JP2002055049A - 連続測定装置 - Google Patents
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
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- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大気中の特定ガス成分の濃度変化を測定する
赤外線分析装置など、ゼロ点ドリフト等を定期的に校正
しながら運転される連続測定装置において、各校正時の
間でのドリフト量の変化に伴う測定精度の低下を防止す
る。 【解決手段】 今回の校正時と以前の校正時とで各々求
められたゼロ点ドリフト量Ａn・Ａn-1、スパンドリフト
量Ｂn・Ｂn-1から、今回校正時以降のドリフト量の変化
を推定するドリフト推定関数式ｆA(t)・ｆB(t)を求め、
これら関数式からドリフト量を推定して、今回校正時か
ら次回校正時までの間の補正を行う。次回校正時までの
間でのドリフト量の変化も加味された補正が行われるの
で、精度の良好な測定結果を得ることができる。
赤外線分析装置など、ゼロ点ドリフト等を定期的に校正
しながら運転される連続測定装置において、各校正時の
間でのドリフト量の変化に伴う測定精度の低下を防止す
る。 【解決手段】 今回の校正時と以前の校正時とで各々求
められたゼロ点ドリフト量Ａn・Ａn-1、スパンドリフト
量Ｂn・Ｂn-1から、今回校正時以降のドリフト量の変化
を推定するドリフト推定関数式ｆA(t)・ｆB(t)を求め、
これら関数式からドリフト量を推定して、今回校正時か
ら次回校正時までの間の補正を行う。次回校正時までの
間でのドリフト量の変化も加味された補正が行われるの
で、精度の良好な測定結果を得ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば大気中に含
まれる特定ガス成分の測定等に用いられる赤外線吸光分
析装置などの連続測定装置に関するものである。
まれる特定ガス成分の測定等に用いられる赤外線吸光分
析装置などの連続測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば大気中のＣＯやＣＯ2濃度等の監
視に、非分散型赤外線吸光分析装置（NDIR：Non Dispe
rsive Infrared Analyzer）が使用されている。ま
た、事業所や工場等においても、室内環境の快適性や作
業効率の向上を目指して、部屋毎に室内のＣＯ2濃度を
適切に管理することに関心が高まり、このために上記の
ような赤外線分析装置が設けられるようになってきてい
る。
視に、非分散型赤外線吸光分析装置（NDIR：Non Dispe
rsive Infrared Analyzer）が使用されている。ま
た、事業所や工場等においても、室内環境の快適性や作
業効率の向上を目指して、部屋毎に室内のＣＯ2濃度を
適切に管理することに関心が高まり、このために上記の
ような赤外線分析装置が設けられるようになってきてい
る。
【０００３】さらに、例えばゴミ焼却場などにおいて
は、排出ガス中の特定の有害ガス成分濃度を監視しなが
ら操業が行われ、また、化学プラントでは例えば原料液
のｐＨ等を監視しながら各種製品が製造されている。こ
のように、測定対象の変化を連続して測定するために、
測定対象の変化に応じた信号を出力する検出器と、この
検出器からの出力信号に基づき、測定対象の量に対応す
る測定信号を求めて出力する演算手段とを備える多種多
様な連続測定装置が、各所で稼働されている。
は、排出ガス中の特定の有害ガス成分濃度を監視しなが
ら操業が行われ、また、化学プラントでは例えば原料液
のｐＨ等を監視しながら各種製品が製造されている。こ
のように、測定対象の変化を連続して測定するために、
測定対象の変化に応じた信号を出力する検出器と、この
検出器からの出力信号に基づき、測定対象の量に対応す
る測定信号を求めて出力する演算手段とを備える多種多
様な連続測定装置が、各所で稼働されている。
【０００４】例えば前記したNDIRには、試料ガスが流れ
る測定セルと、この測定セルに赤外線を照射する光源
と、測定セルを透過した赤外線を受光して受光量に応じ
た信号を出力する赤外線検出器とが設けられ、試料ガス
中に、測定対象としての例えばＣＯが含まれていると、
その濃度に応じた赤外線の吸収が生じて検出器の出力信
号が低下し、この出力信号の変化量が、さらに演算器で
ＣＯ濃度に対応する測定信号に変換され出力されるよう
になっている。
る測定セルと、この測定セルに赤外線を照射する光源
と、測定セルを透過した赤外線を受光して受光量に応じ
た信号を出力する赤外線検出器とが設けられ、試料ガス
中に、測定対象としての例えばＣＯが含まれていると、
その濃度に応じた赤外線の吸収が生じて検出器の出力信
号が低下し、この出力信号の変化量が、さらに演算器で
ＣＯ濃度に対応する測定信号に変換され出力されるよう
になっている。
【０００５】ところで、例えばこのNDIRでは、測定セル
内部の汚れ、光源の光量変化といった種々の影響によ
り、検出器からの出力信号に経時的な変化、例えばゼロ
点ドリフトや、検出器の感度に対応するスパンドリフト
が生じる。そこで、このようなドリフトに起因する測定
誤差を解消するために、定期的に校正用ガスを流して校
正する操作が行われる。
内部の汚れ、光源の光量変化といった種々の影響によ
り、検出器からの出力信号に経時的な変化、例えばゼロ
点ドリフトや、検出器の感度に対応するスパンドリフト
が生じる。そこで、このようなドリフトに起因する測定
誤差を解消するために、定期的に校正用ガスを流して校
正する操作が行われる。
【０００６】例えばＣＯ濃度を測定する装置では、各校
正時毎にＣＯを含まないＮ2ガス（ゼロガス）と、ＣＯ
濃度が例えばＣＯを１0ppm含むＮ2ガス（スパンガス）
とを順次流して、ゼロ点ドリフト量やスパンドリフト量
が求められる。そして、これら各ドリフト量に応じたゼ
ロ点補正量やスパン補正量を各校正時毎に設定して、試
料ガスに対する測定時に検出器から出力される出力信号
に対し、上記各補正量で補正して測定精度の低下を抑え
るようになっている。
正時毎にＣＯを含まないＮ2ガス（ゼロガス）と、ＣＯ
濃度が例えばＣＯを１0ppm含むＮ2ガス（スパンガス）
とを順次流して、ゼロ点ドリフト量やスパンドリフト量
が求められる。そして、これら各ドリフト量に応じたゼ
ロ点補正量やスパン補正量を各校正時毎に設定して、試
料ガスに対する測定時に検出器から出力される出力信号
に対し、上記各補正量で補正して測定精度の低下を抑え
るようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように各校正時に得られるドリフト量に基づいてゼロ点
補正量やスパン補正量を設定し、これら補正量で次回の
校正時までの補正を一律に行う従来の装置では、校正の
直後には精度の良好な測定値が得られるものの、次の校
正が行われるまでの全体を通しては、必ずしも良好な測
定精度を維持できないことがある。
ように各校正時に得られるドリフト量に基づいてゼロ点
補正量やスパン補正量を設定し、これら補正量で次回の
校正時までの補正を一律に行う従来の装置では、校正の
直後には精度の良好な測定値が得られるものの、次の校
正が行われるまでの全体を通しては、必ずしも良好な測
定精度を維持できないことがある。
【０００８】つまり、図４に示すように、例えばＮ回目
の校正とＮ＋１回目の校正との間では、Ｎ回目の校正時
に得られたゼロ点ドリフト量ΔＺとスパンドリフト量Δ
Ｓとに基づく補正が行われるが、実際には、このＮ回目
の校正時とＮ＋１回目の校正時との間においても、ゼロ
点ドリフト量とスパンドリフト量とは同図中のラインLz
・Lsに示すようにさらに変化しており、したがって、ゼ
ロ点補正量とスパン補正量とがＮ回目の校正時のままで
次の校正時までの測定が行われる従来の装置では、この
間で変化するドリフト量に応じた測定精度の低下が生じ
る。
の校正とＮ＋１回目の校正との間では、Ｎ回目の校正時
に得られたゼロ点ドリフト量ΔＺとスパンドリフト量Δ
Ｓとに基づく補正が行われるが、実際には、このＮ回目
の校正時とＮ＋１回目の校正時との間においても、ゼロ
点ドリフト量とスパンドリフト量とは同図中のラインLz
・Lsに示すようにさらに変化しており、したがって、ゼ
ロ点補正量とスパン補正量とがＮ回目の校正時のままで
次の校正時までの測定が行われる従来の装置では、この
間で変化するドリフト量に応じた測定精度の低下が生じ
る。
【０００９】なお、このような測定精度の低下を抑える
ためには、校正から次の校正までの時間を短くすれば良
いが、これに伴って校正頻度が多くなってゼロガスやス
パンガスの全体的な消費量が増え、この結果、経費が高
くなり、また、測定効率が低下する。
ためには、校正から次の校正までの時間を短くすれば良
いが、これに伴って校正頻度が多くなってゼロガスやス
パンガスの全体的な消費量が増え、この結果、経費が高
くなり、また、測定効率が低下する。
【００１０】本発明は、上記した問題点に鑑みなされた
もので、その目的は、測定効率を低下させることなく、
精度の良好な測定結果を得ることが可能な連続測定装置
を提供することにある。
もので、その目的は、測定効率を低下させることなく、
精度の良好な測定結果を得ることが可能な連続測定装置
を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】そこで本発明の請求項１
の連続測定装置は、測定対象の変化に応じた信号を出力
する検出器と、この検出器から出力される検出器出力信
号から測定対象の量に対応する測定信号を求めて出力す
る演算手段とを備える一方、検出器出力信号のドリフト
量を求めて補正するための校正が定期的に行われる連続
測定装置であって、今回の校正時と以前の校正時とで各
々求められたドリフト量から、次回の校正時までの間に
変化するドリフト量を推定ドリフト量として求め、この
推定ドリフト量に基づいて上記検出器出力信号を補正し
て測定信号を出力させるドリフト補正手段を設けている
ことを特徴としている。
の連続測定装置は、測定対象の変化に応じた信号を出力
する検出器と、この検出器から出力される検出器出力信
号から測定対象の量に対応する測定信号を求めて出力す
る演算手段とを備える一方、検出器出力信号のドリフト
量を求めて補正するための校正が定期的に行われる連続
測定装置であって、今回の校正時と以前の校正時とで各
々求められたドリフト量から、次回の校正時までの間に
変化するドリフト量を推定ドリフト量として求め、この
推定ドリフト量に基づいて上記検出器出力信号を補正し
て測定信号を出力させるドリフト補正手段を設けている
ことを特徴としている。
【００１２】このように構成された装置においては、今
回校正時から次回校正時までの間の測定で、この間のド
リフト量の変化が加味された補正が行われて測定信号が
出力される。つまり、今回の校正時から次回の校正時ま
での間に生じるドリフト量の変化は、今回校正時以前の
変化傾向のほぼ延長線に沿って生じるものとみなすこと
ができる。したがって、まず、今回の校正時と以前の校
正時とで各々求められたドリフト量から、今回校正時ま
でのドリフト量の変化傾向を把握することができ、この
変化傾向から、今回校正時後に変化するドリフト量を推
定することができる。
回校正時から次回校正時までの間の測定で、この間のド
リフト量の変化が加味された補正が行われて測定信号が
出力される。つまり、今回の校正時から次回の校正時ま
での間に生じるドリフト量の変化は、今回校正時以前の
変化傾向のほぼ延長線に沿って生じるものとみなすこと
ができる。したがって、まず、今回の校正時と以前の校
正時とで各々求められたドリフト量から、今回校正時ま
でのドリフト量の変化傾向を把握することができ、この
変化傾向から、今回校正時後に変化するドリフト量を推
定することができる。
【００１３】こうして求められる推定ドリフト量に基づ
く補正を次回校正時までの間の測定で行うことで、校正
時に求められた補正量で次回の校正時までの補正を一律
に行っていた従来装置に比べ、校正頻度は従来のままに
して測定効率の低下を生じさせることなく、より精度の
良好な測定結果を得ることができる。
く補正を次回校正時までの間の測定で行うことで、校正
時に求められた補正量で次回の校正時までの補正を一律
に行っていた従来装置に比べ、校正頻度は従来のままに
して測定効率の低下を生じさせることなく、より精度の
良好な測定結果を得ることができる。
【００１４】なお、上記のような推定ドリフト量を求め
るに当たっては、例えば請求項２のように、時間に関し
て下記ｎ次式で表されるドリフト推定関数式ｆ(t）の係
数ａ n,ａn-1,…,ａ0を、今回校正時と、今回校正時より
前の少なくともｎ回の校正時とで各々得られたドリフト
量から求め、このドリフト推定関数式ｆ(t）から上記推
定ドリフト量を求めるように構成することができる。 ｆ(t）＝ａnｔn＋ａn-1ｔn-1…＋ａ0（但し、ｎは１以
上の整数）
るに当たっては、例えば請求項２のように、時間に関し
て下記ｎ次式で表されるドリフト推定関数式ｆ(t）の係
数ａ n,ａn-1,…,ａ0を、今回校正時と、今回校正時より
前の少なくともｎ回の校正時とで各々得られたドリフト
量から求め、このドリフト推定関数式ｆ(t）から上記推
定ドリフト量を求めるように構成することができる。 ｆ(t）＝ａnｔn＋ａn-1ｔn-1…＋ａ0（但し、ｎは１以
上の整数）
【００１５】すなわち、例えばｎ＝１の場合には、上記
関数式ｆ(t）はｆ(t）＝ａ1ｔ＋ａ0となり、このときの
２個の係数（未知数）は、今回校正時と前回校正時との
２回の校正時で各々得られる各ドリフト量を上記関数式
に代入して解くことによって決定される。したがって、
今回校正時にこのような関数式を求めておくことで、以
降、任意の時間ｔが経過したときの推定ドリフト量を上
記関数式から求めて補正することができる。
関数式ｆ(t）はｆ(t）＝ａ1ｔ＋ａ0となり、このときの
２個の係数（未知数）は、今回校正時と前回校正時との
２回の校正時で各々得られる各ドリフト量を上記関数式
に代入して解くことによって決定される。したがって、
今回校正時にこのような関数式を求めておくことで、以
降、任意の時間ｔが経過したときの推定ドリフト量を上
記関数式から求めて補正することができる。
【００１６】ｎが２以上の場合も同様に、その次数に応
じて、今回校正時と今回校正時以前のｎ回の校正時とで
各々得られたドリフト量から、各係数ａn,ａn-1,…,ａ0
を決定することができる。
じて、今回校正時と今回校正時以前のｎ回の校正時とで
各々得られたドリフト量から、各係数ａn,ａn-1,…,ａ0
を決定することができる。
【００１７】一方、上記のように求められる推定ドリフ
ト量に基づく補正は、例えば請求項３や請求項４のよう
に、検出器出力信号のゼロ点ドリフトと、検出器の感度
変化に対応するスパンドリフトとの一方、或いは双方に
対して行う構成とすることで、測定対象の量の変化に、
より正確に対応する精度の良好な測定信号を出力させる
ことができる。
ト量に基づく補正は、例えば請求項３や請求項４のよう
に、検出器出力信号のゼロ点ドリフトと、検出器の感度
変化に対応するスパンドリフトとの一方、或いは双方に
対して行う構成とすることで、測定対象の量の変化に、
より正確に対応する精度の良好な測定信号を出力させる
ことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施形態につい
て図面を参照しつつ詳細に説明する。図２に、本発明に
係る連続測定装置の一例として、非分散型赤外線吸光分
析装置（NDIR）を示している。この装置は、試料ガスが
供給される測定セル１の入射側（図において左側）に赤
外線光源２が配置される一方、測定セル１の出射側に、
測定セル１を透過した赤外線を断続させる回転式チョッ
パ３と、第１・第２の２個の赤外線検出器４ａ・４ｂと
を設けて構成されている。
て図面を参照しつつ詳細に説明する。図２に、本発明に
係る連続測定装置の一例として、非分散型赤外線吸光分
析装置（NDIR）を示している。この装置は、試料ガスが
供給される測定セル１の入射側（図において左側）に赤
外線光源２が配置される一方、測定セル１の出射側に、
測定セル１を透過した赤外線を断続させる回転式チョッ
パ３と、第１・第２の２個の赤外線検出器４ａ・４ｂと
を設けて構成されている。
【００１９】第１赤外線検出器４ａは、このNDIRが例え
ばＣＯ濃度測定用であれば、ＣＯの吸収波長帯域の赤外
線を選択的に透過させるバンドパスフィルタ５ａと、こ
のフィルタ５ａを透過した赤外線を受光して受光量に応
じた電圧信号を出力する測定用赤外線センサ６ａとを対
にして構成されている。第２赤外線検出器４ｂは、第１
赤外線検出器４ａからの出力に対し、後述するバックグ
ランドの影響を除くために設けられているもので、ＣＯ
の吸収波長帯域以外の特定波長帯域の赤外線を透過させ
るバンドパスフィルタ５ｂと、このフィルタ５ｂを透過
した赤外線を受光する比較用赤外線センサ６ｂとによっ
て構成されている。
ばＣＯ濃度測定用であれば、ＣＯの吸収波長帯域の赤外
線を選択的に透過させるバンドパスフィルタ５ａと、こ
のフィルタ５ａを透過した赤外線を受光して受光量に応
じた電圧信号を出力する測定用赤外線センサ６ａとを対
にして構成されている。第２赤外線検出器４ｂは、第１
赤外線検出器４ａからの出力に対し、後述するバックグ
ランドの影響を除くために設けられているもので、ＣＯ
の吸収波長帯域以外の特定波長帯域の赤外線を透過させ
るバンドパスフィルタ５ｂと、このフィルタ５ｂを透過
した赤外線を受光する比較用赤外線センサ６ｂとによっ
て構成されている。
【００２０】このような構成において、測定セル１の入
口１ａより試料ガス（測定ガス）が連続的に導入され、
出口１ｂから排出される。このとき、赤外線光源２から
照射される赤外線は測定セル１を透過する際に、測定セ
ル１を流れる試料ガス中のＣＯ濃度に応じた吸収を受け
る。この吸収の度合いに応じて光量が低下した赤外線が
測定用赤外線センサ６ａに入射し、入射光量に応じてこ
のセンサ６ａで発生された電圧がプリアンプ７ａを通し
て増幅され、演算器（演算手段）８に入力される。
口１ａより試料ガス（測定ガス）が連続的に導入され、
出口１ｂから排出される。このとき、赤外線光源２から
照射される赤外線は測定セル１を透過する際に、測定セ
ル１を流れる試料ガス中のＣＯ濃度に応じた吸収を受け
る。この吸収の度合いに応じて光量が低下した赤外線が
測定用赤外線センサ６ａに入射し、入射光量に応じてこ
のセンサ６ａで発生された電圧がプリアンプ７ａを通し
て増幅され、演算器（演算手段）８に入力される。
【００２１】一方、比較用赤外線センサ６ｂには、ＣＯ
ガスによる吸収の無い帯域での赤外線が入射する。但
し、この入射光量は、例えば測定セル１におけるセル窓
１ｃの汚れや、赤外線光源２の光量の変動等による影響
（以下、バックグランド影響量という）に対応した量と
なっており、この入射光量に応じて発生された電圧が、
上記と同様にプリアンプ７ｂを通して増幅されて演算器
８に入力される。
ガスによる吸収の無い帯域での赤外線が入射する。但
し、この入射光量は、例えば測定セル１におけるセル窓
１ｃの汚れや、赤外線光源２の光量の変動等による影響
（以下、バックグランド影響量という）に対応した量と
なっており、この入射光量に応じて発生された電圧が、
上記と同様にプリアンプ７ｂを通して増幅されて演算器
８に入力される。
【００２２】この演算器８では、比較用赤外線センサ６
ｂからの上記したバックグランド影響量に応じた電圧信
号Vrと、測定用赤外線センサ６ａからのＣＯガス濃度お
よびバックグランド影響量に対応する電圧信号Vsとの差
（Vr−Vs）を求める演算が行われ、これにより、バック
グランド影響量が含まれずに、ＣＯの吸収レベルのみに
対応する出力電圧（以下、この出力電圧を検出器出力信
号Svという）が求められる。その後、この検出器出力信
号Svが予め求められている基準値、すなわち、ＣＯを単
位濃度流したときの基準電圧と比較され、ＣＯ濃度に対
応する濃度信号（測定信号）Sdに変換され出力される。
ｂからの上記したバックグランド影響量に応じた電圧信
号Vrと、測定用赤外線センサ６ａからのＣＯガス濃度お
よびバックグランド影響量に対応する電圧信号Vsとの差
（Vr−Vs）を求める演算が行われ、これにより、バック
グランド影響量が含まれずに、ＣＯの吸収レベルのみに
対応する出力電圧（以下、この出力電圧を検出器出力信
号Svという）が求められる。その後、この検出器出力信
号Svが予め求められている基準値、すなわち、ＣＯを単
位濃度流したときの基準電圧と比較され、ＣＯ濃度に対
応する濃度信号（測定信号）Sdに変換され出力される。
【００２３】この濃度信号Sdは、測定範囲の上限値に対
応する出力レベルが適当な電圧値となるように設定され
ている。例えばＣＯ濃度の測定範囲が１0ppmの装置にお
いて、この１0ppmに対応させて例えば５Ｖの濃度信号Sd
が出力される。この濃度信号Sdをフルスケール（F.S.）
５Ｖで動作するように設定したペンレコーダーに入力し
てチャートに記録させれば、このチャートのフルスケー
ルを１0ppmとして濃度変化が直読される。
応する出力レベルが適当な電圧値となるように設定され
ている。例えばＣＯ濃度の測定範囲が１0ppmの装置にお
いて、この１0ppmに対応させて例えば５Ｖの濃度信号Sd
が出力される。この濃度信号Sdをフルスケール（F.S.）
５Ｖで動作するように設定したペンレコーダーに入力し
てチャートに記録させれば、このチャートのフルスケー
ルを１0ppmとして濃度変化が直読される。
【００２４】前記のように、測定用赤外線センサ６ａと
比較用赤外線センサ６ｂとが設けられた、いわゆるデュ
アルタイプの赤外線分析装置では、バックグランド影響
量が除去されて精度の良い測定が行われるが、さらに長
期的には、例えば測定用赤外線センサ６ａと比較用赤外
線センサ６ｂとの各感度変化等に起因して、試料ガス中
にＣＯが含まれていないにもかかわらず、検出器出力信
号Svがゼロにはならないこと、すなわちゼロ点ドリフト
が生じたり、また、ＣＯ濃度が同じであっても、検出器
出力信号Svが当初の値から変化すること、すなわちスパ
ンドリフトが生じる。
比較用赤外線センサ６ｂとが設けられた、いわゆるデュ
アルタイプの赤外線分析装置では、バックグランド影響
量が除去されて精度の良い測定が行われるが、さらに長
期的には、例えば測定用赤外線センサ６ａと比較用赤外
線センサ６ｂとの各感度変化等に起因して、試料ガス中
にＣＯが含まれていないにもかかわらず、検出器出力信
号Svがゼロにはならないこと、すなわちゼロ点ドリフト
が生じたり、また、ＣＯ濃度が同じであっても、検出器
出力信号Svが当初の値から変化すること、すなわちスパ
ンドリフトが生じる。
【００２５】したがって上記装置においては、ゼロ点と
スパン点との校正が、例えば毎日一回や週一回、或いは
月一回程度の頻度で定期的に行われる。この校正操作で
は、まず、ＣＯを含まないＮ2ガス（ゼロガス）を測定
セル１に流し、このときの検出器出力信号Svからゼロ点
ドリフト量が求められる。次いで、ＣＯを所定の濃度、
例えばＣＯを１0ppm含むＮ2ガス（スパンガス）を測定
セル１に流し、このときの検出器出力信号Svからスパン
ドリフト量が求められる。
スパン点との校正が、例えば毎日一回や週一回、或いは
月一回程度の頻度で定期的に行われる。この校正操作で
は、まず、ＣＯを含まないＮ2ガス（ゼロガス）を測定
セル１に流し、このときの検出器出力信号Svからゼロ点
ドリフト量が求められる。次いで、ＣＯを所定の濃度、
例えばＣＯを１0ppm含むＮ2ガス（スパンガス）を測定
セル１に流し、このときの検出器出力信号Svからスパン
ドリフト量が求められる。
【００２６】このような校正が行われた後は、その後の
試料ガスに対する測定時に順次出力される検出器出力信
号Svに対し、上記のような校正によって得られたゼロ点
ドリフト量とスパンドリフト量とに基づく補正が行われ
る。この場合の補正に当たり、ドリフト補正手段として
の機能を兼用する前記演算器８で、次回の校正時までの
間にさらに変化するドリフト量を推定して補正するよう
になっており、以下、その具体的な手順について、図１
を参照して説明する。
試料ガスに対する測定時に順次出力される検出器出力信
号Svに対し、上記のような校正によって得られたゼロ点
ドリフト量とスパンドリフト量とに基づく補正が行われ
る。この場合の補正に当たり、ドリフト補正手段として
の機能を兼用する前記演算器８で、次回の校正時までの
間にさらに変化するドリフト量を推定して補正するよう
になっており、以下、その具体的な手順について、図１
を参照して説明する。
【００２７】同図（ａ）は、縦軸を、ゼロ点ドリフトも
スパンドリフトも生じていない初期状態で、例えばＣＯ
濃度１0ppmのスパンガスを流したときの検出器出力信号
Svの出力レベルを１００％F.S.とするグラフである。同
図中に示すように、今回校正時において、ゼロガスを流
したときにＡn％の出力があり、また、スパンガスを流
したときの出力がＳn％であったとする。これから、こ
の時の校正時において、ゼロ点ドリフト量Ａn％、スパ
ンドリフト量Ｂn＝（Ｓn−Ａn）％が生じていることが
検出される。
スパンドリフトも生じていない初期状態で、例えばＣＯ
濃度１0ppmのスパンガスを流したときの検出器出力信号
Svの出力レベルを１００％F.S.とするグラフである。同
図中に示すように、今回校正時において、ゼロガスを流
したときにＡn％の出力があり、また、スパンガスを流
したときの出力がＳn％であったとする。これから、こ
の時の校正時において、ゼロ点ドリフト量Ａn％、スパ
ンドリフト量Ｂn＝（Ｓn−Ａn）％が生じていることが
検出される。
【００２８】この結果、この校正時後に試料ガスに対す
る連続測定に切換えられた当初は、検出器出力信号Svに
対し、ゼロ点補正量をＡn％、スパン補正量をＢn％とす
る補正が行われる。すなわち、 Sc＝（Sv−Ａn)／(Ｂn/100） の演算を行って補正出力Scを求め、この補正出力Scから
前記した濃度信号Sdが求められて出力される。
る連続測定に切換えられた当初は、検出器出力信号Svに
対し、ゼロ点補正量をＡn％、スパン補正量をＢn％とす
る補正が行われる。すなわち、 Sc＝（Sv−Ａn)／(Ｂn/100） の演算を行って補正出力Scを求め、この補正出力Scから
前記した濃度信号Sdが求められて出力される。
【００２９】例えば、ゼロ点ドリフト量Ａnが４％、ス
パンドリフト量Ｂnが105％であり、検出器出力信号Svが
58.6％のときには、 Sc＝（58.6−４)／1.05＝52（％） となり、これから、フルスケール１0ppmの52％、すなわ
ち濃度5.2ppmに対応する濃度信号Sdが出力される。
パンドリフト量Ｂnが105％であり、検出器出力信号Svが
58.6％のときには、 Sc＝（58.6−４)／1.05＝52（％） となり、これから、フルスケール１0ppmの52％、すなわ
ち濃度5.2ppmに対応する濃度信号Sdが出力される。
【００３０】ところで、次回の校正時に至るまで、上記
各補正量Ａn・Ｂnによる補正を継続したのでは、この間
も、ゼロ点ドリフト量やスパンドリフト量は、今回校正
時の値Ａn・Ｂnから次第に変化していく筈であり、この
ために測定精度が次第に低下する。そこで、前記演算器
８では、今回校正時から次回校正時に至る間のゼロ点ド
リフト量やスパンドリフト量についての後述する時間変
化関数式（ドリフト推定関数式）ｆA(t)・ｆB(t)を今回
校正時にさらに求めて、以降の測定出力に対する補正を
行う。
各補正量Ａn・Ｂnによる補正を継続したのでは、この間
も、ゼロ点ドリフト量やスパンドリフト量は、今回校正
時の値Ａn・Ｂnから次第に変化していく筈であり、この
ために測定精度が次第に低下する。そこで、前記演算器
８では、今回校正時から次回校正時に至る間のゼロ点ド
リフト量やスパンドリフト量についての後述する時間変
化関数式（ドリフト推定関数式）ｆA(t)・ｆB(t)を今回
校正時にさらに求めて、以降の測定出力に対する補正を
行う。
【００３１】本実施形態では、ゼロ点ドリフト量やスパ
ンドリフト量が、今回校正時を挟んで以前と以降とで大
きな変化は生じずに、時間経過に伴ってほぼ直線的に変
化するもの、すなわち、 ｆA(t)＝ａ1ｔ＋ａ0 ……（ａ） ｆB(t)＝ｂ1ｔ＋ｂ0 ……（ｂ） の一次関数でそれぞれ表されるものとみなし、各係数ａ
1,ａ0,ｂ1,ｂ0を、同図（ｂ）に示すように、今回校正
時のゼロ点ドリフト量Ａnおよびスパンドリフト量Ｂ
nと、前回校正時に得られているゼロ点ドリフト量Ａn-1
およびスパンドリフト量Ｂn-1とから求める。
ンドリフト量が、今回校正時を挟んで以前と以降とで大
きな変化は生じずに、時間経過に伴ってほぼ直線的に変
化するもの、すなわち、 ｆA(t)＝ａ1ｔ＋ａ0 ……（ａ） ｆB(t)＝ｂ1ｔ＋ｂ0 ……（ｂ） の一次関数でそれぞれ表されるものとみなし、各係数ａ
1,ａ0,ｂ1,ｂ0を、同図（ｂ）に示すように、今回校正
時のゼロ点ドリフト量Ａnおよびスパンドリフト量Ｂ
nと、前回校正時に得られているゼロ点ドリフト量Ａn-1
およびスパンドリフト量Ｂn-1とから求める。
【００３２】すなわち、前回校正時から今回校正時まで
の経過時間をＴとし、また、今回校正の終了時点をｔ＝
０とすれば、（ａ）式での各係数は、 ａ1＝（Ａn−Ａn-1)／Ｔ ａ0＝Ａn となり、（ａ）式を書き換えれば、 ｆA(t)＝[(Ａn−Ａn-1)／Ｔ]ｔ＋Ａn ……（Ａ） となる。同様に（ｂ）式は、 ｆB(t)＝[(Ｂn−Ｂn-1)／Ｔ]ｔ＋Ｂn ……（Ｂ） となる。
の経過時間をＴとし、また、今回校正の終了時点をｔ＝
０とすれば、（ａ）式での各係数は、 ａ1＝（Ａn−Ａn-1)／Ｔ ａ0＝Ａn となり、（ａ）式を書き換えれば、 ｆA(t)＝[(Ａn−Ａn-1)／Ｔ]ｔ＋Ａn ……（Ａ） となる。同様に（ｂ）式は、 ｆB(t)＝[(Ｂn−Ｂn-1)／Ｔ]ｔ＋Ｂn ……（Ｂ） となる。
【００３３】 前記演算器８では、今回と前回との各校
正時に得られたゼロ点ドリフト量Ａn・Ａn-1およびスパ
ンドリフト量Ｂn・Ｂn-1から、今回校正の終了時に上記
（Ａ)(Ｂ）式の各ドリフト推定関数式を求め、これら関
数式に基づいて、次回の校正までの測定で逐次得られる
検出器出力信号Svに対し、 Sc＝［Sv−ｆA(t)]／[ｆB(t)/100] の演算を行って補正出力Scを求め、この補正出力Scから
濃度信号Sdを求めて出力する。
正時に得られたゼロ点ドリフト量Ａn・Ａn-1およびスパ
ンドリフト量Ｂn・Ｂn-1から、今回校正の終了時に上記
（Ａ)(Ｂ）式の各ドリフト推定関数式を求め、これら関
数式に基づいて、次回の校正までの測定で逐次得られる
検出器出力信号Svに対し、 Sc＝［Sv−ｆA(t)]／[ｆB(t)/100] の演算を行って補正出力Scを求め、この補正出力Scから
濃度信号Sdを求めて出力する。
【００３４】例えば、前回校正時でのゼロ点ドリフト量
Ａn-1が４％、スパンドリフト量Ｂn -1が103％、今回校
正時でのゼロ点ドリフト量Ａnが５％、スパンドリフト
量Ｂn- 1が105％であり、前回から今回までの経過時間Ｔ
を200時間、そして、今回校正時から例えば20時間経過
時における検出器出力信号Svが74％であったときには、 ｆA(20)＝[(５％−４％)/200Hr]×20Hr＋５％＝5.4％ ｆB(20)＝[(105％−103％)/200Hr]×20Hr＋105％＝105.
2％ Sc＝｛74％−5.4％｝／｛105.2％／100％｝＝65.2％ の演算によって補正出力Scが算出され、ＣＯ濃度6.52pp
mに対応する濃度信号Sdが出力される。
Ａn-1が４％、スパンドリフト量Ｂn -1が103％、今回校
正時でのゼロ点ドリフト量Ａnが５％、スパンドリフト
量Ｂn- 1が105％であり、前回から今回までの経過時間Ｔ
を200時間、そして、今回校正時から例えば20時間経過
時における検出器出力信号Svが74％であったときには、 ｆA(20)＝[(５％−４％)/200Hr]×20Hr＋５％＝5.4％ ｆB(20)＝[(105％−103％)/200Hr]×20Hr＋105％＝105.
2％ Sc＝｛74％−5.4％｝／｛105.2％／100％｝＝65.2％ の演算によって補正出力Scが算出され、ＣＯ濃度6.52pp
mに対応する濃度信号Sdが出力される。
【００３５】なお、今回校正時以降に上記のような補正
を行いながら測定が継続されて次回の校正時に達したと
きには、この次回の校正時に、この時に得られるゼロ点
ドリフト量Ａn+1・スパンドリフト量Ｂn+1と、今回のゼ
ロ点ドリフト量Ａn・スパンドリフト量Ｂnとから、前記
（Ａ)(Ｂ）式の各ドリフト推定関数式が新たに求められ
る。すなわち、各校正時毎にこれら関数式が逐次更新さ
れながら、測定が継続される。
を行いながら測定が継続されて次回の校正時に達したと
きには、この次回の校正時に、この時に得られるゼロ点
ドリフト量Ａn+1・スパンドリフト量Ｂn+1と、今回のゼ
ロ点ドリフト量Ａn・スパンドリフト量Ｂnとから、前記
（Ａ)(Ｂ）式の各ドリフト推定関数式が新たに求められ
る。すなわち、各校正時毎にこれら関数式が逐次更新さ
れながら、測定が継続される。
【００３６】以上の説明のように、本実施形態における
連続測定装置では、各校正時毎に、次の校正時までの間
でさらに変化するゼロ点ドリフト量やスパンドリフト量
に対するドリフト推定関数式を求め、次の校正時までの
間の測定出力について、この関数式で逐次得られる補正
量で補正するようになっている。したがって、各校正時
の間で出力される測定出力に対し、その直前の校正時に
求められた補正値で一律に補正が行われていた従来装置
に比べ、より精度の良好な測定結果を得ることができ
る。
連続測定装置では、各校正時毎に、次の校正時までの間
でさらに変化するゼロ点ドリフト量やスパンドリフト量
に対するドリフト推定関数式を求め、次の校正時までの
間の測定出力について、この関数式で逐次得られる補正
量で補正するようになっている。したがって、各校正時
の間で出力される測定出力に対し、その直前の校正時に
求められた補正値で一律に補正が行われていた従来装置
に比べ、より精度の良好な測定結果を得ることができ
る。
【００３７】なお、上記のような従来装置においても、
各校正時の間でのドリフト量の変化をさらに考慮して測
定精度を挙げるためには、例えば前回から今回の校正時
までに得られた測定データに対し、今回の校正時での各
ドリフト量に基づく補正を遡って行うようにすることも
考えられる。しかしながら、このような後作業を行うの
では測定効率が大きく低下する。これに対し、本実施形
態の装置では今回校正時以降に生じるドリフト量を推定
し、この推定ドリフト量に基づく補正が測定中に実時間
で実行されていくので、上記のような後作業を行うこと
なく、したがって良好な測定効率で精度の良い測定結果
を得ることができる。
各校正時の間でのドリフト量の変化をさらに考慮して測
定精度を挙げるためには、例えば前回から今回の校正時
までに得られた測定データに対し、今回の校正時での各
ドリフト量に基づく補正を遡って行うようにすることも
考えられる。しかしながら、このような後作業を行うの
では測定効率が大きく低下する。これに対し、本実施形
態の装置では今回校正時以降に生じるドリフト量を推定
し、この推定ドリフト量に基づく補正が測定中に実時間
で実行されていくので、上記のような後作業を行うこと
なく、したがって良好な測定効率で精度の良い測定結果
を得ることができる。
【００３８】また、本実施形態の装置では、各校正時の
間におけるドリフト量の変化を推定した補正が行われる
ことで、校正の頻度を多くしなくとも、精度の低下が極
力抑えられた測定結果を得ることができる。さらに、校
正から次の校正までの時間間隔をより長くし、したがっ
て校正頻度を従来よりも少なくしても測定精度の低下を
抑えることができるので、校正に必要なゼロガスやスパ
ンガスの消費量をより少なくすることができ、また、校
正に要する全体的な時間も少なくなって連続測定時間の
割合を多くすることが可能となって、測定効率をさらに
向上させることができる。
間におけるドリフト量の変化を推定した補正が行われる
ことで、校正の頻度を多くしなくとも、精度の低下が極
力抑えられた測定結果を得ることができる。さらに、校
正から次の校正までの時間間隔をより長くし、したがっ
て校正頻度を従来よりも少なくしても測定精度の低下を
抑えることができるので、校正に必要なゼロガスやスパ
ンガスの消費量をより少なくすることができ、また、校
正に要する全体的な時間も少なくなって連続測定時間の
割合を多くすることが可能となって、測定効率をさらに
向上させることができる。
【００３９】以上に本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明は上記形態に限定されるものではなく、本
発明の範囲内で種々変更することが可能である。例えば
上記では、ドリフト推定関数式ｆA(t)・ｆB(t)をそれぞ
れ一次関数とし、これらを、今回と前回との各校正時に
得られたゼロ点ドリフト量Ａn・Ａn-1およびスパンドリ
フト量Ｂn・Ｂn-1からそれぞれ求めるように構成した例
を示したが、例えば二次関数式や三次関数式などの任意
の高次関数式とし、これら関数式に基づいて補正する構
成とすることも可能である。
たが、本発明は上記形態に限定されるものではなく、本
発明の範囲内で種々変更することが可能である。例えば
上記では、ドリフト推定関数式ｆA(t)・ｆB(t)をそれぞ
れ一次関数とし、これらを、今回と前回との各校正時に
得られたゼロ点ドリフト量Ａn・Ａn-1およびスパンドリ
フト量Ｂn・Ｂn-1からそれぞれ求めるように構成した例
を示したが、例えば二次関数式や三次関数式などの任意
の高次関数式とし、これら関数式に基づいて補正する構
成とすることも可能である。
【００４０】例えばゼロ点ドリフトに対するドリフト推
定関数式ｆA(t)を、 ｆA(t)＝ａnｔn ＋ａn-1ｔn-1＋……＋ａ0 のようにｎ次線形関数（ｎは２以上の整数）とした場合
には、図３に示すように、前回校正時のゼロ点ドリフト
量Ａn-1に加え、前々回の校正時、さらに、上記式での
係数（未知数）ａn,ａn-1,…,ａ0の数だけ順次遡って行
われた各校正時のゼロ点ドリフト量Ａn-2,Ａn-3,…,Ａ0
と、各校正時から今回校正時までの経過時間とを前記演
算器８に記憶させておき、これら数値と、今回校正時の
ゼロ点ドリフト量Ａnとを上記式にそれぞれ代入して得
られる連立方程式から、各係数ａn,ａn-1,…,ａ0を求め
ることができ、上記ｎ次の関数式ｆA(t)を決定すること
ができる。また、スパンドリフトに対するドリフト推定
関数式ｆB(t)についても同様である。なお、各係数を求
めるに当たり、各校正時に得られているドリフト量の値
を上記係数の数よりも多く用いて、例えば最小二乗法等
を併用して、各係数を求めるようにすることも可能であ
る。
定関数式ｆA(t)を、 ｆA(t)＝ａnｔn ＋ａn-1ｔn-1＋……＋ａ0 のようにｎ次線形関数（ｎは２以上の整数）とした場合
には、図３に示すように、前回校正時のゼロ点ドリフト
量Ａn-1に加え、前々回の校正時、さらに、上記式での
係数（未知数）ａn,ａn-1,…,ａ0の数だけ順次遡って行
われた各校正時のゼロ点ドリフト量Ａn-2,Ａn-3,…,Ａ0
と、各校正時から今回校正時までの経過時間とを前記演
算器８に記憶させておき、これら数値と、今回校正時の
ゼロ点ドリフト量Ａnとを上記式にそれぞれ代入して得
られる連立方程式から、各係数ａn,ａn-1,…,ａ0を求め
ることができ、上記ｎ次の関数式ｆA(t)を決定すること
ができる。また、スパンドリフトに対するドリフト推定
関数式ｆB(t)についても同様である。なお、各係数を求
めるに当たり、各校正時に得られているドリフト量の値
を上記係数の数よりも多く用いて、例えば最小二乗法等
を併用して、各係数を求めるようにすることも可能であ
る。
【００４１】このように、二次以上の高次関数でドリフ
ト推定関数式を求める構成とすれば、これら関数式に
は、前々回以前における各ドリフト量の変化傾向もさら
に反映されて、実際に生じるドリフト変化傾向により近
づけることができる。したがって、今回校正時から次回
校正時までの測定出力について上記関数式に基づく補正
を行うことで、さらに精度の良好な測定値を得ることが
できる。
ト推定関数式を求める構成とすれば、これら関数式に
は、前々回以前における各ドリフト量の変化傾向もさら
に反映されて、実際に生じるドリフト変化傾向により近
づけることができる。したがって、今回校正時から次回
校正時までの測定出力について上記関数式に基づく補正
を行うことで、さらに精度の良好な測定値を得ることが
できる。
【００４２】一方、前記実施形態においては、連続測定
装置の例として、測定用赤外線センサ６ａと比較用赤外
線センサ６ｂとを備えるデュアルタイプの赤外線検出器
が設られた分析装置を挙げたが、測定用赤外線センサ６
ａのみを設けて構成される分析装置にも本発明を適用す
ることが可能である。
装置の例として、測定用赤外線センサ６ａと比較用赤外
線センサ６ｂとを備えるデュアルタイプの赤外線検出器
が設られた分析装置を挙げたが、測定用赤外線センサ６
ａのみを設けて構成される分析装置にも本発明を適用す
ることが可能である。
【００４３】さらに本発明は、所定ガス成分についての
濃度測定を行う装置に限定されるものではなく、例え
ば、化学プラント等における原料液のｐＨを測定するた
めに設けられているｐＨ測定装置など、定期的に校正を
行いながら測定対象の変化量を連続して測定するその他
任意の連続測定装置に、本発明を適用して構成すること
ができる。
濃度測定を行う装置に限定されるものではなく、例え
ば、化学プラント等における原料液のｐＨを測定するた
めに設けられているｐＨ測定装置など、定期的に校正を
行いながら測定対象の変化量を連続して測定するその他
任意の連続測定装置に、本発明を適用して構成すること
ができる。
【００４４】また前記実施形態においては、ゼロ点ドリ
フトとスパンドリフトとの双方について、各々推定ドリ
フト量を求めて補正する構成を挙げて説明したが、上記
各ドリフトのうちの一方のみを考慮すれば所望の精度を
維持し得る装置では、ゼロ点ドリフトとスパンドリフト
との一方についてのみ推定ドリフト量を求めて補正する
ような構成とすることも可能である。
フトとスパンドリフトとの双方について、各々推定ドリ
フト量を求めて補正する構成を挙げて説明したが、上記
各ドリフトのうちの一方のみを考慮すれば所望の精度を
維持し得る装置では、ゼロ点ドリフトとスパンドリフト
との一方についてのみ推定ドリフト量を求めて補正する
ような構成とすることも可能である。
【００４５】
【発明の効果】以上のように、本発明の連続測定装置に
おいては、今回の校正時と以前の校正時とで各々求めら
れたドリフト量から、次回の校正時までの間で変化する
ドリフト量を推定ドリフト量として求め、この推定ドリ
フト量に基づいて検出器出力信号の補正が行われる。こ
れにより、今回校正時から次回校正時までの間でのドリ
フト量の変化も加味された補正が行われるので、各校正
時に求められた補正量で次回の校正時までの補正が一律
に行われていた従来装置に比べ、校正頻度は従来のまま
にして測定効率の低下を生じさせることなく、より精度
の良好な測定結果を得ることができる。
おいては、今回の校正時と以前の校正時とで各々求めら
れたドリフト量から、次回の校正時までの間で変化する
ドリフト量を推定ドリフト量として求め、この推定ドリ
フト量に基づいて検出器出力信号の補正が行われる。こ
れにより、今回校正時から次回校正時までの間でのドリ
フト量の変化も加味された補正が行われるので、各校正
時に求められた補正量で次回の校正時までの補正が一律
に行われていた従来装置に比べ、校正頻度は従来のまま
にして測定効率の低下を生じさせることなく、より精度
の良好な測定結果を得ることができる。
【図１】本発明の一実施形態における赤外線分析装置で
の各校正時のドリフト量とドリフト推定関数式との関係
を示す説明図である。
の各校正時のドリフト量とドリフト推定関数式との関係
を示す説明図である。
【図２】上記赤外線分析装置の構成を示す模式図であ
る。
る。
【図３】本発明の他の実施形態における各校正時のドリ
フト量とドリフト推定関数式との関係を示す説明図であ
る。
フト量とドリフト推定関数式との関係を示す説明図であ
る。
【図４】従来の各校正時に求められるドリフト量に基づ
いて行われる補正の説明図である。
いて行われる補正の説明図である。
１ 測定セル ２ 赤外線光源 ４ａ 赤外線検出器 ８ 演算器（演算手段・ドリフト補正手段）
Claims (4)
- 【請求項１】 測定対象の変化に応じた信号を出力する
検出器と、この検出器から出力される検出器出力信号か
ら測定対象の量に対応する測定信号を求めて出力する演
算手段とを備える一方、検出器出力信号のドリフト量を
求めて補正するための校正が定期的に行われる連続測定
装置であって、 今回の校正時と以前の校正時とで各々求められたドリフ
ト量から、次回の校正時までの間に変化するドリフト量
を推定ドリフト量として求め、この推定ドリフト量に基
づいて上記検出器出力信号を補正して測定信号を出力さ
せるドリフト補正手段を設けていることを特徴とする連
続測定装置。 - 【請求項２】 時間に関して下記ｎ次式で表されるドリ
フト推定関数式ｆ(t）の係数ａn,ａn-1,…,ａ0を、今回
校正時と、今回校正時より前の少なくともｎ回の校正時
とで各々得られたドリフト量から求め、このドリフト推
定関数式ｆ(t）から上記推定ドリフト量を求める制御を
ドリフト補正手段が行うことを特徴とする請求項１の連
続測定装置。 ｆ(t）＝ａnｔn＋ａn-1ｔn-1…＋ａ0（但し、ｎは１以
上の整数） - 【請求項３】 上記ドリフト補正手段が、検出器出力信
号のゼロ点ドリフトに対して上記推定ドリフト量に基づ
く補正を行うことを特徴とする請求項１又は２の連続測
定装置。 - 【請求項４】 検出器の感度変化に対応するスパンドリ
フトに対し、上記推定ドリフト量に基づく補正をドリフ
ト補正手段が行うことを特徴とする請求項１、２又は３
の連続測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000245698A JP2002055049A (ja) | 2000-08-14 | 2000-08-14 | 連続測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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