측}의 검사로(19)로부터 교정로(15)가 뻗어 있다. 교정로(15)에는 교정 밸브(25)가 마련되어 있다. 교정로(15)의 하류단에 누설 소자(5)가 마련되어 있다. 교정 밸브(25)의 개폐에 의하여 누설 소자(5)가 누설 검출로(10)에 접속 및 분리된다. 누설 소자(5)는, 검사 대상의 "구멍"(결함)과 동등한 거동이 기대되는 소자이며, 정해진 온도 및 압력 조건(규정 조건) 하에서 값이 책정된 것이다. 즉, 누설 소자(5)는 기준 누설 구멍(5a)을 가지며, 규정된 온도 및 압력 조건 하에서 규정된 누설량 Q5S(규정 누설값)를 발생시킨다. 누설 소자(5)의 외표면 등에는 규정 조건의 온도, 압력 및 규정 누설량 Q5S의 값이 표기되어 있다.
또한 누설 검사 장치(1)에는 처리 수단(3)이 마련되어 있다.
처리 수단(3)은, 마이크로컴퓨터나, 밸브 수단(21 내지 29)의 구동 회로 등을 포함한다. 처리 수단(3)에 의하여 누설 검사 장치(1)의 밸브 수단(21 내지 29) 등의 동작이 제어되고, 게다가 누설 판정 처리가 행해진다. 상기 마이크로컴퓨터의 메모리(3m)(기억 수단)에는 누설 검사의 시퀀스 프로그램 외에, 검사 대상(9)의 누설 판정의 역치 Q9B(㎩·㎥/s), 누설 소자(5)의 규정 누설량 Q5S(㎩·㎥/s), 검사 대상(9)의 용적 V(㎥) 등의, 누설 판정에 필요한 데이터가 저장된다.
누설 검사 장치(1)에 의한 누설 검사 방법을 설명한다.
미리 누설 소자(5)의 규정 누설량 Q5S를 처리 수단(3)에 기억시킨다. 또한 검사 대상(9)의 누설 판정의 역치를 설정하여 처리 수단(3)에 기억시켜 둔다.
바람직하게는 누설 소자(5)로서는, 규정 누설량 Q5S가 검사 대상(9)의 누설 판정의 역치에 가능한 한 가까운 것을 선택한다. 규정 누설량 Q5S는 검사 대상(9)의 누설 판정의 역치의, 바람직하게는 0.8 내지 1.2배이다.
또한 누설 소자(5)의 규정 조건(규정된 온도 및 규정된 압력)은, 검사 대상(9)의 누설 시험 현장의 시험 조건(온도 및 압력)과 가능한 한 가까운 것이 바람직하다.
이것에 의하여, 적어도 시험 조건의 근처에서는, 누설 소자(5)와 검사 대상(9) 사이의 온도 및 압력에 대한 변동 특성의 어긋남을 가능한 한 작게 할 수 있다.
<소자 실측>
검사로(19)에는 누설이 없는 양품 검사 대상(9)을 접속해 둔다.
가압 배기 밸브(22)에 의하여 공통로(11)와, 기준로(18) 및 검사로(19)를 연통시킨다. 또한 차단 밸브(28, 29)를 개방한다. 이것에 의하여, 압력원(2)으로부터의 에어압이 압력 조정 밸브(21)에 있어서 시험압까지 감압된다. 이 시험압이 기준로(18)로부터 기준 용기(8)에 도입됨과 함께, 검사로(19)로부터 누설이 없는 양품 검사 대상(9)에 도입된다.
다음으로, 차단 밸브(28, 29)를 폐쇄한다. 이것에 의하여, 기준 차단 밸브(28)보다 기준 용기(8)측의 기준로(18)와, 검사 차단 밸브(29)보다 검사 대상(9)측의 검사로(19)가 서로 독립된 폐쇄 공간으로 된다.
다음으로, 교정 밸브(25)를 개방함으로써 누설 소자(5)를 누설 검출로(10)와 접속한다. 이것에 의하여, 누설 소자(5)로부터 누설이 발생하여 차단 밸브(28, 29)보다 하류의 기준로(18)와 검사로(19) 사이에 압력 차가 발생한다. 이 압력 변화 ΔP5R를 차압계(33)에 의하여 검출한다. 압력 변화의 실측 데이터 ΔP5R는 처리 수단(3)에 입력된다. 처리 수단(3)은 하기 식 (2)의 연산을 행함으로써 누설 소자(5)로부터의 실측 누설량 Q5R(소자 실측 누설값)를 산출한다.
Figure 112018067647654-pct00002
여기서, Δt는 실측 압력 변화 ΔP5R의 검출 시간(s)이다.
<환산 계수 산출>
또한 처리 수단(3)은 다음 식 (3)에 따라 환산 계수 k를 구하여 이를 메모리(3m)에 기억해 둔다.
Figure 112018067647654-pct00003
또한 소자 실측 누설량 Q5R(또는 실측 압력 변화 ΔP5R)는, 시험압 도입에 의한 온도 변화나 검사 대상(9)의 팽창 등에 의한 변동 분을 제거한 값으로 하는 것이 바람직하다. 제거하는 방법으로서는, 마스터링법(일본 특허 공개 평9-33381호 공보 등 참조), 피팅법(일본 특허 공개 제2004-061201호 공보 참조), 리니어 피팅법(일본 특허 공개 제2012-255687호 공보 참조) 등의 공지된 방법을 적용할 수 있다.
<대상 실측>
그 후에 실제 검사 대상(9)에 대하여 누설 검사를 행한다.
상세하게는 상기 실제 검사 대상(9)을 검사로(19)에 접속한다.
가압 배기 밸브(22)에 의하여 공통로(11)와, 기준로(18) 및 검사로(19)를 연통시킨다. 또한 차단 밸브(28, 29)를 개방한다. 이것에 의하여, 압력원(2)으로부터의 에어압이 압력 조정 밸브(21)에 있어서 시험압까지 감압된다. 이 시험압이 기준로(18)로부터 기준 용기(8)에 도입됨과 함께, 검사로(19)로부터 검사 대상(9)에 도입된다.
다음으로, 차단 밸브(28, 29)를 폐쇄한다. 이것에 의하여, 기준 차단 밸브(28)보다 기준 용기(8)측의 기준로(18)와, 검사 차단 밸브(29)보다 검사 대상(9)측의 검사로(19)가 서로 독립된 폐쇄 공간으로 된다.
다음으로, 차압계(33)에 의하여, 기준로(18)와 검사로(19) 사이, 나아가 기준 용기(8)와 검사 대상(9) 사이의 압력 차의 시간 변화 ΔP9R(실측 압력 변화)를 검출한다. 실측 압력 변화 ΔP9R는 처리 수단(3)에 입력된다. 처리 수단(3)은 하기 식 (4)의 연산을 행함으로써 규정 조건 환산 누설값 Q9S를 산출한다(환산 공정). 또한 규정 조건 환산 누설값 Q9S(또는 실측 압력 변화 ΔP9R)는, 상기와 마찬가지로 하여 시험압 도입에 의한 온도 변화나 검사 대상(9)의 팽창 등에 의한 변동 분을 제거한 값으로 하는 것이 바람직하다.
Figure 112018067647654-pct00004
즉, 소자 실측 누설량 Q5R(=Q5S/k)에 기초하여, 대상 실측 압력 변화 ΔP9R에 대응하는 대상 실측 누설량 Q9R를 규정 조건 하에서의 값으로 환산한다. 규정 조건 환산 누설값 Q9S는, 검사 대상(9)의 가상 결함 구멍(가상의 밀봉 결함)의 크기에 상당하는 구멍 치수 상당값이며, 온도나 압력 등의 환경 조건이 달라지더라도 밀봉 결함의 크기가 동일하면, 동일한 값으로 된다.
<누설 판정>
다음으로, 규정 조건 환산 누설값 Q9S(구멍 치수 상당값)에 기초하여 누설 판정을 행한다.
상세하게는, 규정 조건 환산 누설값 Q9S가 역치 Q9B 이내이면 그 검사 대상(9)을 양품(누설 없음)으로 판정한다. 규정 조건 환산 누설값 Q9S가 역치 Q9B를 초과하고 있으면 그 검사 대상(9)을 불량품(누설 있음)으로 판정한다.
이것에 의하여, 동일한 크기의 밀봉 결함이면, 온도 및 압력 등의 조건이 달라지더라도 동일한 누설 판정 결과가 얻어지도록 할 수 있다.
측정 종료 후에는 차단 밸브(28, 29)를 개방하고, 또한 가압 배기 밸브(22)를 대기 해방 위치로 함으로써, 검사로(19) 및 기준로(18), 나아가 기준 용기(8) 및 검사 대상(9) 내의 시험압을 배출한다.
이후, 마찬가지로 하여 복수의 검사 대상(9)의 누설 검사를 순차 행한다.
처리 수단(3)은, 이들 검사 대상(9) 중 양품 판정된 검사 대상(9)의 실측 누설량 Q9R를 축차 메모리(3m)에 축적함으로써 상기 실측 누설량 Q9R의 추이(경시 변화)를 감시한다.
그리고 선순위의 양품 판정된 검사 대상(9)의 실측 누설량 Q9R에 대하여, 후순위의 양품 판정된 검사 대상(9)의 실측 누설량 Q9R이 소정 비율(예를 들어 3% 내지 10%) 이상 증감한 때는, 소자 실측 공정을 다시 한다. 이것에 의하여, 온도나 압력이 점차 변동됨으로써 전회의 소자 실측 누설량 Q5R의 취득 시로부터의 변동 폭이 커진 때는, 소자 실측 누설량 Q5R, 나아가 환산 계수 k를 변동 후의 온도 및 압력에 대응하는 값으로 갱신할 수 있다. 이후, 갱신 후의 소자 실측 누설량 Q5R 또는 환산 계수 k를 이용하여 규정 조건 환산 누설값 Q9S를 산출하여 누설 판정한다. 이 결과, 누설 판정의 정확성을 확보할 수 있다. 게다가 온도나 압력이 급격히 크게 변동되지 않는 한 소자 실측 누설량 Q5R를 빈번히 실측하여 갱신할 필요가 없어, 번잡성을 피할 수 있다.
또한 제1 실시 형태에 의하면, 온도 센서 및 압력 센서, 그리고 이들 센서의 측정값 감시 수단을 마련할 필요가 없어, 제품 비용이 상승하는 것을 방지할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 다른 실시 형태를 설명한다. 이하의 실시 형태에 있어서, 이미 설명한 형태와 중복되는 구성에 대해서는 도면에 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.
[제2 실시 형태]
도 2에 도시한 바와 같이, 제2 실시 형태에 관한 누설 검사 장치(1B)는 장치 하우징(1a)과 검사부(1b)를 구비하고 있다.
장치 하우징(1a)에는, 압력원(2)과, 처리 수단(3)과, 누설 검출로(10)에 있어서의 압력원(2)과의 접속부로부터 차압계(33)까지의 부분과, 그 부분에 배치된 공기 압력 소자(21, 22, 28, 29, 31, 33)가 격납되어 있다. 도시는 생략하지만, 또한 장치 하우징(1a)에는 모니터나, 터치 패널 등의 입력부 외에, 밸브 수단(21 내지 29)의 수동 조작 등이 마련되어 있다.
검사부(1b)에는 기준 용기(8)와 검사 대상 배치부(9x)와 누설 소자(5)와 교정 밸브(25)가 마련되어 있다. 검사 대상 배치부(9x)에 검사 대상(9)이 배치되어 있다. 기준로(18)가 장치 하우징(1a)으로부터 뻗어 나가 검사부(1b)에 도입되고, 그 선단부가 기준 용기(8)에 접속되어 있다. 검사로(19)가 장치 하우징(1a)으로부터 뻗어 나가 검사부(1b)에 도입되고, 그 선단부(검사 대상 접속부)가 검사 대상(9)에 접속되어 있다. 교정로(15)가 장치 하우징(1a)으로부터 뻗어 나가 검사부(1b)에 도입되고, 그 선단의 누설 소자 접속부가 누설 소자(5)에 접속되어 있다. 검사부(1b) 내에 있어서의 교정로(15) 상에 교정 밸브(25)가 개재되어 있다. 교정 밸브(25)는 장치 하우징(1a)의 처리 수단(3)에 의하여 원격적으로 조작된다.
검사부(1b)에는 검사 대상 배치부(9x)와 누설 소자(5)가 서로 근접하여 마련되어 있다. 즉, 누설 소자(5)가 검사 대상(9)의 근처에 배치되어 있다.
이것에 의하여, 누설 소자(5)를 검사 대상(9)과 거의 동일한 온도 및 압력 조건에 두어 검사 대상(9)과 가능한 한 동일한 변동을 받도록 할 수 있다. 나아가 누설 소자(5)의 실측 누설량 Q5R를 기준으로 한 누설 판정의 정밀도를 확보할 수 있다.
또한 누설 검사 장치(1B)에 있어서, 기준 용기(8)에 대해서는 장치 하우징(1a) 내에 배치해도 된다.
[제3 실시 형태]
도 3은, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 누설 검사 장치(1C)를 도시한 것이다. 누설 검사 장치(1C)에서는 밸브 수단으로서 전자기 개폐 밸브(41 내지 47)가 마련되어 있다. 이들 개폐 밸브(41 내지 47)의 온오프 조작의 흐름도를 도 4에 도시한다.
가압 공정에서 밸브(44)를 개방하고 밸브(42)를 폐쇄함으로써 검사 대상(9)에 시험압이 도입된다. 한편, 기준 용기(8)에는 밸브(45, 47)를 통해 시험압이 상시 도입되고 있다.
평형 공정에서 밸브(43)를 폐쇄하고 밸브(44)를 개방하고 밸브(45)를 폐쇄함으로써 기준 용기(8)와 검사 대상(9)이 연통로(17)를 통해 연통된다.
계속해서, 밸브(47)를 폐쇄함으로써 기준 용기(8)와 검사 대상(9)이 차단된다.
그리고 차압계(33)에 의하여 차압 검출(실측 누설량 Q9R의 측정)을 행한다.
검출 공정 종료 후, 밸브(41)를 폐쇄하고 밸브(42, 43)를 개방하고 밸브(44)를 폐쇄하고 밸브(45, 47)를 개방한다. 이것에 의하여 검사 대상(9)이 대기 해방된다. 한편, 기준 용기(8)는 대기 해방되지 않고 시험압으로 유지된다.
이것에 의하여, 기준 용기(8)의 단열 압축에 의한 영향을 제거할 수 있다.
교정 밸브(46)는 상시 폐쇄해 둔다.
밸브(44 내지 47), 차압계(33) 및 기준 용기(8) 등을 포함하는 에어 통로는, 도 3에 있어서 2점 쇄선으로 나타내는 금속제의 계측 블록(4)에 내장되어 있다.
[제4 실시 형태]
도 5는, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 누설 검사 장치(1D)를 도시한 것이다. 누설 검사 장치(1D)는 제3 실시 형태(도 4)의 누설 검사 장치(1C)에 있어서, 또한 온도 측정 수단(6)과 대기압 측정 수단(32)(외부 압력 측정 수단)을 구비하고 있다. 검사 대상(9)과 누설 소자(5)가 서로 근처에 배치되어 있다. 이들 검사 대상(9) 및 누설 소자(5)의 근처에 온도 측정 수단(6) 및 대기압 측정 수단(32)이 배치되어 있다.
온도 측정 수단(6)은 누설 검사 장치(1D)의, 특히 검사 대상(9) 및 누설 소자(5)의 주변부에 있어서의 온도 T6(℃ 또는 K)을 측정한다.
또한 대기압 측정 수단(32)은 검사 대상(9) 및 누설 소자(5)의 외부 압력, 즉, 검사 대상(9) 및 누설 소자(5)의 주변의 대기압의 절대 압력 P32(㎩-abs.)를 측정한다. 대기압의 절대 압력 P32는 검사 대상(9)의 외부 압력(밀봉 결함의 출구 압력) 또는 누설 소자(5)의 외부 압력{누설 구멍(5a)의 출구 압력}에 상당한다.
또한 2개의 대기압 측정 수단(32)을 검사 대상(9)의 근처와 누설 소자(5)의 근처에 제각기 마련해도 된다. 2개의 온도 측정 수단(6)을 검사 대상(9)의 근처와 누설 소자(5)의 근처에 제각기 마련해도 된다.
누설 검사 장치(1D)에 있어서는, 다음과 같이 하여 누설 검사를 행한다.
<소자 실측 공정>
소자 실측 공정에서는 차압계(33)(누설 측정 수단)에 의하여 소자 실측 압력 변화 ΔP5R를 측정하고, 식 2에 따라 소자 실측 누설값 Q5R를 도출한다.
또한 시험압 측정 수단(31)에 의하여 시험압 P31(㎩)을 측정하고, 대기압 측정 수단(32)에 의하여 대기압의 절대 압력 P32(㎩-abs.)를 측정하고, 온도 측정 수단(6)에 의하여 주변 온도 T6(K)을 측정한다. 이하, 소자 실측 공정 시의 각 측정값 P31, P32, T6은 첨자의 말미에 A를 붙여 각각 P31A, P32A, T6A라 표기한다.
하겐-푸아죄유의 법칙(식 1)에 의하면, 이들 값 Q5R, P31A, P32A, T6A 사이에는 이하의 관계가 성립한다.
Figure 112018067647654-pct00005
또한 식 5에 있어서의 시험압 P31A는 절대 압력(㎩-abs.)이다. 시험압 측정 수단(31)이 게이지압계인 경우에는, 시험압 측정 수단(31)의 측정값에 대기압 실측값 P32A를 가산함으로써 절대 압력 P31A로 환산한다.
TS는 규정 조건의 온도(K)이며, 예를 들어 TS=296.15K(=23℃)이다.
η6A는 실측 온도 T6A(K)에 있어서의 기체(공기)의 점성 계수(㎩·s)이다. 예를 들어 20℃(=293.15K)에 있어서의 공기의 점성 계수는 18.2×10-5(㎩·S)이기 때문에 서덜랜드의 식에 의하면 이하의 관계가 성립한다.
Figure 112018067647654-pct00006
C는 서덜랜드 상수이며, 공기의 경우, C=117이다.
식 5에 있어서의 우변 제1 항의 A는, 누설 소자(5)의 기준 누설 구멍(5a)의 크기(D4, L5)에 의하여 정해지는 기준 누설 구멍 치수 계수이며, 하겐-푸아죄유의 법칙(식 1)으로부터, 예를 들어 하기 식으로 정의할 수 있다.
Figure 112018067647654-pct00007
D5는 누설 소자(5)의 기준 누설 구멍(5a)의 직경이다. L5는 누설 소자(5)의 기준 누설 구멍(5a)의 길이이다. 요컨대, 기준 누설 구멍 치수 계수 A는 기준 누설 구멍(5a)의 크기를 나타내는 계수이며, 구체적으로는 기준 누설 구멍(5a)의 직경 D5의 4제곱에 비례하고 기준 누설 구멍(5a)의 길이 L5에 반비례한다.
또한 기준 누설 구멍 치수 계수 A는 식 5 및 6로부터 하기 식으로도 표시된다.
Figure 112018067647654-pct00008
기준 누설 구멍(5a)의 직경 D4 및 길이 L4은 불분명하거나 제조 오차가 있거나 하여 불확실한 경우가 있다. 기준 누설 구멍(5a)의 길이 방향의 장소에 따라 직경 D4가 일정하지 않거나 단면이 진원이 아니거나 하는 경우도 있다. 그와 같은 경우를 고려하여 제4 실시 형태에 있어서의 소자 실측 공정에서는, 식 8에 Q5R, P31A, P32A 및 T6A의 측정값을 적용시킴으로써 기준 누설 구멍 치수 계수 A를 산출한다. 이것에 의하여, 기준 누설 구멍(5a)의 직경 D4 및 길이 L4가 불확실하거나 직경 D4가 일정하지 않거나 하더라도 기준 누설 구멍 치수 계수 A를 적확하게 설정할 수 있다. 기준 누설 구멍 치수 계수 A는 메모리(3m)에 기억시켜 둔다.
소자 실측 공정, 즉, 기준 누설 구멍 치수 계수 A의 산출 공정은, 예를 들어 오전이나 오후의 시업 시 등 시간을 정하여 정기적으로 행해도 되고, 온도나 압력 등의 환경 조건이 크게 변화된 때 등에 부정기적으로 행해도 된다.
기준 누설 구멍(5a)의 직경 D4 및 길이 L5가 올바르게 판명되어 있는 경우에는 식 7을 이용하여 기준 누설 구멍 치수 계수 A를 연산해도 된다.
<대상 실측 공정>
실제의 검사 대상(9)을 검사할 때는 차압계(33)에 의하여 차압 변화 ΔP9R를 측정하고, 식 9에 따라 대상 실측 누설값 Q9R를 도출한다.
Figure 112018067647654-pct00009
또한 시험압 측정 수단(31)에 의하여 시험압 P31(㎩)을 측정하고, 대기압 측정 수단(32)에 의하여 대기압의 절대 압력 P32(㎩-abs.)를 측정하고, 온도 측정 수단(6)에 의하여 주변 온도 T6(K)을 측정한다. 이하, 대상 실측 공정 시의 각 측정값 P31, P32, T6은 첨자의 말미에 B를 붙여 각각 P31B, P32B, T6B라 표기한다.
하겐-푸아죄유의 법칙(식 1)에 의하면, 식 5와 마찬가지로 이하의 관계가 성립한다.
Figure 112018067647654-pct00010
식 10에 있어서의 시험압 P31B는 절대 압력(㎩-abs.)이다. 시험압 측정 수단(31)이 게이지압계인 경우에는, 시험압 측정 수단(31)의 측정값에 대기압 실측값 P32B를 가산함으로써 절대 압력 P31B로 환산한다.
η6B는 실측 온도 T6B(K)에 있어서의 기체(공기)의 점성 계수(㎩·s)이며, 예를 들어 20℃(=293.15K)에 있어서의 공기의 점성 계수 18.2×10-5(㎩·S)와 서덜랜드의 식으로부터 이하의 관계가 성립한다.
Figure 112018067647654-pct00011
식 3의 좌변 및 중변에 식 10 및 11을 적용시킴으로써 하기 식이 유도된다.
Figure 112018067647654-pct00012
따라서 검사 대상(9)의 실측 시에 있어서의 측정값 P31B, P32B 및 T6, 그리고 누설 소자(5)에 관한 기준 누설 구멍 치수 계수 A 및 규정 누설값 Q5S에 기초하여 환산 계수 k를 적확하게 구할 수 있다. 이 환산 계수 k에 기초하여 하기 식의 연산을 행함으로써 대상 실측 누설값 Q9R를 규정 조건 환산 누설값 Q9S로 환산한다(환산 공정).
Figure 112018067647654-pct00013
그리고 규정 조건 환산 누설값 Q9S에 기초하여 검사 대상(9)의 밀봉성을 판정한다. 즉, Q9S가 역치 이하이면 검사 대상(9)을 양품(누설 없음)으로 판정한다. Q9S가 역치를 초과하고 있으면 검사 대상(9)을 불량품(누설 있음)으로 판정한다.
누설 검사 장치(1D)에 의하면, 검사 대상(9)을 검사할 때마다, 그 검사 시의 환경 조건을 반영한 환산 계수 k를 산출하여 대상 실측 누설값 Q9R를 규정 조건 환산 누설값 Q9S로 환산할 수 있다. 따라서 동일한 크기의 밀봉 결함이면, 온도 및 압력 등의 조건이 달라지더라도 확실히 동일한 누설 판정 결과가 얻어지도록 할 수 있어, 누설 판정의 신뢰성을 한층 더 높일 수 있다.
또한 환산 계수 k의 산출에 이용하는 기준 누설 구멍 치수 계수 A에 대해서도 정기 또는 부정기적으로 재확인함으로써, 규정 조건 환산 누설값 Q9S에의 환산의 적확성을 높일 수 있다.
본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않으며, 그 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서 다양한 개변을 이룰 수 있다.
예를 들어 유량에 의하여 누설 판정하는 것에 한정되지 않으며, 차압 또는 직압에 의하여 누설 판정해도 된다.
압력원(2)은 에어 컴프레서 등의 정압원에 한정되지 않으며, 진공 펌프 등의 부압원이어도 된다.
본 발명은 에어 리크 테스트에 한정되지 않으며, 헬륨 리크 테스트, 수소 리크 테스트, 그 외의 다양한 리크 테스트에 적용 가능하다.
본 발명은 밀봉품의 양부 판정에 적용할 수 있다.
1, 1B, 1C, 1D: 누설 검사 장치
1a: 장치 하우징
1b: 검사부
2: 압력원
3: 처리 수단(제어 수단)
3m: 메모리(기억 수단)
4: 계측 블록
5: 누설 소자
5a: 기준 누설 구멍
6: 온도 측정 수단
8: 기준 용기
9: 검사 대상
10: 누설 검출로
11: 공통로
15: 교정로
18: 기준로
19: 검사로
21: 압력 조정 밸브
22: 3방 밸브
25: 교정 밸브
28: 기준 차단 밸브
29: 검사 차단 밸브
31: 압력계(시험압 측정 수단)
32: 대기압 측정 수단(외부 압력 측정 수단)
33: 차압계(누설 측정 수단)
A: 기준 누설 구멍 치수 계수
k: 환산 계수
P31A: 소자 실측 공정 시의 시험압 실측값
P31B: 대상 실측 공정 시의 시험압 실측값
P32A: 소자 실측 공정 시의 대기압 실측값(외부 압력 실측값)
P32B: 대상 실측 공정 시의 대기압 실측값(외부 압력 실측값)
ΔP5R: 소자 실측 압력 변화(소자 실측 누설값)
ΔP9R: 대상 실측 압력 변화
Q5S: 규정 누설량(규정 누설값)
Q5R: 소자 실측 누설량(소자 실측 누설값)
Q9R: 대상 실측 누설량(대상 실측 누설값)
Q9S: 규정 조건 환산 누설값
Q9B: 검사 대상의 누설 판정의 역치
T6A: 소자 실측 공정 시의 주변 온도 실측값
T6B: 대상 실측 공정 시의 주변 온도 실측값
Ts: 규정 조건 온도

Claims (11)

  1. 검사 대상으로부터의 누설을 검사하는 누설 검사 장치이며,
    상기 검사 대상에 접속되는 제1 단부를 갖고, 상기 검사 대상으로 시험압을 공급하기 위한 누설 검출로와,
    상기 누설 검출로에 설치된 차단 밸브와,
    상기 누설 검출로에 있어서 상기 차단 밸브와 상기 제1 단부의 사이의 부분에 교정 밸브를 통해서 접속되고, 규정된 온도 및 압력(이하, 「규정 조건」이라 칭함) 하에서 규정된 누설(이하, 「규정 누설값」이라 칭함)을 발생시키는 누설 소자와,
    상기 누설 검출로에 마련된 누설 측정 수단과,
    처리 수단을 구비하고, 상기 처리 수단이,
    상기 차단 밸브를 열어서 상기 누설 검출로에 시험압을 도입한 후, 상기 차단 밸브를 닫고, 또한, 상기 교정 밸브를 열어서, 상기 누설 측정 수단에 의하여 상기 누설 소자로부터의 누설(이하, 「소자 실측 누설값」이라 칭함)을 실측하는 소자 실측 동작과,
    상기 제1 단부에 검사 대상이 접속된 상태로, 상기 차단 밸브를 열어서, 상기 누설 검출로로부터 검사 대상에 시험압을 도입한 후, 상기 차단 밸브를 닫아서, 상기 누설 측정 수단에 의하여 상기 검사 대상으로부터의 누설(이하, 「대상 실측 누설값」이라 칭함)을 실측하는 대상 실측 동작과,
    상기 소자 실측 누설값에 기초하여 상기 대상 실측 누설값을 상기 규정 조건 하에서의 규정 조건 환산 누설값으로 환산하고, 상기 규정 조건 환산 누설값에 기초하여 누설 판정하는 판정 동작을 행하는 것을 특징으로 하는, 누설 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    장치 하우징과, 상기 검사 대상이 배치되는 검사부를 포함하고,
    상기 장치 하우징에는 상기 누설 측정 수단 및 상기 처리 수단이 마련되고,
    상기 검사부에는 상기 검사 대상의 배치부와 상기 누설 소자가 서로 근접하여 마련되어 있는 것을 특징으로 하는, 누설 검사 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 누설 검출로가, 상기 시험압을 공급하기 위한 압력원으로부터 연장되는 공통로와, 상기 공통로로부터 분기된 검사로 및 기준로와, 상기 기준로와 상기 검사로를 연통, 차단 가능한 밸브 수단을 갖고, 상기 검사로가 상기 제1 단부를 포함하고, 상기 기준로가 기준 용기를 포함하고, 상기 밸브 수단이 상기 차단 밸브 및 상기 교정 밸브를 포함하고,
    상기 누설 측정 수단이, 상기 검사로와 상기 기준로 사이에 마련된 차압계이고,
    상기 밸브 수단에 의하여 상기 측정 후에 상기 검사로가 대기 해방되는 한편, 상기 기준로, 상기 기준 용기가 시험압으로 유지되는 것을 특징으로 하는, 누설 검사 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 시험압을 측정하는 시험압 측정 수단과,
    상기 누설 소자 또는 검사 대상의 외부 압력을 측정하는 외부 압력 측정 수단과,
    상기 누설 소자 또는 검사 대상의 주변 온도를 측정하는 온도 측정 수단을
    또한 구비하고, 상기 처리 수단이, 상기 대상 실측 동작 시에서의 상기 시험압 측정 수단, 외부 압력 측정 수단 및 온도 측정 수단의 측정값, 그리고 상기 누설 소자의 기준 누설 구멍의 크기에 의하여 정해지는 기준 누설 구멍 치수 계수 및 상기 규정 누설값에 기초하여, 상기 대상 실측 누설값을 상기 규정 조건 환산 누설값으로 환산하는 환산 계수를 산출하는 것을 특징으로 하는, 누설 검사 장치.
  5. 검사 대상으로부터의 누설을 검사하는 누설 검사 방법이며,
    누설 검출로에 마련되어진 차단 밸브를 열고, 상기 누설 검출로에 시험압을 도입한 후, 상기 차단 밸브를 닫고, 규정된 온도 및 압력(이하, 「규정 조건」이라 칭함) 하에서 규정된 누설(이하, 「규정 누설값」이라 칭함)을 발생시키는 누설 소자와 상기 누설 검출로와의 사이에 설치된 교정 밸브를 열고, 상기 누설 소자를 상기 누설 검출로와 연통시켜, 상기 누설 소자로부터의 소자 실측 누설값을 상기 누설 검출로에 마련된 누설 측정 수단에 의해 실측하는 소자 실측 공정과,
    검사 대상을 상기 누설 검출로에 접속한 상태에서, 상기 차단 밸브를 열어서 상기 누설 검출로로부터 상기 검사 대상에 시험압을 도입한 후, 상기 차단 밸브를 닫고, 상기 검사 대상으로부터의 대상 실측 누설값을 상기 누설 측정 수단에 의해 실측하는 대상 실측 공정과,
    상기 소자 실측 누설값에 기초하여 상기 대상 실측 누설값을 상기 규정 조건 하에서의 규정 조건 환산 누설값으로 환산하고, 상기 규정 조건 환산 누설값에 기초하여 누설 판정하는 판정 공정을
    구비한 것을 특징으로 하는, 누설 검사 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 규정 조건 환산 누설값이 상기 검사 대상의 누설 판정의 역치의 0.8 내지 1.2배인 것을 특징으로 하는, 누설 검사 방법.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    복수의 검사 대상을 순차 누설 판정하고,
    선순위의 양품 판정된 검사 대상의 실측 누설값에 대하여, 후순위의 양품 판정된 검사 대상의 실측 누설값이 소정 비율 이상 증감한 때는, 상기 소자 실측 공정을 다시 함으로써 상기 소자 실측 누설값을 갱신하는 것을 특징으로 하는, 누설 검사 방법.
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 규정 누설값과 상기 소자 실측 누설값에 기초하여 환산 계수를 산출하고,
    상기 환산 계수에 기초하여 상기 대상 실측 누설값을 규정 조건 환산 누설값으로 환산하는 것을 특징으로 하는, 누설 검사 방법.
  9. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 대상 실측 공정 시의 시험압, 외부 압력 및 주변 온도, 그리고 상기 누설 소자의 기준 누설 구멍의 크기에 의하여 정해지는 기준 누설 구멍 치수 계수 및 상기 규정 누설값에 기초하여 환산 계수를 산출하고,
    상기 환산 계수에 기초하여 상기 대상 실측 누설값을 규정 조건 환산 누설값으로 환산하는 것을 특징으로 하는, 누설 검사 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 소자 실측 공정 시의 소자 실측 누설값, 시험압, 외부 압력 및 주변 온도에 기초하여 상기 기준 누설 구멍 치수 계수를 산출하는 것을 특징으로 하는, 누설 검사 방법.
  11. 검사 대상으로부터의 누설을 검사하는 누설 검사 방법이며,
    규정된 온도 및 압력 하에서 규정된 누설을 발생시키는 기준 누설 구멍으로부터의 누설의 실측값에 기초하여, 상기 검사 대상으로부터의 누설의 실측값을 상기 검사 대상의 가상 결함 구멍의 크기에 상당하는 구멍 치수 상당값으로 환산하고,
    상기 구멍 치수 상당값에 기초하여 누설 판정하고,
    상기 기준 누설 구멍으로 부터의 누설의 실측값은, 누설 검출로에 마련되어진 차단 밸브를 열고, 상기 누설 검출로에 시험압을 도입한 후, 상기 차단 밸브를 닫고, 상기 기준 누설 구멍을 갖는 누설 소자와 상기 누설 검출로와의 사이에 마련되어진 교정 밸브를 열고, 상기 누설 소자를 상기 누설 검출로와 연통시켜서, 상기 누설 검출로에 마련되어진 누설 측정 수단에 의해 실측한 상기 기준 누설 구멍에서의 누설값이며,
    상기 검사 대상으로부터의 누설의 실측값은, 검사 대상을 상기 누설 검출로에 접속한 상태로, 상기 차단 밸브를 열어 상기 누설 검출로로부터 상기 검사 대상에 시험압을 도입한 후, 상기 차단 밸브를 닫고, 상기 누설 측정 수단에 의해 실측한 상기 검사 대상으로부터의 누설값인 것을 특징으로 하는, 누설 검사 방법.
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