JPH0478936B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は密閉された物品におけるガス洩れの検
知に関し、更に詳しくは、高い洩れ率で現れる比
較的高い試験ポート圧力でのガス洩れ検知のため
の方法及び装置に関する。

ヘリウム質量スペクトロメータガス洩れ検知は
周知のガス洩れ検知技術である。ヘリウムは密閉
された試験部分における最も小さい漏れ口を通り
抜けるトレースガスとして用いられる。ヘリウム
はガス漏れ検知装置に達して測定される。そのヘ
リウムの量はガス漏れ率に対応している。前記装
置で最も重要な構成要素はヘリウムを検知し測定
する質量スペクトロメータ管である。投入ガスは
ヘリウム成分を分離するためにスペクトロメータ
管によつてイオン化され質量分析され、次に測定
される。一つのアプローチでは、試験部分にヘリ
ウムによる圧力がかけられる。ガス漏れ検知器の
試験ポートに接続されたスニフアプローブが試験
部分の外側のまわりを動かされる。漏れ口の付近
でヘリウムはプローブ内に達し、ガス漏れ検知器
によつて測定される。別のアプローチでは、試験
部分の内側がガス漏れ検知器の試験ポートに連結
されている。その試験部分の外側にヘリウムが吹
きかけられ、ヘリウムは漏れ口を通つて内側に入
り、ガス漏れ検知器によつて測定される。ヘリウ
ム質量スペクトロメータガス漏れ検知は感度が良
く、広いダイナミツクレンジが得られ、使用が迅
速にでき便利である。

スペクトロメータ管に要求されることの一つ
は、ヘリウム及び他のガスが通過して受け入れら
れる入口部分が比較的低い圧力（典型的には２×
10^-4トル以下）に維持されることである。いわゆ
る在来のガス漏れ検知器において、スペクトロメ
ータ管の入口を所望の圧力に維持するために粗引
きポンプ、拡散ポンプ及び関連したフオアポンプ
（forepump）、そして冷却トラツプが在来の真空
ポンピング配置に利用されている。しかし、ガス
漏れ試験中、試験ポートは比較的低圧力に維持さ
れなければならないので、粗引きポンピングサイ
クルは比較的長くなる。更に、漏れ易いか又は大
きな体積の部分の試験では試験ポート圧力が高く
なり、所望の圧力レベルを達成することが難しい
か又は不可能に成り得る。もし、所望の圧力レベ
ルが完全に達成されるならば、ポンピングサイク
ルは長くなる。

これらの問題の多くは米国特許第3690151号
（発明者ブリツグス）に開示された向流ガス漏れ
検知器において解消された。このガス漏れ検知器
では、質量スペクトロメータ管が拡散ポンプの入
口に接続され、ヘリウム・トレースガスは拡散ポ
ンプのフオアライン又は正規の出力ポートを通し
て導入される。その拡散ポンプは重いガスに対し
ては高圧力比を示すが、ヘリウムのような軽いガ
スに対しては低圧力比を示す。それ故、ヘリウム
は許容できる率で逆方向に拡散ポンプを通つてス
ペクトロメータ管へ拡散し、測定される。サンプ
ル中のより重いガスは、大部分が拡散ポンプによ
つて妨げられ、スペクトロメータ管に到達するの
を妨げられる。拡散ポンプ内の逆方向流の方法に
よつて、ガス漏れ検知器の試験ポートは拡散ポン
プフオアラインに要求される圧力で動作可能であ
る。この圧力（典型的には100ミリトル）はスペ
クトロメータ管の必要とされる動作圧力よりも数
オーダー高い大きさであり、比較的容易に達成さ
れる。

100ミリトルの試験ポート圧力は多くのガス漏
れ試験の適用に関して申し分ない。それにもかか
わらず、いくつかの適用においてはこの試験ポー
ト圧力レベルが達成されない非常に大きいか、又
は漏れ易い部分で漏れ試験を実行することが望ま
しい。今まで、ただ２つの機械真空ポンプとフオ
アライン圧力を100ミリトル又はそれ以下に維持
する中間流制限器の使用で、約100ミリトルの試
験ポート圧力でヘリウム質量スペクトロメータガ
ス漏れ試験を行うことが可能であつた。

本発明の一般的な目的は、質量スペクトロメー
タガス漏れ検知に関する新規な方法及び装置を提
供することである。

本発明の別の目的は、ただ一つの機械ポンプを
利用して実質的に約100ミリトルの試験ポート圧
力で質量スペクトロメータガス漏れ試験を実行す
るための方法及び装置を提供することである。

本発明の更に別の目的は、高い試験ポート圧力
で試験を可能にするために、ヘリウム・トレーサ
ガスが機械真空ポンプの少なくとも１つのステー
ジを逆方向に通るところのガス漏れ検知のための
方法及び装置を提供することである。

発明の概要 本発明によつて、上記及びその他の目的及び利
点が、比較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ検
知のための装置において達成される。その装置
は、トレースガスを含む試験サンプルを受けれ入
るのに適した試験ポート、適切な動作のために比
較的低い圧力を必要とするガス漏れ検知器、入口
及び第１ステージと第２ステージの間のステージ
間接続ポイントを有する機械真空ポンプを有し、
更に、試験ポートとステージ間接続ポイントの間
に流体連通をさせ、粗いガス漏れ試験サイクルの
間、真空ポンプの入口とガス検知器との間に流体
連通をさせるための相互連結手段を有する。トレ
ースガスは、少なくとも一部分が機械真空ポンプ
を逆向きに通つてガス漏れ検知器に達する。

典型的には、ガス漏れ検知器はトレースガスを
検知するように調整され、トレースガスを受け入
れるための入口を有する質量スペクトロメータの
ようなガス分析器から成り、更に、軽いガスに対
しては比較的高い反拡散率をもち、重いガスに対
しては比較的低い反拡散率をもつことで特徴づけ
られた真空ポンピング手段から成る。高真空ポン
ピング手段はガス分析器の入口に連結されたポン
プ入口と、ガス漏れ検知器の入口であるフオアラ
インを有する。

本発明の別の見地によると、相互連結手段は更
に試験ポートと機械真空ポンプの第２ステージの
出力側のガスバラストポートとの間を流体連通さ
せ、また、高圧力の大量漏れ（「総漏れ」ともい
う。）試験サイクルの間、機械ポンプとガス漏れ
検知器との間の流体連通をさせるための手段を有
する。トレースガスは少なくともその一部が機械
真空ポンプの両ステージを逆方向に通つてガス漏
れ検知器に達する。

本発明の更に別の見地によると、上記ガス漏れ
検知装置は更に、試験ポートでの圧力レベルを感
知し、試験ポート圧力信号を与えるための手段及
び、試験ポートとステージ間接続ポイントとの流
体連通中に置かれた制限手段であつて、試験ポー
ト圧力信号に応答して予め定められた試験ポート
圧力と流量との関係に従つてガスの流れを制限す
るところの制限手段を有する。該制御手段はモジ
ユレーターバルブ（modulator valve）から成つ
てもよい。

本発明の更に別の見地によると、適切な動作の
ために比較的低い圧力を必要とするガス漏れ検知
器で比較的高い試験ポート圧でのガス漏れ検知の
ための方法が提供されている。その方法は、初め
にガス漏れ検知器を試験ポートから孤立している
間、機械ポンプの入口を試験ポートに接続するこ
とによつて試験ポートを排気するステツプと、そ
の後に試験ポートを機械ポンプのステージの出口
に接続し、機械真空ポンプの入口をガス漏れ検知
器入口に接続するステツプとから成り、ガス漏れ
検知器が低圧力に維持され、試験ポートで受け入
れられたトレースガスは、少なくともその一部が
逆方向に機械真空ポンプを通つてガス漏れ検知器
に達する。

好適実施例 本発明に従つたガス漏れ検知装置が第１図に略
示されている。装置は微少なガス漏れ、即ち比較
的低い試験ポート圧力、及び大量漏れ（「総漏れ」
ともいう。）、即ち大量に又は漏れ易い試験部分で
の試験の両方を行なうことができる。微少なガス
漏れ試験は米国特許第3690151号に記載されてい
るような、すでに知られた逆流技術によつて行な
われる。大量漏れ試験は以下に示され、記載され
る新規な方法によつて行なわれる。

試験部分１０又はスニフアプローブ（図示せ
ず）は真空タイトに試験ポート１２に連結されて
いる。試験ポート１２は粗引きバルブ１４を介し
て機械真空ポンプ１８の入口に連結されている。
第１図に示されている要素は適切な機密接続、例
えば、１−1/8インチ（2.54−0.32センチ）O.D.
チユービング（tubing）による連結がなされる。
機械真空ポンプ１８への入口１６はまた、試験バ
ルブ２０を介して高真空ポンプ２４のフオアライ
ン２２に連結されている。高真空ポンプ２４は拡
散ポンプ又はターボ分子ポンプでもよい。ポンプ
２４の入口はスペクトロメータ管２６の入り口に
連結されている。ポンプ２４とスペクトロメータ
管２６はVarian Vacuum Products Divisionに
よつて製造されるモデル938−41ガス漏れ検知器
に使用されるユニツトと同様のものでもよい。試
験ポート１２に連結されている逃し弁２８は、試
験ポート１２に連結された真空計３０がその圧力
を測定している間、試験部分１０の排気を可能に
する。

この例では、機械真空ポンプ１８はVarian
Model SD 200又はSD300のような２ステージ回
転翼ポンプである。そのポンプは入口１６に連結
された第１ステージとステージ間コンジツト４０
によつて第１ステージ３６の出口に連結された第
２ステージとを有する。第２ステージ３８はポン
プ出口４２を通つて排気される。ポンプはまた、
通常は水蒸気の除去のためにポンプオイルからガ
ス抜きするために使用されるガスバラスト接続ポ
イント４４を有する。中間ステージ接続ポイント
４６は真空ポンプ１８の壁から中間ステージコン
ジツト４０に穴を空けることによつて設けられ
る。試験ポート１２は大量漏れ試験バルブ５０を
介して中間ステージ接続ポイント４６に接続され
ている。真空ポンプ１８への接続が第１図に略示
されているが、このような接続はガス気密取り付
けによつてなされることが理解されよう。入口１
６を通つて出されたガスは続いて第１ステージ３
６及び第２ステージ３８を通つて出口４２に進
む。ポイント４６で受け止められた少量の軽いガ
スは逆方向に第１ステージ３６を通つて入口１６
へ進む。

第１図に示されたガス漏れ検知装置は、真空バ
ルブ１４，２０，２８及び５０の状態によつて制
御されるいくつかの動作モードを有する。バルブ
の状態及び対応する動作モードは手動で制御で
き、或いは電子制御装置によつて自動的に制御で
きることが理解されよう。粗引きモードでは試験
部分１０は大気圧から中間圧力まで下げられ、そ
れは一部は粗引きに使用される真空ポンプの特製
に依存し、一部は試験部分の大きさ及びガス漏れ
の激しさに依存する。粗引きサイクルの後、装置
は微少ガス漏れ試験モード又は大量漏れ試験モー
ドにスイツチされる。一般的には微少ガス漏れモ
ードは試験ポート中間圧力が約100ミリトル以下
で使用され、一方、大量漏れ試験モードは試験ポ
ート中間圧力が約100ミリスル以上で使用される。
ガス漏れ試験の完了後、試験部分１０は大気圧に
排気され除去される。

粗引きモードでは、バルブ２０，２８及び５０
が閉じている間、粗引きバルブ１４は開いてい
る。試験ポート１２はこのようにして機械真空ポ
ンプ１８の入口に接続されておりその機械真空ポ
ンプは試験ポート圧力を大気圧から中間圧力レベ
ルに減じる。もし、真空計３０が高真空ポンプ２
４（約100ミリトル又はそれ以下）のフオアライ
ン２２に適合する圧力を示すと、バルブ２８及び
５０を閉じたままで、又、バルブ１４は開けたま
まで試験バルブ２０を開けることで減少ガス漏れ
試験モードが開始される。トレースガスであるヘ
リウムがヘリウムスプレーのようにして試験部分
１０の外側表面上に導入される。もし、試験部分
がヘリウムによつて圧力が掛けられると、代わり
にスニフアプローブが試験部分の外側の周りを動
かされる。ヘリウムは漏れ口から試験部分１０の
内部へ引き込まれ、或いはスニフアプローブ中に
引き込まれ、試験ポート１２を通過してガス漏れ
検知装置中に入る。ヘリウムは次にバルブ１４及
び２０を通つて高真空ポンプフオアライン２２に
入る。当業者には知られているように、ヘリウム
はその軽い質量のために逆方向にも拡散し、高真
空ポンプ２４を通つてスペクトロメータ管２６に
達する。スペクトロメータ管２６はヘリウムを検
知し、測定し、そして、試験部分１０又はスニフ
アプローブから受け入れたガスサンプルの中のヘ
リウムの量に比例する出力信号を発するように調
節される。ヘリウムの濃度は試験部分１０のガス
漏れ率に比例する。ポンプ２４がほんのわずかな
ヘリウムをスペクトロメータ管２６に通す間、ガ
ス漏れ率を高い精度で記録することが可能なだけ
の十分な量がスペクトロメータ管２６に達する。
ガス漏れ試験が完了した後、粗引きバルブ１４は
閉じられ、逃し弁２８は開けられて試験部分１０
が大気と通気されガスの除去を可能にする。試験
バルブ２０は通気の間、開けられたままである。

ある場合には、粗引きサイクルの間にポンプ２
４のフオアライン２２で必要とされるおよそ100
ミリトルの圧力を達成することは可能ではない。
これは粗引きサイクルの間明らかになるか又は、
試験部分が特に大きいか漏れ易いときに前もつて
分かるかもしれない。このような状況において大
量漏れ試験モードが使用される。装置を大量漏れ
試験モードにするには、粗引きバルブ１４が閉じ
られ、バルブ２８が閉じられたままで試験バルブ
２０と粗いガス漏れ試験バルブ５０が開けられ
る。ヘリウムトレーサガスを含む試験サンプルは
試験ポート１２からバルブ５０を通つて機械真空
ポンプ１８の中間接続ポイント４６に導入され
る。ポンプ１８への入口１６は試験ポート１２か
ら孤立され、バルブ２０を介してポンプ２４のフ
オアライン２２に接続されている。試験ポート１
２での圧力は機械真空ポンプ１８の第１ステージ
３６を通して下がる圧力に等しい量だけポンプフ
オアライン２２の圧力よりも高い。一般にフオア
ライン２２での圧力は、ほぼ400トルに達する試
験ポート圧力に対して所望の100ミリトル又はそ
れ以下に維持できる。

試験ポート１２から受け入れたサンプルガスの
大部分は真空ポンプ１８の第２ステージ３８を通
して排気される。しかし、測定可能な量のヘリウ
ムが第１ステージ３６を通つて入口１６へと逆流
するのが認められた。次のそのヘリウムはポンプ
２４を通つてスペクトロメータ管２６へと逆に進
み、上記のように微少ガス漏れ試験モードで測定
される。スペクトロメータ管に到達するヘリウム
の量は試験部分１０におけるガス漏れの大きさに
比例する。当業者には周知のように測定されたヘ
リウムは与えられたガス漏れ率に対応して較正さ
れる。ガス漏れ試験が完了した後、粗引きバルブ
１４は閉じられ、逃し弁２８は試験部分を大気に
通気してガスの除去が可能なように開かれる。通
気の間バルブ５０は閉じられ、バルブ２０は開い
た状態に維持される。

本発明の別の特徴が第２図に示されている。第
２図のガス漏れ検知装置は第１図に示された装置
と大部分同様であり、対応する構成要素は同じ参
照番号で示されている。加えて、第２図の装置は
モジユレータバルブ６０を含む。そのバルブは粗
いガス漏れ試験バルブ５０と直列に継がれ、試験
ポート１２とステージ間接続ポイント４６との間
のコンジツト内にある。第２図に示されたモジユ
レータバルブ６０は、より高い試験ポート１２の
圧力で大量漏れ試験が行われることを可能にす
る。モジユレータバルブ６０は試験ポート１２の
圧力を表示する真空計３０からの信号に応答する
バルブ制御器６２によつて制御される。モジユレ
ータバルブ６０は試験ポート１２と機械真空ポン
プ１８との間のガス流量を制御器６２からの制御
信号に応答して変化させる。例えば、制御器６２
は試験ポート１２の圧力が約400トルに増加する
ように流量を減少させるためにバルブ６０を制御
することができる。制御器６２は予め定められた
流量対試験ポート１２の圧力特性を与えることが
できる。このようにしてポンプ２４のフオアライ
ン２２は大量漏れ試験の間、400トル以上の試験
ポート１２の圧力に対してですら許容レベルに維
持される。

第２図に示されたモジユレータバルブ６０の代
りのものが第２Ａ図に略示されている。モジユレ
ータバルブ６０は並列に接続され、固定されたガ
ス流絞り弁とバルブに置き換えられている。第２
Ａ図は試験ポート１２とステージ間接続ポイント
４６との間にある第２図のガス漏れ検知装置の一
部だけを図示したものである。装置の残りの部分
は第２図に示されている。ガス流制限手段７０は
大量漏れ試験バルブ５０と直列に接続されてい
る。バルブ制御器７２は試験ポート１２の圧力を
示す真空計３０からの信号を受け、ガス流制御手
段７０を制御する。ガス流制御手段７０はガス流
絞り弁７６と直列に接続されたバルブ７４及びガ
ス流絞り弁８０と直列に接続されたバルブ７８を
有する。バルブ７４と絞り弁７６の組み合せはバ
ルブ７８と絞り弁８０の組合せと並列に接続され
てガス流制御手段７０を形成している。バルブ７
４は絞り弁７６を介してガス流を制御し、一方、
バルブ７８は絞り弁８０を介してガス流を制御す
る。バルブ７４，７８は試験ポート１２で測定さ
れた圧力に応答してバルブ制御器７２によつて制
御される。

動作中、バルブ制御器７２は試験ポート１２で
の圧力に依存してガス流が異なるガス流絞り弁を
通ることを可能にする。例えば、400トル乃至600
トルの間の圧力でバルブ７４は開けられ、バルブ
７８は閉じられる。一方、600トル以上の圧力に
対してバルブ７８は開けられ、バルブ７４は閉じ
られる。400トル以下の圧力では、ボバブ７４，
７８は増加したガス流を得るために開かれる。機
械真空ポンプ１８中への過度のガス流の制御の程
度を上げるために並列接続されたバルブとガス流
絞り弁を付加することができることが理解されよ
う。

本発明の別の特徴が第３図に示されている。第
３図のガス漏れ検知装置は第１図に示された装置
に関して大部分が同様であり、対応する構成要素
は同じ参照番号で表示されている。第３図は粗引
きモード及び微少ガス漏れ試験モードに関して上
記の方法で動作する。大量漏れモードは第１図に
関して上記されたようにバルブ５０及び２０を開
け、バルブ１４を閉めることによつて行われる。
第３図のガス漏れ検知装置は機械真空ポンプ１８
の第２ステージ３８の出力部で高圧力ガス漏れ試
験バルブ９０を介して、試験ポート１２とガスバ
ラスト接続ポイント４４との間に付加されたガス
密閉接続部分を有する。上記のようにステージ間
接続ポイント４６に接続されたバルブ５０は100
ミリトル乃至400トルの試験ポート１２の圧力範
囲内で大量漏れ試験を可能にする。ある状況にお
いては、400トル乃至大気圧の範囲内の圧力でガ
ス漏れ試験を行う必要がある。この場合は、第３
図に示された装置が使用される。

本発明によつて高圧力ガス漏れ試験を行うため
に、試験部分が初めに粗引きサイクルの間上記の
ように粗引き真空排気される。しなわち、バルブ
１４は開かれ、バルブ２８，５０，９０及び２０
は閉められる。次にバルブ２８及び５０は閉めた
ままでバルブ１４が閉められ、高圧力ガス漏れ試
験バルブ９０と試験バルブ２０が開けられる。こ
れは試験ポート１２と真空ポンプ１８の第２ステ
ージの出力部分との間に接続をもたらす。それ
故、試験ポート１２はポンプ２４のフオアライン
２２に求められる圧力よりもずつと高い圧力で動
作可能である。圧力における違いは真空ポンプ１
８によつて下げられる圧力によつて決定される。
この配置によつてフオアライン２２は所望の圧力
である100ミリトルまたはそれ以下に維持するこ
とが可能であり、一方、試験ポート１２は400ト
ルから大気圧の範囲内で、動作可能であることが
分かつた。試験部分１０から試験サンプル内に受
け入れられたヘリウムは、第２ステージ３８及び
機械真空ポンプ１８の第１ステージ３６へと逆方
向に進み、次にポンプ２４からスペクトロメータ
管２６へと逆方向に進んで測定される。ほんのわ
ずかな量のヘリウムだけが真空ポンプ１８と２４
を逆方向に進むことが分かるであろう。しかし、
多大なガス漏れは圧力を約400トルのレベルに上
げる必要があるので、大量のヘリウムが受け入れ
られ、十分な量のヘリウムがスペクトロメータ管
２６に達して測定される。

本発明は２ステージ回転翼機械真空ポンプに関
して記載された。概して本発明は試験サンプルを
適切な構造の一つ又はそれ以上の何らかの粗引き
ポンプ又は機械真空ポンプに逆向きに通させるこ
とによつて大量漏れ試験即ち高圧ガス漏れ試験に
利用できる。更に本発明は向流型ガス漏れ検知装
置に関して記載した。概して、本発明は仮定する
試験ポート圧力を増加するために、ガス漏れ検知
器の入口で比較的低い圧力を必要とする如何なる
適当なガス漏れ検知器にも利用できる。第１乃至
３図に示された高真空ポンプ２４とスペクトロメ
ータ管２６の組み合わせは、ポンプフオアライン
で約100ミリトルの動作圧力を必要とするガス漏
れ検知器が考慮される。残つた構成要素の一部は
上記のようにフオアラインでの圧力を制御する。

本発明の装置が比較的高い試験ポート圧力での
ガス漏れ試験を可能にすることに関しては上記の
通りである。加えて本装置の重要な利点は、広い
範囲の圧力に亘る動作のためにガス漏れ検知装置
がただ１つの機械真空ポンプしか必要としないと
いうことである。従来技術の装置は概して粗引き
サイクルとガス漏れ試験中に使用される粗引きポ
ンプ及び拡散ポンプと伴に使用されガス漏れ試験
の間拡散ポンプのフオアラインでの所望の圧力を
維持するフオアポンプを有する。本発明において
第２機械真空ポンプに必要なものの除去によつ
て、ガス漏れ検知装置の大きさ、費用及び重量が
実質的に減じられる。

本発明の好適実施例を図示し記載したが、当業
者には、特許請求の範囲によつて限定された本発
明の範囲から逸脱することなく様々な変更を加え
ることが可能であることは明らかであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従つたガス漏れ装置の略示線
図である。第２図は本発明の別の好適実施例の略
示線図である。第２Ａ図は第２図に示されたモジ
ユレータバルブの代りのものである。第３図は本
発明の更に別の好適実施例である。 主要符号、１２……試験ポート、１６……入
口、１８……機械真空ポンプ、２２……フオアラ
イン、２６……スペクトロメータ管、３６……第
１ステージ、３８……第２ステージ、４６……中
間ステージ接続ポイント、６０……モジユレータ
バルブ、７６，８０……ガス流絞り弁。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 比較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ検知
   のための装置であつて、 (a) トレースガスを含む試験サンプルを受け入れ
   るのに適した試験ポート、 (b) 適切な動作のために比較的低い圧力を必要と
   するガス漏れ検知器、 (c) 入口及び第１ステージと第２ステージとの間
   のステージ間接続ポイントを有する機械真空ポ
   ンプ、並びに (d) 総漏れ試験サイクルの間、前記試験ポートと
   前記ステージ間接続ポイント及び前記真空ポン
   プの前記入口と前記ガス漏れ検知器との間に流
   体連通をさせ、それによつて前記トレースガス
   の少なくとも一部が逆方向に前記真空ポンプを
   通つて前記ガス漏れ検知器に進むところの相互
   連結手段、 とから成る装置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載された装置であ
   つて、 前記ガス漏れ検知器が、 (a) 前記トレースガスを検知するように調節さ
   れ、前記トレースガスを受け入れるための入口
   を有するガス分析器、 (b) 軽いガスに対する比較的高い反拡散率と重い
   ガスに対する比較的低い反拡散率を特徴とする
   高真空ポンピング手段であつて、該手段が前記
   ガス分析器の前記入口及び前記トレースガスが
   逆方向に前記高真空ポンピング手段から前記ガ
   ス分析器へ進むところの前記ガス漏れ検知装置
   の入口であるフオアラインとに連結されたポン
   プ入口を有する手段、 とから成る装置。 ３ 特許請求の範囲第２項に記載された装置であ
   つて、 前記真空ポンピング手段が拡散ポンプから成る
   ところの装置。 ４ 特許請求の範囲第２項に記載された装置であ
   つて、 前記真空ポンピング手段がターボ分子ポンプか
   ら成るところの装置。 ５ 特許請求の範囲第２項に記載された装置であ
   つて、 前記ガス分析器がヘリウムを検出するように調
   節されたスペクトロメータ管から成るところの装
   置。 ６ 特許請求の範囲第１項に記載された装置であ
   つて、 前記機械真空ポンプが２ステージ回転翼機械真
   空ポンプから成るところの装置。 ７ 適切な動作に対して比較的低い圧力を必要と
   するガス漏れ検知器による、比較的高い試験ポー
   ト圧力でのガス漏れ検知に関する方法であつて、 (a) 初めにガス漏れ検知器を試験ポートから隔離
   している間、機械真空ポンプの入口を試験ポー
   トに接続することによつて試験ポートを排気す
   る工程、並びに (b) その後に試験ポートを前記機械真空ポンプの
   ステージの出口に接続し、機械真空ポンプの入
   口をガス漏れ検知器の入口に接続する工程であ
   つて、ガス漏れ検知器の前記入口が低圧力に維
   持され、前記試験ポートで受け入れられたトレ
   ースガスの少なくとも一部が逆方向に機械真空
   ポンプを通つてガス漏れ検知器に進む工程、 とから成る方法。 ８ 特許請求の範囲第７項に記載された方法であ
   つて、 試験ポートを前記機械真空ポンプに接続する工
   程が、試験ポートを２ステージ回転翼機械真空ポ
   ンプのステージの間に接続する工程を有するとこ
   ろの方法。 ９ 特許請求の範囲第７項に記載された方法であ
   つて、 試験ポートを前記機械真空ポンプに接続する工
   程が、試験ポートを２ステージ回転翼機械真空ポ
   ンプの第２ステージ出力部でガスバラストポート
   に接続する工程を含むところの方法。 １０ 比較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ検
   知器のための装置であつて、 (a) トレースガスを含む試験サンプルを受け入れ
   るのに適した試験ポート、 (b) 適切な動作のために比較的低い圧力を必要と
   するガス漏れ検知器、 (c) ２ステージ機械真空ポンプであつて、入口と
   第２ステージの出力部にガスバラスト接続ポイ
   ントを有する真空ポンプ、並びに (d) 総漏れ試験サイクルの間、前記試験ポートと
   前記ステージ間接続ポイントとの間に流体連通
   をさせ、前記真空ポンプの前記入口と前記ガス
   漏れ検知器との間に流体連通をさせ、それによ
   つて前記トレースガスの少なくとも一部分が逆
   方向に前記機械真空ポンプの２つのステージを
   通つて前記ガス漏れ検知器に進むところの相互
   連結手段、 とから成る装置。 １１ 特許請求の範囲第１０項に記載された装置
   であつて、前記ガス漏れ検知器が、 (a) 前記トレースガスを検知するように調節さ
   れ、前記トレースガスを受け入れるための入口
   を有するガス分析器、並びに (b) 軽いガスに対する比較的高い反拡散率と重い
   ガスに対する比較的低い反拡散率を特徴とする
   高真空ポンピング手段であつて、該手段が前記
   ガス分析器の前記入口及び前記トレースガスが
   逆方向に前記高真空ポンピング手段から前記ガ
   ス分析器へ進むところの前記ガス漏れ検知器の
   入口であるフオアラインとに連結されたポンプ
   入口を有する手段、 とから成る装置。 １２ ガス漏れ検知のための装置であつて、 (a) トレースガスを含む試験サンプルを受け入れ
   るのに適合した試験ポート、 (b) 前記トレースガスを検知するように調節され
   たガス分析器であつて、前記トレースガスを受
   け入れるための入口を有するところのガス分析
   器、 (c) 軽いガスに対する比較的高い反拡散率と重い
   ガスに対する比較的低い反拡散率を特徴とする
   高真空ポンピング手段であつて、該手段がポン
   プ入口とフオアラインを有し、前記ポンプ入口
   が前記ガス分析器の前記入口に連結されている
   ところの高真空ポンピング手段、 (d) 少なくとも第１ステージを有する機械真空ポ
   ンプ、 (e) 粗引きサイクルの間、前記試験ポートと前記
   機械真空ポンプの入口との間を流体連通をさせ
   るための相互連結手段、並びに (f) 総漏れ試験サイクルの間、前記機械真空ポン
   プの前記第１ステージの出口で前記試験ポート
   と接続ポイントとの間に流体連通させ、前記真
   空ポンプの前記入口と前記高真空ポンピング手
   段の前記フオアラインとの間に流体連通させる
   ための相互連結手段、とから成り、それによつ
   て、前記総漏れ試験サイクルの間、前記トレー
   スガスの少なくとも一部が逆方向に前記機械真
   空ポンプと前記高真空ポンピング手段を通つ
   て、前記ガス分析器に達するところの装置。 １３ 比較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ検
   知のための装置であつて、 (a) トレースガスを含む試験サンプルを受け入れ
   るのに適合した試験ポート、 (b) 適切な動作のために比較的低い圧力レベルを
   必要とするガス漏れ検知器、並びに (c) 逆方向に前記試験ポートと前記ガス漏れ検知
   器との間に接続された少なくとも１つのステー
   ジを有する機械真空ポンプで、トレースガスが
   逆方向に出口から前記少なくとも１つのステー
   ジを通つてその入口に達し、次に前記ガス漏れ
   検知器に達するところの粗引き及びフオアライ
   ン・ポンピングに適した機械真空ポンプ、 から成る装置。