RU2573121C2 - Течеискатель - Google Patents

Течеискатель Download PDF

Info

Publication number
RU2573121C2
RU2573121C2 RU2013114729/28A RU2013114729A RU2573121C2 RU 2573121 C2 RU2573121 C2 RU 2573121C2 RU 2013114729/28 A RU2013114729/28 A RU 2013114729/28A RU 2013114729 A RU2013114729 A RU 2013114729A RU 2573121 C2 RU2573121 C2 RU 2573121C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor
gas
leak detector
sucked
inactive state
Prior art date
Application number
RU2013114729/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2013114729A (ru
Inventor
Даниель ВЕТЦИГ
Скотт ДАЛТОН
Даниел ХОФФМАНН
Уолуин Джр. ДЖЕКСОН
Original Assignee
Инфикон Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=44653282&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2573121(C2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Инфикон Гмбх filed Critical Инфикон Гмбх
Publication of RU2013114729A publication Critical patent/RU2013114729A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2573121C2 publication Critical patent/RU2573121C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/002—Investigating fluid-tightness of structures by using thermal means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/20—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0031—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array
    • G01N33/0032—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array using two or more different physical functioning modes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к течеискателю для обнаружения газового компонента во всосанном газе. Течеискатель имеет первый датчик для обнаружения газового компонента (гелия) во всосанном газе. Так как датчик является чувствительным к насыщению или же загрязнению, предусмотрен датчик теплопроводности. Датчик теплопроводности имеет меньшую чувствительность обнаружения, однако при высоких концентрациях он не подвержен опасности загрязнения. За счет обоих датчиков вместе может быть зарегистрирован больший диапазон от экстремально высокой чувствительности измерений до больших концентраций газового компонента, какие могут выступать при больших утечках. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности устройства. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Изобретение относится к течеискателю для обнаружения по меньшей мере одного газового компонента во всосанном газе.
Для проверки герметичности посредством поверочного газа гелия обнаружение гелия в промышленных приборах происходит, как правило, с помощью масс-спектрометра, для функционирования которого требуется создание высокого вакуума. В другом методе обнаружения используется селективно проницаемая для гелия мембрана, которая закрывает полость, в которой находится датчик давления. В полости возникает давление, которое соответствует парциальному давлению гелия в окружающей атмосфере. Мембрана, как правило, требует подогрева. Подобный датчик называют датчиком парциального давления по технологии Wise. Он производится фирмой INFICON GmbH. Течеискатели-шнифферы по технологии Wise описаны в заявках DE 102005021909 А1 и DE 102006047856 A1. Подобные датчики в форме масс-спектрометров или датчиков парциального давления обладают высокой чувствительностью, но не выдерживают слишком высоких концентраций поверочного газа. Обнаружение гелия по технологии Wise ограничено парциально давлением примерно 0,5 мбар. При больших утечках датчик должен быть защищен от высоких концентраций. После сильного загрязнения прибор на несколько секунд теряет чувствительность, так что пользователь не может продолжать проверку герметичности. Прежде всего, невозможно локализовать место крупной утечки. Когда атмосферный щуп достигает окрестностей крупной утечки, система для защиты переключает датчик в неактивное состояние. Аналогичным образом другие типы датчиков тоже подвержены загрязнению или насыщению. Измерения концентрации невозможны также при достижении предела насыщения.
Другим датчиком насыщаемого газоселективного типа является масс-спектрометр. Масс-спектрометр имеет очень высокую чувствительность и газоселективность, однако для своего функционирования требует высокого вакуума, то есть очень низкого значения общего давления на входе своей измерительной системы. Когда общее давление превышает допустимое предельное значение, масс-спектрометр попадает в область насыщения.
В основе изобретения лежит задача усовершенствовать течеискатель высокой чувствительности таким образом, чтобы расширить диапазон измерений до более высоких концентраций и более высоких значений общего давления.
Первый вариант течеискателя согласно изобретению определен в п.1 формулы изобретения.
Согласно изобретению имеется первый датчик типа насыщаемого газоселективного датчика. Дополнительно предусмотрен второй датчик типа датчика теплопроводности. Первый датчик служит для измерения низких концентраций, а второй датчик принимает на себя измерение при высоких концентрациях, при которых первый датчик более неработоспособен.
Течеискатели с датчиком теплопроводности известны. Примеры таких датчиков описаны в US 3020746, US 3786675 и JP 09292302 A. Датчики имеют температурно-зависимый резистор, находящийся в измерительном мосту и расположенный в газе или газовом потоке. Газовый поток или газ отводят тепло от резистора. Чем больше плотность газа, тем больше отвод тепла от резистора. Обычно измеряется идущая на нагрев мощность, необходимая для поддержания постоянной температуры резистора. Таким образом указывается значение теплопроводности газа. Когда протекающим газом является воздух, который содержит гелий, плотность всего газа по мере увеличения доли гелия уменьшается. За счет этого также уменьшается теплопроводность. Датчики теплопроводности имеют низкую газоселективность. Однако они не зависят от насыщения или загрязнения и функционируют даже при высоких концентрациях газового компонента в окружающем газе. Однако чувствительность измерений ограничена.
Определение, что первый датчик является датчиком насыщаемого газоселективного типа, следует понимать в том смысле, что выше определенной концентрации или определенного парциального давления газового компонента датчик больше не дает пригодного количественного результата измерений. Сюда входит случай загрязнения. Загрязнение наступает при высоких значениях концентрации. После тяжелого загрязнения детекторная система на несколько секунд теряет чувствительность, так что пользователь не может продолжать проверку герметичности. Прежде всего, невозможно локализовать место крупной утечки. Когда атмосферный щуп достигает окрестностей крупной утечки, система для защиты переключает датчик в неактивное состояние. К датчикам типа насыщаемых газоселективных датчиков относятся следующие: масс-спектрометры, датчики Wise, датчики на основе металлогидрида для обнаружения H2, датчики на основе оксида металла для обнаружения H2 (для анализа хладагентов или спирта), датчики с дисперсным или недисперсным поглощением ИК.
Поскольку второй датчик как датчик теплопроводности не подвержен воздействию слишком высоких концентраций, он может быть включен постоянно. При низких концентрациях оба типа датчиков действуют, а при высоких концентрациях первый датчик переключается в неактивное состояние. Управление переключением первого датчика может осуществляться в зависимости как от результатов измерения первого датчика, так и от результатов измерения второго датчика.
Реализация неактивного состояния первого датчика может осуществляться различными способами. Одна возможность состоит в том, чтобы перекрывать газовый поток к первому датчику. Другая возможность состоит в том, чтобы переключать первый датчик в неактивное состояние. В случае датчика Wise это осуществляется тем, что ток нагрева через газоселективную мембрану прерывается, так что мембрана охлаждается и становится менее проницаемой.
Изобретение применимо, прежде всего, для течеискателей-шнифферов, в которых газ всасывается в ручной атмосферный щуп. Второй датчик может быть расположен на атмосферном щупе или на главном приборе, с которым атмосферный щуп соединен гибкой трубкой.
В качестве датчиков теплопроводности пригодны, например, датчик AWM-2300 фирмы „Hamamatsu" или датчик TCS208F3 фирмы „Gerhard Wagner".
С помощью течеискателя согласно изобретению можно также обнаруживать хладагенты, применяемые в кондиционерах воздуха и холодильниках. Хладагенты имеют меньшую проводимость, чем воздух, и тем самым являются отличаемыми по противоположному по сравнению с воздухом знаку в сигнале датчика теплопроводности гелия или водорода.
Второй вариант течеискателя согласно изобретению определен в п.7 формулы изобретения. При этом переключение с первого на второй датчик происходит в зависимости от общего давления. Подобный течеискатель пригоден в сочетании с первым датчиком, чувствительным к общему давлению. При этом второй датчик покрывает область выше критического общего давления, в то время как первый датчик применяется для точного измерения. Дополнительно, второй датчик может быть выполнен таким образом, что он одновременно измеряет общее давление. В этом случае второй датчик может производить управление первым датчиком в неактивное состояние. Однако, в качестве альтернативы, возможно также предусмотреть измеритель общего давления, который не зависит от каждого из обоих датчиков и управляет ими.
Также возможно работать с обоими датчиками одновременно, причем количественное измерение производится датчиком теплопроводности, а качественное измерение (оценка вида газа) производится датчиком парциального давления.
Далее изобретение поясняется подробнее со ссылкой на чертежи примеров осуществления.
Фиг.1 - схематическое изображение течеискателя-шниффера согласно первому варианту изобретения,
Фиг.2 - схематическое изображение тестера утечки с испытательной камерой,
Фиг.3 - диаграмма диапазонов измерений датчиков обоих типов, и
Фиг.4 - схематическое изображение формы осуществления согласно второму варианту изобретения.
В течеискателе-шниффере согласно фиг.1 предусмотрен главный прибор 10, соединенный через вентиль V2 с атмосферным щупом 12. Атмосферный щуп 12 можно перемещать вручную для проверки испытуемого объекта на течи, из которых выходит тестовый газ.
Главный прибор 10 содержит вакуумный насос 13, представляющий собой в данном примере двухступенчатый насос с насосными ступенями 13a и 13b, выполненными в виде мембранных насосов. Вакуумный насос создает предельное остаточное давление примерно 3 мбар.
От вакуумного насоса 13 ведет вакуум-провод 14 к откачному пространству 15. Откачное пространство 15 образовано датчиком поверочного газа 16. Стенки откачного пространства 15 примыкают к корпусу датчика поверочного газа 16. Чувствительная поверхность 17 датчика поверочного газа 16 окружена откачным пространством 15. Внутри откачного пространства 15 находится газоподающая пластина 18, расположенная на расстоянии напротив чувствительной поверхности 17 и параллельно ей. Атмосферная линия 11 оканчивается в газоподающей камере 19. Та имеет на противоположных сторонах боковые отверстия 20, через которые газ может поступать в откачное пространство 15. Газоподающая камера 19 распределяет газ перед чувствительной поверхностью 17.
Датчик 16 поверочного газа выполнен таким образом, как датчик, описанный в заявке DE 10031882 А1. Чувствительная поверхность 17 состоит из селективно проницаемой для гелия, нагреваемой электрически или тепловым излучением мембраны. В остальном, датчик 16 поверочного газа содержит датчик давления Пеннинга или другой датчик давления, генерирующий электрический сигнал, сообщающий о давлении в закрытом кварцевой мембраной корпусе. На основании этого давления подается сигнал для обнаруженного количества тестового газа.
Вакуум-провод 14 между вакуумным насосом 13 и откачным пространством 15 содержит первый дроссель D1, определяющий скорость откачки для нормального режима работы. Первый дроссель D1 шунтирован байпасной линией 26, содержащей вентиль V1.
В линии впуска воздуха находится дроссель D3. Вентиль V3 соединяет или впускное отверстие E1, или впускное отверстие E2 с выпускным отверстием A. Впускное отверстие E1 соединено с делителем 30 потока, который линией 31 соединен с впускным отверстием датчика 16 поверочного газа. Трубка 31 содержит дроссель D4.
От делителя 30 потока другой путь ведет через дроссель D2 и вентиль V4 к вакуум-проводу 14. Дроссели D2 и D4 взаимно настроены таким образом, что поток через D2 значительно больше, чем поток через D4. Поток через D2 по меньшей мере в 10 раз больше, чем поток через D4, и, прежде всего, по меньшей мере больше в 50 раз. Предпочтительно, поток через D2 примерно в 100 раз превышает поток через D4.
Атмосферная линия 11, ведущая от атмосферного щупа 12 к главному прибору 10, содержит измерительную линию 35, соединяющую атмосферный щуп с вентилем V2, и всасывающую линию 36, соединенную через вентиль V5 с впускным отверстием вакуумного насоса 13. Всасывающая линия 36 имеет существенно более высокую скорость откачки, чем измерительная линия 35. Например, расход всосанного газа через измерительную линию составляет 300 стд. см3/мин, а расход через всасывающую линию 36 составляет 2700 стд. см3/мин. Всасывающая линия 36 служит для повышения удаленной чувствительности течеискателя-шниффера, причем всасывается намного больше газа, чем в случае с измерительной линией, посредством отключения всасывающей линии чувствительность измерений повышается.
Согласно изобретению дополнительно к первому датчику 16, выполненному здесь в виде датчика по технологии Wise, предусмотрен второй датчик 38, в случае с которым речь идет о датчике теплопроводности. Предпочтительно, второй датчик 38 расположен в атмосферном щупе 12 и там, прежде всего, во всасывающей линии 36. Он может быть расположен в главном приборе в позиции 38a. Во всяком случае, выгодно, когда второй датчик расположен в месте большого общего давления, потому что там парциальное давление интересующего газового компонента наибольшее, и поэтому предел обнаружения наиболее благоприятен. Другой возможностью позиционирования второго датчика является выпускное отверстие вакуумного насоса 13. Однако при этом было бы неблагоприятно, чтобы сигнал второго датчика по времени поступал после сигнала первого датчика. Предпочтительно, сигнал датчика теплопроводности по времени должен поступать перед сигналом первого датчика.
Сигналы первого датчика 16 и второго датчика 38 подаются в управляющее устройство 40, переключающее в неактивное состояние по управляющей линии 41 первый датчик 16, когда первый датчик или второй датчик замеряют концентрацию, которая лежит выше предельного значения. За счет этого предотвращается, что первый датчик попадет в область насыщения или превысит предел загрязнения.
В примере осуществления на фиг. 2 речь идет о тестере утечки, в котором предусмотрена непроницаемая для вакуума испытательная камера 50, в которую помещается испытуемый образец 51. Испытуемый образец 51 заполнен поверочным газом 52. Испытательная камера 50 вакуумируется, так что в случае течи образца 51 для испытания поверочный газ выходит из образца для испытания. К испытательной камере 50 вакуумный насос 53 подключен линией 57 всасывания. Линия 57 всасывания содержит первый датчик 16 и второй датчик 38. Первый датчик является, например, датчиком по технологии Wise, а второй датчик является датчиком теплопроводности. На пути потока всосанного газа второй датчик 38 расположен перед первым датчиком 16. Первый датчик 16 шунтирован байпасной линией 54, которая может быть открыта и закрыта вентилями 56, 56а.
Вентиль 56 регулируется посредством устройства управления в зависимости сигнала второго датчика 38. Когда замеренная вторым датчиком концентрация поверочного газа превышает предельное значение, вентили 56 и 56а переключают таким образом, чтобы первый датчик 16 был шунтирован байпасной линией 54. За счет этого первый датчик защищают от загрязнения.
На фиг. 3 показан пример диапазонов измерений первого датчика и второго датчика на примере газового компонента гелия. На абсциссе нанесена концентрация гелия. Видно, что диапазон МВ1 измерений первого датчика простирается от небольших значений 1Е-05% (=10-4 мбар) до значений немного выше 1Е-01% (=1 мбар), тогда как диапазон МВ2 измерений датчика теплопроводности охватывает всю шкалу выше 1Е-02%. Таким образом, оба датчика дополняют друг друга.
На фиг. 4 показан пример осуществления согласно второму варианту изобретения, в котором предусмотрен первый датчик 16а, функционирование которого зависит от общего давления на входе его измерительной системы 60, например масс-спектрометр. Вход 60 измерительной системы подключен к вакуумному насосу 13, содержащему подряд высоковакуумный насос 13а, например турбомолекулярный насос, и форвакуумный насос 13b. Всасывающее впускное отверстие 62 высоковакуумного насоса 13а через вентиль V2 соединено с входной линией 64, имеющей соединительный фланец 65 для подключения испытуемого образца 66. Испытуемый образец 66 представляет собой полое изделие, которое следует проверить на герметичность. В данном примере осуществления с помощью распылителя 67 снаружи испытуемого образца создается атмосфера из поверочного газа 68. Поверочный газ можно идентифицировать обоими содержащимися в тестере утечки датчиками. Если поверочный газ идентифицируется, то в испытуемом образце 66 имеется течь, через которую проник поверочный газ 68.
Кроме того, входная линия 64 подключена к соединительной линии 70, соединяющей оба вакуумных насоса 13a и 13b.
Между всасывающим впускным отверстием 62 и входной линией 64 включен вентиль V2, который регулируется в зависимости от общего давления и переводится в закрытое положение, когда общее давление поднимается выше предельного значения. Когда вентиль V2 закрыт, то первый датчик 16а отделен от испытуемого образца 66, так что он переключен в неактивное состояние.
К входной линии 64 подключен второй датчик 38, который является датчиком теплопроводности. Этот датчик теплопроводности выполнен таким образом, что он при довольно высоких значениях общего давления работает независимо. При низких значениях общего давления на входе измерительной системы 60 датчики обоих типов активны, а при довольно высоких значениях общего давления первый датчик 16a переключается в неактивное состояние путем запирания вентиля V2. Измерение общего давления в данном примере осуществления происходит на входной линии 64 с помощью второго датчика 38. В качестве альтернативы оно могло бы происходить также на входе измерительной системы 60 первого датчика. Возможно также для измерения общего давления использовать отдельный измерительный прибор.

Claims (8)

1. Течеискатель с вакуумным насосным устройством (13; 53), через которое происходит всасывание газа, и первым датчиком (16) для обнаружения по меньшей мере одного газового компонента во всосанном газе, причем первый датчик является датчиком насыщаемого газоселективного типа, отличающийся тем, что предусмотрен второй датчик (38) типа датчика теплопроводности для обнаружения теплопроводности всосанного газа, и что предусмотрены средства для приведения первого датчика (16) в неактивное состояние, когда первый и/или второй датчик определяет концентрацию газового компонента выше предельного значения, причем первый датчик (16) покрывает область низких концентраций газового компонента, а второй датчик (38) покрывает область высоких концентраций.
2. Течеискатель по п.1, отличающийся тем, что в газовом потоке всосанного газа перед первым датчиком (16) расположен вентиль (V2), который для реализации неактивного состояния переводят в закрытое положение.
3. Течеискатель по п.1, отличающийся тем, что первый датчик (16) имеет выполненную с возможностью подогрева газоселективную мембрану (17), и что для реализации неактивного состояния подогрев мембраны отключают.
4. Течеискатель по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что предусмотрен атмосферный щуп (12) для всасывания газа из атмосферы, и что первый датчик (16) расположен в измерительной линии (35), а второй датчик (38) расположен во всасывающей линии (36), причем всасывающая линия для повышения удаленной чувствительности ведет прямо от атмосферного щупа (12) к вакуумному насосному устройству (13) и обеспечивает больший расход, чем измерительная линия.
5. Течеискатель по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что второй датчик (38) расположен в месте с постоянным общим давлением, примерно равным атмосферному давлению, прежде всего во всасывающей линии (36) или в воздушном выпускном отверстии течеискателя.
6. Течеискатель по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что для реализации неактивного состояния первого датчика (16) предусмотрена байпасная линия (54) с регулируемыми от управляющего устройства (40) вентилями (56, 56а).
7. Течеискатель с вакуумным насосным устройством (13; 53), через которое происходит всасывание газа, и первым датчиком (16а) для обнаружения по меньшей мере одного газового компонента во всосанном газе, причем первый датчик является датчиком насыщаемого газоселективного типа, отличающийся тем, что предусмотрен второй датчик (38) типа датчика теплопроводности для обнаружения теплопроводности всосанного газа, и что предусмотрены средства для приведения первого датчика (16а) в неактивное состояние, когда общее давление находится выше предельного значения, причем первый датчик (16а) покрывает область низких значений общего давления, а второй датчик (38) покрывает область высоких значений общего давления.
8. Течеискатель по п. 7, отличающийся тем, что в газовом потоке всосанного газа перед первым датчиком (16а) расположен вентиль (V2), который для реализации неактивного состояния переводят в закрытое положение.
RU2013114729/28A 2010-09-03 2011-09-01 Течеискатель RU2573121C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010044222 2010-09-03
DE102010044222.4 2010-09-03
DE102010048982.4 2010-10-20
DE102010048982.4A DE102010048982B4 (de) 2010-09-03 2010-10-20 Lecksuchgerät
PCT/EP2011/065110 WO2012028685A1 (de) 2010-09-03 2011-09-01 Lecksuchgerät

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013114729A RU2013114729A (ru) 2014-10-10
RU2573121C2 true RU2573121C2 (ru) 2016-01-20

Family

ID=44653282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013114729/28A RU2573121C2 (ru) 2010-09-03 2011-09-01 Течеискатель

Country Status (8)

Country Link
US (2) US9360465B2 (ru)
EP (1) EP2612126B2 (ru)
JP (1) JP5990172B2 (ru)
CN (1) CN103154689B (ru)
BR (1) BR112013005109B1 (ru)
DE (1) DE102010048982B4 (ru)
RU (1) RU2573121C2 (ru)
WO (1) WO2012028685A1 (ru)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9359554B2 (en) 2012-08-17 2016-06-07 Suncoke Technology And Development Llc Automatic draft control system for coke plants
US9243186B2 (en) 2012-08-17 2016-01-26 Suncoke Technology And Development Llc. Coke plant including exhaust gas sharing
US10883051B2 (en) 2012-12-28 2021-01-05 Suncoke Technology And Development Llc Methods and systems for improved coke quenching
US10760002B2 (en) 2012-12-28 2020-09-01 Suncoke Technology And Development Llc Systems and methods for maintaining a hot car in a coke plant
PL2938701T3 (pl) 2012-12-28 2020-05-18 Suncoke Technology And Development Llc Pokrywy kominów upustowych i powiązane sposoby
CA2896475C (en) 2012-12-28 2020-03-31 Suncoke Technology And Development Llc. Systems and methods for removing mercury from emissions
US9273250B2 (en) 2013-03-15 2016-03-01 Suncoke Technology And Development Llc. Methods and systems for improved quench tower design
DE102013218506A1 (de) * 2013-09-16 2015-03-19 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe
CA2935325C (en) 2013-12-31 2022-11-22 Suncoke Technology And Development Llc Methods for decarbonizing coking ovens, and associated systems and devices
DE102014205032A1 (de) * 2014-03-18 2015-09-24 Inficon Gmbh Dichteanstiegsmessung in Folienkammer
CN104062083A (zh) * 2014-06-20 2014-09-24 珠海格力电器股份有限公司 空调器检漏系统及其检漏方法
BR112017004981B1 (pt) 2014-09-15 2021-05-11 Suncoke Technology And Development Llc câmara de forno de coque
BR112017014428B1 (pt) 2015-01-02 2022-04-12 Suncoke Technology And Development Llc Método para otimizar a operação de uma usina de coque e forno de coque
CN107430044B (zh) * 2015-01-30 2020-02-14 机械解析有限公司 用于测试通过气体流动部件的气体泄漏的系统和方法
JP5942065B1 (ja) * 2015-08-03 2016-06-29 株式会社ジェイ・イー・ティ センサユニット及び気密性検査装置
CN107949781B (zh) * 2015-08-31 2020-10-27 岛津Emit株式会社 氦气泄漏探测器
WO2017117282A1 (en) 2015-12-28 2017-07-06 Suncoke Technology And Development Llc Method and system for dynamically charging a coke oven
AU2017268056B2 (en) * 2016-05-18 2021-08-05 Lineriders Inc. Apparatus and methodologies for leak detection using gas and infrared thermography
CA3026379A1 (en) 2016-06-03 2017-12-07 John Francis Quanci Methods and systems for automatically generating a remedial action in an industrial facility
DE202017105769U1 (de) 2016-09-23 2017-12-21 Trane International Inc. System zum Detektieren einer Verunreinigung von Kältemittelgas in einem HLKK-System
CN106768688B (zh) * 2016-11-18 2019-05-21 北京动力机械研究所 基于自发膨胀气体的密封腔体泄漏检测方法
KR102392443B1 (ko) 2017-05-23 2022-04-28 선코크 테크놀러지 앤드 디벨로프먼트 엘엘씨 코크스 오븐을 수리하기 위한 시스템 및 방법
JP6867887B2 (ja) * 2017-06-06 2021-05-12 川崎重工業株式会社 ガス漏洩検知システム及びガス漏洩検知方法
FR3069639B1 (fr) * 2017-07-26 2019-08-30 Pfeiffer Vacuum Sonde de reniflage, detecteur de fuites et procede de detection de fuites
FR3070489B1 (fr) * 2017-08-29 2020-10-23 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester
BR112021012455B1 (pt) 2018-12-28 2023-10-24 Suncoke Technology And Development Llc Forno de coque
CA3125279A1 (en) 2018-12-28 2020-07-02 Suncoke Technology And Development Llc Improved oven uptakes
CA3125340C (en) 2018-12-28 2022-04-26 Suncoke Technology And Development Llc Spring-loaded heat recovery oven system and method
CA3125332C (en) 2018-12-28 2022-04-26 Suncoke Technology And Development Llc Decarbonization of coke ovens, and associated systems and methods
WO2020140091A1 (en) 2018-12-28 2020-07-02 Suncoke Technology And Development Llc Gaseous tracer leak detection
US11395989B2 (en) 2018-12-31 2022-07-26 Suncoke Technology And Development Llc Methods and systems for providing corrosion resistant surfaces in contaminant treatment systems
IT201900006920A1 (it) * 2019-05-16 2020-11-16 Ft System Srl Metodo ed apparato per il riconoscimento della presenza di fughe da contenitori sigillati
CA3177017C (en) 2020-05-03 2024-04-16 John Francis Quanci High-quality coke products
US11788918B2 (en) 2020-06-18 2023-10-17 Trevillyan Labs, Llc Fluid detection fabric
CN112798193B (zh) * 2020-10-16 2022-12-13 湖南澳美佳健康科技有限公司 一种新型氦检漏仪
US11610472B1 (en) * 2021-09-07 2023-03-21 Honeywell International Inc. Aspirating smoke detector device operational analysis
CN117120581A (zh) 2021-11-04 2023-11-24 太阳焦炭科技和发展有限责任公司 铸造焦炭产品以及相关系统、装置和方法
US11946108B2 (en) 2021-11-04 2024-04-02 Suncoke Technology And Development Llc Foundry coke products and associated processing methods via cupolas
DE102021134647A1 (de) * 2021-12-23 2023-06-29 Inficon Gmbh Vakuumlecksucher mit Ansprüh-Membran-Testleck und Verfahren

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU1780404C (ru) * 1989-02-28 1995-08-20 Российский научный центр "Курчатовский институт" Прибор для вакуумных испытаний
RU1795725C (ru) * 1990-05-31 1995-12-20 Российский научный центр "Курчатовский институт" Течеискатель на принципе теплопроводности
DE19813432A1 (de) * 1998-03-27 1999-09-30 Michael Stetter Verfahren und Anordnung zur lokalen Dichtheitsprüfung
DE102005021909A1 (de) * 2005-05-12 2006-11-16 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3020746A (en) 1960-12-30 1962-02-13 Clarke C Minter Thermal conductivity leak detector
US3786675A (en) 1970-11-23 1974-01-22 Uson Corp Portable gas leak detector
US4106350A (en) 1977-08-29 1978-08-15 Morris Richard T Thin wire pressure sensor
US4845360A (en) 1987-12-10 1989-07-04 Varian Associates, Inc. Counterflow leak detector with high and low sensitivity operating modes
JPH07109721B2 (ja) 1990-08-07 1995-11-22 株式会社小糸製作所 車輌用前照灯
DE4326265A1 (de) 1993-08-05 1995-02-09 Leybold Ag Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art
JP3140917B2 (ja) * 1994-08-31 2001-03-05 三菱電機株式会社 密閉容器の気体漏れ監視装置
DE19535832C1 (de) 1995-09-26 1997-01-16 Saskia Hochvakuum Und Labortec Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis eines leichten Spürgases
JPH09292302A (ja) 1996-04-26 1997-11-11 Shimadzu Corp リークデテクタ
JPH10213516A (ja) 1997-01-28 1998-08-11 Shimadzu Corp ヘリウムリークデテクタ
DE19735250A1 (de) * 1997-08-14 1999-02-18 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher
JPH11241971A (ja) * 1998-02-26 1999-09-07 Shimadzu Corp リークテスト装置
DE19960174A1 (de) 1999-12-14 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Lecksuche und Lecklokalisierung sowie zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Vorrichtungen
DE10031882A1 (de) * 2000-06-30 2002-01-10 Leybold Vakuum Gmbh Sensor für Helium oder Wasserstoff
CN1228626C (zh) * 2001-06-23 2005-11-23 李启潮 可燃气体双元件冗余传感探测器
DE10246051A1 (de) * 2002-10-02 2004-04-15 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration eines Stoffes
DE10319633A1 (de) 2003-05-02 2004-11-18 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
US7028724B2 (en) * 2003-05-30 2006-04-18 Air Products And Chemicals, Inc. Fueling nozzle with integral molecular leak sensor
DE102005047856B4 (de) 2005-10-05 2007-09-06 Infineon Technologies Ag Halbleiterbauteil mit in Kunststoffgehäusemasse eingebetteten Halbleiterbauteilkomponenten, Systemträger zur Aufnahme der Halbleiterbauteilkomponenten und Verfahren zur Herstellung des Systemträgers und von Halbleiterbauteilen
DE102006047856A1 (de) 2006-10-10 2008-04-17 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher
DE102007043382A1 (de) * 2007-09-12 2009-03-19 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher
FR2921488A1 (fr) † 2007-09-26 2009-03-27 Alcatel Lucent Sas Dispositif et procede pour la detection de fuites a haute pression pr gaz traceur dans une piece a tester.
DE102007057944A1 (de) * 2007-12-01 2009-06-04 Inficon Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung
DE102008013455A1 (de) * 2008-03-10 2009-09-17 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Totaldrucktransmitters
DE102009010064A1 (de) * 2009-02-21 2010-08-26 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU1780404C (ru) * 1989-02-28 1995-08-20 Российский научный центр "Курчатовский институт" Прибор для вакуумных испытаний
RU1795725C (ru) * 1990-05-31 1995-12-20 Российский научный центр "Курчатовский институт" Течеискатель на принципе теплопроводности
DE19813432A1 (de) * 1998-03-27 1999-09-30 Michael Stetter Verfahren und Anordnung zur lokalen Dichtheitsprüfung
DE102005021909A1 (de) * 2005-05-12 2006-11-16 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor

Also Published As

Publication number Publication date
US20130213114A1 (en) 2013-08-22
US20150362467A1 (en) 2015-12-17
US9632067B2 (en) 2017-04-25
BR112013005109A2 (pt) 2016-05-10
DE102010048982A1 (de) 2012-03-08
DE102010048982B4 (de) 2022-06-09
EP2612126B2 (de) 2021-08-18
EP2612126B1 (de) 2018-05-30
EP2612126A1 (de) 2013-07-10
WO2012028685A1 (de) 2012-03-08
CN103154689B (zh) 2015-11-25
BR112013005109B1 (pt) 2020-06-02
JP2013536937A (ja) 2013-09-26
US9360465B2 (en) 2016-06-07
RU2013114729A (ru) 2014-10-10
JP5990172B2 (ja) 2016-09-07
CN103154689A (zh) 2013-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2573121C2 (ru) Течеискатель
JP4806011B2 (ja) クオーツウィンドウセンサを備えたスニッファ漏れ検知器
US8171773B2 (en) Sniffing leak detector
JP4499332B2 (ja) 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置
JP5921869B2 (ja) トレーサーガスとして水素を使用するリーク検出のための装置および方法
JP5405599B2 (ja) 吸込み式漏れ検出器
US20200264066A1 (en) Pressure Measurement at a Test Gas Inlet
RU2545355C2 (ru) Способ функциональной проверки течеискателя
US8201438B1 (en) Detection of gas leakage
US20240019336A1 (en) Gas leak detection device and gas leak detection method for identifying a gas leak in a test object
US20150308916A1 (en) Leak Detector
CN111183344B (zh) 用于区分从泄漏中逸出的测试气体与干扰气体的装置和方法
WO2004113862A1 (en) Methods and apparatus for leak detection in contaminated environments
JP6322507B2 (ja) 漏洩検知方法
Große Bley Leak Detection Methods
TW202409533A (zh) 洩漏偵測裝置及其用於在測試樣品中偵測氣體洩漏的方法
JP2004340726A (ja) 漏洩検知装置
KR20240035789A (ko) 누출 감지기
TW202326089A (zh) 真空偵漏器與其有效性的測試方法