CN107949781B - 氦气泄漏探测器 - Google Patents

Abstract

本发明能够进行使用了理论上的背景的测定值的修正。氦气泄漏探测器经由夹具而连接于试验体。所述氦气泄漏探测器包括：界面部，具备被输入关于夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；氦气检出部，检出氦气；以及修正部，基于从界面部输入的关于分压的信息、从界面部输入的关于时间的信息及预先输入的夹具的基准透过饱和量，对氦气检出部检出的检出结果进行修正。

Description

氦气泄漏探测器

技术领域

本发明涉及一种氦气泄漏探测器。

背景技术

若利用氦气泄漏探测器实施检查，则已知有因检查中使用的氦气而背景(background)上升的问题。在不对背景的上升采用任何对策的情况下，会将上升的背景误检出为泄漏，从而导致无法进行检查。因此，采用将测定值的零点修正为上升的背景值的对策。

专利文献1中揭示了一种具备对气体泄漏显示的零点进行修正的操作开关的气体泄漏探测器。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开2013-83573号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

专利文献1中记载的发明中，无法进行使用了理论上的背景的测定值的修正。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的优选的实施形态的氦气泄漏探测器经由夹具而连接于试验体。所述氦气泄漏探测器包括：界面部，具备被输入关于夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；氦气检出部，检出氦气；以及修正部，基于从界面部输入的关于分压的信息、从界面部输入的关于时间的信息及预先输入的夹具的基准透过饱和量，对氦气检出部检出的检出结果进行修正。

(2)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于分压的信息为大气压下的氦气浓度。

(3)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于时间的信息为基于夹具暴露于氦气中的时间而决定的相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例。

(4)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于时间的信息为夹具暴露于氦气中的时间，氦气泄漏探测器还包括存储饱和率信息的存储部，所述饱和率信息表示夹具暴露于氦气中的时间与相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例的对应，修正部基于输入至界面部的关于时间的信息、与存储部中存储的饱和率信息，算出相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例。

(5)进而优选的实施形态中，氦气泄漏探测器的界面部还包括被输入夹具的基准透过饱和量的输入栏。

[发明的效果]

根据本发明，能够进行使用了理论上的背景的测定值的修正。

附图说明

图1是表示氦气泄漏探测器10的构成的方块图。

图2是说明气体处理部19的构成及动作的图。

图3(a)是表示氦气泄漏探测器10的外观的概略图，图3(b)是表示设定画面的图。

图4是表示进行泄漏测试的状况的图。

图5是表示暴露时间与氦气透过量的关系的一例的图。

图6是表示用以获得暴露时间与氦气透过量的关系、及氦气透过量的基准值的预备试验的顺序的流程图。

图7是表示变形例1的设定画面的图。

图8是表示不应用本发明的情况下的、氦气浓度相对于真空排气的时间的经过的变化的图。

图9是表示第2实施形态的氦气泄漏探测器10a的构成的方块图。

图10是表示第2实施形态的设定画面的图。

图11是表示各剖面形状下的饱和率特性C的图。

图12是表示第2实施形态的变形例的设定画面的图。

【符号的说明】

10、10a：氦气泄漏探测器

11：控制部

13：界面部

13a：输入按钮

13b：显示画面

14：存储部

19：气体处理部

21：分析管

22：涡轮分子泵

23：牵引泵

24：油旋转泵

60：氦气罐

61：喷枪

80：夹具

81：夹具本体

82：密封材料

90：试验体

BV、FV、LV、TV：阀

C：饱和率特性

EXP：端口

PM1、PM2：真空计

Qs：基准透过饱和量

RP：压力比率

RT：暴露时间饱和率

S301～S306：步骤

具体实施方式

本发明在理论上算出背景，并从测定值中减去所述背景，由此无须进行所谓的零位复位(zero reset)便可进行高精度的测定。以下，基于实施形态来进行详细说明。

(第1实施形态)

以下，参照图1～图6，对本发明的氦气泄漏探测器的第1实施形态进行说明。

图1是表示氦气泄漏探测器10的构成的方块图。氦气泄漏探测器10包括：控制部11，进行与操作员之间的信息输入输出的界面部13，存储部14，包含泵或阀、分析管21的气体处理部19。

控制部11具备中央处理器(Central Processing Unit，CPU)、只读存储器(ReadOnly Memory，ROM)及随机访问存储器(Random Access Memory，RAM)，将ROM中保存的程序在RAM中展开而执行，由此进行后述的处理。ROM中也预先记录了后述的基准透过饱和量Qs。所述ROM为能够通过特别操作而电性地删除及写入记录内容的电子可擦可编程只读存储器(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory，EEPROM)。控制部11利用信号线而与界面部13、存储部14连接，发送信息的输入输出或动作指令。气体处理部19的几个构成要素均连接着，详细情况将在以后进行说明。控制部11通过后述的处理而在理论上算出测定时的背景，对气体处理部19的分析管21检出的泄漏量进行修正并输出至界面部13。

界面部13具备输入按钮13a及显示画面13b。输入按钮13a包含多个按钮，通过操作员的按钮操作输入将各种指令输入至控制部11。显示画面13b例如为液晶面板，显示从控制部11输出的信息。

存储部14例如为闪速存储器。经由界面部13，将操作员输入的后述的暴露时间饱和率RT及压力比率RP保存在存储部14中。

(气体处理部)

参照图2对气体处理部19的构成及动作进行说明。

图2是表示气体处理部19的、即从氦气泄漏探测器10的气体的入口至分析管21为止的管路的图。

气体处理部19包括分析管21、涡轮分子泵22、牵引泵(drag pump)23、油旋转泵24、及检出管路内的真空度的真空计PM1、真空计PM2。基于真空计PM1或真空计PM2的检出值控制各泵的起动、停止或后述的阀的开闭。气体处理部19包括将作为排气路径及氦气导入路径的氦气流通通路开闭的附有致动器的通路切替部即阀FV、阀BV、阀TV、阀LV、及端口(port)EXP。

控制部11利用信号线而与分析管21、涡轮分子泵22、牵引泵23、油旋转泵24、真空计PM1、真空计PM2、及所有的阀连接，此处省略信号线。

分析管21经由涡轮分子泵22、牵引泵23、阀FV而与油旋转泵24进行配管连接。连接端口EXP上经由后述的夹具80连接着试验体90。

阀LV为排气阀(vent valve)，若释放阀LV则管路内为大气压，能够更换与端口EXP连接的试验体。阀TV配管连接于涡轮分子泵22的排气口。阀FV设置于牵引泵23与油旋转泵24之间。阀BV设置于连接端口EXP与油旋转泵24之间。

分析管21对氦气的检出例如按照以下的顺序来进行。当由操作员按下后述的测定开始按钮时，控制部11进行以下的控制。

首先，打开阀FV并将其以外的阀全部关闭，使涡轮分子泵22、牵引泵23、及油旋转泵24运转，将分析管21真空排气。为了进行氦气泄漏探测器10的端口EXP管路内的粗抽，在关闭阀FV后打开阀BV，利用油旋转泵24进行真空排气。为了设为在真空计PM1检出的真空度成为规定的真空度以下时，进行粗检测试(gross test)的构成，而打开阀FV。为了设为在真空计PM1检出的真空度成为另一规定的真空度以下时，进行精检测试(fine test)的构成，而打开阀TV并关闭阀BV，开始利用分析管21进行氦气的检出。

(界面)

参照图3(a)、图3(b)对界面部13的构成进行说明。图3(a)是表示氦气泄漏探测器10的外观的概略图，图3(b)是表示设定画面的图。如图3(a)所示，在氦气泄漏探测器10的正面设置着输入按钮13a及显示画面13b。输入按钮13a例如包含条件设定按钮、0～9的数字按钮、确定按钮、计测开始按钮、停止按钮等。

显示画面13b中，输出有控制部11根据氦气泄漏探测器10的状况而输出的信息。例如，图3(a)表示由操作员按下计测开始按钮而开始计测的状态(计测状态)下的显示例。计测状态下，气体处理部19的分析管21检出氦气浓度，并将其检出结果输出至控制部11。控制部11根据接收到的检出结果计算氦气浓度，并将所述信息发送至显示画面13b。由此在显示画面13b中显示氦气浓度。

本发明的泄漏探测器10中，显示的氦气浓度如以下说明般以理论值进行修正，因此可进行高精度的检查。

在由操作员按下条件设定按钮时，控制部11使显示画面13b显示设定画面。设定画面例如如图3(b)所示，具备输入暴露时间饱和率RT的输入栏及输入压力比率RP的输入栏。关于这些输入值将在以后进行详述。操作员一面观察显示画面13b一面操作输入按钮13a，进行对各个输入栏的数值的输入或决定。控制部11在操作员输入暴露时间饱和率RT及压力比率RP后，将这些存储于存储部14中。

(设想使用状况)

对使用本发明的氦气泄漏探测器10的状况进行说明。本实施形态中，设想氦气泄漏探测器10设置于检查线，对同一形状的试验体逐个进行检查的状况。使用了氦气泄漏探测器10的试验体的检查方法有多种，此处，使用真空吹送法。

图4是表示进行使用了氦气泄漏探测器10的泄漏测试的状况的图。其中，氦气泄漏探测器10的构成省略记载。

图4中，试验体90经由夹具80连接于连接端口EXP。而且，从氦气罐60朝向试验体90吹送氦气。

夹具80包含：夹具本体81，介于夹具本体81与试验体90之间的密封材料82，及将试验体90挤压至夹具本体81的未图示的夹板机构。试验体90利用未图示的夹板机构挤压至夹具本体81而密接于密封材料82，其内部空间被密封而与外部气体隔绝。

氦气罐60中存放着浓度100％的高压的氦气气体。氦气罐60的前端安装着附有压力调整器的喷枪61。附有压力调整器的喷枪61的吹送压力设定为比大气压稍高的压力，例如以绝对压计设定为274kPa。其中，吹送压力能够任意设定。

操作员使用未图示的夹板将试验体90连接于夹具80，在使氦气泄漏探测器10动作的状态下从喷枪61的前端向试验体90吹送氦气而进行检查。当检查结束时，操作员将试验体90从夹具80卸下，将下一试验体90连接于夹具80，而重复进行检查。此时，夹具80不进行更换而继续使用相同者。

(氦气的透过)

试验体90的检查中，将试验体90连接于夹具80，一面利用涡轮分子泵22等将试验体90的内部真空排气一面向试验体90吹送氦气气体，利用分析管21测定氦气的检出量，基于所述检出值算出氦气的泄漏量而判断试验体90有无裂纹等。此时若着眼于夹具80的密封材料82，则密封材料82的内周侧面向经真空排气的空间，外周侧被吹送氦气气体。

一个试验体90的泄漏测试所需的时间虽短，但氦气泄漏探测器10要对多个试验体进行检查，因此夹具80累积而长时间地暴露于氦气中。因长时间的氦气环境下的暴露，氦气会从外周侧透过至密封材料82，从而在密封材料82中蓄积氦气。因此，无法忽视透过密封材料82而向试验体90的内侧透过的氦气。

另外，只要密封材料82的周围环境为固定，则密封材料82的氦气蓄积量会饱和。

透过密封材料82的氦气透过量受到密封材料82暴露于氦气的时间(以下称作“暴露时间”)及所暴露至的氦气的分压的影响。氦气的分压的绝对压与氦气透过量为比例关系。暴露时间与氦气透过量的关系为以下说明所述。其中，暴露时间是指吹送所述分压的氦气的累计时间。

(饱和率特性)

图5是表示暴露时间与氦气透过量的关系的一例的图。图5的横轴表示暴露时间，纵轴表示相对于氦气透过量的基准值即基准透过饱和量Qs的比例(以下称作“暴露时间饱和率RT”)。以下，将暴露时间饱和率RT相对于暴露时间的关系称作“饱和率特性C”。所述饱和率特性C与基准透过饱和量Qs由预备试验而获得。

若暴露时间为零则暴露时间饱和率RT为0％，若经过了其中随时间经过而增加的固定时间以上，则发生饱和而固定为100％。图5所示的例中，暴露时间与暴露时间饱和率RT的关系为以下所述。即，10分钟达到10％，30分钟达到50％，60分钟饱和为100％。

另外，在密封材料82未暴露于氦气的状态下，蓄积在密封材料82的内部的氦气的量随时间经过而减少，但其变化非常缓慢。因此，本实施形态中，将蓄积在密封材料82的氦气视作未减少。

(预备试验的顺序)

图5中例示的饱和率特性C及基准透过饱和量Qs是通过利用例如以下所示的顺序进行预备试验而获得。

图6是表示用以获得暴露时间与氦气透过量的关系、及氦气透过量的基准值的预备试验的顺序的流程图的一例。以下所示的各步骤的执行主体为试验设备的管理者(以下为“管理者”)。

步骤S301中，管理者将试验体90连接于夹具80而进入至步骤S302。另外，此处使用的夹具80与检查中使用的夹具80在原材料、形状及尺寸方面相同。

步骤S302中，管理者一面利用涡轮分子泵22等对试验体90的内部进行真空排气，一面按照作为基准的氦气分压将氦气向试验体90吹送5分钟。接下来进入至步骤S303。其中，一次吹送时间不限定于5分钟，也可相应于夹具80的特性而适当变更。

步骤S303中，管理者在停止向试验体90吹送氦气的状态下，将分析管21检出的氦气泄漏量、即透过量与暴露时间一并加以记录。在将例如步骤S302执行三次后所执行的步骤S303中，暴露时间为5分钟×3＝15分钟。

步骤S304中，管理者对上一次步骤S303中记录的透过量与此次步骤S303中记录的透过量进行比较，判断透过量是否增加。在判断为增加的情况下，因透过量不饱和，故为了继续进行预备试验而回到步骤S302，在判断为未增加的情况下，为了结束预备试验而进入至步骤S305。其中，初次执行步骤S304的情况下不进行所述判断而回到步骤S302。

步骤S305中，管理者将之前在步骤S303中刚刚记录的透过量，即氦气泄漏量作为基准透过饱和量Qs而记录于控制部11的ROM中，并进入至步骤S306。

步骤S306中，将步骤S303中重复记录的透过量转换为将基准透过饱和量Qs设为100％的100分率，制作表示暴露时间饱和率RT相对于暴露时间的关系的特性即饱和率特性C。通过以上结束预备试验。

另外，管理者制作的饱和率特性C能够以图5所示的图表来表示，也能够以对照表(look-up table)来表示，还能够以函数来表示。所制作的饱和率特性C从管理者交给操作员，供操作员在输入暴露时间饱和率RT时参照。进而，所述饱和率特性C的制作中使用的氦气分压的信息也一并交给操作员。

另外，饱和率特性C或氦气分压的信息可保存于记录媒体中而移交，或作为记录而移交。

(本试验中的背景的算出)

控制部11在本试验，即检查中，如以下般在理论上算出背景，对气体处理部19的分析管21检出的泄漏量进行修正而输出至界面部13。

控制部11将背景作为基准透过饱和量Qs、暴露时间饱和率RT及压力比率RP的积而算出。

基准透过饱和量Qs为如所述般预先利用预备试验而求出的值，且为保存于存储部14的值。

暴露时间饱和率RT及压力比率RP通过操作员从界面部13如以下般输入，且记录于存储部14中。

操作员使用从管理者收到的饱和率特性C，根据至此使用夹具80的累积时间读取暴露时间饱和率RT(0％～100％)，并输入所述暴露时间饱和率RT。其中，在制作饱和率特性C时的氦气分压与至此夹具80所暴露的氦气的分压不同的情况下，根据分压的比率换算暴露时间。例如，在至此夹具80暴露于分压800kPa的氦气中30分钟，制作饱和率特性C时的氦气分压为400kPa的情况下，读取暴露了2倍即60分钟的暴露时间饱和率RT。例如，图5所示的例中，读取与60分钟对应的“100％”作为暴露时间饱和率RT。

操作员输入从管理者收到的饱和率特性C的制作中使用的氦气分压、及正要进行的检查中使用的氦气的分压的比率。例如，在饱和率特性C的制作中使用的氦气分压为400kPa，正要进行的检查中使用的氦气的分压为800kPa的情况下，因分压为2倍，故输入“200％”。

即，在基准透过饱和量Qs为1.0×10^-10Pa·m³/s的情况下，背景是其100％的200％，因此算出背景为2.0×10^-10Pa·m³/s。所述情况下，控制部11从利用分析管21检出的泄漏量中减去作为背景的2.0×10^-10Pa·m³/s，将所述值作为氦气泄漏量输出至显示画面13b。

根据所述第1实施形态获得如下的作用效果。

(1)氦气泄漏探测器10经由夹具80连接于试验体90。氦气泄漏探测器10包括：具备输入栏的界面部13，所述输入栏被输入关于夹具80所暴露的氦气的分压的信息即压力比率RP、及关于夹具80暴露于氦气中的时间的信息即暴露时间饱和率RT；氦气检出部，即分析管21，检出氦气；以及修正部，即控制部11，基于从界面部13输入的关于分压的信息、从界面部13输入的关于时间的信息、及预先输入的夹具80的基准透过饱和量Qs，对氦气检出部检出的检出结果进行修正。

因此，使用根据基准透过饱和量Qs、暴露时间饱和率RT及压力比率RP算出的理论上的背景，可对分析管21检出的测定值进行修正。而且，操作员只要按照规定的顺序输入压力比率RP及暴露时间饱和率RT即可，无须亲自判断背景的适当性。

以前，已知对测定值的零点进行修正。例如，已知具备以试验时的背景值进行零点修正的、所谓的零位复位功能的氦气泄漏探测器，但所述零位复位功能可能会产生以下的问题。即，若在因氦气的使用而检查环境的氦气浓度增加的状态、或将密封材料咬入了异物的状况下的试验体连接于夹具的状态下使用零位复位功能，则测定值的零点设定为高水平而测定精度降低。于是，即便检查中试验体上存在小的裂纹等也无法检出泄漏。

然而，本实施形态的氦气泄漏探测器10算出理论上的背景，因此不会发生由所谓的零位复位引起的所述问题，可维持高测定精度。

进而，因氦气泄漏探测器10中被预先输入基准透过饱和量Qs，故可省略操作员对基准透过饱和量Qs的输入。而且，与暴露时间饱和率RT或压力比率RP不同地，操作员无须从界面部13输入基准透过饱和量Qs。换句话说，本实施形态的氦气泄漏探测器10中，操作员无法输入基准透过饱和量Qs。因此，能够事先防止操作员误输入基准透过饱和量Qs，算出不适当的背景，而导致测定精度降低。

(2)输入至界面部13的关于时间的信息即暴露时间饱和率RT为基于夹具80暴露于氦气的时间而决定的、相对于夹具的基准透过饱和量Qs的累积比例。

即，操作员参照饱和率特性C，读取与夹具80暴露于氦气中的累积时间对应的暴露时间饱和率RT，并从界面部13输入所述暴露时间饱和率RT。因此，氦气泄漏探测器10无须存储饱和率特性C，可简化构成。而且，在因密封材料82的变更而饱和率特性C发生变化的情况下，也只要更换或换读操作员手边的饱和率特性C即可，无须变更氦气泄漏探测器10的构成。

(变形例1)

所述第1实施形态中，基准透过饱和量Qs预先保存于控制部11的ROM中，但也可构成为可从界面部13输入基准透过饱和量Qs。

所述情况下，基准透过饱和量Qs并非保存于控制部11的ROM中，而是将压力比率RP及暴露时间饱和率RT一并保存于存储部14中。而且，控制部11在构成输入按钮13a的条件设定按钮被按下时，使图7所示的画面显示于显示画面13b。

图7是表示变形例1的设定画面的图。除第1实施形态的设定画面的显示内容外，也设置着输入基准透过饱和量Qs的输入栏。

根据所述变形例1，获得如下的作用效果。

(1)氦气泄漏探测器10的界面部13具备被输入夹具80的基准透过饱和量Qs的输入栏。

因此，在因试验体的形状的变更等而变更夹具80时，能够容易地变更基准透过饱和量Qs。

(变形例2)

所述第1实施形态中，从界面部13输入压力比率RP，即用以获得氦气透过量的基准值的预备试验中使用的氦气分压与检查中使用的氦气的分压的比率。然而，也可在用以获得氦气透过量的基准值的预备试验中使用的氦气分压使用预先规定的值的前提下，仅输入检查中使用的氦气的分压。进而在所述情况下，也可以总压为大气压作为前提而将检查中使用的氦气的分压作为氦气的浓度而输入。

在界面部13具备被输入大气压下的氦气浓度的输入栏的情况下，控制部11将输入至界面部13的氦气浓度设为大气压下的氦气浓度而算出分压。

根据所述变形例2，获得如下的作用效果。

(1)输入至界面部13的关于分压的信息为大气压下的氦气浓度。

因此，操作员无须换算为分压，因此容易输入。

(变形例3)

也可将所述第1实施形态中说明的测定值的修正应用于过渡状态，即进行真空排气而开始氦气吹送法的检查前的状态。

在更换了试验体后开始进行氦气的检出后不久，氦气泄漏探测器10的内部残留有检查环境的氦气，因此尽管未进行真空吹送法的氦气的吹送，也会暂时性地检出高的氦气浓度。因此，在确认了已从氦气泄漏探测器10的内部去除检查环境的氦气后才开始氦气吹送法的检查。

图8表示不应用本发明的情况下的、氦气浓度相对于真空排气的时间的经过的变化。图示实线表示夹具80的密封材料82中未透过氦气的情况，图示虚线表示夹具80的密封材料82中透过氦气的情况。

在密封材料82中未透过氦气的情况下，随时间经过而氦气浓度收敛为零，因此可设定开始利用真空吹送法进行检查的氦气浓度的基准。另一方面，在密封材料82中透过氦气的情况下，因透过的氦气的影响而氦气浓度未收敛为零。因此，在不应用本发明的情况下，难以确认已从氦气泄漏探测器10的内部去除检查环境的氦气，从而无法避免开始检查前的真空排气的时间延长的情况。

若应用本发明，则即便在夹具80的密封材料82中透过氦气的情况下，也可算出因氦气自密封材料82透过而对分析管21所检出的氦气浓度造成的影响，从而可修正氦气浓度。即，即便在夹具80的密封材料82中透过氦气的情况下，也可获得如图示实线般经修正的氦气浓度。

因此，根据本变形例3，可缩短开始检查前的真空排气的时间。

(变形例4)

所述第1实施形态中，用以获得氦气透过量的基准值的预备试验中使用的夹具80与检查中使用的夹具80在原材料、形状及尺寸方面相同，但两者也可不同。所述情况下，界面部13也可具备输入预备试验中使用的夹具80与检查中使用的夹具80的差异信息的输入栏，基于所输入的差异信息而修正基准透过饱和量Qs。

密封材料82中的氦气的透过量受到密封材料82的氦气透过率、密封材料82的厚度、密封材料82的表面积等的影响。因此，对某密封材料82利用预备试验预先求出暴露时间与氦气透过量的关系，基于使用预备试验已算出了基准透过饱和量Qs的密封材料82与本试验，即检查中使用的密封材料82的差异，来修正基准透过饱和量Qs。

密封材料82的变更对氦气透过量的影响为以下所述。即，氦气透过量与密封材料82的氦气透过率成比例，与密封材料82的厚度成反比例，且与密封材料82的表面积成比例。

根据所述变形例4，可基于密封材料82的差异来修正已输入的基准透过饱和量Qs。

(变形例5)

所述第1实施形态中，利用真空吹送法进行了试验体的检查。然而，也可使用其他检查方法，例如真空外覆法。

在将本发明应用于由塑料袋(plastic bag)等覆盖试验体及夹具、且向所述塑料袋内注入氦气的真空外覆法的情况下，相对于第1实施形态而变更以下方面。即，在决定从界面部13输入的压力比率RP时，使用塑料袋内的氦气的分压来代替向试验体吹送的氦气的分压。而且，在决定从界面部13输入的暴露时间饱和率RT时，使用在塑料袋内暴露于氦气的累计时间来代替吹送氦气的累计时间。

(变形例6)

所述第1实施形态中，在界面部13的显示画面13b设置着输入暴露时间饱和率RT及压力比率RP的输入栏。然而，暴露时间饱和率RT及压力比率RP的输入形态不限定于此。

例如，也可为在显示画面13b显示对话形式的菜单，并依次输入暴露时间饱和率RT及压力比率RP的输入形态。

进而，也可为连接于氦气泄漏探测器10的移动终端具备输入界面，从移动终端的输入界面输入暴露时间饱和率RT及压力比率RP。

(第2实施形态)

参照图9～图10，对本发明的氦气泄漏探测器的第2实施形态进行说明。以下的说明中，对与第1实施形态相同的构成要素标记相同的符号而主要说明不同点。关于未特别说明的方面，与第1实施形态相同。本实施形态主要在氦气泄漏探测器10a具备饱和率特性C的方面与第1实施形态不同。

(构成)

图9是表示第2实施形态的氦气泄漏探测器10a的构成的方块图。与第1实施形态的不同的方面在于，在存储部14中保存着饱和率特性C。

在由操作员按下条件设定按钮时，控制部11使显示画面13b显示设定画面。

图10是表示第2实施形态的设定画面的图。所述设定画面具备输入暴露时间的输入栏、及输入关于氦气的分压的信息即压力比率RP的输入栏。

控制部11在由操作员从界面部13输入暴露时间后，参照保存于存储部14的饱和率特性C，算出与所输入的暴露时间对应的暴露时间饱和率RT。而且，与第1实施形态同样地对分析管21检出的泄漏量进行修正，并输出至界面部13。

根据所述第2实施形态，获得如下的作用效果。

(1)输入至界面部13的关于时间的信息为夹具80暴露于氦气的时间。氦气泄漏探测器10a具备存储饱和率信息即饱和率特性C的存储部14，所述饱和率信息表示夹具80暴露于氦气的时间与相对于夹具80的基准透过饱和量Qs的累积比例的对应。修正部即控制部11基于输入至界面部13的关于时间的信息即暴露时间饱和率RT、及存储于存储部14的饱和率特性C，算出相对于夹具80的基准透过饱和量Qs的累积比例。

因此，操作员无须参照饱和率特性C读取与暴露时间对应的暴露时间饱和率RT，从而氦气泄漏探测器10a的使用简便。

(第2实施形态的变形例)

所述第2实施形态中，氦气泄漏探测器10a仅具备一个饱和率特性C。然而，氦气泄漏探测器10a也可具备两个以上的饱和率特性C。

图11是表示各剖面形状下的饱和率特性C的图。

图11的横轴表示暴露时间，纵轴表示暴露时间饱和率RT。图示实线表示图5所示的剖面形状为圆形的密封材料82的饱和率特性C1，图示虚线表示剖面形状为四边形的密封材料82的饱和率特性C2。如图11所示，根据密封材料82的剖面形状，暴露时间饱和率RT开始增加的暴露时间、暴露时间饱和率RT饱和的暴露时间、及暴露时间饱和率RT的相对于暴露时间的增加的增加率等不同。

因此，氦气泄漏探测器10a将与密封材料82的剖面形状分别对应的多个饱和率特性保存于存储部14中，基于操作员输入的密封材料的剖面形状及暴露时间而设定暴露时间饱和率RT。

图12是表示本变形例的设定画面的图。图12中，与第2实施形态相比，追加了选择密封材料82的剖面形状的单选按钮(radio button)。操作员可使用输入按钮13a的箭头按钮及决定按钮，来选择圆形及四边形中的任一者。

另外，本实施例中，也可构成为操作员还能够输入基准透过饱和量Qs。

所述各实施形态及变形例也可分别进行组合。

以上说明了各种实施形态及变形例，但本发明并不限定于这些内容。在本发明的技术思想的范围内考虑的其他形态也包含在本发明的范围内。

Claims (4)

1.一种氦气泄漏探测器，经由夹具而连接于试验体，所述氦气泄漏探测器包括：

界面部，具备被输入关于所述夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于所述夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；

氦气检出部，检出氦气；以及

修正部，基于从所述界面部输入的关于所述分压的信息而获得的压力比率、从所述界面部输入的关于所述时间的信息而获得的暴露时间饱和率及预先输入的所述夹具的基准透过饱和量，对所述氦气检出部检出的检出结果进行修正，

输入至所述界面部的关于所述时间的信息为所述夹具暴露于氦气中的时间，

所述氦气泄漏探测器还包括存储饱和率信息的存储部，所述饱和率信息表示所述夹具暴露于氦气中的时间与相对于所述夹具的基准透过饱和量的累积比例的对应，

所述修正部基于输入至所述界面部的关于所述时间的信息、与所述存储部中存储的所述饱和率信息，算出相对于所述夹具的基准透过饱和量的累积比例。

2.根据权利要求1所述的氦气泄漏探测器，其中，

输入至所述界面部的关于所述分压的信息为大气压下的氦气浓度。

3.根据权利要求1所述的氦气泄漏探测器，其中，

输入至所述界面部的关于所述时间的信息为基于所述夹具暴露于氦气中的时间而决定的相对于所述夹具的基准透过饱和量的累积比例。

4.根据权利要求1所述的氦气泄漏探测器，其中，

所述界面部还包括被输入所述夹具的基准透过饱和量的输入栏。

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