JPH0746074B2 - 真空計 - Google Patents
真空計Info
- Publication number
- JPH0746074B2 JPH0746074B2 JP59250288A JP25028884A JPH0746074B2 JP H0746074 B2 JPH0746074 B2 JP H0746074B2 JP 59250288 A JP59250288 A JP 59250288A JP 25028884 A JP25028884 A JP 25028884A JP H0746074 B2 JPH0746074 B2 JP H0746074B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- total pressure
- gauge
- partial pressure
- value
- sensitivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、各種真空装置において、その真空圧力（全
圧）および／または成分ガスの分圧を測定する真空計に
関する。
圧）および／または成分ガスの分圧を測定する真空計に
関する。
（従来技術とその問題点） 従来、真空装置の真空圧力（全圧）と成分ガスの分圧の
測定は、全圧計と分圧計で個別に行なわれていた。
測定は、全圧計と分圧計で個別に行なわれていた。
測定に用いられる全圧計としては例えば、ベヤード・ア
ルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）、ペニングゲー
ジがあり、分圧計としては例えば、セクター分析計、四
重極型質量分析計のような質量分析計がある。
ルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）、ペニングゲー
ジがあり、分圧計としては例えば、セクター分析計、四
重極型質量分析計のような質量分析計がある。
周知のように、これら全圧計には構造が単純で安定した
測定が可能であるという長所のある一方で、被測定ガス
の種類によって測定感度が異なるため、測定で表示され
る圧力値の信頼性が乏しく、測定の都度組成を考慮して
測定値を修正しないと、真の全圧を求めることができな
いという欠点がある。
測定が可能であるという長所のある一方で、被測定ガス
の種類によって測定感度が異なるため、測定で表示され
る圧力値の信頼性が乏しく、測定の都度組成を考慮して
測定値を修正しないと、真の全圧を求めることができな
いという欠点がある。
一方、上記のような分圧計の方は、その構造が複雑であ
って、個々のガスに対する測定感度が変動し易いという
欠点をもつ反面、成分ガスのイオン電流比に関しては、
抜群の安定性を示すという長所をもっている。
って、個々のガスに対する測定感度が変動し易いという
欠点をもつ反面、成分ガスのイオン電流比に関しては、
抜群の安定性を示すという長所をもっている。
従来は、この全圧計と分圧計とにより、前者で全圧を測
定し、後者では成分ガスの分圧を測定して、それぞれの
値を採用していたが、測定値には、上記した欠点による
誤差がそのまゝ取込まれていて、全圧、分圧ともに測定
値が信頼性に欠けるという問題を抱えていた。（なお、
市販されている分圧計の中には、全圧計を内蔵するもの
があるが、そのときも、装置は、上記した互に別種の機
能の装置を単に併設しただけのものとなっている。） （発明の目的） 本発明は、真空の全圧および／又は成分ガスの分圧を、
安定にかつ正確に測定できる真空計の提供を目的とす
る。
定し、後者では成分ガスの分圧を測定して、それぞれの
値を採用していたが、測定値には、上記した欠点による
誤差がそのまゝ取込まれていて、全圧、分圧ともに測定
値が信頼性に欠けるという問題を抱えていた。（なお、
市販されている分圧計の中には、全圧計を内蔵するもの
があるが、そのときも、装置は、上記した互に別種の機
能の装置を単に併設しただけのものとなっている。） （発明の目的） 本発明は、真空の全圧および／又は成分ガスの分圧を、
安定にかつ正確に測定できる真空計の提供を目的とす
る。
（発明の構成） 本発明は、分圧計と全圧計と演算処理装置とを含んで構
成され、 前記演算処理装置は内部に記憶装置と中央処理装置とを
有するものであり、 前記分圧計はM/Z数により決定される各成分ガスに対す
るイオン電流値をデイジタル化し演算処理装置に出力す
る分圧変換器を有するものであり、 前記全圧計は自己が測定した窒素感度での全圧値をデイ
ジタル化し演算処理装置に出力する全圧変換器を有する
ものであり、 前記記憶装置には、 各M/Z数の各成分ガスに対する分圧計の比感度と、 各M/Z数の各成分ガスに対するクラッキングパターンの
行列の各要素と、 前記比感度と前記クラッキングパターンと前記分圧計か
ら送られたイオン電流値とに基づいて各成分ガスの未知
の分圧電流を求めるプログラムと、 前記分圧電流にに基づいて各成分ガスの濃度を求めるプ
ログラムと、 前記濃度と全圧計に対する各成分ガスの窒素ガスに対す
る比感度とに基づいて全圧形の未知である測定分圧状態
での比感度を求めるプログラムと、 前記全圧形の比感度と全圧計から送られた窒素感度での
全圧値とに基づいて全圧形の真の全圧値を求めるプログ
ラムと、 が記憶されており、 前記中央処理装置では、前記記憶装置から呼び出した記
憶内容と分圧計から送られたイオン電流値と全圧計から
送られた窒素感度での全圧値とに基づいて、 分圧計の各成分ガスに対する濃度を求め、前記濃度によ
り全圧計の窒素感度での全圧値を補正して真の全圧値を
求め、前記真の全圧値と濃度とにより真の分圧値を算出
し、該結果を出力することを特徴とした真空計によって
前記目的を達成したものである。
成され、 前記演算処理装置は内部に記憶装置と中央処理装置とを
有するものであり、 前記分圧計はM/Z数により決定される各成分ガスに対す
るイオン電流値をデイジタル化し演算処理装置に出力す
る分圧変換器を有するものであり、 前記全圧計は自己が測定した窒素感度での全圧値をデイ
ジタル化し演算処理装置に出力する全圧変換器を有する
ものであり、 前記記憶装置には、 各M/Z数の各成分ガスに対する分圧計の比感度と、 各M/Z数の各成分ガスに対するクラッキングパターンの
行列の各要素と、 前記比感度と前記クラッキングパターンと前記分圧計か
ら送られたイオン電流値とに基づいて各成分ガスの未知
の分圧電流を求めるプログラムと、 前記分圧電流にに基づいて各成分ガスの濃度を求めるプ
ログラムと、 前記濃度と全圧計に対する各成分ガスの窒素ガスに対す
る比感度とに基づいて全圧形の未知である測定分圧状態
での比感度を求めるプログラムと、 前記全圧形の比感度と全圧計から送られた窒素感度での
全圧値とに基づいて全圧形の真の全圧値を求めるプログ
ラムと、 が記憶されており、 前記中央処理装置では、前記記憶装置から呼び出した記
憶内容と分圧計から送られたイオン電流値と全圧計から
送られた窒素感度での全圧値とに基づいて、 分圧計の各成分ガスに対する濃度を求め、前記濃度によ
り全圧計の窒素感度での全圧値を補正して真の全圧値を
求め、前記真の全圧値と濃度とにより真の分圧値を算出
し、該結果を出力することを特徴とした真空計によって
前記目的を達成したものである。
（実施例） 以下実施例に基いて本発明を説明するが、その前に本発
明の理論的根拠について述べる。
明の理論的根拠について述べる。
M/Z数（M/Zとは、質量／電離度の比で一般的には、「質
量電荷比」という）が1,2…,i,…m,nの成分ガスが真空
中に混在する場合、それぞれのイオン電流値H1，H2，…
…，H1，…Hm，Hnと、その各成分ガスに対する分圧計の
比感度（既知であってこれはN2ガスに対する相対感度で
表示されている。）S1，S2，……Sm，Snと、上記の各成
分ガスの未知の分圧電流（分圧にN2感度を乗じた量）
R1，R2，……Rm，Rnとの間には次の多元一次方程式が成
立する。
量電荷比」という）が1,2…,i,…m,nの成分ガスが真空
中に混在する場合、それぞれのイオン電流値H1，H2，…
…，H1，…Hm，Hnと、その各成分ガスに対する分圧計の
比感度（既知であってこれはN2ガスに対する相対感度で
表示されている。）S1，S2，……Sm，Snと、上記の各成
分ガスの未知の分圧電流（分圧にN2感度を乗じた量）
R1，R2，……Rm，Rnとの間には次の多元一次方程式が成
立する。
ただし、（１）式の右辺の係数a11，a12，…，a1j，…
を要素とする行列はクラッキング・パターンとして知ら
れているもので、各要素a1jの値はこれも既知である。
を要素とする行列はクラッキング・パターンとして知ら
れているもので、各要素a1jの値はこれも既知である。
イオン電流値H1，H2，……，Hnを分圧計を測定して、そ
の測定値を（１）式に代入するときは、多元一次方程式
をR1，R2，……，R1，…，Rnについて解くことができ
る。
の測定値を（１）式に代入するときは、多元一次方程式
をR1，R2，……，R1，…，Rnについて解くことができ
る。
R1が算出されるときは、各成分ガスの濃度C1は次式で求
められる。
められる。
C1＝R1／（R1＋R2＋……Rn）＝R1／ΣR1 −（２） （１）式から求めるRiは、上述したように、分圧に比例
した量ではあっても分圧の絶対値を示すものではない。
しかし、（２）式で求められる濃度C1は、分母・分子の
比例常数が約されたため絶対値に近い値（測定系の性質
に由来する係数誤差が除かれた値）であることに注意す
る必要がある。
した量ではあっても分圧の絶対値を示すものではない。
しかし、（２）式で求められる濃度C1は、分母・分子の
比例常数が約されたため絶対値に近い値（測定系の性質
に由来する係数誤差が除かれた値）であることに注意す
る必要がある。
また先述のように、分圧計では、H1，H2，……Hnの相対
値は充分に安定しており、この点からも（２）式の濃度
C1は充分に信頼のおける値となっている。
値は充分に安定しており、この点からも（２）式の濃度
C1は充分に信頼のおける値となっている。
さて、成分ガスの濃度C1が上記のように正確に求められ
るときは、全圧計の未知である測定分圧状態での比感度
（N2ガスに対する比感度）Ａは Ａ＝C1A1＋C2A2＋……CnAn＝ΣC1A1 （ｉ＝1,2……,m,n） −（３） で正確に求められる。ただしA1は全圧計に対する各成分
ガスの窒素ガスに対する比感度（N2ガスに対する比感
度）であって既知である。これによって全圧計の指示す
る窒素感度での全圧値PDは補正可能となり全圧計の真の
全圧値 PT＝PD/A −（４） を求めることができる。
るときは、全圧計の未知である測定分圧状態での比感度
（N2ガスに対する比感度）Ａは Ａ＝C1A1＋C2A2＋……CnAn＝ΣC1A1 （ｉ＝1,2……,m,n） −（３） で正確に求められる。ただしA1は全圧計に対する各成分
ガスの窒素ガスに対する比感度（N2ガスに対する比感
度）であって既知である。これによって全圧計の指示す
る窒素感度での全圧値PDは補正可能となり全圧計の真の
全圧値 PT＝PD/A −（４） を求めることができる。
全圧計の真の全圧値PTが求まったあとは、各成分ガスの
真の分圧値を求めるのは容易である。各分圧値をP1，
P2，……Pm,Pnとするとき P1＝C1・PT −（５） である。
真の分圧値を求めるのは容易である。各分圧値をP1，
P2，……Pm,Pnとするとき P1＝C1・PT −（５） である。
上述の理由で、分圧計の測定値と全圧計の測定値とに対
し、計算処理を施すときは、両者の長所を生かし、欠点
を補い合って正確な全圧、分圧を容易に導出することが
できる。
し、計算処理を施すときは、両者の長所を生かし、欠点
を補い合って正確な全圧、分圧を容易に導出することが
できる。
すなわち、質量分析計の感度変動を全圧計により補正
し、また、全圧計のガス組成による誤差を質量分析計で
補正することにより両者の欠点を補い、かつ長所を生か
し、正確な全圧値および分圧値を容易に求めることがで
きる。
し、また、全圧計のガス組成による誤差を質量分析計で
補正することにより両者の欠点を補い、かつ長所を生か
し、正確な全圧値および分圧値を容易に求めることがで
きる。
次に、図に基いて本発明の実施例を説明する。
第１図は被測定真空容器１に本発明の真空計２を接続し
た状態を示している。
た状態を示している。
この真空計２は、四重極型質量分析計3,バヤード・アル
パートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）4,演算処理装置５
およびプリンター６で構成されている。
パートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）4,演算処理装置５
およびプリンター６で構成されている。
四重極型質量分析計３は、自己の測定した、M/Z数によ
り決定される各成分ガスに対するイオン電流値H1，H2，
……を電気的なアナログ量からデイジタル量に変換する
（以下、本明細書中においては「デイジタル化する」と
いう。）変換器30をそなえ、それによってデイジタル化
されたディジタル信号が演算処理装置５に向って出力さ
れる。
り決定される各成分ガスに対するイオン電流値H1，H2，
……を電気的なアナログ量からデイジタル量に変換する
（以下、本明細書中においては「デイジタル化する」と
いう。）変換器30をそなえ、それによってデイジタル化
されたディジタル信号が演算処理装置５に向って出力さ
れる。
バヤード・アルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）４
もまた自己の測定した窒素感度での全圧値PDをデイジタ
ル化する変換器40をそなえ、ここでデイジタル化された
PDのデイジタル信号もまた演算処理装置５に向って出力
される。
もまた自己の測定した窒素感度での全圧値PDをデイジタ
ル化する変換器40をそなえ、ここでデイジタル化された
PDのデイジタル信号もまた演算処理装置５に向って出力
される。
演算処理装置５は、記憶装置50と中央処理装置51をそな
え、記憶装置50には各M/Z数のガスに対する四重極型質
量分析計３の比感度S1，S2，……とクラッキング・パタ
ーンの行列の各要素aij及び前記した各式（１），
（２），（３），（４）を遂行するためのプログラムを
記憶している。そして中央処理装置51はこれらの記憶内
容を呼出して、四重極型質量分析計３から送られる前記
H1，H2，……のディジタル化信号とバヤード・アルパー
トゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）４から送られる前記PD
のディジタル信号とを素材として、式（１），（２），
（３），（４）の計算処理を行ない、その結果がH1，C1
及びPDとともにプリンター６に記憶されるものである。
え、記憶装置50には各M/Z数のガスに対する四重極型質
量分析計３の比感度S1，S2，……とクラッキング・パタ
ーンの行列の各要素aij及び前記した各式（１），
（２），（３），（４）を遂行するためのプログラムを
記憶している。そして中央処理装置51はこれらの記憶内
容を呼出して、四重極型質量分析計３から送られる前記
H1，H2，……のディジタル化信号とバヤード・アルパー
トゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）４から送られる前記PD
のディジタル信号とを素材として、式（１），（２），
（３），（４）の計算処理を行ない、その結果がH1，C1
及びPDとともにプリンター６に記憶されるものである。
測定の１例をあげると、 第１図の真空計２を用いて、He,CO,N2ガスを残留する真
空容器１内のガスの全圧値及び各分圧値を測定したと
き、それらの値は各入力値，計算の中間値とともに次の
如くプリンター６に印刷された。
空容器１内のガスの全圧値及び各分圧値を測定したと
き、それらの値は各入力値，計算の中間値とともに次の
如くプリンター６に印刷された。
四重極型質量分析計の出力からイオン電流値H1，H2，H3
は、 H1（Heガス,M/Z＝4/1＝４）＝１×10-8ＡH2（N2ガス,M/
Z＝（14×２）/2＝14）＝５×10-9Ａ H3（N2＋COガス,M/Z＝28:28/1（N2の場合），（12＋1
6）/1（COの場合））＝１×10-7Ａ なお上記の測定では、（１）式は次のようになる。
は、 H1（Heガス,M/Z＝4/1＝４）＝１×10-8ＡH2（N2ガス,M/
Z＝（14×２）/2＝14）＝５×10-9Ａ H3（N2＋COガス,M/Z＝28:28/1（N2の場合），（12＋1
6）/1（COの場合））＝１×10-7Ａ なお上記の測定では、（１）式は次のようになる。
なお、以下に示されるクラッキングパターン係数、並び
に相対感度値は、本願出願前の刊行物『真空技術マニ
ュアル，ジョンF.オハンロン著，産業図書株式会社発
行』『真空技術実務読本，中山勝矢著、オーム社発
行』の記載を参考にした。
に相対感度値は、本願出願前の刊行物『真空技術マニ
ュアル，ジョンF.オハンロン著，産業図書株式会社発
行』『真空技術実務読本，中山勝矢著、オーム社発
行』の記載を参考にした。
Heガスは主ピークのみがみられるので、クラッキングパ
ターンは1.0で、N2ガスに対するHeガスの相対感度は0.2
なので、 H1＝１×10-8＝1.0×0.2×R1 また、N2ガスは、１価の随伴ピークをみているので、ク
ラッキングパターンは0.07で、N2ガスに対するN2の相対
感度は1.0なので H2＝５×10-9＝0.07×1.0×R3 さらに、N2＋COガスは主ピークをみているので、クラッ
キングパターンは1.0で、N2ガスに対するCOガスの相対
感度は1.1なので H3＝１×10-7＝1.0×1.1×R2（COガスの分）＋1.0×1.0
×R3（N2ガスの分） 上記H1，H2，H3より R1＝（１×10-8）／（1.0×0.2）＝５×１10-8 R3＝（５×10-9）／（0.07×1.0）＝7.14×14×10-8 R2＝（１×10-7−1.0×1.00×7.14×10-8）／（1.0×1.
1）＝2.6×10-8 （２）式よりC1，C2，C3は C1＝R1／（R1＋R2＋R3）＝0.339 C2＝R2／（R1＋R2＋R3）＝0.176 C3＝R3／（R1＋R2＋R3）＝0.484 バヤード・アルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）の
測定する皮相的な圧力、 但し全圧計の指示する窒素感度での全圧値PDは PD＝１×10-7Torr 上記C1，C2，C3及び全圧計に対する各成分ガスの窒素ガ
スに対する比感度A1，A2，A3を（３）式に代入すること
により全圧計の未知である測定分圧状態での比感度Ａが
求められ、さらにこの全圧計の比感度Ａと上記全圧計が
指示する窒素感度での全圧値PDを（４）式に代入するこ
とにより、全圧計の真の全圧値は PT＝1.34×10-7Torr となる。
ターンは1.0で、N2ガスに対するHeガスの相対感度は0.2
なので、 H1＝１×10-8＝1.0×0.2×R1 また、N2ガスは、１価の随伴ピークをみているので、ク
ラッキングパターンは0.07で、N2ガスに対するN2の相対
感度は1.0なので H2＝５×10-9＝0.07×1.0×R3 さらに、N2＋COガスは主ピークをみているので、クラッ
キングパターンは1.0で、N2ガスに対するCOガスの相対
感度は1.1なので H3＝１×10-7＝1.0×1.1×R2（COガスの分）＋1.0×1.0
×R3（N2ガスの分） 上記H1，H2，H3より R1＝（１×10-8）／（1.0×0.2）＝５×１10-8 R3＝（５×10-9）／（0.07×1.0）＝7.14×14×10-8 R2＝（１×10-7−1.0×1.00×7.14×10-8）／（1.0×1.
1）＝2.6×10-8 （２）式よりC1，C2，C3は C1＝R1／（R1＋R2＋R3）＝0.339 C2＝R2／（R1＋R2＋R3）＝0.176 C3＝R3／（R1＋R2＋R3）＝0.484 バヤード・アルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）の
測定する皮相的な圧力、 但し全圧計の指示する窒素感度での全圧値PDは PD＝１×10-7Torr 上記C1，C2，C3及び全圧計に対する各成分ガスの窒素ガ
スに対する比感度A1，A2，A3を（３）式に代入すること
により全圧計の未知である測定分圧状態での比感度Ａが
求められ、さらにこの全圧計の比感度Ａと上記全圧計が
指示する窒素感度での全圧値PDを（４）式に代入するこ
とにより、全圧計の真の全圧値は PT＝1.34×10-7Torr となる。
各成分ガスの真の分圧値P1，P2，P3は、（５）式にC1，
C2，C3並びにPTを代入して P1（He）＝0.339×1.34×10-7＝4.54×10-8Torr P2（N2）＝0.176×1.34×10-7＝2.36×10-8Torr P3（N2＋CO）＝0.45×1.34×10-7＝6.03×10-8Torr 上記の測定結果の印刷は四重極型質量分析計やバヤード
・アルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）の測定の完
了と殆ど同時に行なわれる。これは成分ガスの種類が多
い場合（例えば10種類以上でも同じで極めて効果的であ
る。
C2，C3並びにPTを代入して P1（He）＝0.339×1.34×10-7＝4.54×10-8Torr P2（N2）＝0.176×1.34×10-7＝2.36×10-8Torr P3（N2＋CO）＝0.45×1.34×10-7＝6.03×10-8Torr 上記の測定結果の印刷は四重極型質量分析計やバヤード
・アルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空計）の測定の完
了と殆ど同時に行なわれる。これは成分ガスの種類が多
い場合（例えば10種類以上でも同じで極めて効果的であ
る。
本発明を構成要素の分圧計，全圧計，計算装置はこの実
施例の各装置以外にも様々のものが選定、組合せできる
ことは明らかであり、計算結果もプリンターに印刷する
以外にブラウン管に表示しまたは表示することをしない
で記憶装置に記憶させておいて、次の処理にそなえるな
どが可能である。
施例の各装置以外にも様々のものが選定、組合せできる
ことは明らかであり、計算結果もプリンターに印刷する
以外にブラウン管に表示しまたは表示することをしない
で記憶装置に記憶させておいて、次の処理にそなえるな
どが可能である。
（発明の効果） 本発明は、真空の全圧および／又は成分ガスの分圧を安
定かつ正確に測定する効果がある。
定かつ正確に測定する効果がある。
すなわち、質量分析計の感度変動を全圧計により補正
し、また、全圧計のガス組成による誤差を質量分析計で
補正することにより両者の欠点を補い、かつ長所を生か
し、正確な全圧値および分圧値を容易に求めることがで
きる。
し、また、全圧計のガス組成による誤差を質量分析計で
補正することにより両者の欠点を補い、かつ長所を生か
し、正確な全圧値および分圧値を容易に求めることがで
きる。
第１図は、本発明の実施例の真空計を被測定真空容器に
接続したものゝ概略図である。 １……被測定真空容器 ２……真空計 ３……四重極型質量分析計 ４……バヤード・アルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空
計） ５……演算処理装置 ６……プリンター
接続したものゝ概略図である。 １……被測定真空容器 ２……真空計 ３……四重極型質量分析計 ４……バヤード・アルパートゲージ（Ｂ−Ａ型電離真空
計） ５……演算処理装置 ６……プリンター
Claims (1)
- 【請求項１】分圧計と全圧計と演算処理装置とを含んで
構成され、 前記演算処理装置は内部に記憶装置と中央処理装置とを
有するものであり、 前記分圧計はM/Z数により決定される各成分ガスに対す
るイオン電流値をデイジタル化し演算処理装置に出力す
る分圧変換器を有するものであり、 前記全圧計は自己が測定した窒素感度での全圧値をデイ
ジタル化し演算処理装置に出力する全圧変換器を有する
ものであり、 前記記憶装置には、 各M/Z数の各成分ガスに対する分圧計の比感度と、 各M/Z数の各成分ガスに対するクラッキングパターンの
行列の各要素と、 前記比感度と前記クラッキングパターンと前記分圧計か
ら送られたイオン電流値とに基づいて各成分ガスの未知
の分圧電流を求めるプログラムと、 前記分圧電流にに基づいて各成分ガスの濃度を求めるプ
ログラムと、 前記濃度と全圧計に対する各成分ガスの窒素ガスに対す
る比感度とに基づいて全圧形の未知である測定分圧状態
での比感度を求めるプログラムと、 前記全圧形の比感度と全圧計から送られた窒素感度での
全圧値とに基づいて全圧形の真の全圧値を求めるプログ
ラムと、 が記憶されており、 前記中央処理装置では、前記記憶装置から呼び出した記
憶内容と分圧計から送られたイオン電流値と全圧計から
送られた窒素感度での全圧値とに基づいて、 分圧計の各成分ガスに対する濃度を求め、前記濃度によ
り全圧形の窒素感度での全圧値を補正して真の全圧値を
求め、前記真の全圧値と濃度とにより真の分圧値を算出
し、該結果を出力することを特徴とした真空計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59250288A JPH0746074B2 (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 | 真空計 |
| US06/801,446 US4652752A (en) | 1984-11-27 | 1985-11-25 | Vacuum gauge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59250288A JPH0746074B2 (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 | 真空計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61128139A JPS61128139A (ja) | 1986-06-16 |
| JPH0746074B2 true JPH0746074B2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=17205673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59250288A Expired - Lifetime JPH0746074B2 (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 | 真空計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4652752A (ja) |
| JP (1) | JPH0746074B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218834A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 気体圧力計 |
| US4939926A (en) * | 1989-06-05 | 1990-07-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Apparatus and method for monitoring pressure leaks from a sealed system |
| EP0476062B1 (en) * | 1989-06-06 | 1996-08-28 | Viking Instruments Corp. | Miniaturized mass spectrometer system |
| US5313061A (en) * | 1989-06-06 | 1994-05-17 | Viking Instrument | Miniaturized mass spectrometer system |
| US5198772A (en) * | 1991-03-12 | 1993-03-30 | Mks Instruments, Inc. | Removable discharge initiating means for cold cathode discharge ionization gauge |
| US5157333A (en) * | 1991-03-12 | 1992-10-20 | Mks Instruments, Inc. | Discharge initiating means for cold cathode discharge ionization gauge |
| US5889281A (en) * | 1997-03-21 | 1999-03-30 | Leybold Inficon, Inc. | Method for linearization of ion currents in a quadrupole mass analyzer |
| US6627874B1 (en) | 2000-03-07 | 2003-09-30 | Agilent Technologies, Inc. | Pressure measurement using ion beam current in a mass spectrometer |
| JP2001351568A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Anelva Corp | イオン付着質量分析の方法および装置 |
| DE10050786A1 (de) * | 2000-10-13 | 2002-05-02 | Schwerionenforsch Gmbh | Verfahren zur Partialdruck-Kalibrierung und Kalibriereinrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US6492618B1 (en) | 2000-11-02 | 2002-12-10 | Tri Tool Inc. | Automatic weld head alignment and guidance system and method |
| DE10238961A1 (de) * | 2002-08-24 | 2004-03-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Totaldrucktransmitters |
| US7313966B2 (en) * | 2004-12-14 | 2008-01-01 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for storing vacuum gauge calibration parameters and measurement data on a vacuum gauge structure |
| JP5087079B2 (ja) * | 2007-04-13 | 2012-11-28 | 株式会社堀場エステック | ガス分析計 |
| CN102159929A (zh) | 2008-09-19 | 2011-08-17 | 布鲁克机械公司 | 具有发射电流及偏压电位控制的电离计 |
| DE102015222213A1 (de) * | 2015-11-11 | 2017-05-11 | Inficon Gmbh | Druckmessung am Prüfgaseinlass |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2144951A5 (ja) * | 1971-07-05 | 1973-02-16 | Commissariat Energie Atomique | |
| US3866041A (en) * | 1973-10-23 | 1975-02-11 | Allis Chalmers | Method and apparatus for evaluating the gas content of materials |
| US4314205A (en) * | 1979-11-19 | 1982-02-02 | Paitich Ronald M | Method and means for vacuum gauging |
| FR2485201A1 (fr) * | 1980-06-20 | 1981-12-24 | Rech Geolog Miniere | Procede de mesure de grande precision des concentrations de gaz et produits volatils en situ et en continu et appareil in situ en oeuvre |
| US4492110A (en) * | 1983-06-01 | 1985-01-08 | Martin Marietta Corporation | Ultra sensitive noble gas leak detector |
-
1984
- 1984-11-27 JP JP59250288A patent/JPH0746074B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-11-25 US US06/801,446 patent/US4652752A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4652752A (en) | 1987-03-24 |
| JPS61128139A (ja) | 1986-06-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0746074B2 (ja) | 真空計 | |
| US5398695A (en) | Cardiopulmonary performance analyzer having dynamic transit time compensation | |
| EP0360799B1 (en) | Measuring apparatus | |
| CN109358095B (zh) | 一种混合气体各组分气体浓度的定量测量方法和系统 | |
| AU616979B2 (en) | Asphalt content gauge with compensation for sample temperature deviations | |
| US4778998A (en) | Humidity compensation for a photoionization type detector | |
| IE46337B1 (en) | Error correction in electrical meters | |
| JP2002022839A (ja) | 放射線測定装置 | |
| Booth et al. | The cross section and angular distributions of the dd reactions between 40 and 90 keV | |
| McCullough et al. | Application of digital recording to simultaneous collection in mass spectrometry | |
| JP2732460B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 | |
| JP3252366B2 (ja) | 匂い測定装置 | |
| JPS63256814A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH06273364A (ja) | ガス測定装置の補正演算方法 | |
| Bayer et al. | Alternating Current Polarography: Evaluation of the Accuracy of the Data and Calculation Procedures | |
| JPH0532787Y2 (ja) | ||
| JP2689241B2 (ja) | ガス分析計の自動校正装置 | |
| JP2929761B2 (ja) | 油中ガス検出装置 | |
| Hogg | Assessment of 0.3-mL minivials for radiocarbon dating by liquid scintillation counting of benzene | |
| RU1789914C (ru) | Способ градуировани измерителей теплопроводности | |
| RU1775043C (ru) | Газоанализатор | |
| JP3032910B2 (ja) | 分析装置 | |
| Okubo et al. | Calibration of gas chromatograph without standardized gas mixtures | |
| CN116148376A (zh) | 标定氢同位素气体灵敏度的方法和应用 | |
| JPH0583864B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |