JP6883036B2 - 試験ガス入口における圧力測定 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 111
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 title description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 111
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 8
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 8
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 150000002371 helium Chemical class 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
動作時間=V×pv,max/Q となる。
Q:スロットルD1を通過する流量
V:予備排気領域の体積
pv,max:許容最大予備排気圧力
なお本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様1〕
質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する装置であって、
質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、前記高真空ポンプ(14)の出口(24)が予備排気ポンプ(16)の入口(26)に接続されており、前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)が前記試験ガス入口(18)に接続されている、装置において、
前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)と前記高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間ガス入口(34)とが、流体スロットル(42)を有する接続ライン(38)によって互いに接続されていることを特徴とする、装置。
〔態様2〕
態様1に記載の装置において、前記スロットル(42)のガス通過量が、該スロットル(42)に生じる圧力差が約1000mbarのときに10 −5 mbar・l/s〜10 −3 mbar・l/sの範囲内であることを特徴とする、装置。
〔態様3〕
態様1または2に記載の装置において、前記スロットル(42)から前記接続ライン(38)の前記真空ポンプ側始点までの距離が、前記スロットル(42)から前記接続ライン(38)の前記高真空ポンプ側の終点までの距離よりも短いことを特徴とする、装置。
〔態様4〕
態様1から3のいずれか一態様に記載の装置において、前記スロットル(42)が、オリフィスまたはキャピラリーとして設計されていることを特徴とする、装置。
〔態様5〕
態様1から4のいずれか一態様に記載の装置において、前記予備排気ポンプ側の入口が、前記接続ライン(38)内にロックされていることを特徴とする、装置。
〔態様6〕
質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する方法であって、質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、前記高真空ポンプ(14)の出口(24)が予備排気ポンプ(16)の入口(26)に接続されており、前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)が前記試験ガス入口(18)に接続されている、方法において、
前記試験ガス入口(18)から前記予備排気ポンプ(16)へのガス流から、部分流が分岐され、絞られて前記高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間ガス入口(34)に供給されて、前記分岐した部分流における試験ガスの分圧を前記質量分析計(12)によって測定することにより、前記試験ガス入口(18)での圧力が測定されることを特徴とする、方法。
〔態様7〕
態様6に記載の方法において、前記部分流は、圧力差が約1000mbarのときに最大で10 −5 〜10 −3 mbar・l/sの範囲内にまで絞られることを特徴とする、方法。
〔態様8〕
態様6または7に記載の方法において、前記部分流の絞りの箇所を、前記高真空ポンプ(14)の前記中間ガス入口(34)よりも前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)の近くに位置させることを特徴とする、方法。
〔態様9〕
態様6から8のいずれか一態様に記載の方法において、前記分岐した部分流が、遮断されていることを特徴とする、方法。
14 高真空ポンプ
16 予備排気ポンプ
18 試験ガス入口
22 高真空ポンプ入口
24 高真空ポンプ出口
26 予備排気ポンプ入口
34 中間ガス入口
42 流体スロットル
Claims (14)
- 質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する装置であって、
質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、前記高真空ポンプ(14)の出口(24)が真空ライン(28)によって予備排気ポンプ(16)の入口(26)にガス導通可能に接続されており、前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)が予備排気入口ライン(30)によって前記試験ガス入口(18)にガス導通可能に接続されている、装置において、
前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)と前記高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間ガス入口(34)とが、ガス流を絞るスロットル(42)を有する接続ライン(38)によって互いに接続されており、
前記予備排気入口ライン(30)は、独立して閉鎖可能な第1のバルブ(V1)を有し、
前記真空ライン(28)が、独立して閉鎖可能な第2のバルブ(V2)と、圧力測定装置が接続されたさらなる予備排気領域を有し、
前記試験ガス入口(18)と前記中間ガス入口(34)は、独立して閉鎖可能な第3のバルブ(V4)を有する高真空入口ライン(32)によって接続されており、
前記予備排気領域は、
前記真空ライン(28)、および前記高真空入口ライン(32)を閉鎖した状態での大量リークを検知するための排気動作を、再度前記予備排気領域の排気を行うことなく十分な時間のあいだ維持し得るように寸法決めされている
ことを特徴とする、装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記予備排気領域は、大量リークの検知動作を1時間のあいだ中断することなく行い得るように寸法決めされていることを特徴とする、装置。 - 請求項1または2に記載の装置において、
前記予備排気領域は、10cm3超の体積を有することを特徴とする、装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の装置において、前記スロットル(42)のガス通過量が、該スロットル(42)に生じる圧力差が約1000mbarのときに10−5mbar・l/s〜10−3mbar・l/sの範囲内であることを特徴とする、装置。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の装置において、前記スロットル(42)から前記接続ライン(38)の前記真空ポンプ側始点までの距離が、前記スロットル(42)から前記接続ライン(38)の前記高真空ポンプ側の終点までの距離よりも短いことを特徴とする、装置。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の装置において、前記スロットル(42)が、オリフィスまたはキャピラリーとして設計されていることを特徴とする、装置。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の装置において、前記予備排気ポンプ(16)の入口(26)に接続された接続ラインの入口が遮断されていることを特徴とする、装置。
- 質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する方法であって、質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、前記高真空ポンプ(14)の出口(24)が真空ライン(28)によって予備排気ポンプ(16)の入口(26)にガス導通可能に接続されており、前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)が予備排気入口ライン(30)によって前記試験ガス入口(18)にガス導通可能に接続されている、方法において、
前記試験ガス入口(18)から前記予備排気ポンプ(16)へのガス流から、部分流が分岐され、絞られて前記高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間ガス入口(34)に供給されて、前記分岐した部分流における試験ガスの分圧を前記質量分析計(12)によって測定することにより、前記試験ガス入口(18)での圧力が測定され、
前記予備排気入口ライン(30)は、独立して閉鎖可能な第1のバルブ(V1)を有し、
前記真空ライン(28)が、独立して閉鎖可能な第2のバルブ(V2)と、圧力測定装置が接続されたさらなる予備排気領域を有し、
前記試験ガス入口(18)と前記中間ガス入口(34)は、独立して閉鎖可能な第3のバルブ(V4)を有する高真空入口ライン(32)によって接続されており、
前記予備排気領域は、
前記真空ライン(28)、および前記高真空入口ライン(32)を閉鎖した状態での、入口圧力15mbarを超える大量リークを検知するための排気動作を、再度前記予備排気領域の排気を行うことなく十分な時間のあいだ維持し得るように寸法決めされており、
前記高真空ポンプ(14)の動作中に、前記第2のバルブ(V2)および前記第3のバルブ(V4)を閉じるステップと、
前記第1のバルブ(V1)が開放された状態で、前記試験ガス入口(18)に接続された試験体を予備排気ポンプ(16)により真空粗引きするステップと、
前記試験体の真空粗引き中に、入口圧力15mbarを超える大量リークを検知するため前記真空ライン(28)を介し、前記圧力測定装置により前記試験ガス入口(18)における圧力を測定するステップを有する
ことを特徴とする、方法。 - 請求項8に記載の方法において、
前記予備排気領域は、
前記試験ガス入口(18)と前記中間ガス入口(34)を接続する
真空ライン(28)、高真空入口ライン(32)、および予備排気入口ライン(30)を閉鎖した状態での大量リークの検知動作を、再度前記予備排気領域の排気を行うことなく十分な時間のあいだ維持し得るように寸法決めされていることを特徴とする、方法。 - 請求項8または9に記載の方法において、
前記予備排気領域は、大量リークの検知動作を1時間のあいだ中断することなく行い得るように寸法決めされていることを特徴とする、方法。 - 請求項8から10のいずれか一項に記載の方法において、
前記予備排気領域は、10cm3超の体積を有することを特徴とする、方法。 - 請求項8から11のいずれか一項に記載の方法において、前記部分流は、圧力差が約1000mbarのときに最大で10−5〜10−3mbar・l/sの範囲内にまで絞られることを特徴とする、方法。
- 請求項8から12のいずれか一項に記載の方法において、前記部分流の絞りの箇所を、前記高真空ポンプ(14)の前記中間ガス入口(34)よりも前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)の近くに位置させることを特徴とする、方法。
- 請求項8から13のいずれか一項に記載の方法において、前記分岐した部分流が、遮断されていることを特徴とする、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015222213.6A DE102015222213A1 (de) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Druckmessung am Prüfgaseinlass |
DE102015222213.6 | 2015-11-11 | ||
PCT/EP2016/077242 WO2017081136A1 (de) | 2015-11-11 | 2016-11-10 | Druckmessung am prüfgaseinlass |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018533736A JP2018533736A (ja) | 2018-11-15 |
JP2018533736A5 JP2018533736A5 (ja) | 2019-12-12 |
JP6883036B2 true JP6883036B2 (ja) | 2021-06-02 |
Family
ID=57288406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018524276A Active JP6883036B2 (ja) | 2015-11-11 | 2016-11-10 | 試験ガス入口における圧力測定 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20180328809A1 (ja) |
EP (1) | EP3374746B1 (ja) |
JP (1) | JP6883036B2 (ja) |
KR (1) | KR20180088833A (ja) |
CN (1) | CN108369151B (ja) |
DE (1) | DE102015222213A1 (ja) |
TW (1) | TWI718204B (ja) |
WO (1) | WO2017081136A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3069639B1 (fr) * | 2017-07-26 | 2019-08-30 | Pfeiffer Vacuum | Sonde de reniflage, detecteur de fuites et procede de detection de fuites |
FR3070489B1 (fr) * | 2017-08-29 | 2020-10-23 | Pfeiffer Vacuum | Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester |
FR3072774B1 (fr) * | 2017-10-19 | 2019-11-15 | Pfeiffer Vacuum | Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester |
CN110007013A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-07-12 | 中国石油天然气集团公司 | 一种输气管道气体组分实时分析系统及实时分析方法 |
CN111707423B (zh) * | 2020-06-18 | 2022-04-15 | 苏州镓港半导体有限公司 | 真空系统测漏方法及用于真空系统的测漏装置 |
GB2606392B (en) * | 2021-05-07 | 2024-02-14 | Edwards Ltd | A fluid routing for a vacuum pumping system |
DE102021119256A1 (de) | 2021-07-26 | 2023-01-26 | Inficon Gmbh | Leckdetektoren |
DE102022115562A1 (de) * | 2022-06-22 | 2023-12-28 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Messung der Umgebungskonzentration eines leichten Gases mit einer massenspektrometrischen Gegenstrom-Lecksuchvorrichtung |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0746074B2 (ja) * | 1984-11-27 | 1995-05-17 | 日電アネルバ株式会社 | 真空計 |
DE3775213D1 (de) | 1987-03-27 | 1992-01-23 | Leybold Ag | Lecksuchgeraet und betriebsverfahren dazu. |
DE4140366A1 (de) | 1991-12-07 | 1993-06-09 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen |
DE4228313A1 (de) * | 1992-08-26 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe |
DE4326264A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Testgasdetektor mit Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
DE19504278A1 (de) * | 1995-02-09 | 1996-08-14 | Leybold Ag | Testgas-Lecksuchgerät |
FR2761776B1 (fr) * | 1997-04-03 | 1999-07-23 | Alsthom Cge Alcatel | Detecteur de fuite a gaz traceur |
DE19735250A1 (de) * | 1997-08-14 | 1999-02-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher |
DE10324596A1 (de) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
CN100529705C (zh) * | 2003-06-11 | 2009-08-19 | 瓦里安有限公司 | 用于大泄漏测试的方法和装置 |
JP4374241B2 (ja) * | 2003-12-05 | 2009-12-02 | アディクセン スカンディナビア エービー | 対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法 |
DE102006034735A1 (de) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
US7500381B2 (en) * | 2006-08-31 | 2009-03-10 | Varian, Inc. | Systems and methods for trace gas leak detection of large leaks at relatively high test pressures |
US8661875B2 (en) * | 2012-05-07 | 2014-03-04 | Caterpillar Inc. | System and method to detect accumulator loss of precharge |
CN103207050B (zh) * | 2013-04-15 | 2015-06-03 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种可延长密封器件候检时间的质谱检漏预充氦法 |
DE102013218506A1 (de) * | 2013-09-16 | 2015-03-19 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe |
-
2015
- 2015-11-11 DE DE102015222213.6A patent/DE102015222213A1/de not_active Withdrawn
-
2016
- 2016-11-10 WO PCT/EP2016/077242 patent/WO2017081136A1/de active Application Filing
- 2016-11-10 JP JP2018524276A patent/JP6883036B2/ja active Active
- 2016-11-10 KR KR1020187016459A patent/KR20180088833A/ko active IP Right Grant
- 2016-11-10 CN CN201680064312.6A patent/CN108369151B/zh active Active
- 2016-11-10 US US15/774,752 patent/US20180328809A1/en not_active Abandoned
- 2016-11-10 EP EP16795011.2A patent/EP3374746B1/de active Active
- 2016-11-11 TW TW105136961A patent/TWI718204B/zh active
-
2020
- 2020-05-07 US US16/869,165 patent/US20200264066A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3374746B1 (de) | 2020-07-15 |
US20180328809A1 (en) | 2018-11-15 |
TW201721119A (zh) | 2017-06-16 |
CN108369151B (zh) | 2021-06-04 |
DE102015222213A1 (de) | 2017-05-11 |
TWI718204B (zh) | 2021-02-11 |
KR20180088833A (ko) | 2018-08-07 |
JP2018533736A (ja) | 2018-11-15 |
CN108369151A (zh) | 2018-08-03 |
US20200264066A1 (en) | 2020-08-20 |
EP3374746A1 (de) | 2018-09-19 |
WO2017081136A1 (de) | 2017-05-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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