JPH06273364A - ガス測定装置の補正演算方法 - Google Patents
ガス測定装置の補正演算方法Info
- Publication number
- JPH06273364A JPH06273364A JP6423093A JP6423093A JPH06273364A JP H06273364 A JPH06273364 A JP H06273364A JP 6423093 A JP6423093 A JP 6423093A JP 6423093 A JP6423093 A JP 6423093A JP H06273364 A JPH06273364 A JP H06273364A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sensors
- sensor
- correction calculation
- calibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 他の成分ガス温度等の干渉成分によるセンサ
指示誤差を補正演算することにより、検出ガス濃度測定
値の精度を向上させることできるガス測定装置の補正演
算方法を提供する。 【構成】 使用する各種センサの出力を補正演算して真
のセンサ出力を求めるためのガス測定装置の補正演算方
法において、使用するセンサＳ1 〜Ｓn の相互の干渉影
響を予めガス校正時にａ11〜ａnnとして数値化し、数値
化したａ11〜ａnnを使用した以下の補正演算式に基づ
き、測定したセンサ出力ｘ1 〜ｘn を補正演算して真の
センサ出力Ｘ1 〜Ｘn を求める。 【数１】
指示誤差を補正演算することにより、検出ガス濃度測定
値の精度を向上させることできるガス測定装置の補正演
算方法を提供する。 【構成】 使用する各種センサの出力を補正演算して真
のセンサ出力を求めるためのガス測定装置の補正演算方
法において、使用するセンサＳ1 〜Ｓn の相互の干渉影
響を予めガス校正時にａ11〜ａnnとして数値化し、数値
化したａ11〜ａnnを使用した以下の補正演算式に基づ
き、測定したセンサ出力ｘ1 〜ｘn を補正演算して真の
センサ出力Ｘ1 〜Ｘn を求める。 【数１】
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガス測定装置の補正演算
方法に関し、特にＣＯ、ＮＯx 、ＳＯ2 の各センサの正
確な濃度を求めることができるガス測定装置の補正演算
方法に関するものである。
方法に関し、特にＣＯ、ＮＯx 、ＳＯ2 の各センサの正
確な濃度を求めることができるガス測定装置の補正演算
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、煙道内の燃焼排ガス中のＣ
Ｏ、ＮＯx 、ＳＯ2 等の各成分濃度を測定する装置とし
てガス測定装置が知られている。このガス測定装置とし
て、赤外線分析法、化学発光法等の原理を利用した装置
や、半導体式ガスセンサ、接触燃焼式ガスセンサ、セラ
ミックセンサ等を利用した装置が一般的に使用されてい
る。
Ｏ、ＮＯx 、ＳＯ2 等の各成分濃度を測定する装置とし
てガス測定装置が知られている。このガス測定装置とし
て、赤外線分析法、化学発光法等の原理を利用した装置
や、半導体式ガスセンサ、接触燃焼式ガスセンサ、セラ
ミックセンサ等を利用した装置が一般的に使用されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これらの測定装置で利
用されているガスセンサでは、他の成分ガスの影響を受
ける問題があった。そのため、従来から利用されている
ガス測定装置では、測定ガスの選択性が充分でなく、精
度の高いガス濃度測定ができない問題があった。
用されているガスセンサでは、他の成分ガスの影響を受
ける問題があった。そのため、従来から利用されている
ガス測定装置では、測定ガスの選択性が充分でなく、精
度の高いガス濃度測定ができない問題があった。
【０００４】本発明の目的は上述した課題を解消して、
他の成分ガス等の干渉成分によるセンサ指示誤差を補正
演算することにより、検出ガス濃度測定値の精度を向上
させることできるガス測定装置の補正演算方法を提供し
ようとするものである。
他の成分ガス等の干渉成分によるセンサ指示誤差を補正
演算することにより、検出ガス濃度測定値の精度を向上
させることできるガス測定装置の補正演算方法を提供し
ようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のガス測定装置の
補正演算方法は、使用する各種センサの出力を補正演算
して真のセンサ出力を求めるためのガス測定装置の補正
演算方法において、使用するセンサＳ1 〜Ｓn の相互の
干渉影響を予めガス校正時にａ11〜ａnnとして数値化
し、数値化したａ11〜ａnnを使用した以下の補正演算式
に基づき、測定したセンサ出力ｘ1 〜ｘn を補正演算し
て真のセンサ出力Ｘ1 〜Ｘn を求めることを特徴とする
ものである。
補正演算方法は、使用する各種センサの出力を補正演算
して真のセンサ出力を求めるためのガス測定装置の補正
演算方法において、使用するセンサＳ1 〜Ｓn の相互の
干渉影響を予めガス校正時にａ11〜ａnnとして数値化
し、数値化したａ11〜ａnnを使用した以下の補正演算式
に基づき、測定したセンサ出力ｘ1 〜ｘn を補正演算し
て真のセンサ出力Ｘ1 〜Ｘn を求めることを特徴とする
ものである。
【数２】
【０００６】
【作用】上述した構成において、従来の例えばゼロガス
校正やスパンガス校正のようなセンサ毎のガス校正を行
うだけでなく、他のセンサの測定対象である他のガス成
分の影響をゼロガス校正およびスパンガス校正のような
ガス校正時に求め、これを当該センサの補正に使用して
いるため、従来に比べて測定値の補正をより正確かつ簡
単に行うことができる。
校正やスパンガス校正のようなセンサ毎のガス校正を行
うだけでなく、他のセンサの測定対象である他のガス成
分の影響をゼロガス校正およびスパンガス校正のような
ガス校正時に求め、これを当該センサの補正に使用して
いるため、従来に比べて測定値の補正をより正確かつ簡
単に行うことができる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明のガス測定装置の演算補正方法
の一例の工程を示すフローチャートである。図１に従っ
て説明すると、まず各センサＳ1 （〜Ｓn ）を各別にガ
ス校正して、各センサＳ1 （〜Ｓn ）毎の干渉影響値ａ
11−ａn1（〜ａ1n−ａnn）を求める。次に、すべてのセ
ンサＳ1 〜Ｓn の干渉影響値の行列を以下の数式（１）
のように求める。次に、各センサＳ1 〜Ｓn を使用して
測定する。最後に、各センサＳ1 〜Ｓn の測定値ｘ1 〜
ｘn を、求めた数式（１）に示す行列を使用して、以下
の数式（２）のように補正演算をすることにより、真の
測定値Ｘ1 〜Ｘn を得ている。
の一例の工程を示すフローチャートである。図１に従っ
て説明すると、まず各センサＳ1 （〜Ｓn ）を各別にガ
ス校正して、各センサＳ1 （〜Ｓn ）毎の干渉影響値ａ
11−ａn1（〜ａ1n−ａnn）を求める。次に、すべてのセ
ンサＳ1 〜Ｓn の干渉影響値の行列を以下の数式（１）
のように求める。次に、各センサＳ1 〜Ｓn を使用して
測定する。最後に、各センサＳ1 〜Ｓn の測定値ｘ1 〜
ｘn を、求めた数式（１）に示す行列を使用して、以下
の数式（２）のように補正演算をすることにより、真の
測定値Ｘ1 〜Ｘn を得ている。
【０００８】
【数３】
【０００９】
【数４】
【００１０】図２は本発明の補正演算方法を実施するガ
ス測定装置の主要部の一例の構成を示す図であり、図２
（ａ）は側面図を、図２（ｂ）はそのＡ−Ａ’線に沿っ
た断面図をそれぞれ示している。図２において、１はプ
ローブ管、１ａは窓部、２は保護管、３は支持部、４は
ＣＯガスセンサ、５はＮＯガスセンサ、６はＳＯ2 ガス
センサ、７は保護フィルタで、本例では図２に示したガ
ス測定装置の部分を煙道等の中に設置することにより、
ＣＯ、ＮＯ、ＳＯ2 の各別のガス濃度を測定している。
ス測定装置の主要部の一例の構成を示す図であり、図２
（ａ）は側面図を、図２（ｂ）はそのＡ−Ａ’線に沿っ
た断面図をそれぞれ示している。図２において、１はプ
ローブ管、１ａは窓部、２は保護管、３は支持部、４は
ＣＯガスセンサ、５はＮＯガスセンサ、６はＳＯ2 ガス
センサ、７は保護フィルタで、本例では図２に示したガ
ス測定装置の部分を煙道等の中に設置することにより、
ＣＯ、ＮＯ、ＳＯ2 の各別のガス濃度を測定している。
【００１１】図３は図２に示す補正演算装置における実
際の干渉影響の行列の求め方を説明するための図であ
る。すなわち、図３に示すように、ＣＯガスセンサ４、
ＮＯガスセンサ５、ＳＯ2 ガスセンサ６のそれぞれの校
正を実施することにより求めることができる。ＣＯガス
センサ４の校正による干渉影響値ａ11〜ａ31を求める例
について説明すると、まず校正ガス濃度ＹCOを設定し、
次にゼロガスを流すことによるゼロ校正を実施して、Ｃ
Ｏガスセンサ４、ＮＯガスセンサ５、ＳＯ2 ガスセンサ
６の測定値ｙCO、ｙNO、ｙSO2 をゼロとする。
際の干渉影響の行列の求め方を説明するための図であ
る。すなわち、図３に示すように、ＣＯガスセンサ４、
ＮＯガスセンサ５、ＳＯ2 ガスセンサ６のそれぞれの校
正を実施することにより求めることができる。ＣＯガス
センサ４の校正による干渉影響値ａ11〜ａ31を求める例
について説明すると、まず校正ガス濃度ＹCOを設定し、
次にゼロガスを流すことによるゼロ校正を実施して、Ｃ
Ｏガスセンサ４、ＮＯガスセンサ５、ＳＯ2 ガスセンサ
６の測定値ｙCO、ｙNO、ｙSO2 をゼロとする。
【００１２】次に、設定した校正ガス濃度ＹCOのＣＯガ
スのみからなるスパンガスを流すスパン校正を実施し
て、その際のＣＯガスセンサ４の測定値をｙCO、ＮＯガ
スセンサ５の測定値をｙNO、ＳＯ2 ガスセンサ６の測定
値をｙSO2 として求め、それぞれの値をＹCOで割ること
によりａ11、ａ21、ａ31を求める。同様のことをＮＯガ
スセンサ５およびＳＯ2 ガスセンサ６について行うこと
により、数式（２）に示す干渉影響値の行列を求めるこ
とができる。実際には、図４に示すブロック図に示すよ
うに、干渉影響値の行列ａ11〜ａnnからその逆行列ｂ11
〜ｂnnを求め、この逆行列を利用することにより補正演
算を行っている。なお、参考のため図５に上述したガス
校正時のフローチャートの一例を示す。
スのみからなるスパンガスを流すスパン校正を実施し
て、その際のＣＯガスセンサ４の測定値をｙCO、ＮＯガ
スセンサ５の測定値をｙNO、ＳＯ2 ガスセンサ６の測定
値をｙSO2 として求め、それぞれの値をＹCOで割ること
によりａ11、ａ21、ａ31を求める。同様のことをＮＯガ
スセンサ５およびＳＯ2 ガスセンサ６について行うこと
により、数式（２）に示す干渉影響値の行列を求めるこ
とができる。実際には、図４に示すブロック図に示すよ
うに、干渉影響値の行列ａ11〜ａnnからその逆行列ｂ11
〜ｂnnを求め、この逆行列を利用することにより補正演
算を行っている。なお、参考のため図５に上述したガス
校正時のフローチャートの一例を示す。
【００１３】実際の一例として、補正を全く実施しない
ときのＣＯガスセンサの出力結果を表１、２に示すとと
もに、上述した本発明の方法に従った補正演算を行った
演算値を表３、４に示す。これらの結果から、本発明の
補正演算行うことにより、指示値の誤差が±３ｐｐｍと
いう高精度の出力を得ることができることがわかる。な
お、他のＮＯガスセンサおよびＳＯ2 ガスセンサについ
ても、ほぼ同様の結果を得ることができた。
ときのＣＯガスセンサの出力結果を表１、２に示すとと
もに、上述した本発明の方法に従った補正演算を行った
演算値を表３、４に示す。これらの結果から、本発明の
補正演算行うことにより、指示値の誤差が±３ｐｐｍと
いう高精度の出力を得ることができることがわかる。な
お、他のＮＯガスセンサおよびＳＯ2 ガスセンサについ
ても、ほぼ同様の結果を得ることができた。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【表２】
【００１６】
【表３】
【００１７】
【表４】
【００１８】上述した本発明の補正演算方法では、従来
通りのガス校正を行うだけで補正演算係数の計算・入力
まで同時にできてしまうため、補正演算係数を予め設定
するための操作は全く必要ない。また、ガス校正毎に補
正演算係数が更新されるため、センサ感度が経時的に変
化しても、常に最新の補正演算係数を用いた正確なガス
濃度測定ができる。
通りのガス校正を行うだけで補正演算係数の計算・入力
まで同時にできてしまうため、補正演算係数を予め設定
するための操作は全く必要ない。また、ガス校正毎に補
正演算係数が更新されるため、センサ感度が経時的に変
化しても、常に最新の補正演算係数を用いた正確なガス
濃度測定ができる。
【００１９】本発明は上述した実施例にのみ限定される
ものではなく、幾多の変形、変更が可能である。例え
ば、上述した実施例においては、３個のセンサにおける
干渉影響を考えたが、センサがｎ個になっても同様にａ
11〜ａnnからなる干渉影響値の行列を作成して使用すれ
ば、同様に高精度の補正演算結果が得られることはいう
までもない。
ものではなく、幾多の変形、変更が可能である。例え
ば、上述した実施例においては、３個のセンサにおける
干渉影響を考えたが、センサがｎ個になっても同様にａ
11〜ａnnからなる干渉影響値の行列を作成して使用すれ
ば、同様に高精度の補正演算結果が得られることはいう
までもない。
【００２０】また、本発明のガス測定装置の補正演算方
法は、従来から知られているガス測定装置のいずれにも
適用できることはいうまでもない。例えば、測定点一点
にガス吸引口をあけてガスを吸引して煙道外のセンサで
測定するサンプリング式および直結式で複数成分ガスを
測定するガス測定装置にも、またこれらのタイプで一点
ではなく多点でかつ複数成分ガスを測定するガス測定装
置にも、同様に本発明の補正演算方法を使用できること
もいうまでもない。
法は、従来から知られているガス測定装置のいずれにも
適用できることはいうまでもない。例えば、測定点一点
にガス吸引口をあけてガスを吸引して煙道外のセンサで
測定するサンプリング式および直結式で複数成分ガスを
測定するガス測定装置にも、またこれらのタイプで一点
ではなく多点でかつ複数成分ガスを測定するガス測定装
置にも、同様に本発明の補正演算方法を使用できること
もいうまでもない。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、従来の例えばゼロガス校正やスパンガス校正
のようなセンサ毎の校正をを行うだけでなく、他のセン
サの測定対象である他のガス成分の影響を当該センサの
補正に使用しているため、従来に比べて測定値の補正を
より正確に行うことができる。
によれば、従来の例えばゼロガス校正やスパンガス校正
のようなセンサ毎の校正をを行うだけでなく、他のセン
サの測定対象である他のガス成分の影響を当該センサの
補正に使用しているため、従来に比べて測定値の補正を
より正確に行うことができる。
【図１】本発明のガス測定装置の補正演算方法の一例の
工程を示すフローチャートである。
工程を示すフローチャートである。
【図２】本発明のガス測定装置の補正演算方法を実施す
るガス測定装置の主要部の一例の構成を示す図である。
るガス測定装置の主要部の一例の構成を示す図である。
【図３】図２に示す装置における実際の干渉影響の行列
の求め方を説明するための図である。
の求め方を説明するための図である。
【図４】本発明における補正演算を行うためのブロック
図である。
図である。
【図５】本発明におけるガス校正時のフローチャートの
一例を示す図である。
一例を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 使用する各種センサの出力を補正演算し
て真のセンサ出力を求めるためのガス測定装置の補正演
算方法において、使用するセンサＳ1 〜Ｓnの相互の干
渉影響を予めガス校正時にａ11〜ａnnとして数値化し、
数値化したａ11〜ａnnを使用した以下の補正演算式に基
づき、測定したセンサ出力ｘ1 〜ｘnを補正演算して真
のセンサ出力Ｘ1 〜Ｘn を求めることを特徴とするガス
測定装置の補正演算方法。 【数１】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6423093A JPH06273364A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | ガス測定装置の補正演算方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6423093A JPH06273364A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | ガス測定装置の補正演算方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273364A true JPH06273364A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13252113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6423093A Pending JPH06273364A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | ガス測定装置の補正演算方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06273364A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011191246A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Fuji Electric Co Ltd | レーザ式ガス分析計 |
| WO2014162537A1 (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-09 | 富士電機株式会社 | ガス分析計 |
| RU2582234C1 (ru) * | 2015-02-10 | 2016-04-20 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Донской Государственный Технический Университет" (Дгту) | Оптико-электронный способ измерения концентрации газов |
| CN111721817A (zh) * | 2020-05-13 | 2020-09-29 | 浙江华消科技有限公司 | 多种气体的耦合干扰误差校正方法和气体传感器装置 |
-
1993
- 1993-03-23 JP JP6423093A patent/JPH06273364A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011191246A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Fuji Electric Co Ltd | レーザ式ガス分析計 |
| WO2014162537A1 (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-09 | 富士電機株式会社 | ガス分析計 |
| RU2582234C1 (ru) * | 2015-02-10 | 2016-04-20 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Донской Государственный Технический Университет" (Дгту) | Оптико-электронный способ измерения концентрации газов |
| CN111721817A (zh) * | 2020-05-13 | 2020-09-29 | 浙江华消科技有限公司 | 多种气体的耦合干扰误差校正方法和气体传感器装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5398695A (en) | Cardiopulmonary performance analyzer having dynamic transit time compensation | |
| US20060070424A1 (en) | Transducer acceleration compensation with frequency domain amplitude and/or phase compensation | |
| JPS58109837A (ja) | 検量線補正方法 | |
| JPH0746074B2 (ja) | 真空計 | |
| JPH06273364A (ja) | ガス測定装置の補正演算方法 | |
| JP7380480B2 (ja) | 酸素を含む試料を対象とする水素炎イオン化検出方法とその装置 | |
| US5616850A (en) | Emissions measuring system and method | |
| CN107607144B (zh) | 一种传感器基线漂移校正方法及检测设备 | |
| JPH04291141A (ja) | 可燃ガス検出装置およびその補正演算方法 | |
| JP2002055049A (ja) | 連続測定装置 | |
| JP2732460B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 | |
| JPH09264861A (ja) | ガス濃度測定方法および装置 | |
| JP2921923B2 (ja) | 放射線検出器の感度校正装置 | |
| JPH04191650A (ja) | イオン測定装置 | |
| JPH11108885A (ja) | 直挿型センサを用いたガス分析計 | |
| JPH04273014A (ja) | データ処理装置 | |
| JP4417223B2 (ja) | 濃度測定装置 | |
| JP2770456B2 (ja) | 測定装置の感度自動較正方法 | |
| JPS62127604A (ja) | 光学式位置検出装置 | |
| JPH04370705A (ja) | 画像処理における解像度補正装置 | |
| JPH09196846A (ja) | ガス濃度検出方法 | |
| JPS6224157A (ja) | 抵抗計測装置 | |
| JPH0815134A (ja) | 測定方法 | |
| JPH09145607A (ja) | ガス濃度検出方法 | |
| JP2002296209A (ja) | 複合溶液の濃度計測システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000627 |