JPH11241971A - リークテスト装置 - Google Patents
リークテスト装置Info
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- JPH11241971A JPH11241971A JP4555098A JP4555098A JPH11241971A JP H11241971 A JPH11241971 A JP H11241971A JP 4555098 A JP4555098 A JP 4555098A JP 4555098 A JP4555098 A JP 4555098A JP H11241971 A JPH11241971 A JP H11241971A
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- test
- chamber
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被試験体２をその使用圧力域でグロースリー
ク検出を正確に測定する装置を提供する。 【解決手段】 被試験体２を収容するチャンバと、この
チャンバ１に収容された状態の被試験体２にプローブガ
スを封入する手段と、前記チャンバ１の内部を真空に排
気し被試験体２に封入されたプローブガスの漏れを検出
するリークディテクタによって構成されるリークテスト
装置において、前記チャンバ１とリーク圧力センサを設
け被試験体２にプローブガスを封入した後のチャンバの
圧力を前記圧力センサ１０が検出することによりグロー
スリークの有無を判別できるようにした。このような構
成により、被試験体２のリークテストがその被試験体２
の使用される圧力で行なわれ、かつグロースリークが正
確かつ迅速におこなわれる。
ク検出を正確に測定する装置を提供する。 【解決手段】 被試験体２を収容するチャンバと、この
チャンバ１に収容された状態の被試験体２にプローブガ
スを封入する手段と、前記チャンバ１の内部を真空に排
気し被試験体２に封入されたプローブガスの漏れを検出
するリークディテクタによって構成されるリークテスト
装置において、前記チャンバ１とリーク圧力センサを設
け被試験体２にプローブガスを封入した後のチャンバの
圧力を前記圧力センサ１０が検出することによりグロー
スリークの有無を判別できるようにした。このような構
成により、被試験体２のリークテストがその被試験体２
の使用される圧力で行なわれ、かつグロースリークが正
確かつ迅速におこなわれる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば内方に気密
室を有しその気密漏れ（リーク）が問題となるような電
子機器、部品等を被試験体としてそのリークの有無を試
験するリークテスト装置に関する。
室を有しその気密漏れ（リーク）が問題となるような電
子機器、部品等を被試験体としてそのリークの有無を試
験するリークテスト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より使用されているリークテスト装
置は図２に示すとおりである。
置は図２に示すとおりである。
【０００３】その構成は、被試験体を内方に収容するチ
ャンバと、この収容された被試験体にプローブガス（た
とえばヘリウムガス）を封入する手段と、チャンバに接
続され被試験体からリークしたプローブガスを検出して
リークの有無を検知するリークディテクタからなる。す
なわち、図２において、１は被試験体２を収容するチャ
ンバ、ＫＬは試験体２にプローブガス（たとえばヘリウ
ムガス）を封入する供給系、ＬＤは接続系ＳＬを介して
チャンバ１に接続されたリークディテクタである。この
リークディテクタＬＤは、チャンバ１からのヘリウムガ
ス等のプローブガスを検出する分析管１７、ターボ分子
ポンプ等の高真空排気ポンプ１９、油回転真空ポンプ等
の低真空排気ポンプ１６等から構成される。テスト装置
接続口１２と高真空排気ポンプ１９とは並列に配された
テストバルブ１３とグロースリークバルブ２３とを介し
て接続され、分析管１７は高真空排気ポンプ１９の吸気
側に配管接続されている。
ャンバと、この収容された被試験体にプローブガス（た
とえばヘリウムガス）を封入する手段と、チャンバに接
続され被試験体からリークしたプローブガスを検出して
リークの有無を検知するリークディテクタからなる。す
なわち、図２において、１は被試験体２を収容するチャ
ンバ、ＫＬは試験体２にプローブガス（たとえばヘリウ
ムガス）を封入する供給系、ＬＤは接続系ＳＬを介して
チャンバ１に接続されたリークディテクタである。この
リークディテクタＬＤは、チャンバ１からのヘリウムガ
ス等のプローブガスを検出する分析管１７、ターボ分子
ポンプ等の高真空排気ポンプ１９、油回転真空ポンプ等
の低真空排気ポンプ１６等から構成される。テスト装置
接続口１２と高真空排気ポンプ１９とは並列に配された
テストバルブ１３とグロースリークバルブ２３とを介し
て接続され、分析管１７は高真空排気ポンプ１９の吸気
側に配管接続されている。
【０００４】また、低真空排気ポンプ１６の吸気側はバ
イパスバルブ１５を介してテスト装置接続口１２に接続
されている。１４はテスト装置接続口１２の部分の圧力
を検出するとともにモニタする低真空圧力モニタゲージ
である。アンプ１８は分析管１７から出力されたイオン
電流を増幅し制御回路２０に送信する。制御回路２０に
は低真空圧力モニタゲージ１４が検出した圧力信号と、
アンプ１８が増幅したリーク信号とが入力される。
イパスバルブ１５を介してテスト装置接続口１２に接続
されている。１４はテスト装置接続口１２の部分の圧力
を検出するとともにモニタする低真空圧力モニタゲージ
である。アンプ１８は分析管１７から出力されたイオン
電流を増幅し制御回路２０に送信する。制御回路２０に
は低真空圧力モニタゲージ１４が検出した圧力信号と、
アンプ１８が増幅したリーク信号とが入力される。
【０００５】他方被試験体２に接続された供給系ＫＬに
はリークバルブ８、プローブガス圧力ゲージ４、被試験
体圧力モニタゲージ７等が付設されているとともに、調
圧弁３が介設されている。また５はロータリーポンプで
被試験体２の内方気密を排気するためのものである。
はリークバルブ８、プローブガス圧力ゲージ４、被試験
体圧力モニタゲージ７等が付設されているとともに、調
圧弁３が介設されている。また５はロータリーポンプで
被試験体２の内方気密を排気するためのものである。
【０００６】以上の構成において、被試験体２のリーク
テスト操作はつぎのとおりに行われる。リークテスト操
作のプロセスは、粗引きプロセス→グロースリーク検出
プロセス→テストプロセスの順に進められる。粗引きプ
ロセスを開始する前の初期状態においては高真空排気ポ
ンプ１９、低真空排気ポンプ１６が作動し、テストバル
ブ１３、グロースリークバルブ２３およびバイパスバル
ブ１５が閉じている。なお、フォアバルブ２２は開いて
いる。分析管１７は１０-4Ｔｏｒｒ程度の高真空状態に
ある。次いで、フォアバルブ２２を閉め、バイパスバル
ブ１５を開けて粗引きプロセスを開始する。すなわち、
分析管１７を高真空状態に保持する一方、バイパスバル
ブを開いて真空排気する。この粗引きプロセスでの真空
排気は低真空排気ポンプ１６のみで行われ、接続系ＳＬ
を介してチャンバ１が大気圧から１０-2Ｔｏｒｒ程度ま
で排気される。なお、テストバルブ１３およびグロース
リークバルブ２３は閉じたままである。
テスト操作はつぎのとおりに行われる。リークテスト操
作のプロセスは、粗引きプロセス→グロースリーク検出
プロセス→テストプロセスの順に進められる。粗引きプ
ロセスを開始する前の初期状態においては高真空排気ポ
ンプ１９、低真空排気ポンプ１６が作動し、テストバル
ブ１３、グロースリークバルブ２３およびバイパスバル
ブ１５が閉じている。なお、フォアバルブ２２は開いて
いる。分析管１７は１０-4Ｔｏｒｒ程度の高真空状態に
ある。次いで、フォアバルブ２２を閉め、バイパスバル
ブ１５を開けて粗引きプロセスを開始する。すなわち、
分析管１７を高真空状態に保持する一方、バイパスバル
ブを開いて真空排気する。この粗引きプロセスでの真空
排気は低真空排気ポンプ１６のみで行われ、接続系ＳＬ
を介してチャンバ１が大気圧から１０-2Ｔｏｒｒ程度ま
で排気される。なお、テストバルブ１３およびグロース
リークバルブ２３は閉じたままである。
【０００７】チャンバ１が１０-2Ｔｏｒｒ程度の真空に
到達したことが低真空圧力モニタゲージ１４によって検
出されると、グロースリーク検出プロセスに移る。すな
わちフォアバルブ２２を開け、グロースリークバルブ２
３を開ける。これによって、バイパスバルブ１５とグロ
ースリークバルブ２３とフォアバルブ２２とが開いた状
態となる。テストバルブ１３は閉じた状態を維持する。
到達したことが低真空圧力モニタゲージ１４によって検
出されると、グロースリーク検出プロセスに移る。すな
わちフォアバルブ２２を開け、グロースリークバルブ２
３を開ける。これによって、バイパスバルブ１５とグロ
ースリークバルブ２３とフォアバルブ２２とが開いた状
態となる。テストバルブ１３は閉じた状態を維持する。
【０００８】グロースリークバルブ２３の開動によって
チャンバ１はグロースリークバルブ２３を介して高真空
排気ポンプ１９に連通されることになる。この場合、真
空排気は低真空排気ポンプ１６によって継続される。
チャンバ１はグロースリークバルブ２３を介して高真空
排気ポンプ１９に連通されることになる。この場合、真
空排気は低真空排気ポンプ１６によって継続される。
【０００９】もし、被試験体２からプローブガスである
ヘリウムガスのリークが生じている場合には、ガスは低
真空排気ポンプ１６によってバイパスバルブ１５を介し
て大気中へ排気されるが、一部のヘリウムガスは高真空
排気ポンプ１９によってグロースリークバルブ２３を介
して排気される。このグロースリーク検出プロセスにお
いて、高真空排気ポンプ１９の真空吸入側での拡散によ
りプローブガスが分析管１７に流入する。この分析管１
７で検出されたリーク値信号はアンプ１８によって増幅
され、制御回路２０に伝達され、リーク検知が行われる
のである。
ヘリウムガスのリークが生じている場合には、ガスは低
真空排気ポンプ１６によってバイパスバルブ１５を介し
て大気中へ排気されるが、一部のヘリウムガスは高真空
排気ポンプ１９によってグロースリークバルブ２３を介
して排気される。このグロースリーク検出プロセスにお
いて、高真空排気ポンプ１９の真空吸入側での拡散によ
りプローブガスが分析管１７に流入する。この分析管１
７で検出されたリーク値信号はアンプ１８によって増幅
され、制御回路２０に伝達され、リーク検知が行われる
のである。
【００１０】制御回路２０での比較演算によって信号値
がグロースリーク判定基準値以上であるときはグロース
リークが生じていることになり、リークディテクタの動
作を中断する。リークディテクタの動作を中断するの
は、その被試験体２が明らかに欠陥品であるからであ
る。
がグロースリーク判定基準値以上であるときはグロース
リークが生じていることになり、リークディテクタの動
作を中断する。リークディテクタの動作を中断するの
は、その被試験体２が明らかに欠陥品であるからであ
る。
【００１１】信号値がグロースリーク判定基準値未満で
あれば、グロースリークの発生はないと判定できるの
で、次のテストプロセスに移行する。すなわち、低真空
圧力モニタゲージ１４による検出圧力がテスト開始圧力
に達したときに、テストバルブ１３とを開け、バイパス
バルブ１５とグロースリークバルブ２３とを閉じる。グ
ロースリーク検出プロセスにおいてグロースリークが生
じていないことが確認されているため、テストバルブ１
３を開けても、高真空排気ポンプ１９に対するプローブ
ガスの流入量は充分に少なく、高真空排気ポンプ１９の
作動は引き続き正常状態を維持しつつリークテストが行
われる。そして、分析管１７にヘリウムガスが流入され
るとリーク値信号が出力されリークが検知されることに
なる。
あれば、グロースリークの発生はないと判定できるの
で、次のテストプロセスに移行する。すなわち、低真空
圧力モニタゲージ１４による検出圧力がテスト開始圧力
に達したときに、テストバルブ１３とを開け、バイパス
バルブ１５とグロースリークバルブ２３とを閉じる。グ
ロースリーク検出プロセスにおいてグロースリークが生
じていないことが確認されているため、テストバルブ１
３を開けても、高真空排気ポンプ１９に対するプローブ
ガスの流入量は充分に少なく、高真空排気ポンプ１９の
作動は引き続き正常状態を維持しつつリークテストが行
われる。そして、分析管１７にヘリウムガスが流入され
るとリーク値信号が出力されリークが検知されることに
なる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成からなる従来の装置においては、次のような問
題がある。
うな構成からなる従来の装置においては、次のような問
題がある。
【００１３】被試験体２のリークテストのプロセスは、
被試験体２のチャンバ１への収容とプローブガス導管接
続プロセス→粗引きプロセス→試験体へのプローブガス
封入プロセス→グロースリーク検出プロセス→テストプ
ロセスの順に進められる。
被試験体２のチャンバ１への収容とプローブガス導管接
続プロセス→粗引きプロセス→試験体へのプローブガス
封入プロセス→グロースリーク検出プロセス→テストプ
ロセスの順に進められる。
【００１４】前記五段階のプロセスで、１段階から３段
階までは、４段階と５段階までの準備のプロセスであ
り、被試験体２のリークテストの結果の良否は、４段階
でのグロースリーク判定基準値および５段階でのテスト
リーク判定基準値に基づいて決定される。このような、
被試験体２のリークテストプロセスにおいて、被試験体
２へのプローブガスの封入量を多くするとグロースリー
ク量が多い場合は、分析管１７が破損する事態が生じ、
その復帰に長時間を要するという問題がある。他方、こ
の故障を防ぐためにプローブガスの封入量を少なくする
と、実際被試験体２（電子機器、部品）の実際の使用時
の圧力まで加圧しないと現れない漏れ（加圧変形による
漏れ）が発見できないという問題がある。この発明は、
このような事情に鑑みてなされたものであって、グロー
スリークを適正迅速に検知することができるリークテス
ト装置を提供するものである。
階までは、４段階と５段階までの準備のプロセスであ
り、被試験体２のリークテストの結果の良否は、４段階
でのグロースリーク判定基準値および５段階でのテスト
リーク判定基準値に基づいて決定される。このような、
被試験体２のリークテストプロセスにおいて、被試験体
２へのプローブガスの封入量を多くするとグロースリー
ク量が多い場合は、分析管１７が破損する事態が生じ、
その復帰に長時間を要するという問題がある。他方、こ
の故障を防ぐためにプローブガスの封入量を少なくする
と、実際被試験体２（電子機器、部品）の実際の使用時
の圧力まで加圧しないと現れない漏れ（加圧変形による
漏れ）が発見できないという問題がある。この発明は、
このような事情に鑑みてなされたものであって、グロー
スリークを適正迅速に検知することができるリークテス
ト装置を提供するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のリークテスト装置においては、被試験体を収
容するチャンバと、このチャンバに収容された状態の被
試験体にプローブガスを封入する手段と、前記チャンバ
の内部を真空に排気し、被試験体に封入されたプローブ
ガスの漏れを検出するリークディテクタを備えたリーク
テスト装置において、前記チャンバとリークディテクタ
との接続系に、開閉弁を介設するとともに、前記チャン
バと開閉弁との間の接続系に圧力センサを接続したもの
である。したがって、被試験体にプローブガスを封入し
た後のチャンバの圧力を前記圧力センサが検出すること
によりグロースリークの有無を判別できるようにしたも
のである。したがって圧力センサが検知により、全プロ
セスの初期の段階でグロースリーク量が判別できる。
に本発明のリークテスト装置においては、被試験体を収
容するチャンバと、このチャンバに収容された状態の被
試験体にプローブガスを封入する手段と、前記チャンバ
の内部を真空に排気し、被試験体に封入されたプローブ
ガスの漏れを検出するリークディテクタを備えたリーク
テスト装置において、前記チャンバとリークディテクタ
との接続系に、開閉弁を介設するとともに、前記チャン
バと開閉弁との間の接続系に圧力センサを接続したもの
である。したがって、被試験体にプローブガスを封入し
た後のチャンバの圧力を前記圧力センサが検出すること
によりグロースリークの有無を判別できるようにしたも
のである。したがって圧力センサが検知により、全プロ
セスの初期の段階でグロースリーク量が判別できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１７】本発明のリークテスト装置の構成は図１に
示している。なお図において、図２と同一の符号は図２
と同一の部品を示しており、詳細な説明は省略する。
示している。なお図において、図２と同一の符号は図２
と同一の部品を示しており、詳細な説明は省略する。
【００１８】チャンバ１は、図２と同様被試験体２を収
容しこの被試験体２にプローブガスを封入する供給系Ｋ
Ｌが接続される。この供給系ＫＬには被試験体２の実際
の使用時の圧力までプローブガスを加圧封入する際に、
その圧力を監視する試験体圧力モニタゲージ７や調圧弁
３が接続されたプローブガス封入手段が装着されてい
る。このチャンバ１とリークディテクタＬＤの接続系Ｓ
Ｌには、この接続系ＳＬを開閉する開閉弁３０が介設さ
れるとともにチャンバ１と開閉弁３０との間に接続され
ている。
容しこの被試験体２にプローブガスを封入する供給系Ｋ
Ｌが接続される。この供給系ＫＬには被試験体２の実際
の使用時の圧力までプローブガスを加圧封入する際に、
その圧力を監視する試験体圧力モニタゲージ７や調圧弁
３が接続されたプローブガス封入手段が装着されてい
る。このチャンバ１とリークディテクタＬＤの接続系Ｓ
Ｌには、この接続系ＳＬを開閉する開閉弁３０が介設さ
れるとともにチャンバ１と開閉弁３０との間に接続され
ている。
【００１９】チャンバ１の排気系はリークディテクタＬ
Ｄ内に配設されている低真空排気系統と高真空排気系統
の組み合わせで構成され、バイパスバルブ１５とその真
空度を監視する低真空圧力モニタゲージ１４と低真空排
気ポンプ１６で低真空排気系が構成され、高真空排気ポ
ンプ１９で高真空排気系が構成される。
Ｄ内に配設されている低真空排気系統と高真空排気系統
の組み合わせで構成され、バイパスバルブ１５とその真
空度を監視する低真空圧力モニタゲージ１４と低真空排
気ポンプ１６で低真空排気系が構成され、高真空排気ポ
ンプ１９で高真空排気系が構成される。
【００２０】プローブガスすなわちヘリウムガスは被試
験体２からリークし、チャンバ１から拡散され分析管１
７で検出されると、その検出信号はアンプ１８で増幅さ
れリーク信号が制御回路２０に伝送される。この制御回
路２０はマイクロコンピュータのソフトウェアの指令で
リークテストのプロセスを制御する。すなわち例として
プローブガス封入手段のガス調圧弁３、リークバルブ８
などへのバルブ開閉、圧力センサ１０よりチャンバ１の
圧力変化量の信号の受信、リークバルブ９へのチャンバ
１を大気に解放させる指示、低真空排気ポンプ１６およ
びバイパスバルブ１５の開閉指示、高真空排気ポンプ１
９の起動／停止指示と低真空圧が規定値に達したことの
確認等、プロセス進行順に信号を送受信し、制御する。
験体２からリークし、チャンバ１から拡散され分析管１
７で検出されると、その検出信号はアンプ１８で増幅さ
れリーク信号が制御回路２０に伝送される。この制御回
路２０はマイクロコンピュータのソフトウェアの指令で
リークテストのプロセスを制御する。すなわち例として
プローブガス封入手段のガス調圧弁３、リークバルブ８
などへのバルブ開閉、圧力センサ１０よりチャンバ１の
圧力変化量の信号の受信、リークバルブ９へのチャンバ
１を大気に解放させる指示、低真空排気ポンプ１６およ
びバイパスバルブ１５の開閉指示、高真空排気ポンプ１
９の起動／停止指示と低真空圧が規定値に達したことの
確認等、プロセス進行順に信号を送受信し、制御する。
【００２１】リークテスト開始前の初期状態において
は、高真空排気ポンプ１９、低真空排気ポンプ１６、プ
ローブガス分析管１７および圧力センサ１０が作動状態
にあるとともに、試験体リークバルブ８、チャンバリー
クバルブ９、バイパスバルブ１５およびテストバルブ１
３が閉じている。この時点においてはプローブガス分析
管１７は開閉弁３０は閉の状態で１０-4Ｔｏｒｒ程度の
高真空状態である。
は、高真空排気ポンプ１９、低真空排気ポンプ１６、プ
ローブガス分析管１７および圧力センサ１０が作動状態
にあるとともに、試験体リークバルブ８、チャンバリー
クバルブ９、バイパスバルブ１５およびテストバルブ１
３が閉じている。この時点においてはプローブガス分析
管１７は開閉弁３０は閉の状態で１０-4Ｔｏｒｒ程度の
高真空状態である。
【００２２】図示しないスタートスイッチをＯＮするこ
とにより、リークテストの動作が開始する。調圧弁３が
開き、チァンバ１に収容されている被試験体２にプロー
ブガスが導入されると、その圧力が試験体圧力モニタゲ
ージ７で確認される。このとき、圧力センサ１０がグロ
ースリークテスト検出プロセスで設定された時間中のチ
ャンバ１の圧力変動を検出する。その出力値はグロース
リーク判定基準値に基づいて比較判定され、グロースリ
ークの場合は、グロースリークであることを表示し、試
験体リークバルブ８を開き、被試験体２のプローブガス
を放出し大気圧にもどす。さらにチャンバリークバルブ
９を開いて残留プローブガスを放出してチャンバ１を大
気圧にもどしリークテストを終了する。他方、グロース
リークが生じていない場合は、バイパスバルブ１５を開
いて粗引プロセスを開始する。
とにより、リークテストの動作が開始する。調圧弁３が
開き、チァンバ１に収容されている被試験体２にプロー
ブガスが導入されると、その圧力が試験体圧力モニタゲ
ージ７で確認される。このとき、圧力センサ１０がグロ
ースリークテスト検出プロセスで設定された時間中のチ
ャンバ１の圧力変動を検出する。その出力値はグロース
リーク判定基準値に基づいて比較判定され、グロースリ
ークの場合は、グロースリークであることを表示し、試
験体リークバルブ８を開き、被試験体２のプローブガス
を放出し大気圧にもどす。さらにチャンバリークバルブ
９を開いて残留プローブガスを放出してチャンバ１を大
気圧にもどしリークテストを終了する。他方、グロース
リークが生じていない場合は、バイパスバルブ１５を開
いて粗引プロセスを開始する。
【００２３】このようなリークテストが行い得る点にこ
の発明の特徴がある。
の発明の特徴がある。
【００２４】粗引きプロセスの真空排気は低真空排気ポ
ンプのみで行い、テストバルブ１３は閉じたままであ
る。
ンプのみで行い、テストバルブ１３は閉じたままであ
る。
【００２５】被試験体２を収容したチャンバ１の圧力は
低真空排気ポンプ１６の作動によるバイパスバルブ１５
を介して排気し、この圧力は低真空圧力モニタゲージ１
４によって監視される。そしてこの低真空圧力モニタゲ
ージ１４からの検出信号が制御回路２０に送信される。
制御回路２０はその検出信号の圧力値が所定のテストプ
ロセス開始圧力値（例えば１０-2Ｔｏｒｒ）に到達する
と、バイパスバルブ１５を閉じ、フォアバルブ２２を開
ける。次にグロースリークバルブ２３をあけ、第２のグ
ロースリークプロセスへ移る。これは、従来例と同様で
ある。リーク値信号がグロースリーク判定規準値以上で
あれば、グロースリークが生じていることになり動作を
中断する。規準値未満であれば、グロースリークバルブ
２２を閉じ、テストバルブ１３が開かれてテストプロセ
スが開始する。テストバルブ１３を開くことで、リーク
があれば高真空排気ポンプの真空吸入側での拡散により
プローブガスを分析管１７が検出する。また、この分析
管１７で検出されたリーク値はアンプ１８によって増幅
され、リーク値として制御回路２０に伝達される。この
リーク値がリークテスト判定基準値以上であるかどうか
が判別される。この後テストバルブ１３が閉ざされテス
トが終了する。テスト終了後試験体リークバルブ８が開
かれ被試験体２のプローブガスが放出され大気圧にもど
り、チャンバ１の内部はチャンバリークバルブ９が開か
れ残留ガスが放出され大気圧にもどりリークテストを終
了する。この発明により、被試験体２に封入されるプロ
ーブガスの封入圧力を被試験体２が実際に使用される圧
力まで加圧できるので、この加圧状態で生ずる加工歪み
に起因するグロースリーク検出プロセスにおけるグロー
スリーク値およびテストプロセスにおけるリーク値の双
方を検出することが可能となり、その測定値の信頼性が
向上する。また、グロースリーク検出プロセスおよびテ
ストプロセスを実行する時間設定でも長短の自由度がひ
ろく、精度の高い測定ができる。
低真空排気ポンプ１６の作動によるバイパスバルブ１５
を介して排気し、この圧力は低真空圧力モニタゲージ１
４によって監視される。そしてこの低真空圧力モニタゲ
ージ１４からの検出信号が制御回路２０に送信される。
制御回路２０はその検出信号の圧力値が所定のテストプ
ロセス開始圧力値（例えば１０-2Ｔｏｒｒ）に到達する
と、バイパスバルブ１５を閉じ、フォアバルブ２２を開
ける。次にグロースリークバルブ２３をあけ、第２のグ
ロースリークプロセスへ移る。これは、従来例と同様で
ある。リーク値信号がグロースリーク判定規準値以上で
あれば、グロースリークが生じていることになり動作を
中断する。規準値未満であれば、グロースリークバルブ
２２を閉じ、テストバルブ１３が開かれてテストプロセ
スが開始する。テストバルブ１３を開くことで、リーク
があれば高真空排気ポンプの真空吸入側での拡散により
プローブガスを分析管１７が検出する。また、この分析
管１７で検出されたリーク値はアンプ１８によって増幅
され、リーク値として制御回路２０に伝達される。この
リーク値がリークテスト判定基準値以上であるかどうか
が判別される。この後テストバルブ１３が閉ざされテス
トが終了する。テスト終了後試験体リークバルブ８が開
かれ被試験体２のプローブガスが放出され大気圧にもど
り、チャンバ１の内部はチャンバリークバルブ９が開か
れ残留ガスが放出され大気圧にもどりリークテストを終
了する。この発明により、被試験体２に封入されるプロ
ーブガスの封入圧力を被試験体２が実際に使用される圧
力まで加圧できるので、この加圧状態で生ずる加工歪み
に起因するグロースリーク検出プロセスにおけるグロー
スリーク値およびテストプロセスにおけるリーク値の双
方を検出することが可能となり、その測定値の信頼性が
向上する。また、グロースリーク検出プロセスおよびテ
ストプロセスを実行する時間設定でも長短の自由度がひ
ろく、精度の高い測定ができる。
【００２６】ところで、チャンバ１の内部圧力の変化量
を測定する圧力センサ１０については、ＯＮ／ＯＦＦ設
定が自在の圧力スイッチで構成することができ、この圧
力スイッチで構成するとき、作動設定値をグロースリー
ク判定基準値に設定することで、構成をより簡素化する
ことができる。
を測定する圧力センサ１０については、ＯＮ／ＯＦＦ設
定が自在の圧力スイッチで構成することができ、この圧
力スイッチで構成するとき、作動設定値をグロースリー
ク判定基準値に設定することで、構成をより簡素化する
ことができる。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、グロースリーク検出プロセスでは被試験体の
予期せぬ加工時に生じた加工歪みによる漏れをこの被試
験体の内部圧力を実際の使用時圧力まで加圧した時点で
生ずる漏れまで含めて迅速かつ精度よく検出することが
できる。
いるので、グロースリーク検出プロセスでは被試験体の
予期せぬ加工時に生じた加工歪みによる漏れをこの被試
験体の内部圧力を実際の使用時圧力まで加圧した時点で
生ずる漏れまで含めて迅速かつ精度よく検出することが
できる。
【図１】この発明のリークテスト装置の構成を示す図で
ある。
ある。
【図２】従来のリークテスト装置の構成を示す図であ
る。
る。
１…チャンバ ２…被試験体 ３…調圧弁 ４…プローブガス圧力ゲージ ５…ロータリーポンプ ６…ポンプバルブ ７…試験体圧力モニタゲージ ８…試験体リークバルブ ９…チャンバリークバルブ １０…圧力センサ １１…チャンバ接続口 １２…テスト装置接続口 １３…テストバルブ １４…低真空圧力モニタゲージ １５…バイパスバルブ １６…低真空排気ポンプ １７…分析管 １８…アンプ １９…高真空排気ポンプ ２０…制御回路 ２１…ＳＬ接続系 ２２…フォアバルブ ２３…グロースリークバルブ ３０…開閉弁
Claims (1)
- 【請求項１】被試験体を収容するチャンバと、このチャ
ンバに収容された状態の被試験体にプローブガスを封入
する手段と、前記チャンバの内部を真空に排気し被試験
体に封入されたプローブガスの漏れを検出するリークデ
ィテクタを備えたリークテスト装置において、前記チャ
ンバとリークディテクタとの接続系に、開閉弁を介設す
るとともに、チャンバと開閉弁との間の接続系に圧力セ
ンサを接続し、被試験体にプローブガスを封入した後の
チャンバの圧力を前記圧力センサが検出することにより
グロースリークの有無を判別できるようにしたことを特
徴とするリークテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4555098A JPH11241971A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | リークテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4555098A JPH11241971A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | リークテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11241971A true JPH11241971A (ja) | 1999-09-07 |
Family
ID=12722480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4555098A Pending JPH11241971A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | リークテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11241971A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007500352A (ja) * | 2003-05-30 | 2007-01-11 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出装置 |
| JP2010256018A (ja) * | 2009-04-21 | 2010-11-11 | Nissan Motor Co Ltd | 気密試験装置及び気密試験方法 |
| CN102288365A (zh) * | 2011-08-10 | 2011-12-21 | 苏州凌创电子系统有限公司 | 一种泄漏测试设备 |
| JP2013536937A (ja) * | 2010-09-03 | 2013-09-26 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出器 |
| CN106768669A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 深圳市高原汽车电子有限公司 | 汽车胎压检测器的气密性测试装置 |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP4555098A patent/JPH11241971A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007500352A (ja) * | 2003-05-30 | 2007-01-11 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出装置 |
| JP2010256018A (ja) * | 2009-04-21 | 2010-11-11 | Nissan Motor Co Ltd | 気密試験装置及び気密試験方法 |
| JP2013536937A (ja) * | 2010-09-03 | 2013-09-26 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出器 |
| US9360465B2 (en) | 2010-09-03 | 2016-06-07 | Inficon Gmbh | Leak detector |
| US9632067B2 (en) | 2010-09-03 | 2017-04-25 | Inficon Gmbh | Leak detector |
| CN102288365A (zh) * | 2011-08-10 | 2011-12-21 | 苏州凌创电子系统有限公司 | 一种泄漏测试设备 |
| CN106768669A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 深圳市高原汽车电子有限公司 | 汽车胎压检测器的气密性测试装置 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040927 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060516 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060919 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |