JP2018533736A - 試験ガス入口における圧力測定 - Google Patents

試験ガス入口における圧力測定 Download PDF

Info

Publication number
JP2018533736A
JP2018533736A JP2018524276A JP2018524276A JP2018533736A JP 2018533736 A JP2018533736 A JP 2018533736A JP 2018524276 A JP2018524276 A JP 2018524276A JP 2018524276 A JP2018524276 A JP 2018524276A JP 2018533736 A JP2018533736 A JP 2018533736A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inlet
pump
gas inlet
test gas
mass spectrometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018524276A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018533736A5 (ja
JP6883036B2 (ja
Inventor
ブルーンス・ヤルマル
ゲルドー・ルドルフ
モーゼル・ノルベルト
シュミッツ・ギュンター
ヴェツィヒ・ダニエル
Original Assignee
インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH
インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE102015222213.6 priority Critical
Priority to DE102015222213.6A priority patent/DE102015222213A1/de
Application filed by インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH, インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング filed Critical インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH
Priority to PCT/EP2016/077242 priority patent/WO2017081136A1/de
Publication of JP2018533736A publication Critical patent/JP2018533736A/ja
Publication of JP2018533736A5 publication Critical patent/JP2018533736A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6883036B2 publication Critical patent/JP6883036B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G01M3/205Accessories or associated equipment; Pump constructions

Abstract

【課題】質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口での全圧についての測定を向上させることにより、圧力が高い時点から該リークを特定できるようにする、装置を提供する。【解決手段】質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する装置において、質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、高真空ポンプ(14)の出口(24)が予備排気ポンプ(16)の入口(26)に接続されており、予備排気ポンプ(16)の入口(26)が試験ガス入口(18)に接続されており、予備排気ポンプ(16)の入口(26)と高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間ガス入口(34)とが、流量規制部(42)を有する接続ライン(38)によって互いに接続されている装置。【選択図】図1

Description

本発明は、質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口における圧力を測定するための方法及び装置に関する。
質量分析計型リーク探査では、耐リーク性の検査対象が、試験ガスを使用し、真空条件下で試験される。質量分析計の動作のためには、10−4mbar未満の圧力に到達させる必要がある。
一般的に、真空リークディテクタを用いて実行される耐リーク性試験法に関しては、真空法と過圧法とが区別される。真空法では、試験体が真空排気されて試験ガス雰囲気に曝される。試験体から取り出されるガスが、試験ガスの存在について調べられる。過圧法では、試験体が、該試験体を取り囲む雰囲気の圧力よりも高い圧力の試験ガスによって加圧される(Druck beaufschlagt)。そして、該試験体を取り囲む雰囲気が、試験ガスの存在について調べられる。
真空法にしても過圧法にしても、試験は積分型または漏洩箇所特定型であってもよい。積分型耐リーク性試験では、試験体が真空チャンバ又は圧力チャンバ内に配置されて、該試験体から又はこの試験チャンバ(試験室)から取り出されるガスが、試験ガスの存在について調べられる。積分型試験では、試験体が1つ以上のリークを有しているか否か、さらには、それらのリークの総リークレートが調べられる。
漏洩箇所特定型の試験過程では、リークの箇所が検出される。漏洩箇所特定型真空法では、真空排気され、質量分析計型リークディテクタに連結された試験体に、外側からスプレーガンを用いて試験ガスが吹き付けられる。漏洩箇所特定型過圧法では、試験ガスにより加圧された状態の試験体が、手持ち式嗅気プローブを用いて外部から嗅取検査される。
前述したいずれの方法においても、質量分析計型リークディテクタが使用される。質量分析計型リークディテクタは、検査対象となる試験ガス流が吸い込まれる試験ガス入口を備えており、試験ガス流が質量分析計に供給されることで試験ガスの分圧の検出が行われる。質量分析計を用いた検査は、質量分析計が真空圧に達した場合にのみ可能であるから、試験ガス入口を開放する前に、入口での全圧が十分に下げられている必要がある。質量分析計は、高真空ポンプ(大概の場合、ターボ分子ポンプ)と該高真空ポンプの出口に接続された予備排気ポンプとによって真空排気される。高真空ポンプの中間ガス入口は、リーク検知システムの上記試験ガス入口に接続されている。
グロスリークの検知は、上記試験ガス入口での圧力が高真空ポンプの許容一次圧未満、典型的には15mbar未満になった場合に可能となる。具体的には、リークディテクタの真空排気系(例えば、予備排気ポンプ等)で真空排気すべき体積(試験チャンバの体積)が大きい場合には、高真空ポンプが許容圧力に下がって試験を開始できるようになるまで時間がかかる。
したがって、入口圧力が15mbarよりも高い時点で既に、リーク探査を実行できることが一般的に望ましい。この目的のため、リークディテクタの入口領域から小規模の部分ガス流(ガス流の一部)を検証系統へ供給し得ることが知られている。例えばINFICON社製のUL400系のリーク試験装置では、試験ガス入口から吸い込まれたガス流からの部分流が、質量分析計に直接供給される。ガスを質量分析計に直接導入(メインフロー法)する場合には通常、液体窒素コールドトラップを用いて、大気由来の水蒸気の測定信号への影響を抑制または排除する必要がある。質量分析計に直接送り込まれる上記部分流のための流量規制部は、対応するバルブを開放することによって圧力100mbar未満の時点から部分流を質量分析計に供給し得るように構成されている。
INFICON社製のUL500リーク試験装置では、リーク信号(グロスリーク測定)の兆候を早くから取得するために、試験ガス入口をスロットルを介して質量分析計のターボ分子ポンプの予備排気室に接続することが可能である。このスロットルは、スクリーンであって、上記試験ガス入口を開放した直後から、予備排気排気で圧力が1000mbar未満になると該スクリーンを介して少量のヘリウムが、カウンターフローでターボ分子ポンプを通って検証系統(質量分析計)に進入する。この構成は、例えば特許文献1、特許文献2等に記載されている。
欧州特許出願公開第283543号明細書 欧州特許第0615615号明細書
大量リークの検知には、第1段階として全圧の低下を1000mbarから100mbarまでの間で評価することが適切である。既知の方法では、リークディテクタの入口領域での全圧測定が、ピラニ測定原理に従った圧力センサを用いて行われる。このようなセンサは安価であり、10−3〜100mbarの動作圧力の正確な測定に適している。ところが、100mbarから1000mbarの範囲内での全圧は不十分にしか検出できない。
第2段階として、大量リークの存在のために圧力が過度にゆっくりと減少している場合や、フォアポンプの吸込み能力や該大量リークによるガス流入によって15mbarよりも高い圧力で平衡に達した場合には、その大量リークが試験ガスの吹付けによって特定されることになる。
排気段階は、リークディテクタの検証系統はブラインド状態に切り替わっているか、あるいは、大規模なリークの場合しか信号が明確とならないほどにリークディテクタの感度が下がっている。試験体でのリークが極めて大きい場合には、この排気期間がさらに延びることになり得るか、あるいは、測定可能な状態に達するため必要な動作圧力に、真空排気系を用いて、全く達することができない。この場合、このタスクのために実際に用意されたリークディテクタを用いてのグロスリークの場所特定が不可能となる。
上記試験ガス入口の入口フランジでの全圧は、典型的なピラニ圧力センサを用いては、100mbar〜1000mbarの圧力範囲内で測定はできない。この圧力範囲について専用の全圧センサを使用することは避けたい。
したがって、本発明の目的は、質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口での全圧についての測定を向上させることにより、リークを有する試験体を15mbarよりも遥かに高い圧力の時点で既に検知できるように、かつ、該リーク箇所を特定できるようにすることである。
本発明にかかる装置は請求項1に記載の構成により定まる。本発明にかかる方法は請求項6に記載の構成により定まる。
本発明にかかる全圧の測定は、質量分析計型リークディテクタであって、質量分析計の測定体積空間が例えばターボ分子ポンプ等の高真空ポンプの入口に接続されており、該高真空ポンプの出口が予備排気ポンプの入口に接続されている、質量分析計型リークディテクタに関する。この2段真空ポンプは、前記質量分析計の前記測定体積空間を真空排気する役割を果たす。前記予備排気ポンプの前記入口は、さらに、試験ガスを吸い込んで試験チャンバ又は試験体を真空排気するように試験ガス入口に接続されている。
本発明では、前記予備排気ポンプの前記入口が、ガス導通接続ラインによって前記高真空ポンプの少なくとも1つの中間ガス入口に接続されている。該接続ラインでは、ガス流が流体スロットルによって規制されている。該接続ラインは、例えば、試験ガス入口と予備排気ポンプの入口とを接続する予備排気入口ラインから分岐しているものであってもよい。該接続ラインは、前記中間ガス入口と前記試験ガス入口とを接続する高真空入口ラインに進入するものであってもよい。この配置構成では、予備排気入口ライン、高真空入口ライン、および2つの真空ポンプ同士を接続する真空ラインのそれぞれにバルブが設けられており、バルブが各々のラインを互いに独立して開閉するように機能することが好ましい。
前記予備排気ポンプを用いて試験ガス入口に連結された試験チャンバ又は試験ガス入口に連結された試験体が真空排気されるときには、ガスが前記試験ガス入口から前記予備排気入口ラインを通って吸い込まれる。この予備排気接続ラインからは部分流が接続ラインによって分岐されて、高真空ポンプの中間入口に供給される。この部分流は、該中間ガス入口を通って質量分析計の測定体積空間に進入する。変形例として、部分流は、質量分析計に直接供給されてもよい。該質量分析計で、その時々で使用されている試験ガス(例えば、ヘリウム等)の分圧を測定することができる。試験ガスのこの分圧に基づいて、試験ガス入口に生じている全圧を検出できる。本明細書では、真空排気される試験体又は真空排気される試験チャンバは、所与の試験ガス濃度(ヘリウム濃度)を有する空気または他種のガスを含んでいるものとする。そこで、質量分析計が例えば空気/ヘリウム分率等に基づいて比例信号を供給することにより、該質量分析計によって試験ガス入口の入口フランジでの全圧を、ヘリウム分圧により測定することになる。
接続ラインは、高真空ポンプの中間ガス入口と試験ガス入口との間の高真空入口ラインに進入するように配置されている。高真空入口ラインを独立して開閉するバルブが設けられている場合には、接続ラインが高真空入口ラインに該バルブと中間ガス入口との間で進入する。
質量分析計に接続ラインを通って供給される部分流は、絞られており(throttled)、好ましくは(スロットルの両側で1000mbarから0mbarへの圧力差があるときに)10−4mbar・l/s超のガス通過量にまで絞られる。この絞りは、予備排気入口ラインからの接続ラインの分岐箇所の出来る限り近くで行われる。なお、原則として、該分岐箇所は、試験ガス入口と予備排気ポンプの出口との間の予備排気接続部におけるどの箇所に位置していてもよく、したがって、多段予備排気ポンプが使用されている場合には、ポンプ段とポンプ段との間に位置していてもよい。よって、スロットルの、予備排気入口ラインからの接続ラインの分岐箇所までの距離は、接続ラインと高真空入口ラインとの接続箇所までの距離よりも短い。好ましくは、予備排気入口ラインからの分岐箇所までの距離は、接続ラインの全長の約1/3、より好ましくは約1/4である。なお、理想的な場合には、分岐箇所が予備排気入口ラインのガス流に直接設けられている。そこで、スロットルは、該スロットルへの最適な流れを実現し、最大限に良好なガス交換が行われ、高速の反応が可能となるように、分岐箇所の出来る限り近くに又は分岐箇所内部に配置されている。接続ライン内部の、予備排気入口ラインからの分岐箇所とスロットルとの間の体積空間領域は乱流によって、そのラインの直径におおよそ合致する深さまで流通が良好に行われる。
スロットルは、スクリーンまたはキャピラリーとして構成され得る。長さ及び直径の理想的な選択は、スクリーンやキャピラリーを通過するガス流量についての、直径に応じた既知の公式に従って行われる。一具体例として、キャピラリー直径が25μmである場合には、1000mbarから0mbarへの圧力差で5×10−4mbar・l/sのガス流量を実現するため、長さを5cmとしてもよい。直径及び長さを選択するときには、ガス圧が15mbarにもなれば、これに伴ってスロットルを通過する流量が減少してガスの受け渡し時間が長くなるが、それでも該スロットルの応答時間が十分に短く(典型的には、1秒)なるように注意を払う必要がある。
スロットルにより、予備排気ポンプを用いて排気過程を開始した直後から、全圧の変化(Verlauf)の正確な測定が可能となる。ターボ分子ポンプの予備排気領域(すなわち、ターボ分子ポンプの出口)の体積は、高真空ポンプと予備排気ポンプとの間の真空ラインのバルブ、高真空入口ラインのバルブ、および予備排気入口ラインのバルブを閉鎖した状態での大量リークの検知動作を、十分な時間のあいだ維持し得るように寸法決めされている。大量リークの検知動作が可能な時間は、接続ラインにおけるスロットルを通過する流量とターボ分子ポンプの予備排気領域の体積との比に依存する。その結果、高真空/ターボ分子ポンプのうちの予備排気側での許容最大全圧を用いると、大量リーク動作の最大動作時間が、最も望ましくない条件下で:
動作時間=V×pv,max/Q となる。
Q:スロットルD1を通過する流量
V:予備排気領域の体積
v,max:許容最大予備排気圧力
体積を設定するときには、該用途での典型的な排気時間を考慮に入れる必要がある。というのも、試験ガス入口での圧力が減るにつれてスロットルを通過するガス流量Qも減少するため、大量リークの検知時の最大動作時間が長くなるからである。大量リークの検知が1時間のあいだ中断することなく行われることを可能にするには、予備排気領域の体積が好ましくは10cm超、理想的な場合には20cmとされる。最も不利な場合、すなわち、予備排気ポンプが圧力を低下させることができないほど試験体におけるリークが大きい場合には、V=20cm、Pv,max=15mbar、Q=5×10−4mbar・l/sにより、最も不利な場合における予想動作時間が600秒となる。600秒を超えた後は、ターボ真空ポンプの予備排気体積空間を再び最終圧力まで排気するために大量リーク検知の動作を10秒未満の時間のあいだ中断する必要があり、そこからは大量リークの検知を再開することが可能となる。
本発明は、予備排気ポンプの入口と高真空ポンプの中間ガス入口との間の恒久的なスロットル接続により、測定信号の極めて高速な応答を可能にし、作動圧力が15mbar超であってもリークレートの測定を可能にし、試験ガス入口(入口フランジ)での全圧の、再現可能な特性線を用いた測定を可能にし、さらには、該入口フランジでの全圧を1000mbarの時点から、追加の圧力センサを用いずに正確に測定することを可能にする。
以下、本発明の例示的な実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
例示的な第1の実施形態を示す図である。 例示的な第2の実施形態を示す図である。 例示的な第3の実施形態を示す図である。
以下では、まず、例示的な各種実施形態に共通する構成について説明する。これらは実質的に、質量分析計12、高真空ポンプ14、予備排気ポンプ16および試験ガス入口18を備えるリーク検知システムを含む。
質量分析計12は、ガス導通測定ライン20によって高真空ポンプ14の入口22に接続されている。高真空ポンプ14は、ターボ分子ポンプである。高真空ポンプ14の出口24は、真空ライン28によって予備排気ポンプ16の入口26にガス導通可能に接続されている。真空ライン28には、独立して閉鎖されるように構成されたバルブV2が設けられている。それら2つの真空ポンプ14,16を用いて、質量分析計12の測定体積空間が真空排気される。
試験ガス入口18は予備排気入口ライン30によってガス導通可能に予備排気ポンプ16の入口26に、該試験ガス入口18に連結された体積空間(試験チャンバまたは試験体)を予備排気ポンプ16を用いて真空排気するように接続されている。試験ガス入口18は、さらに、高真空入口ライン32によって高真空ポンプ14の中間ガス入口34に接続されている。
予備排気入口ライン30からは、分岐箇所36でガス導通接続ライン38が分岐して進入箇所40で高真空入口ライン32に進入している。このようにして、接続ライン38は該接続ライン38にバルブを設けることなく、予備排気ポンプ16の入口26と高真空ポンプ14の中間ガス入口34とを直接かつ恒久的に接続している。
接続ライン38は分岐箇所36の出来る限り近くに、スロットル42を有している。スロットル42は、該スロットルに1000mbarから0mbarへの圧力差が該スロットルを挟んで生じているときに、10−4mbar・l/s超のガス通過量を可能にし、すなわち、約2×10−4mbar・l/sのガス通過量を可能にすると共にガス通過量がこれよりも多くならないようにする。
スロットル42は、スクリーンまたはキャピラリーとして構成されている。
スロットル42の、分岐箇所36からの距離は、該分岐箇所36と進入箇所40との間の距離(すなわち、接続ライン38の長さ)の約1/10である。
予備排気入口ライン30は、試験ガス入口18と分岐箇所36との間に、独立して閉鎖可能なバルブV1を有している。高真空入口ライン32は、試験ガス入口18と進入箇所40との間に、独立して閉鎖可能なバルブV4を有している。
動作時の最初に実行される、試験ガス入口18に連結された体積空間(試験チャンバの体積空間または試験体の体積空間)の真空粗引き時には、まず、バルブV2およびバルブV4が閉鎖状態にされてバルブV1が開放状態にされる。そして、予備排気ポンプ16が試験ガス入口18を介して真空排気を実行する。
試験ガス入口18を介したこの真空粗引き時に、追加の圧力センサを必要とすることなく試験ガス入口18での圧力を測定し得るように、予備排気ライン30から部分流が接続ライン38によって分岐されて高真空ポンプ14の中間ガス入口34を通って質量分析計12に供給される。この部分ガス流はスロットル42によって、質量分析計12による該部分ガス流の評価を行うのに十分な程度にまで絞られる。質量分析計12により、この分岐ガス流に含まれている試験ガスの分圧が検出される。典型的にはヘリウムが試験ガスとして使用され、ヘリウム分圧が測定される。このヘリウム分圧から、質量分析計の入口フランジでの全圧についての結論が下される。
質量分析計12は、バルブV2が開放状態でバルブV1およびバルブV4が閉鎖状態とされながら真空排気される。質量分析計12及び予備排気領域28の圧力が該質量分析計12の動作にとって十分な程度(質量分析計12では1×10−4mbar、予備排気領域28では1mbar未満)にまで低下すると、バルブV2が閉鎖される。そして、試験ガス入口側のバルブV1が、試験体を真空排気するために開放される。試験ガス入口18での全圧が十分な数値である約15mbarを下回ると、バルブV2が開放されてリーク検知の質量分光分析が開始される。全圧がさらに2mbar未満の数値にまで低下すると、古典的なカウンターフロー式のリーク検知動作を実現する目的でバルブV1が閉鎖されてバルブV4が開放される。
例示的な第2の実施形態は、高真空ポンプ14の第2の中間ガス入口44を備える点で、例示的な第1の実施形態と異なる。該第2の中間ガス入口44は、独立して閉鎖可能なバルブV3が設けられているガス導通ライン46によって試験ガス入口18に接続されている。
図3に示す例示的な第3の実施形態は、分岐点36が多段真空ポンプ16のポンプ段16aとポンプ段16bとの間に位置している点で、図1に示す例示的な実施形態と異なる。一般的には、このような分岐点は、試験ガス入口18と高真空ポンプ14の出口24との間の予備排気接続部におけるどの所望の箇所に位置していてもよい。
本発明にかかる圧力測定により、質量分析計型リークディテクタを用いた質量分析による分圧分析によって試験ガス入口での圧力測定を、真空排気時の予備排気段階におけるまだ高い圧力の時点から行うことが可能となり、この目的のために追加の圧力センサは必要としない。
12 質量分析計
14 高真空ポンプ
16 予備排気ポンプ
18 試験ガス入口
22 高真空ポンプ入口
24 高真空ポンプ出口
26 予備排気ポンプ入口
34 中間入口
38 接続ライン
42 流体スロットル


前記予備排気ポンプを用いて試験ガス入口に連結された試験チャンバ又は試験ガス入口に連結された試験体が真空排気されるときには、ガスが前記試験ガス入口から前記予備排気入口ラインを通って吸い込まれる。この予備排気接続ラインからは部分流が接続ラインによって分岐されて、高真空ポンプの中間ガス入口に供給される。この部分流は、該中間ガス入口を通って質量分析計の測定体積空間に進入する。変形例として、部分流は、質量分析計に直接供給されてもよい。該質量分析計で、その時々で使用されている試験ガス(例えば、ヘリウム等)の分圧を測定することができる。試験ガスのこの分圧に基づいて、試験ガス入口に生じている全圧を検出できる。本明細書では、真空排気される試験体又は真空排気される試験チャンバは、所与の試験ガス濃度(ヘリウム濃度)を有する空気または他種のガスを含んでいるものとする。そこで、質量分析計が例えば空気/ヘリウム分率等に基づいて比例信号を供給することにより、該質量分析計によって試験ガス入口の入口フランジでの全圧を、ヘリウム分圧により測定することになる。
質量分析計12は、バルブV2が開放状態でバルブV1およびバルブV4が閉鎖状態とされながら真空排気される。質量分析計12及び予備排気領域の圧力が該質量分析計12の動作にとって十分な程度(質量分析計12では1×10−4mbar、予備排気領域では1mbar未満)にまで低下すると、バルブV2が閉鎖される。そして、試験ガス入口側のバルブV1が、試験体を真空排気するために開放される。試験ガス入口18での全圧が十分な数値である約15mbarを下回ると、バルブV2が開放されてリーク検知の質量分光分析が開始される。全圧がさらに2mbar未満の数値にまで低下すると、古典的なカウンターフロー式のリーク検知動作を実現する目的でバルブV1が閉鎖されてバルブV4が開放される。
12 質量分析計
14 高真空ポンプ
16 予備排気ポンプ
18 試験ガス入口
22 高真空ポンプ入口
24 高真空ポンプ出口
26 予備排気ポンプ入口
34 中間ガス入口
42 流体スロットル

Claims (9)

  1. 質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する装置であって、
    質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、前記高真空ポンプ(14)の出口(24)が予備排気ポンプ(16)の入口(26)に接続されており、前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)が前記試験ガス入口(18)に接続されている、装置において、
    前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)と前記高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間入口(34)とが、流体スロットル(42)を有する接続ライン(38)によって互いに接続されていることを特徴とする、装置。
  2. 請求項1に記載の装置において、前記スロットル(42)のガス通過量が、該スロットル(42)に生じる圧力差が約1000mbarのときに10−5mbar・l/s〜10−3mbar・l/sの範囲内であることを特徴とする、装置。
  3. 請求項1または2に記載の装置において、前記スロットル(42)から前記接続ライン(38)の前記真空ポンプ側始点までの距離が、前記スロットル(42)から前記接続ライン(38)の前記高真空ポンプ側の終点までの距離よりも短いことを特徴とする、装置。
  4. 請求項1から3のいずれか一項に記載の装置において、前記スロットル(42)が、オリフィスまたはキャピラリーとして設計されていることを特徴とする、装置。
  5. 請求項1から4のいずれか一項に記載の装置において、前記予備排気ポンプ側の入口が、前記接続ライン(38)内にロックされていることを特徴とする、装置。
  6. 質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する方法であって、質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、前記高真空ポンプ(14)の出口(24)が予備排気ポンプ(16)の入口(26)に接続されており、前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)が前記試験ガス入口(18)に接続されている、方法において、
    前記試験ガス入口(18)から前記予備排気ポンプ(16)へのガス流から、部分流が分岐され、絞られて前記高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間ガス入口(34)に供給されて、前記分岐した部分流における試験ガスの分圧を前記質量分析計(12)によって測定することにより、前記試験ガス入口(18)での圧力が測定されることを特徴とする、方法。
  7. 請求項6に記載の方法において、前記部分流は、圧力差が約1000mbarのときに最大で10−5〜10−3mbar・l/sの範囲内にまで絞られることを特徴とする、方法。
  8. 請求項6または7に記載の方法において、前記部分流の絞りの箇所を、前記高真空ポンプ(14)の前記中間ガス入口(34)よりも前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)の近くに位置させることを特徴とする、方法。
  9. 請求項6から8のいずれか一項に記載の方法において、前記分岐した部分流が、遮断されていることを特徴とする、方法。
JP2018524276A 2015-11-11 2016-11-10 試験ガス入口における圧力測定 Active JP6883036B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015222213.6 2015-11-11
DE102015222213.6A DE102015222213A1 (de) 2015-11-11 2015-11-11 Druckmessung am Prüfgaseinlass
PCT/EP2016/077242 WO2017081136A1 (de) 2015-11-11 2016-11-10 Druckmessung am prüfgaseinlass

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018533736A true JP2018533736A (ja) 2018-11-15
JP2018533736A5 JP2018533736A5 (ja) 2019-12-12
JP6883036B2 JP6883036B2 (ja) 2021-06-02

Family

ID=57288406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018524276A Active JP6883036B2 (ja) 2015-11-11 2016-11-10 試験ガス入口における圧力測定

Country Status (8)

Country Link
US (2) US20180328809A1 (ja)
EP (1) EP3374746B1 (ja)
JP (1) JP6883036B2 (ja)
KR (1) KR20180088833A (ja)
CN (1) CN108369151B (ja)
DE (1) DE102015222213A1 (ja)
TW (1) TWI718204B (ja)
WO (1) WO2017081136A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110007013A (zh) * 2019-02-01 2019-07-12 中国石油天然气集团公司 一种输气管道气体组分实时分析系统及实时分析方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3775213D1 (de) 1987-03-27 1992-01-23 Leybold Ag Lecksuchgeraet und betriebsverfahren dazu.
DE4140366A1 (de) 1991-12-07 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen
DE4228313A1 (de) * 1992-08-26 1994-03-03 Leybold Ag Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe
DE4326264A1 (de) * 1993-08-05 1995-02-09 Leybold Ag Testgasdetektor mit Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art
DE19504278A1 (de) * 1995-02-09 1996-08-14 Leybold Ag Testgas-Lecksuchgerät
FR2761776B1 (fr) * 1997-04-03 1999-07-23 Alsthom Cge Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur
DE19735250A1 (de) * 1997-08-14 1999-02-18 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher
DE10324596A1 (de) * 2003-05-30 2004-12-16 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
WO2004111599A1 (en) * 2003-06-11 2004-12-23 Varian, Inc. Method and apparatus for large leak testing
JP4374241B2 (ja) * 2003-12-05 2009-12-02 アディクセン スカンディナビア エービー 対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法
DE102006034735A1 (de) * 2006-07-27 2008-01-31 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
US7500381B2 (en) * 2006-08-31 2009-03-10 Varian, Inc. Systems and methods for trace gas leak detection of large leaks at relatively high test pressures
US8661875B2 (en) * 2012-05-07 2014-03-04 Caterpillar Inc. System and method to detect accumulator loss of precharge
CN103207050B (zh) * 2013-04-15 2015-06-03 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 一种可延长密封器件候检时间的质谱检漏预充氦法
DE102013218506A1 (de) * 2013-09-16 2015-03-19 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
US20200264066A1 (en) 2020-08-20
EP3374746A1 (de) 2018-09-19
JP6883036B2 (ja) 2021-06-02
CN108369151A (zh) 2018-08-03
TWI718204B (zh) 2021-02-11
CN108369151B (zh) 2021-06-04
US20180328809A1 (en) 2018-11-15
KR20180088833A (ko) 2018-08-07
DE102015222213A1 (de) 2017-05-11
WO2017081136A1 (de) 2017-05-18
TW201721119A (zh) 2017-06-16
EP3374746B1 (de) 2020-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4431144B2 (ja) 密封品における大規模漏れの検出方法および装置
JP3483571B2 (ja) テストガス−漏れ検出器
EP0218458A2 (en) Method and apparatus for gross leak detection
RU2573121C2 (ru) Течеискатель
US7082813B2 (en) Test gas leakage detector
JP2635587B2 (ja) リーク検査装置のディテクタを較正する装置
US8752412B2 (en) Sniffing leak detector
JPH10510922A (ja) 向流形スニッファ漏れ検査器
KR20110055334A (ko) 리크 디텍터 및 누설 검출 방법
US6945092B2 (en) Method for operating a film leak indicator and a corresponding film leak indicator for carrying out said method
US20200264066A1 (en) Pressure Measurement at a Test Gas Inlet
US10088406B2 (en) Method and device for measuring permeation by mass spectrometry
FR2921488A1 (fr) Dispositif et procede pour la detection de fuites a haute pression pr gaz traceur dans une piece a tester.
JP3737132B2 (ja) 多数の類似の被検体の漏洩を検査する方法
JP6791944B2 (ja) 密封製品の耐漏洩性を制御する方法及び漏洩検出装置
JP4130968B2 (ja) 漏洩検知装置
CN107949781B (zh) 氦气泄漏探测器
RU2239807C2 (ru) Способ испытания на герметичность и вакуумная система течеискателя, реализующая его
JP2010159974A (ja) ヘリウムリークデテクタ
JPH0741441U (ja) リークデテクタ
JP3467656B2 (ja) スニッファー用ヘリウムリークディテクタ
JPH11241971A (ja) リークテスト装置
TW201625911A (zh) 逆流滲漏偵測裝置及方法
Bley Leak Detection Methods
JP2006250785A (ja) リークディテクタ及び漏れ試験方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180822

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180827

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191101

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191101

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200929

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200930

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201224

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210413

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210507

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6883036

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150