CN108700485B - 泄漏检查装置及方法 - Google Patents

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Abstract

只要是相同大小的密封缺陷，即使温度和压力等条件发生变化也能够得到相同的泄漏判定结果。使在规定的温度和压力下产生规定的泄漏的泄漏元件5与供给有试验压力的检查路19连通，由泄漏测定机构33对来自泄漏元件5的元件实测泄漏值进行实测。由泄漏测定机构33对来自检查对象9的对象实测泄漏值进行实测。基于元件实测泄漏值将对象实测泄漏值换算为所述规定条件下的规定条件换算泄漏值，基于所述规定条件换算泄漏值进行泄漏判定。

Description

泄漏检查装置及方法
技术领域
本发明涉及泄漏检查装置及方法，尤其是涉及使用在规定的温度和压力条件下显现一定的泄漏量的泄漏元件的泄漏检查装置及方法。
背景技术
在通过空气泄漏测试装置(泄漏检查装置)对工件(检查对象)的合格与否进行判定的情况下，一般采用“泄漏量”作为表示其基准的单位。在空气泄漏测试装置的内部对压力下降(在负压法或真空腔法中为压力上升，但为了便于说明，在这里以加压法为前提进行说明)进行测定。以往，大多通过下降压力的大小来规定合格判定的阈值，但即使是相同量的泄漏，如果工件的容积不同则压力的降低量也发生变化，因此逐渐通过泄漏量来规定。
在专利文献1(特开2012-112752)中公开了用于空气泄漏测试装置的校正和维护等的泄漏元件。泄漏元件与泄漏检测路连接。泄漏元件具有毛细管。通过泄漏元件在规定的温度和压力条件下，从毛细管产生一定的泄漏。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：(日本)特开2012-112752号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而，如果通路入口和出口的压力发生变化，则在细的通路中流通的泄漏量发生变化。并且，在温度发生变化时也会发生变化。也就是说，如果泄漏试验的条件(主要是压力和温度)发生变化，则实际流通的泄漏量也会发生变化。因此，仅将某一固定条件下的泄漏量确定为阈值是不能在压力和温度发生变化时通过同一判定基准进行检查的。
通过空气泄漏测试检查的气体泄漏的范围的大部分处于粘性流的区域。作为粘性流代表性的计算式，已知哈根-泊肃叶公式(式1)。
[式1]
Figure BDA0001762958620000021
在这里，
Q：流量(Pa·m3/s)，
D：管的内径(m)，
L：导管的长度(m)，
η：气体的粘性系数(Pa·s)，
P1：入口的压力(Pa)，
P2：出口的压力(Pa)。
由式1可知，除了表示“孔”即检查对象的密封缺陷的性状的D、L之外还存在其他使流量Q(泄漏量)变化的参数。也就是说，气体的粘性系数η随着温度(检查对象的温度和周边温度)变化。入口压力P1(试验压力)可能会随着调节器的性能等发生变化。出口压力P2(大气压)随着气象条件和地域发生变化。另外，式(1)为体积流量的计算，通过泄漏通路的气体也会受到伴随着温度变化的收缩/膨胀的影响。因此，如果使用实际的流量进行判定，在试验条件发生变化时检查的基准也发生变化。
本发明是鉴于该情况而做出的，其目的在于提供一种泄漏判定方法，对于相同大小的密封缺陷，即使温度和压力等条件发生变化，也能够得到相同结果。
用于解决技术问题的技术方案
为了解决上述问题，发明者想到将泄漏判定的基准从“实际的泄漏”更改为“规定条件下的泄漏”进而改变为“检查对象的密封缺陷的大小”。
即，本发明是对来自检查对象的泄漏进行检查的泄漏检查方法，
基于在规定的温度和压力下产生规定的泄漏的基准泄漏孔的泄漏的实测值，将来自所述检查对象的泄漏的实测值换算为与所述检查对象的假想缺陷孔(假想的密封缺陷)的大小相当的孔尺寸相当值，基于所述孔尺寸相当值进行泄漏判定。
即使温度和压力等试验条件或环境条件发生变化，只要密封缺陷的大小相同，则所述孔尺寸相当值成为相同的值。由此，能够得到相同的泄漏判定结果。
本发明的装置是对来自检查对象的泄漏进行检查的泄漏检查装置，具备：
泄漏检测路，其具有与所述检查对象连接的检查路，从所述检查路向所述检查对象供给试验压力；
泄漏元件，其设置于所述泄漏检测路，在规定的温度和压力(以下称为“规定条件”)下产生规定的泄漏(以下称为“规定泄漏值”)；
泄漏测定机构，其设置于所述泄漏检测路；
处理机构；所述处理机构进行以下动作：
由所述泄漏测定机构对来自所述泄漏元件的泄漏(以下称为“元件实测泄漏值”)进行实测的元件实测动作；
由所述泄漏测定机构对来自所述检查对象的泄漏(以下称为“对象实测泄漏值”)进行实测的对象实测动作；
基于所述元件实测泄漏值将所述对象实测泄漏值换算为所述规定条件下的规定条件换算泄漏值，基于所述规定条件换算泄漏值进行泄漏判定的判定动作。
所述规定条件换算泄漏值是与所述检查对象的假想缺陷孔(假想的密封缺陷)的大小相当的孔尺寸相当值的一个例子，即使温度和压力等条件发生变化，只要密封缺陷的大小相同，则成为相同值。由此，能够得到相同的泄漏判定结果。
优选所述泄漏检查装置包含装置框体和配置所述检查对象的检查部，
在所述装置框体设有所述泄漏测定机构和所述处理机构，
在所述检查部，所述检查对象的配置部与所述泄漏元件彼此靠近地设置。
由此，能够使检查对象与泄漏元件的周边温度和外部压力(出口压力)彼此大致一致。进而能够提高所述换算的准确性。
所述泄漏检测路具有包含基准容器的基准路和能够将所述基准路与所述检查路连通、切断的阀机构，
所述泄漏测定机构是设置在所述检查路与所述基准路之间的压差计，
通过所述阀机构在所述测定后使所述检查路向大气敞开，并且使所述基准路进而所述基准容器维持在试验压力。
由此，能够消除基准容器的隔热压缩等带来的影响。并且，能够期待以下效果。
(1)在加压或排气工序中产生强气流时，传感器部被切断，在与传感器连通时由于作用于传感器的压力与作用于工件的压力(测试压力)相同而处于没有几乎没有气流的状态，因此异物不会侵入传感器内。
(2)母装置(基准容器)与工件(检查对象)不同，反复进行加压和排气。因此，在湿度大的地区使用时，能够避免在内部结露的水积存、与测试装置的故障相关的情况。
(3)由压差传感器(泄漏测定机构)的加压、排气造成的压力减小，因此能够期待耐久性的提高。
优选所述泄漏检查装置进一步具备：
对所述试验压力进行测定的试验压力测定机构；
对所述泄漏元件或检查对象的外部压力进行测定的外部压力测定机构；
对所述泄漏元件或检查对象的周边温度进行测定的温度测定机构；
所述处理机构基于所述对象实测动作时的所述试验压力测定机构、外部压力测定机构和温度测定机构的测定值、由所述泄漏元件的基准泄漏孔的大小决定的基准泄漏孔尺寸系数、以及所述规定泄漏值，计算将所述对象实测泄漏值换算为所述规定条件换算泄漏值的换算系数。
由此，根据检查对象的实测时的周边温度、外部压力等环境条件，能够准确地将对象实测泄漏值换算为规定条件换算泄漏值。
本发明的方法是对来自检查对象的泄漏进行检查的泄漏检查方法，具备以下工序：
使在规定的温度和压力(以下称为“规定条件”)下产生规定的泄漏(以下称为“规定泄漏值”)的泄漏元件与供给试验压力的泄漏检测路连通，对来自所述泄漏元件的元件实测泄漏值进行实测的元件实测工序；
将检查对象与所述泄漏检测路连接，对来自所述检查对象的对象实测泄漏值进行实测的对象实测工序；
基于所述元件实测泄漏值将所述对象实测泄漏值换算为所述规定条件下的值，基于所述换算的值进行泄漏判定的判定工序。
所述规定条件换算泄漏值是孔尺寸相当值，即使温度和压力等条件发生变化，只要密封缺陷的大小相同，则成为相同值。由此，能够得到相同的泄漏判定结果。
优选所述规定的泄漏值为所述检查对象的泄漏判定的阈值的0.8～1.2倍。
由此，能够尽可能地减小相对于泄漏元件与检查对象之间的温度和压力的变动特性的偏差。
优选使用在规定状态下达到与泄漏元件的泄漏阈值近似的泄漏的检查对象。
优选对多个检查对象依次进行泄漏判定，
在后被判定为是良品判定的检查对象的实测泄漏值相对于先被判定为是良品的检查对象的实测泄漏值发生了规定比例以上的增减时，通过重新进行所述元件实测工序来更新所述元件实测泄漏值。
由此，在温度和压力大幅变化的情况下，通过重新设定元件实测泄漏值，能够确保泄漏判定的准确度。
先被判定为是良品的对象实测泄漏值可以是获得前一元件实测泄漏值之后的良品检查对象的实测值。
优选基于所述规定泄漏值和所述元件实测泄漏值计算换算系数，
基于所述换算系数将所述对象实测泄漏值换算为规定条件换算泄漏值。所述换算系数是将实测值换算为规定条件下的值的系数。
优选基于所述对象实测工序时的试验压力，外部压力和周边温度、由所述泄漏元件的基准泄漏孔的大小决定的基准泄漏孔尺寸系数、以及所述规定泄漏值来计算换算系数，
基于所述换算系数将所述对象实测泄漏值换算为规定条件换算泄漏值。
由此，每当对检查对象进行检查时，计算出反映该检查时的温度、压力等环境条件的换算系数k，能够将对象实测泄漏值换算为规定条件换算泄漏值。因此，只要是相同大小的密封缺陷，即使温度和压力等条件发生变化，也能够准确地得到相同的泄漏判定结果，能够进一步提高泄漏判定的可靠性。
优选基于实测工序时的元件实测泄漏值、试验压力、外部压力以及周边温度来计算所述基准泄漏孔尺寸系数。
由此，即使基准泄漏孔的大小(直径和长度等)不确定、直径不是一定的，也能够准确地设定基准泄漏孔尺寸系数，进而提高换算的准确性。
发明的效果
根据本发明，如果是相同大小的密封缺陷，即使温度和压力等条件发生变化也能够得到相同的泄漏判定结果。
附图说明
图1是本发明第一实施方式的泄漏检查装置的回路图。
图2是本发明第二实施方式的泄漏检查装置的回路图。
图3是本发明第三实施方式的泄漏检查装置的回路图。
图4是上述第三实施方式的泄漏检查装置的动作的时序图。
图5是本发明第四实施方式的泄漏检查装置的回路图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
【第一实施方式】
如图1所示，泄漏检查装置1具备泄漏检测路10、处理机构3(控制机构)和泄漏元件5。泄漏检测路10包含共通路11、基准路18和检查路19。共通路11从压力源2延伸。在共通路11从压力源2侧依次设有压力调节阀21、压力计31(试验压力测定机构)、由三通阀构成的加压排气阀22。
基准路18和检查路19从共通路11分开。在基准路18设有基准隔离阀28。基准路18的下游端与基准容器8连接。在检查路19设有检查隔离阀29。检查路19的下游端与检查对象9连接。在比隔离阀28、29位于下游的基准路18和检查路19之间设有压差计33(泄漏测定机构)。
由阀21～29构成阀机构。
另外，校正路15从比检查隔离阀29位于下游(检查对象9侧)的检查路19延伸。在校正路15设有校正阀25。在校正路15的下游端设有泄漏元件5。通过校正阀25的开闭，泄漏元件5与泄漏检测路10连接或分离。泄漏元件5是期待能够实现与检查对象的“孔”(缺陷)显示同样的举动的元件，在预定的温度和压力条件(规定条件)下取值。即，泄漏元件5具有基准泄漏孔5a，在规定的温度和压力条件下产生规定的泄漏量Q5S(规定泄漏值)。在泄漏元件5的外表面等标注了规定条件的温度、压力体积规定泄漏量Q5S的值。
另外，在泄漏检查装置1设有处理机构3。
处理机构3包含微型计算机、阀机构21～29的驱动回路等。由处理机构3对泄漏检查装置1的阀机构21～29等的动作进行控制，进一步进行泄漏判定处理。在上述微型计算机的存储部3m(存储机构)除了泄漏检查的顺序程序之外，还存储有检查对象9的泄漏判定的阈值Q9B(Pa·m3/s)、泄漏元件5的规定泄漏量Q5S(Pa·m3/s)、检查对象9的容积V(m3)等泄漏判定所需的数据。
对泄漏检查装置1的泄漏检查方法进行说明。
预先将泄漏元件5的规定泄漏量Q5S存储于处理机构3。并且，设定检查对象9的泄漏判定的阈值，使其存储于处理机构3。
作为泄漏元件5，优选规定泄漏量Q5S尽可能接近检查对象9的泄漏判定阈值的元件。优选规定泄漏量Q5S为检查对象9的泄漏判定的阈值的0.8～1.2倍。
并且，优选泄漏元件5的规定条件(规定的温度及规定的压力)尽可能接近检查对象9的泄漏试验现场的试验条件(温度和压力)。
由此，至少在试验条件附近，能够尽可能地减小相对于泄漏元件5与检查对象9之间的温度和压力的变动特性的偏差。
＜元件实测＞
在检查路19预先连接没有泄漏的良品检查对象9。
由加压排气阀22使共通路11与基准路18和检查路19连通。并且，打开隔离阀28、29。由此，来自压力源2的空气压力在压力调节阀21减压到试验压力。该试验压力从基准路18导入基准容器8，并且从检查路19导入没有泄漏的良品检查对象9。
接着，关闭隔离阀28、29。由此，比基准隔离阀28位于基准容器8侧的基准路18和比检查隔离阀29位于检查对象9侧的检查路19成为彼此独立的封闭空间。
接着，打开校正阀25而将泄漏元件5与泄漏检测路10连接。由此，从泄漏元件5发生泄漏，在比隔离阀28、29位于下游的基准路18与检查路19之间产生压力差。由压差计33来检测该压力变化ΔP5R。压力变化的实测数据ΔP5R向处理机构3输入。处理机构3通过进行下式(2)的运算来计算出从泄漏元件5的实测泄漏量Q5R(元件实测泄漏值)。
[式2]
Figure BDA0001762958620000071
在这里，Δt是实测压力变化ΔP5R的检测时间(s)。
＜换算系数计算＞
另外，处理机构3根据以下式(3)求出换算系数k，将其存储于存储器3m。
[式3]
Figure BDA0001762958620000081
需要说明的是，优选元件实测泄漏量Q5R(或实测压力变化ΔP5R)是将由基于试验压力导入的温度变化和检查对象9的膨胀等造成的变动量排除的值。作为排除的方法，能够适用母线法(参照特开平9-33381号公报等)、拟合法(参照特开2004-061201号公报)、线性拟合法(参照特开2012-255687号公报)等公知的手法。
＜对象实测＞
在此基础上，对实际的检查对象9进行泄漏检查。
具体地说，将上述实际的检查对象9与检查路19连接。
由加压排气阀22使共通路11与基准路18和检查路19连通。并且，打开隔离阀28、29。由此，来自压力源2的空气压力在压力调节阀21中减压到试验压力。该试验压力从基准路18导入到基准容器8，并且从检查路19导入检查对象9。
接着，关闭隔离阀28、29。由此，比基准隔离阀28位于基准容器8侧的基准路18和比检查隔离阀29位于检查对象9侧的检查路19成为彼此独立的封闭空间。
接着，由压差计33检测基准路18与检查路19之间进而基准容器8与检查对象9之间的压力差的时间变化ΔP9R(实测压力变化)。实测压力变化ΔP9R输入至处理机构3。处理机构3通过进行式(4)的运算，计算出规定条件换算泄漏值Q9S(换算工序)。需要说明的是，优选规定条件换算泄漏值Q9S(或实测压力变化ΔP9R)是与上述同样地将基于由试验压力导入造成的温度变化和检查对象9的膨胀等的变动量排除的值。
[式4]
Figure BDA0001762958620000082
也就是说，基于元件实测泄漏量Q5R(＝Q5S/k)，将与对象实测压力变化ΔP9R对应的对象实测泄漏量Q9R换算为规定条件下的值。规定条件换算泄漏值Q9S是与检查对象9的假想缺陷孔(假想的密封缺陷)的大小相当的孔尺寸相当值，即使温度、压力等环境条件发生变化，只要密封缺陷的大小相同，则成为相同值。
＜泄漏判定＞
接着，基于规定条件换算泄漏值Q9S(孔尺寸相当值)进行泄漏判定。
详细地说，如果规定条件换算泄漏值Q9S在阈值Q9B以内，则将该检查对象9判定为是良品(无泄漏)。如果规定条件换算泄漏值Q9S超过阈值Q9B，则将该检查对象9判定为是不良品(有泄漏)。
由此，只要是相同大小的密封缺陷，即使温度和压力等条件发生变化也能够得到相同的泄漏判定结果。
测定结束后，打开隔离阀28、29，并且使加压排气阀22处于大气敞开位置，由此将检查路19和基准路18进而基准容器8和检查对象9内的试验压力排出。
之后，同样地依次进行多个检查对象9的泄漏检查。
处理机构3将这些检查对象9中被判定为是良品的检查对象9的实测泄漏量Q9R依次存储于存储器3m，由此对所述实测泄漏量Q9R的推移(经时变化)进行监视。
然后，在后被判定为是良品的检查对象9的实测泄漏量Q9R相对于先被判定为是良品的检查对象9的实测泄漏量Q9R发生了规定比例(例如3％～10％)以上的增减时，重新进行元件实测工序。由此，在由于温度和压力的逐渐变化而从上一次获得元件实测泄漏量Q5R时的变动幅度变大时，能够将元件实测泄漏量Q5R进而换算系数k更新为与变化后的温度和压力对应的值。之后，使用更新后的元件实测泄漏量Q5R或换算系数k计算规定条件换算泄漏值Q9S，进行泄漏判定。其结果是，能够确保泄漏判定的准确性。而且，只要温度和压力不急剧变化，就不需要频繁地对元件实测泄漏量Q5R进行实测并更新，能够避免麻烦。
并且，根据第一实施方式，不需要设置温度传感器、压力传感器以及这些传感器的测定值的监视机构，能够防止产品成本上升。
接着，对本发明的其他实施方式进行说明。在以下实施方式中对于与已经说明的形态重复的结构在附图中标注同一附图标记并且省略说明。
【第二实施方式】
如图2所示，第二实施方式的泄漏检查装置1B具备装置框体1a和检查部1b。
在装置框体1a收纳有压力源2、处理机构3、泄漏检测路10中的从与压力源2的连接部到压差计33的部分以及在该部分配置的空压元件21、22、28、29、31、33。虽然没有图示，在装置框体1a除了显示装置、触控面板等输入部之外，还设有阀机构21～29的手动操作等。
在检查部1b设有基准容器8、检查对象配置部9x、泄漏元件5和校正阀25。在检查对象配置部9x配置检查对象9。基准路18从装置框体1a延伸而导入检查部1b，其前端部与基准容器8连接。检查路19从装置框体1a延伸而导入检查部1b，其前端部(检查对象连接部)与检查对象9连接。校正路15从装置框体1a延伸而导入检查部1b，其前端的泄漏元件连接部与泄漏元件5连接。在检查部1b内的校正路15上存在校正阀25。由装置框体1a的处理机构3对校正阀25进行远程操作。
在检查部1b，检查对象配置部9x与泄漏元件5彼此靠近地设置。即，泄漏元件5配置在检查对象9附近。
由此，将泄漏元件5放置在与检查对象9大致相同的温度和压力条件，使其尽可能地与检查对象9受到相同的变动。进而，能够确保以泄漏元件5的实测泄漏量Q5R为基准的泄漏判定的精度。
需要说明的是，在泄漏检查装置1B中，对于基准容器8，可以配置在装置框体1a内。
【第三实施方式】
图3表示本发明第三实施方式的泄漏检查装置1C。在泄漏检查装置1C中，作为阀机构设有电磁开闭阀41～47。这些开闭阀41～47的开闭操作的流程图如图4所示。
在加压工序中，通过打开阀44、关闭阀42，使试验压力导入检查对象9。另一方面，在基准容器8经由阀45、47常时导入有试验压力。
在平衡工序中，关闭阀43、打开阀44、关闭阀45，由此基准容器8与检查对象9经由连通路17连通。
接着，关闭阀47，基准容器8与检查对象9被隔离。
然后，由压差计33进行压差检测(实测泄漏量Q9R的测定)。
在检测工序结束后，关闭阀41，打开阀42、43，关闭阀44，打开阀45、47。由此，检查对象9向大气敞开。另一方面，基准容器8不向大气敞开，维持在试验压力。
由此，能够消除基准容器8的隔热压缩带来的影响。
校正阀46常时关闭。
包含阀44～47、压差计33以及基准容器8等的空气通路装入图3中以双点划线所示的金属制的测定模块4。
【第四实施方式】
图5表示本发明第四实施方式的泄漏检查装置1D。泄漏检查装置1D在第三实施方式(图4)的泄漏检查装置1C的基础上进一步具备温度测定机构6和大气压测定机构32(外部压力测定机构)。检查对象9与泄漏元件5彼此靠近配置。在这些检查对象9和泄漏元件5附近配置有温度测定机构6和大气压测定机构32。
温度测定机构6对泄漏检查装置1D的、尤其是检查对象9和泄漏元件5的周边部的温度T6(℃或K)进行测定。
并且，大气压测定机构32对检查对象9和泄漏元件5的外部压力即检查对象9和泄漏元件5周边的大气压的绝对压力P32(Pa-abs.)进行测定。大气压的绝对压力P32相当于检查对象9的外部压力(密封缺陷的出口压力)或泄漏元件5的外部压力(泄漏孔5a的出口压力)。
此外，可以将两个大气压测定机构32分别设置在检查对象9附近和泄漏元件5附近。可以将两个温度测定机构6分别设置在检查对象9附近和泄漏元件5附近。
在泄漏检查装置1D中，如下所示地进行泄漏检查。
＜元件实测工序＞
在元件实测工序中，由压差计33(泄漏测定机构)测定元件实测压力变化ΔP5R，根据式2导出元件实测泄漏值Q5R。
并且，由试验压力测定机构31测定试验压力P31(Pa)，由大气压测定机构32测定大气压的绝对压力P32(Pa-abs.)，由温度测定机构6测定周边温度T6(K)。以下，在元件实测工序时的各测定值P31、P32、T6的尾标的末尾加上A，分别记作P31A、P32A、T6A。
根据哈根-泊肃叶法则(式1)，在这些值Q5R、P31A、P32A、T6A之间，以下关系成立。
[式5]
Figure BDA0001762958620000121
需要说明的是，式5中的试验压力P31A是绝对压力(Pa-abs.)。在试验压力测定机构31为计示压计的情况下，将试验压力测定机构31的测定值与大气压实测值P32A相加而换算为绝对压力P31A。
TS是规定条件的温度(K)，例如TS＝296.15K(＝23℃)。
η6A是实测温度T6A(K)下的气体(空气)的粘性系数(Pa·s)。例如20℃(＝293.15K)时的空气的粘性系数为18.2×10-5(Pa·S)，因此根据萨瑟兰公式，以下关系成立。
[式6]
Figure BDA0001762958620000122
C为萨瑟兰常数，在空气的情况下，C＝117。
式5中的右边第一项A为由泄漏元件5的基准泄漏孔5a的大小(D4、L5)决定的基准泄漏孔尺寸系数，根据哈根-泊肃叶法则(式1)例如能够通过下式定义。
[式7]
Figure BDA0001762958620000123
D5是泄漏元件5的基准泄漏孔5a的直径。L5是泄漏元件5的基准泄漏孔5a的长度。总之，基准泄漏孔尺寸系数A是表示基准泄漏孔5a的大小的系数，具体地说，与基准泄漏孔5a的直径D5的四次方成正比，与基准泄漏孔5a的长度L5成反比。
需要说明的是，根据式5和6，基准泄漏孔尺寸系数A也能够通过下式表示。
[式8]
Figure BDA0001762958620000124
存在基准泄漏孔5a的直径D4和长度L4不明或存在制造误差而不准确的情况。取决于基准泄漏孔5a的长度方向的场所，存在直径D4不是一定的或截面不是正圆的情况。考虑到这样的情况，在第四实施方式中的元件实测工序中，通过在式8中代入Q5R、P31A、P32A和T6A的测定值来计算出基准泄漏孔尺寸系数A。由此，即使基准泄漏孔5a的直径D4和长度L4不准确，直径D4不是一定的，也能够准确地设定基准泄漏孔尺寸系数A。基准泄漏孔尺寸系数A预先存储于存储器3m。
元件实测工序即基准泄漏孔尺寸系数A的计算工序例如可以在上午或下午的开工时等决定时间而定期进行，也可以在温度、压力等环境条件大幅变化时等不定期地进行。
在正确地判断基准泄漏孔5a的直径D4和长度L5的情况下，可以使用式7对基准泄漏孔尺寸系数A进行运算。
＜对象实测工序＞
在对实际的检查对象9进行检查时，由压差计33测定压差变化ΔP9R，根据式9导出对象实测泄漏值Q9R。
[式9]
Figure BDA0001762958620000131
并且，由试验压力测定机构31测定试验压力P31(Pa)，由大气压测定机构32测定大气压的绝对压力P32(Pa-abs.)，由温度测定机构6测定周边温度T6(K)。以下，在对象实测工序时的各测定值P31、P32、T6的尾标的末尾标注B，分别记作P31B、P32B、T6B。
根据哈根-泊肃叶法则(式1)，与式5相同，以下的关系成立。
[式10]
Figure BDA0001762958620000132
式10中的试验压力P31B是绝对压力(Pa-abs.)。在试验压力测定机构31为计示压力计的情况下，将试验压力测定机构31的测定值与大气压实测值P32B相加而换算为绝对压力P31B。
η6B是实测温度T6B(K)下的气体(空气)的粘性系数(Pa·s)，例如根据20℃(＝293.15K)时的空气的粘性系数18.2×10-5(Pa·S)和萨瑟兰公式，以下关系成立。
[式11]
Figure BDA0001762958620000133
在式3的左边和中边代入式10和11，导出下式。
[式12]
Figure BDA0001762958620000141
因此，基于检查对象9的实测时的测定值P31B、P32B、T6、以及与泄漏元件5有关的基准泄漏孔尺寸系数A、规定泄漏值Q5S，能够准确地求出换算系数k。通过基于该换算系数k进行下式的运算，将对象实测泄漏值Q9R换算为规定条件换算泄漏值Q9S(换算工序)。
[式13]
Q9S＝k·Q9R (13)
然后，基于规定条件换算泄漏值Q9S，对检查对象9的密封性进行判定。即，如果Q9S在阈值以下则将检查对象9判定为良品(没有泄漏)。如果Q9S超过阈值则将检查对象9判定为不良品(有泄漏)。
根据泄漏检查装置1D，每当对检查对象9进行检查时，计算出反映该检查时的环境条件的换算系数k，能够将对象实测泄漏值Q9R换算为规定条件换算泄漏值Q9S。因此，只要是相同大小的密封缺陷，即使温度和压力等条件发生变化，也能够准确地得到相同的泄漏判定结果，能够进一步提高泄漏判定的可靠性。
另外，通过定期或不定期地对在换算系数k的计算中使用的基准泄漏孔尺寸系数A进行修正，能够提高换算为规定条件换算泄漏值Q9S的准确性。
本发明不限于上述实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够实施各种变更。
例如，不限于由流量进行泄漏判定，也可以由压差或直接压力进行泄漏判定。
压力源2不限于空气压缩机等正压源，也可以是真空泵等负压源。
本发明不限于空气泄漏测试，也能够适用于氦气泄漏测试、氢气泄漏测试、其他各种泄漏测试。
工业实用性
本发明能够适用于密封品的良否判定。
附图标记说明
1、1B、1C、1D 泄漏检查装置；
1a 装置框体；
1b 检查部；
2 压力源；
3 处理机构(控制机构)；
3m 存储器(存储机构)；
4 测定模块；
5 泄漏元件；
5a 基准泄漏孔；
6 温度测定机构；
8 基准容器；
9 检查对象；
10 泄漏检测路；
11 共通路；
15 校正路；
18 基准路；
19 检查路；
21 压力调节阀；
22 三通阀；
25 校正阀；
28 基准隔离阀；
29 检查隔离阀；
31 压力计(试验压力测定机构)；
32 大气压测定机构(外部压力测定机构)；
33 压差计(泄漏测定机构)；
A 基准泄漏孔尺寸系数；
k 换算系数；
P31A 元件实测工序时的试验压力实测值；
P31B 对象实测工序时的试验压力实测值；
P32A 元件实测工序时的大气压实测值(外部压力实测值)；
P32B 对象实测工序时的大气压实测值(外部压力实测值)；
ΔP5R 元件实测压力变化(元件实测泄漏值)；
ΔP9R 对象实测压力变化；
Q5S 规定泄漏量(规定泄漏值)；
Q5R 元件实测泄漏量(元件实测泄漏值)；
Q9R 对象实测泄漏量(对象实测泄漏值)；
Q9S 规定条件换算泄漏值；
Q9B 检查对象的泄漏判定的阈值；
T6A 元件实测工序时的周边温度实测值；
T6B 对象实测工序时的周边温度实测值；
Ts 规定条件温度。

Claims (11)

1.一种泄漏检查装置，对来自检查对象的泄漏进行检查，该泄漏检查装置的特征在于，具备：
泄漏检测路，其具有与所述检查对象连接的检查路，从所述检查路向所述检查对象供给试验压力；
泄漏元件，其设置于所述泄漏检测路，在由规定的温度和压力构成的规定条件下产生规定的泄漏即规定泄漏值，在该泄漏元件上标注有所述规定泄漏值；
泄漏测定机构，其设置于所述泄漏检测路；
处理机构，其包含存储机构；
所述处理机构进行以下动作：
使存储机构存储所述规定泄漏值的存储动作；
由所述泄漏测定机构对来自所述泄漏元件的泄漏即元件实测泄漏值进行实测的元件实测动作；
由所述泄漏测定机构对来自所述检查对象的泄漏即对象实测泄漏值进行实测的对象实测动作；
基于所存储的所述规定泄漏值和所述元件实测泄漏值将所述对象实测泄漏值换算为所述规定条件下的规定条件换算泄漏值，基于所述规定条件换算泄漏值进行泄漏判定的判定动作。
2.根据权利要求1所述的泄漏检查装置，其特征在于，
包含装置框体和配置所述检查对象的检查部，
在所述装置框体设有所述泄漏测定机构和所述处理机构，
在所述检查部，所述检查对象的配置部与所述泄漏元件彼此靠近地设置。
3.根据权利要求1或2所述的泄漏检查装置，其特征在于，
所述泄漏检测路具有包含基准容器的基准路、以及能够将所述基准路与所述检查路连通、切断的阀机构，
所述泄漏测定机构为设置在所述检查路与所述基准路之间的压差计，
通过所述阀机构在所述测定后使所述检查路向大气敞开，并且使所述基准路进而所述基准容器维持在试验压力。
4.根据权利要求1或2所述的泄漏检查装置，其特征在于，还具备：
试验压力测定机构，其对所述试验压力进行测定；
外部压力测定机构，其对所述泄漏元件或检查对象的外部压力进行测定；
温度测定机构，其对所述泄漏元件或检查对象的周边温度进行测定；
所述处理机构基于所述对象实测动作时的所述试验压力测定机构、所述外部压力测定机构和所述温度测定机构的测定值、由所述泄漏元件的基准泄漏孔的大小决定的基准泄漏孔尺寸系数、以及所述规定泄漏值，计算将所述对象实测泄漏值换算为所述规定条件换算泄漏值的换算系数。
5.一种泄漏检查方法，对来自检查对象的泄漏进行检查，该泄漏判定方法的特征在于，具备以下工序：
使在由规定的温度和压力构成的规定条件下产生规定的泄漏即规定泄漏值的泄漏元件与供给试验压力的泄漏检测路连通，对来自所述泄漏元件的元件实测泄漏值进行实测的元件实测工序；
将检查对象与所述泄漏检测路连接，对来自所述检查对象的对象实测泄漏值进行实测的对象实测工序；
基于所述规定泄漏值和所述元件实测泄漏值将所述对象实测泄漏值换算为所述规定条件下的规定条件换算泄漏值，基于所述规定条件换算泄漏值进行泄漏判定的判定工序；
在所述泄漏元件上标注有所述规定泄漏值。
6.根据权利要求5所述的泄漏检查方法，其特征在于，
所述规定条件换算泄漏值是所述检查对象的泄漏判定的阈值的0.8～1.2倍。
7.根据权利要求5或6所述的泄漏检查方法，其特征在于，
对多个检查对象依次进行泄漏判定，
在后被判定为是良品的检查对象的实测泄漏值相对于先被判定为是良品的检查对象的实测泄漏值发生了规定比例以上的增减时，通过重新进行所述元件实测工序来更新所述元件实测泄漏值。
8.根据权利要求5或6所述的泄漏检查方法，其特征在于，
基于所述规定泄漏值和所述元件实测泄漏值计算换算系数，
基于所述换算系数将所述对象实测泄漏值换算为规定条件换算泄漏值。
9.根据权利要求5或6所述的泄漏检查方法，其特征在于，
基于所述对象实测工序时的试验压力、外部压力和周边温度、由所述泄漏元件的基准泄漏孔的大小决定的基准泄漏孔尺寸系数、以及所述规定泄漏值计算换算系数，
基于所述换算系数将所述对象实测泄漏值换算为规定条件换算泄漏值。
10.根据权利要求9所述的泄漏检查方法，其特征在于，
基于所述元件实测工序时的元件实测泄漏值、试验压力、外部压力以及周边温度来计算所述基准泄漏孔尺寸系数。
11.一种泄漏检查方法，对来自检查对象的泄漏进行检查，该泄漏检查方法的特征在于，
基于具有在规定的温度和压力下产生规定的泄漏的基准泄漏孔并且标注有所述规定的泄漏的值的泄漏元件中从所述基准泄漏孔的泄漏的实测值和所述规定的泄漏的值，将来自所述检查对象的泄漏的实测值换算为与所述检查对象的假想缺陷孔的大小相当的孔尺寸相当值，
基于所述孔尺寸相当值进行泄漏判定。
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