JP5087079B2 - ガス分析計 - Google Patents
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Description
池田亨、「特集論文 超小型残留ガス分析計PressureMaster RGAシリーズ」、HORIBA Technical Reports、株式会社堀場製作所、2004年3月、第28号、p.12−15
TP1・・・第1の全圧
TP2・・・第2の全圧
PP1・・・特定成分の分圧
2・・・・・センサユニット
21・・・・センサ部
211・・・イオン化部
212・・・第1イオン検出部
213・・・第2イオン検出部
214・・・四重極部
22・・・・交流発生器部
3・・・・・演算装置
本実施形態に係るガス分析計1は、例えば半導体製造プロセス中及び装置クリーニング後の真空チャンバ100内のガスモニタに用いられるものであり、図1に示すように、真空チャンバ100内のプロセスガス又は残留ガス等の試料ガスを検知するセンサ部21を有するセンサユニット2と、前記センサ部21を制御するとともに、前記センサ部21の出力に基づいて残留ガスの分析処理等を行う演算装置3と、を備えている。
第1全圧測定ステップは、イオン化部211により生成されたイオンを第1イオン検出部212により検出して、試料ガスの第1の全圧TP1を測定するステップである。つまり、演算装置3は、イオン化部211により生成された試料ガスの全てのイオンを第1イオン検出部212に導くために、第1引出電極215に電圧を印加するとともに、四重極部214及び第2引出電極216には電圧を印加しないように、図示しない電源を制御する。これにより、生成された全てのイオンが第1イオン検出部212により検出されることになる。そして、第1イオン検出部212からのイオン電流は、交流発生器部22によりデジタル電圧信号に変換されて、演算装置3に出力される。さらに、演算装置3は、デジタル電圧信号を受信して、第1の全圧TP1を算出するとともに、その第1の全圧データを図示しない格納部に格納する。
第2全圧測定ステップは、イオン化部211により生成されたイオンを第2イオン検出部213により検出して、試料ガスの第2の全圧TP2を測定するステップである。つまり、演算装置3は、イオン化部211により生成された試料ガスの全てのイオンを第2イオン検出部213に導くために、第2引出電極216に電圧を印加するとともに、第1引出電極215及び四重極部214には、電圧を印加しないように図示しない電源を制御する。これにより、生成された全てのイオンが第2イオン検出部213により検出されることになる。そして、第2イオン検出部213からのイオン電流は、交流発生器部22によりデジタル電圧信号に変換されて、演算装置3に出力される。また、演算装置3は、デジタル電圧信号を受信して、第2の全圧TP2を算出するとともに、その第2の全圧データを図示しない格納部に格納する。
分圧測定ステップは、生成されたイオンのうち、特定成分のイオン(選択イオン)のみを第1イオン検出部212により検出して、その特定成分の分圧PP1を測定するステップである。つまり、演算装置3は、イオン化部211により生成された試料ガスの全てのイオンを四重極部214に導くために、第1引出電極215に電圧を印加するとともに、四重極部214により全てのイオンの内、特定成分のイオンのみが四重極部214を通過するように、電源を制御する。これにより、特定成分のイオンのみが第1イオン検出部212により検出されることになる。そして、第1イオン検出部212からのイオン電流は、交流発生器部22によりデジタル電圧信号に変換されて、演算装置3に出力される。また、演算装置3は、デジタル電圧信号を受信して、特定成分の分圧PP1を算出するとともに、その特定成分の分圧データを図示しない格納部に格納する。
補正ステップは、前記分圧測定ステップにより算出された特性成分の分圧PP1、及び第1全圧測定ステップにより算出された試料ガスの全圧TP1を補正するステップである。具体的には、演算装置3は、前記第1全圧ステップにより得られた第1の全圧TP1と前記第2全圧ステップにより得られた第2の全圧TP2との比(TP2/TP1又はTP1/TP2)及びイオン化部211から第1イオン検出部212までの距離X1及びイオン化部211から第2イオン検出部213までの距離X2を用いて、以下の式により分圧PP1を補正する。なお、式中においてPP0は、補正後の分圧を示す。
このように構成した本実施形態に係るガス分析計1によれば、イオン化部211からの距離Xが異なる第1イオン検出部212及び第2イオン検出部213により得られた第1の全圧TP1及び第2の全圧TP2を用いて、特定成分の分圧PP1を補正するので、分解能を維持しつつ、例えば雰囲気圧力の上昇に対して、2つのイオン検出部212、213の測定値がピーク値を超えて減少するような圧力領域(約1Pa〜102Pa)においても、補正を行うことができる。つまり、従来において分圧を測定することができる限界値(分圧測定限界値)を可及的に高圧側にシフトすることができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
Claims (6)
- 試料ガスをイオン化するイオン化部と、
前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第1イオン検出部及び第2イオン検出部と、
前記イオン化部及び前記第1イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、
前記第1イオン検出部により得られる試料ガスの第1の全圧、前記第2イオン検出部により得られる試料ガスの第2の全圧、前記イオン化部から前記第1イオン検出部までの距離、及び前記イオン化部から前記第2イオン検出部までの距離を用いて、前記第1イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正する演算装置と、を具備するガス分析計。 - 前記演算装置が、前記第1の全圧と前記第2の全圧との比、前記イオン化部から前記第1イオン検出部までの距離、及び前記イオン化部から前記第2イオン検出部までの距離を用いて、前記分圧を補正するものである請求項1記載のガス分析計。
- 試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第1イオン検出部及び第2イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第1イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化されたイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、前記第1イオン検出部及び第2イオン検出部からの検出信号を受信して前記試料ガスを分析する演算装置と、を具備するガス分析計の補正方法であって、
前記第1イオン検出部により前記試料ガスの第1の全圧を測定する第1全圧測定ステップと、
前記第2イオン検出部により、前記試料ガスの第2の全圧を測定する第2全圧測定ステップと、
前記第1イオン検出部により、前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を測定する分圧測定ステップと、
前記第1の全圧、前記第2の全圧、前記イオン化部から前記第1イオン検出部までの距離、及び前記イオン化部から前記第2イオン検出部までの距離を用いて、前記分圧を補正する補正ステップと、を備えたガス分析計の補正方法。 - 前記補正ステップにおいて、前記第1の全圧と前記第2の全圧との比、前記イオン化部から前記第1イオン検出部までの距離、及び前記イオン化部から前記第2イオン検出部までの距離を用いて、前記分圧を補正することを特徴とする請求項3記載のガス分析計の補正方法。
- 試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第1イオン検出部及び第2イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第1イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、演算装置とを備えたガス分析計で実行されるガス分析計用補正プログラムであって、
前記第1イオン検出部により得られる試料ガスの第1の全圧、前記第2イオン検出部により得られる試料ガスの第2の全圧、前記イオン化部から前記第1イオン検出部までの距離、及び前記イオン化部から前記第2イオン検出部までの距離を用いて、前記第1イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正する機能を前記演算装置に備えさせることを特徴とするガス分析計用補正プログラム。 - 試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第1イオン検出部及び第2イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第1イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、を備えたガス分析計に用いられるガス分析計用演算装置であって、
前記第1イオン検出部により得られる試料ガスの第1の全圧、前記第2イオン検出部により得られる試料ガスの第2の全圧、前記イオン化部から前記第1イオン検出部までの距離、及び前記イオン化部から前記第2イオン検出部までの距離を用いて、前記第1イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正するガス分析計用演算装置。
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