RU2545355C2 - Способ функциональной проверки течеискателя - Google Patents

Способ функциональной проверки течеискателя Download PDF

Info

Publication number
RU2545355C2
RU2545355C2 RU2011138075/28A RU2011138075A RU2545355C2 RU 2545355 C2 RU2545355 C2 RU 2545355C2 RU 2011138075/28 A RU2011138075/28 A RU 2011138075/28A RU 2011138075 A RU2011138075 A RU 2011138075A RU 2545355 C2 RU2545355 C2 RU 2545355C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
leak detector
partial pressure
space
syringe
test
Prior art date
Application number
RU2011138075/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2011138075A (ru
Inventor
РОЛЬФФ Рандольф
Original Assignee
Инфикон Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Инфикон Гмбх filed Critical Инфикон Гмбх
Publication of RU2011138075A publication Critical patent/RU2011138075A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2545355C2 publication Critical patent/RU2545355C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00—Vacuum gauges
    • G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
    • G01L27/005—Apparatus for calibrating pressure sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/207—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material calibration arrangements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области исследований устройство на герметичность и может быть использовано для функциональной проверки течеискателя (20). Сущность: течеискатель (20) содержит датчик (21) парциального давления, входное отверстие (24) которого является входным отверстием течеискателя (20), камеру (22) обнаружения с селективно проницаемым для тестового газа окном (23). В камере (22) обнаружения размещен датчик давления для выдачи индикации, соответствующей парциальному давлению тестового газа. К течеискателю (20) подключают испытательное устройство (30), имеющее пространство (33) и изменяемым объемом и шкалу для наблюдения за размером этого пространства. Изменяя размер пространства (33) испытательного устройства (30), изменяют парциальное давление содержащегося в атмосферном воздухе тестового газа у входного отверстия (24) датчика (21) парциального давления. Проверяют, показывает ли течеискатель (20) изменение парциального давления. Технический результат: упрощение функциональной проверки течеискателя, снижение трудозатрат и затрат времени. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к способу функциональной проверки течеискателя, имеющего входное отверстие для газа.
Течеискатели служат для определения наличия тестового газа в потоке газа. Поток газа стандартно создается за счет отсасывания газа из резервуара; но также может использоваться поток только за счет диффузии. Если тестовый газ, обычно гелий, снаружи распрыскивается на резервуар, то в случае утечки тестовый газ проникает вовнутрь резервуара, за счет чего тестовый газ является устанавливаемым в извлеченном газовом потоке. Другой метод предусматривает, что тестовый газ вводится в проверяемый на герметичность резервуар. С наружной стороны резервуара течеискателем для работы методом щупа производится откачивание для того, чтобы распознать выходящий тестовый газ.
Если в вакуумной установке, которая имеет вакуумируемый резервуар и соответствующее вакуумное насосное устройство, должна быть произведена проверка на предмет утечек, то течеискатель необходимо подключить к всасывающей линии вакуумного насосного устройства. В то время как дорогостоящие течеискатели для выявления тестового газа содержат масс-спектрометр, также известны и датчики парциального давления, которые менее дорогостоящи и имеют относительно легкий вес. Такой датчик парциального давления для гелия или водорода в качестве тестового газа описан в WO 2002003057 (Inficon). Датчик имеет окно с, например, селективно проницаемой для гелия мембраной, которая ограничивает камеру датчика, и датчик давления внутри камеры датчика. Датчик работает при любом давлении окружающей среды.
Еще один пример датчика парциального давления описан в DE 102006047856 A1 (Inficon). Подобные датчики парциального давления известны под наименованием Wise Technology™.
В основу изобретения положена задача создания способа функциональной проверки течеискателя, в котором функциональная проверка может выполняться без перекачивающего насоса.
Объектом изобретения является способ функциональной проверки течеискателя, имеющего входное отверстие для газа, через которое к течеискателю подключают испытательное устройство, имеющее пространство с изменяемым объемом. В соответствии с изобретением для решения поставленной задачи течеискатель содержит датчик парциального давления, имеющий вышеупомянутое входное отверстие, камеру обнаружения с селективно проницаемым для тестового газа окном и датчик давления для выдачи индикации, соответствующей парциальному давлению тестового газа, причем, изменяя размер пространства испытательного устройства и наблюдая указывающую размер пространства шкалу, изменяют парциальное давление содержащегося в атмосферном воздухе тестового газа у входного отверстия датчика парциального давления и проверяют, показывает ли течеискатель изменение парциального давления.
Предлагаемый способ функциональной проверки отказывается от машинных вакуумных насосов и использует вместо этого испытательное устройство с пространством с изменяемым объемом. Такое испытательное устройство может легко транспортироваться и подключаться к течеискателю. Предпочтительным образом, его задействование выполняется вручную, поэтому также не требуются двигатели или прочие приводы.
Способ особенно подходит для гелиевого течеискателя для использования в вакуумных установках, которые имеют резервуар и вакуумное насосное устройство. Течеискатель подключается в подходящем месте к всасывающей магистрали. Ему не требуется собственный насос, так как поток всасывания создается вакуумным насосным устройством установки. Подобный мини-течеискатель особенно подходит для сервисных целей, так как из-за отсутствующих собственных насосов его легко транспортировать. Перед сервисным обслуживанием техник сервисного обслуживания должен проверить работу течеискателя, по возможности также с проверкой чувствительности. Так, он может предотвратить выезд с неисправным прибором или подключение неисправного прибора к установке. Поскольку течеискатель не имеет встроенного насоса, то функциональная проверка выполняется небольшим испытательным устройством малого веса.
Изобретение использует эффект, заключающийся в том, что тестовый газ, такой как гелий или водород, содержится в окружающем воздухе, и что доля тестового газа в воздухе относительно постоянна. За счет увеличения пространства испытательного устройства можно уменьшить давление, которое действует на входном отверстии датчика, за счет чего также соответствующим образом снижается парциальное давление тестового газа. Тем самым, возможна функциональная проверка течеискателя, во время которой проверяется, показывает ли течеискатель изменение парциального давления. Также возможна калибровка течеискателя, когда измеренное изменение парциального давления соотносится с содержащейся в окружающем воздухе долей гелия.
Технические результаты, достигаемые при осуществлении изобретения, заключаются в упрощении функциональной проверки течеискателя и соответствующих технических средств, а также в снижении трудозатрат и затрат времени, сопряженных с функциональной проверкой течеискателя.
Испытательное устройство может быть выполнено носимым, предпочтительно имеет ручной привод. Функциональную проверку течеискателя можно выполнять перед каждым применением последнего. Сопоставление изменения объема пространства проверочного устройства визуально по указывающей размер пространства шкале с изменением показаний течеискателя позволяет быстро сделать вывод о работоспособности течеискателя.
Предпочтительным образом испытательное устройство состоит из шприца, подобного тому, который используется при вводе медицинских жидкостей. Такой шприц имеет корпус шприца и перемещаемый в нем поршень, который связан с поршневым штоком. При втягивании поршня пространство внутри шприца увеличивается. На переднем конце корпуса шприца находится конус шприца. Он может быть герметично соединен с адаптером, который установлен на входном отверстии датчика парциального давления. При использовании шприца изменение объема пространства заключается в том, что путем перемещения поршня увеличивают объем пространства, находящегося внутри корпуса шприца.
Изобретение позволяет технику сервисного обслуживания выполнять простую функциональную проверку и калибровку течеискателя без необходимости в инструментах в любом месте. Все, что необходимо вести с собой, это приводимое вручную испытательное устройство. Вместо шприца испытательное устройство может состоять из блока поршневого цилиндра или иного пространства с изменяемым объемом.
Далее пример осуществления объясняется подробнее со ссылкой на чертежи.
Показано на:
Фиг. 1 - использование датчика парциального давления в установке, которая состоит из герметичного резервуара и вакуумного насосного устройства, и
Фиг. 2 - схематическое изображение использования испытательного устройства в случае датчика парциального давления, который должен использоваться согласно фиг. 1.
На фиг. 1 показана вакуумная установка, которая имеет резервуар 10, внутреннее пространство которого должно быть вакуумировано. Резервуар 10 может быть реактором для вакуумной обработки заготовок, например для ионно-плазменного распыления, термического напыления, химического осаждения из газовой фазы и т.п.
Вакуумная проверка должна установить, проникает ли тестовый газ, в данном случае - гелий, снаружи в вакуумируемый резервуар 10. Скорость утечки гелия обозначена QHe.
Резервуар 10 подключен к вакуумному насосу 11, например роторно-щелевому насосу. Выходное отверстие вакуумного насоса 11 соединено с всасывающим входным отверстием вакуумного насоса 12. Выходное отверстие 13 насоса 12 предварительного разрежения выходит в окружающий воздух, в котором действует атмосферное давление.
На всасывающем входном отверстии вакуумного насоса 11 присутствует скорость откачки SI и давление PI. Там находится вывод 14, к которому может быть подключен течеискатель.
На всасывающем входном отверстии насоса 12 предварительного разрежения присутствует скорость откачки SII и давление PII. Там находится вывод 15, к которому по выбору также может быть подключен течеискатель.
На выходном отверстии насоса 12 предварительного разрежения действует давление PIII. Там находится вывод 16, к которому по выбору также может быть подключен течеискатель.
На фиг. 1 течеискатель 20 подключен к выводу 15.
Типичные примеры параметров QHe, V, Р и S во время эксплуатации вакуумной установки таковы:
QHe=10-7…10-4…10-3…10-1 мбарл/с (прим.)
V=[0,5 л] 0,5 м3…80 м3
PI=10-2…15 мбар
SI=…800 л/с (3000 м3/ч)
PII=10-2…0,1…45 мбар
SII=1…350 л/с (1260 м3/ч)
PIII=атм.
На фиг. 2 показана функциональная проверка течеискателя 20. Течеискатель имеет датчик 21 парциального давления, который выполнен таким же образом, как описано в DE 10031882 А1, который тем самым включается в данную заявку путем ссылки. Датчик парциального давления имеет камеру 22 обнаружения, которая имеет селективно проницаемое для гелия окно, которое образует входное отверстие 24 датчика парциального давления. В камере 22 обнаружения находится датчик давления, например в форме датчика давления Пеннинга, как также описывается в DE 102004034831 А1. Он обеспечивает соответствующую парциальному давлению гелия индикацию на блоке 25 анализа.
К входу 24 подключен адаптер, который обеспечивает возможность герметичного подключения испытательного устройства 30. В данном случае испытательное устройство 30 состоит из шприца, который имеет корпус 31 шприца и выполненный в нем с возможностью смещения поршень 32. Перед поршнем 32 находится пространство 33 с изменяемым пространством. За счет смещения поршня 32 вручную размер пространства 33 изменяется. На переднем конце шприца находится конус 34 шприца, который герметично соединен с адаптером 26.
Датчик 21 парциального давления измеряет парциальное давление гелия. К датчику парциального давления подключено испытательное устройство 30, при этом должен быть определен закрытый объем между окном 23 и передним концом пути поршня для того, чтобы при изменении объема создать стабильное заданное изменение давления.
Сначала на датчике присутствует давление воздуха в 100 мбар и парциальное давление гелия примерно в 5Е-3 мбар. Если теперь увеличивают за счет поршня шприца пространство корпуса до известного объема, с наблюдением нанесенной на корпус шприца шкалы, то давление воздуха и парциальное давление гелия на датчике понижается на соотношение, которое зависит от закрытого объема и объема шприца. Шприц используется, так сказать, как "насос". За счет этого падения давления индикация скорости утечки на течеискателе изменится. Тем самым можно проверить работу течеискателя и при известном парциальном давлении гелия даже количественно проверить чувствительность течеискателя.
Изобретение предлагает следующие преимущества:
- не требуется ни насос, ни дополнительные газы (такие как азот или гелий);
- необходимые средства измерения очень экономичны; запасной шприц можно найти где угодно;
- измеряется действительно чувствительность гелия, а не какая-то эквивалентная величина. За счет этого проверяется весь измерительный участок;
- можно получить и количественные параметры.

Claims (5)

1. Способ функциональной проверки течеискателя, имеющего входное отверстие (24) для газа, через которое к течеискателю (20) подключают испытательное устройство (30), имеющее пространство (33) с изменяемым объемом, отличающийся тем, что течеискатель (20) содержит датчик (21) парциального давления, имеющий вышеупомянутое входное отверстие (24), камеру обнаружения с селективно проницаемым для тестового газа окном (23) и датчик давления для выдачи индикации, соответствующей парциальному давлению тестового газа, причем, изменяя размер пространства (33) испытательного устройства и наблюдая указывающую размер пространства шкалу, изменяют парциальное давление содержащегося в атмосферном воздухе тестового газа у входного отверстия (24) датчика парциального давления и проверяют, показывает ли течеискатель изменение парциального давления.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что испытательное устройство состоит из шприца с корпусом (31) шприца и выполненного с возможностью перемещения в нем поршня (32).
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что изменение объема пространства (33) заключается в том, что путем перемещения поршня (32) увеличивают объем пространства, находящегося внутри корпуса (31) шприца.
4. Способ по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что испытательное устройство (20) приводят в действие вручную.
5. Способ по п.2 или 3, отличающийся тем, что входное отверстие (24) датчика (21) парциального давления оснащено адаптером (26), который обеспечивает возможность герметичного подключения шприца.
RU2011138075/28A 2009-02-18 2010-02-10 Способ функциональной проверки течеискателя RU2545355C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009009370.2 2009-02-18
DE200910009370 DE102009009370A1 (de) 2009-02-18 2009-02-18 Verfahren zur Funktionsprüfung eines Lecksuchgerätes
PCT/EP2010/051652 WO2010094608A1 (de) 2009-02-18 2010-02-10 Verfahren zur funktionsprüfung eines lecksuchgerätes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011138075A RU2011138075A (ru) 2013-03-27
RU2545355C2 true RU2545355C2 (ru) 2015-03-27

Family

ID=42026401

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011138075/28A RU2545355C2 (ru) 2009-02-18 2010-02-10 Способ функциональной проверки течеискателя

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8850866B2 (ru)
EP (1) EP2399113B1 (ru)
JP (1) JP5575812B2 (ru)
CN (1) CN102317753B (ru)
BR (1) BRPI1008911A2 (ru)
DE (1) DE102009009370A1 (ru)
RU (1) RU2545355C2 (ru)
WO (1) WO2010094608A1 (ru)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6243762B2 (ja) * 2014-03-14 2017-12-06 サーパス工業株式会社 圧力センサ
FR3034192B1 (fr) * 2015-03-23 2017-04-07 Pfeiffer Vacuum Sas Detecteur de fuites et procede de detection de fuites
CN104990673A (zh) * 2015-08-11 2015-10-21 遵义市产品质量检验检测院 一种移液器密合性检验装置
CN111093741B (zh) * 2017-09-14 2022-08-16 隆萨有限公司 用于改进密封完整性测试的设备和方法
CN108871681B (zh) * 2018-09-03 2020-04-21 大同新成新材料股份有限公司 一种受电弓滑板气密性检测台
US11067473B2 (en) * 2019-06-07 2021-07-20 Packaging Technologies & Inspection, LLC System and method for high voltage leak detection
CN110887608A (zh) * 2019-11-29 2020-03-17 国网重庆市电力公司电力科学研究院 一种电缆外护套破损点带电检测系统和方法
CN113358290B (zh) * 2021-06-16 2022-05-31 马鞍山市奈特仪表科技有限公司 一种基于氦质谱检漏仪的不锈钢密封检测方法
DE102021134647A1 (de) * 2021-12-23 2023-06-29 Inficon Gmbh Vakuumlecksucher mit Ansprüh-Membran-Testleck und Verfahren

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5661229A (en) * 1993-08-05 1997-08-26 Leybold Aktiengesellschaft Test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind
RU2180738C2 (ru) * 2000-05-15 2002-03-20 Открытое акционерное общество "ГАЗ" Способ контроля изделий на герметичность и устройство для его осуществления
WO2006032591A1 (de) * 2004-09-22 2006-03-30 Inficon Gmbh Leckprüfverfahren und leckprüfvorrichtung mit partialdrucksensor
DE102006016747A1 (de) * 2006-04-10 2007-10-18 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Leckprüfung

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB619133A (en) * 1945-01-31 1949-03-04 Marconi Wireless Telegraph Co Improvements in or relating to ionization gauges suitable for leak detection in evacuated systems
US3436955A (en) * 1967-08-28 1969-04-08 G R S Eng Co Inc Means to create a predetermined test pressure
US3530708A (en) * 1968-11-25 1970-09-29 Geigy Chem Corp Device for testing liquid tightness of a valve assembly
DE2926112A1 (de) * 1979-06-28 1981-01-08 Bosch Gmbh Robert Testleck-sonde
US4269058A (en) * 1979-10-22 1981-05-26 Marshall Electronics, Inc. Method and apparatus for determining the accuracy of a sphygmomanometer
US4384470A (en) * 1981-04-13 1983-05-24 Joseph Fiore Method and apparatus for testing blood vessel catheters
JP2612999B2 (ja) * 1992-10-26 1997-05-21 日本電信電話株式会社 質量分析型ガス漏れ検知器
JPH0845541A (ja) * 1994-07-29 1996-02-16 Sanyo Electric Co Ltd 密閉型電池の密閉度合い判定方法
JPH09311090A (ja) * 1996-05-22 1997-12-02 Fukuda:Kk エアリークテスタの容積変更装置
JP3740781B2 (ja) * 1997-03-17 2006-02-01 株式会社島津製作所 リーク判定方法、ヘリウムリークディテクタ
US5889199A (en) * 1997-05-13 1999-03-30 Jaesent Inc. Portable leak detector
EP0791814A3 (en) * 1997-05-26 1997-11-26 Martin Lehmann Method for leak testing and leak testing apparatus
DE19960174A1 (de) * 1999-12-14 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Lecksuche und Lecklokalisierung sowie zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Vorrichtungen
DE10031882A1 (de) * 2000-06-30 2002-01-10 Leybold Vakuum Gmbh Sensor für Helium oder Wasserstoff
DE10062126A1 (de) * 2000-12-13 2002-06-20 Inficon Gmbh Verfahren zur Feststellung eines Gases mit Hilfe eines Infrarot-Gasanlaysators sowie für die Durchführung dieser Verfahren geigneter Gasanalysator
DE102004034831A1 (de) 2004-07-19 2006-03-16 J. Rettenmaier & Söhne Gmbh + Co. Kg Räucherholz
US8066629B2 (en) * 2005-02-24 2011-11-29 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Apparatus for adjustment and sensing of gastric band pressure
DE102006047856A1 (de) 2006-10-10 2008-04-17 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher
US20080202210A1 (en) * 2007-02-28 2008-08-28 Varian, Inc. Test gas leak detection using a composite membrane
US8725435B2 (en) * 2011-04-13 2014-05-13 Apollo Endosurgery, Inc. Syringe-based leak detection system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5661229A (en) * 1993-08-05 1997-08-26 Leybold Aktiengesellschaft Test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind
RU2180738C2 (ru) * 2000-05-15 2002-03-20 Открытое акционерное общество "ГАЗ" Способ контроля изделий на герметичность и устройство для его осуществления
WO2006032591A1 (de) * 2004-09-22 2006-03-30 Inficon Gmbh Leckprüfverfahren und leckprüfvorrichtung mit partialdrucksensor
DE102006016747A1 (de) * 2006-04-10 2007-10-18 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Leckprüfung

Also Published As

Publication number Publication date
US8850866B2 (en) 2014-10-07
CN102317753A (zh) 2012-01-11
JP2012518160A (ja) 2012-08-09
CN102317753B (zh) 2014-12-10
JP5575812B2 (ja) 2014-08-20
WO2010094608A1 (de) 2010-08-26
RU2011138075A (ru) 2013-03-27
EP2399113A1 (de) 2011-12-28
BRPI1008911A2 (pt) 2016-03-15
US20120031162A1 (en) 2012-02-09
EP2399113B1 (de) 2016-11-23
DE102009009370A1 (de) 2010-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2545355C2 (ru) Способ функциональной проверки течеискателя
US8646315B2 (en) Method and device for tightness testing
US7779675B2 (en) Leak indicator comprising a sniffer probe
RU2573121C2 (ru) Течеискатель
CN106226000B (zh) 一种真空密封性能测量装置和方法
CN108369151B (zh) 测试气体入口处的压力测量
CN104541142B (zh) 用于检查密封产品的泄漏的检测方法和设备
KR20110055334A (ko) 리크 디텍터 및 누설 검출 방법
US8893543B2 (en) Leak detection method
US20240019336A1 (en) Gas leak detection device and gas leak detection method for identifying a gas leak in a test object
US20150308916A1 (en) Leak Detector
CN113405740B (zh) 一种氟化物泄漏检测设备及检测方法
RU2538420C2 (ru) Устройство контроля герметичности микроструктур
US20240159616A1 (en) Functionally testing a leak detection device for checking the sealing tightness of an inspection object filled with a liquid
CN117501083A (zh) 泄漏检测器
TW202248601A (zh) 基於嗅探的精細洩漏檢測系統
TW202409533A (zh) 洩漏偵測裝置及其用於在測試樣品中偵測氣體洩漏的方法
CN118076869A (zh) 粘性流中的泄漏检测
Große Bley Leak Detection Methods

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170211