JP2018533736A5

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Publication number: JP2018533736A5
Application number: JP2018524276A
Authority: JP
Filing date: 2016-11-10
Publication date: 2019-12-12
Anticipated expiration: 2036-11-10

Description

本発明にかかる圧力測定により、質量分析計型リークディテクタを用いた質量分析による分圧分析によって試験ガス入口での圧力測定を、真空排気時の予備排気段階におけるまだ高い圧力の時点から行うことが可能となり、この目的のために追加の圧力センサは必要としない。
なお本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口（１８）での圧力を測定する装置であって、
質量分析計（１２）が高真空ポンプ（１４）の入口（２２）に接続されており、前記高真空ポンプ（１４）の出口（２４）が予備排気ポンプ（１６）の入口（２６）に接続されており、前記予備排気ポンプ（１６）の前記入口（２６）が前記試験ガス入口（１８）に接続されている、装置において、
前記予備排気ポンプ（１６）の前記入口（２６）と前記高真空ポンプ（１４）の少なくとも１つの中間ガス入口（３４）とが、流体スロットル（４２）を有する接続ライン（３８）によって互いに接続されていることを特徴とする、装置。
〔態様２〕
態様１に記載の装置において、前記スロットル（４２）のガス通過量が、該スロットル（４２）に生じる圧力差が約１０００ｍｂａｒのときに１０ ^−５ｍｂａｒ・ｌ／ｓ〜１０ ^−３ｍｂａｒ・ｌ／ｓの範囲内であることを特徴とする、装置。
〔態様３〕
態様１または２に記載の装置において、前記スロットル（４２）から前記接続ライン（３８）の前記真空ポンプ側始点までの距離が、前記スロットル（４２）から前記接続ライン（３８）の前記高真空ポンプ側の終点までの距離よりも短いことを特徴とする、装置。
〔態様４〕
態様１から３のいずれか一態様に記載の装置において、前記スロットル（４２）が、オリフィスまたはキャピラリーとして設計されていることを特徴とする、装置。
〔態様５〕
態様１から４のいずれか一態様に記載の装置において、前記予備排気ポンプ側の入口が、前記接続ライン（３８）内にロックされていることを特徴とする、装置。
〔態様６〕
質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口（１８）での圧力を測定する方法であって、質量分析計（１２）が高真空ポンプ（１４）の入口（２２）に接続されており、前記高真空ポンプ（１４）の出口（２４）が予備排気ポンプ（１６）の入口（２６）に接続されており、前記予備排気ポンプ（１６）の前記入口（２６）が前記試験ガス入口（１８）に接続されている、方法において、
前記試験ガス入口（１８）から前記予備排気ポンプ（１６）へのガス流から、部分流が分岐され、絞られて前記高真空ポンプ（１４）の少なくとも１つの中間ガス入口（３４）に供給されて、前記分岐した部分流における試験ガスの分圧を前記質量分析計（１２）によって測定することにより、前記試験ガス入口（１８）での圧力が測定されることを特徴とする、方法。
〔態様７〕
態様６に記載の方法において、前記部分流は、圧力差が約１０００ｍｂａｒのときに最大で１０ ^−５〜１０ ^−３ｍｂａｒ・ｌ／ｓの範囲内にまで絞られることを特徴とする、方法。
〔態様８〕
態様６または７に記載の方法において、前記部分流の絞りの箇所を、前記高真空ポンプ（１４）の前記中間ガス入口（３４）よりも前記予備排気ポンプ（１６）の前記入口（２６）の近くに位置させることを特徴とする、方法。
〔態様９〕
態様６から８のいずれか一態様に記載の方法において、前記分岐した部分流が、遮断されていることを特徴とする、方法。