JPS6287825A - ガス漏れ検知のための方法及び装置 - Google Patents

ガス漏れ検知のための方法及び装置

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JPS6287825A
JPS6287825A JP61230249A JP23024986A JPS6287825A JP S6287825 A JPS6287825 A JP S6287825A JP 61230249 A JP61230249 A JP 61230249A JP 23024986 A JP23024986 A JP 23024986A JP S6287825 A JPS6287825 A JP S6287825A
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は密閉された物品におけるガス漏れの検知に関し
、更に詳しくは、高い漏れ率で現われる比較的高い試験
ポート圧力でのガス漏れ検知のための方法及び装置に関
する。
ヘリウム質量スペクトロメータガス漏れ検知は周知のガ
ス漏れ検知技術である。ヘリウムは密閉された試験部分
における最も小さい漏れ口を通り抜けるトレーサガスと
して用いられる。ヘリウムはガス漏れ検知装置に達して
測定される。そのヘリウムの量はガス漏れ率に対応して
いる。前記装置で最も重要な構成要素はヘリウムを検知
し測定する質量スペクトロメータ管である。入力ガスは
ヘリウム成分を分離するためにスペクトロメータ管によ
ってイオン化され質量分析され１次に測定される６一つ
のアプローチでは、試験部分にヘリウムによる圧力がか
けられる。ガス漏れ検知器の試験ポートに接続されたス
ニファプローブが試験部分の外側のまわりを動かされる
。漏れ口の付近でヘリウムはプローブ内に達し、ガス漏
れ検知器によって測定される。別のアプローチでは、試
験部分の内側がガス漏れ検知器の試験ポートに連結され
ている。その試験部分の外側にヘリウムが吹きかけられ
、ヘリウムは漏れ口を通って内側に入り、ガス漏れ検知
器によって測定される。ヘリウム質量スペクトロメータ
ガス漏れ検知は感度が良く、広いダナミックレンジが得
られ。使用が迅速にでき便利である。
スペクトロメータ管に要求されることの一つは、ヘリウ
ム及び他のガスが通過して受け入れられる入口部分が比
較的低い圧力（典型的には２Ｘ１０−４トル以下）に維
持されることである。いわゆる在来のガス漏れ検知器に
おいて、スペクトロメータ管の入口を所望の圧力に維持
するために粗引きポンプ、拡散ポンプ及び関連したフォ
アポンプ（ｆｏｒｅｐｕｍｐ）　、そして冷却トラップ
が在来の真空ポンピング配置に利用されている。しかし
、ガス漏れ試験中、試験ポートは比較的低圧力に維持さ
れなければならないので、粗引きポンピングサイクルは
比較的長くなる。更に、漏れ易いか又は大きな体積の部
分の試験では試験ポート圧力が高くなり、所望の圧力レ
ベルを達成することが難しいか又は不可能になり得る。
もし、所望の圧力レベルが完全に達成されるならば、ポ
ンピングサイクルは長くなる。
これらの問題の多くは米国特許第３，６９０，１５１号
（発明者ブリッグス）に開示された向流ガス漏れ検知器
において解消された。このガス漏れ検知器では、質量ス
ペクトロメータ管が拡散ポンプの入口に接続され、ヘリ
ウム・トレーサガスは拡散ポンプのフォアライン又は正
規の出力ポートを通して導入される。その拡散ポンプは
重いガスに対しては高圧力比を示すが、ヘリウムのよう
な軽いガスに対しては低圧力比を示す。それ故、ヘリウ
ムは許容できる率で逆方向に拡散ポンプを通ってスペク
トロメータ管へ拡散し、測定される。サンプル中のより
重いガスは、大部分が拡散ポンプによって妨げられ、ス
ペクトロメータ管に到達するのを妨げられる。拡散ポン
プ内の逆方向流の方法によって、ガス漏れ検知器の試験
ポートは拡散ボンプフォアラインに要求される圧力で動
作可能である。この圧力（典型的には１ｏＯミリトル）
はスペクトロメータ管の必要とされる動作圧力よりも数
オーダー高い大きさであり、比較的容易に達成される。
１００ミリトルの試験ポート圧力は多くのガス漏れ試験
の適用に関して申し分ない。それにもかかわらず、いく
つかの適用においてはこの試験ポート圧力レベルが達成
されない非常に大きいか、又は漏れ易い部分で漏れ試験
を実行することが望ましい。今まで、ただ２つの機械真
空ポンプとフォアライン圧力を１００ミリトル又はそれ
以下に維持する中間流制限器の使用で、約１００ミリト
ルの試験ポート圧力でヘリウム質量スペクトロメータガ
ス漏れ試験を行うことが可能であった。
本発明の一般的な目的は、質量スペクトロメータガス漏
れ検知に関する新規な方法及び装置を提供することであ
る。
本発明の別の目的は、ただ一つの機械ポンプを利用して
実質的に約１００ミリトルの試験ポート圧力で質量スペ
クトロメータガス漏れ試験を実行するための方法及び装
置を提供することである。
本発明の更に別の目的は、高い試験ポート圧力で試験を
可能にするために、ヘリウム・トレーサガスが機械真空
ポンプの少なくとも１とっのステージを逆方向に通ると
ころのガス漏れ検知のための方法及び装置を提供するこ
とである。
見匪立景！ 本発明によって、上記及びその他の目的及び利点が、比
較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ検知のための装置
において達成される。その装置は。
トレースガスを含む試験サンプルを受けれ入るのに適し
た試験ポート、適切な動作のために比較的低い圧力を必
要とするガス漏れ検知器械、入口及び第１ステージと第
２ステージの間のステージ間接続ポイントを有する機械
真空ポンプを有し、更に、試験ポートとステージ間接続
ポイントの間に流体連通をさせ、粗いガス漏れ試験サイ
クルの間、真空ポンプの入口とガス漏れ検知器械との間
に流体連通をさせるための系統連系手段を有する。トレ
ースガスは、少なくとも一部分が機械真空ポンプを逆向
きに通ってガス漏れ検知器械に達する。
典型的には、ガス漏れ検知器械はトレースガスを検知す
るように調整され、トレースガスを受け入れるための入
口を有する質量スペクトロメータのようなガス分析器械
から成り、更に、軽いガスに対しては比較的高い反拡散
率をもち１重いガスに対しては比較的低い反拡散率をも
つことで特徴づけられた真空ポンピング手段から成る。
高真空ポンピング手段はガス分析器械の入口に連結され
たポンプ入口と、ガス漏れ検知器械の入口であるフォア
ラインを有する。
本発明の別の見地によると、系統連系手段は更に試験ポ
ートと機械真空ポンプの第２ステージの出力側のガスバ
ラストポートとの間を流体連通させ、また、高圧力の粗
いガス漏れ試験サイクルの間、機械ポンプとガス漏れ検
知器械との間の流体連通をさせるための手段を有する。
トレースガスは少なくともその一部が機械真空ポンプの
両ステージを逆方向に通ってガス漏れ検知器械に達する
。
本発明の更に別の見地によると、上記ガス漏れ検知装置
は更に、試験ポートでの圧力レベルを感知し、試験ポー
ト圧力信号を与えるための手段及び、試験ポートとステ
ージ間接続ポイントとの流体連通中に置かれた制限手段
であって、試験ポート圧力信号に応答して予め定められ
た試験ポート圧力と流量との関係に従ってガスの流れを
制限するとるこの制限手段を有する。制限手段はモジュ
レータバルブ（ｍｏｄｕｌａｔｏｒ　　ｖａｌｖａ）か
ら成ってもよい。
本発明の更に別の見地によると、適切な動作のために比
較的低い圧力を必要とするガス漏れ検知装置で比較的高
い試験ポート圧でのガス漏れ検知のための方法が提供さ
れている。その方法は、初めにガス漏れ検知装置を試験
ポートから孤立している間、機械ポンプの入口を試験ポ
ートに接続することによって試験ポートを排気するステ
ップと、その後に試験ポートを機械ポンプのステージの
出口に接続し、機械真空ポンプの入口をガス漏れ検知器
械入口に接続するステップとから成り、ガス漏れ検知器
械が低圧力に維持され、試験ポートで受け入れ・られた
トレースガスは、少なくともその一部が逆方向に機械真
空ポンプを通ってガス漏れ検知器械に達する。
笠適尖五Ｍ 本発明に従った漏れ検知装置が第１図に略示されている
。装置は微少なガス漏れ、或いは比較的低い試験ポート
圧力、及び大きなガス漏れ、或いは大きな体積又は漏れ
易い試験部分での試験の両方を行うことができる。微少
なガス漏れ試験は米国特許第３，６９０，１５１号に記
載されているような、すでに知られた逆流技術によって
行われる。大きなガス漏れ試験は以下に示され、記載さ
れる新規な方法によって行われる。
試験部分１０又はスニファプローブ（図示せず）は真空
タイトに試験ポート１２に連結されている。
試験ポート１２は粗引きバルブ１４を介して機械真空ポ
ンプ１８の入口に連結されている。第１図に示されてい
る要素は適切な気密接続、例えば。
１−１／８インチ（２，５４−０，３２センチ）　０．
０．チュービング（ｔｕｂｉｎｇ）によって連結される
。機械真空ポンプ１８への入口１６はまた。試験バルブ
２゜を介して高真空ポンプ２４のフォアライン２２に連
結されている。高真空ポンプ２４は拡散ポンプ又はター
ボ分子ポンプでもよい。ポンプ２４の入口はスペクトロ
メータ管２６の入口に連結されている。ポンプ２４とス
ペクトロメータ管２６はＶａｒｉａｎ　　Ｖａｃｕｕｍ
　　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　　Ｄｉｖｉｓｉｏｎ　　によっ
て製造されるモデル９３８−４１ガス漏れ検知器に使用
されているユニットと同様のものでもよい。
試験ポート１２に連結されている逃し弁２８は、試験ポ
ート１２に連結された真空計３０がその圧力を測定して
いる間、試験部分１０の排気を可能にする。
この例では、機械真空ポンプ１８はＶａｒｉａｎＭｏｄ
ｅｌ　　ＳＤ　２００又はＳＤ　３００のような２ステ
ージ回転翼ポンプである。そのポンプは入口１６に連結
された第１ステージとステージ間コンジット４０によっ
て第１ステージ３６の出口に連結された第２ステージと
を有する。第２ステージ３８はポンプ出口４２を通って
排気される。ポンプはまた、通常は水蒸気の除去のため
にポンプオイルからガス抜きするために使用されるガス
バラスト接続ポイント４４を有する。中間ステージ接続
ポイント４６は真空ポンプ１８の壁から中間ステージコ
ンジット４０に穴を開けることによって設けられる。
試験ポート１２は大きなガス漏れ試験バルブ５０を介し
て中間ステージ接続ポイント４６に接続されている。真
空ポンプ１８への接続が第１図に略示されているが、こ
のような接続はガス気密取り付けによってなされること
が理解されよう。入口１６を通って出されたガスは続い
て第１ステージ３６及び第２ステージ３８を通って出口
４２に進む。ポイント４６で受け止められた少量の軽い
ガスは逆方向に第１ステージ３６を通って入口１６へ進
む。
第１図に示されたガス漏れ検知装置は、真空バルブ１４
，２０．２８及び５ｏの状態によって制御されるいくつ
かの動作モードを有する。バルブの状態及び対応する動
作モードは手動で制御でき、或いは電子制御装置によっ
て自動的に制御できることが理解されよう。粗引きモー
ドでは試験部分１ｏは大気圧から中間圧力まで下げられ
、それは一部は粗引きに使用される真空ポンプの特性に
依存し、一部は試験部分の大きさ及びガス漏れの激しさ
に依存する。粗引きサイクルの後、装置は微少ガス漏れ
試験モード又は大量ガス漏れ試験モードにスイッチされ
る。一般的には微少ガス漏れモードは試験ポート中間圧
力が約１００ミリトル以下で使用され、一方、大量ガス
漏れ試験モードは試験ポート中間圧力が約１００ミリト
ル以上で使用される。ガス漏れ試験の完了後、試験部分
１０は大気圧に排気され除去される。
粗引きモードでは、バルブ２０．２８及び５０が閉じて
いる間、粗引きバルブ１４は開いている。
試験ポート１２はこのようにして機械真空ポンプ１８の
入口に接続されており、その機械真空ポンプは試験ポー
ト圧力を大気圧から中間圧力レベルに減じる。もし、真
空計３０が高真空ポンプ２４（約１００ミリトル又はそ
れ以下）のフォアライン２２に適合する圧力を示すと、
バルブ２８及び５０を閉じたままで、又、バルブ１４は
開けたままで試験バルブ２０を開けることで微少ガス漏
れ試験モードが開始される。トレースガスであるヘリウ
ムが、ヘリウムスプレーのようにして試験部分１０の外
側表面上に導入される。もし、試験部分がヘリウムによ
って圧力を掛けられると、代おりにスニファプローブが
試験部分の外側の周りを動かされる。ヘリウムは漏れ口
から試験部分１０の内部へ引き込まれ、或いはスニファ
プローブ中に引き込まれ、試験ポート−１２を通過して
ガス漏れ検知装置中に入る。ヘリウムは次にバルブ１４
及び２０を通って高真空ポンプフォアライン２２に入る
。当業者には知られているように、ヘリウムはその軽い
質量のために逆方向にも拡散し、高真空ポンプ２４を通
ってスペクトロメータ管２６に達する。スペクトロメー
タ管２６はヘリウムを検知し、測定し、そして、試験部
分１０又はスニファプローブから受け入れたガスサンプ
ル中のヘリウムの量に比例する出力信号を発するように
調節される。ヘリウムの濃度は試験部分１０のガス漏れ
率に比例する。ポンプ２４がほんのわずかなヘリウムを
スペクトロメータ管２６に通す間、ガス漏れ率を高い精
度で記録することが可能なだけの十分な量がスペクトロ
メータ管２６に達する。
ガス漏れ試験が完了した後、粗引きバルブ１４は閉じら
れ、逃し弁２８は開けられて試験部分１０が大気と通気
されガスの除去を可能にする。試験バルブ２０は通気の
間、開けられたままである。
ある場合には、粗引きサイクルの間にポンプ２４のフォ
アライン２２で必要とされるおよそ１００ミリトルの圧
力を達成することは可能ではない。
これは粗引きサイクルの開明らかになるか又は。
試験部分が特に大きいか漏れ易いときに前もって分かる
かもしれない。このような状況において粗いガス漏れ試
験モードが使用される。装置を粗いガス漏れ試験モード
にするには、粗引きバルブ１４が閉じられ、バルブ２８
が閉じられたままで試験バルブ２ｏと粗いガス漏れ試験
バルブ５０が開けられる。ヘリウムトレーサガスを含む
試験サンプルは試験ポート１２からバルブ５０を通って
機械真空ポンプ１８の中間接続ポイント４６に導入され
る。ポンプ１８への入口１６は試験ポート１２から孤立
され、バルブ２０を介してポンプ２４のフォアライン２
２に接続されている。試験ポート１２での圧力は機械真
空ポンプ１８の第１ステージ３６を通して下がる圧力に
等しい量だけポンプフォアライン２２の圧力よりも高い
。一般にフォアライン２２での圧力は、はぼ４００トル
に達する試験ポート圧力に対して所望の１００ミリトル
又はそれ以下に維持できる。
試験ポート１２から受け入れたサンプルガスの大部は真
空ポンプ１８の第２ステージ３８を通して排気される。
しかし、測定可能な量のヘリウムが第１ステージ３６を
通って入口１６へと逆流するのが認められた。次にその
ヘリウムはポンプ２４を通ってスペクトロメータ管２６
へと逆に進み、上記のように微少ガス漏れ試験モードで
測定される。スペクトロメータ管に到達するヘリウムの
量は試験部分１０におけるガス漏れの大きさに比例する
。当業者には周知のように測定されたヘリウムは与えら
れたガス漏れ率に対応して較正される。
ガス漏れ試験が完了した後、粗引きバルブ１４は閉じら
れ、逃し弁２８は試験部分を大気に通気してガスの除去
が可能なように開かれる。通気の間バルブ５０は閉じら
れ、バルブ２０は開いた状態に維持される。
本発明の別の特徴が第２図に示されている。第２図のガ
ス漏れ検知装置は第１図に示された装置の大部分に関し
て同様であり、対応する構成要素は同じ参照番号で示さ
れている。加えて、第２図の装置はモジュレータバルブ
６０を含む。そのバルブは粗いガス漏れ試験バルブ５０
と直列に継がれ、試験ポート１２とステージ間接続ポイ
ント４６との間のコンジット内にある。第２図に示され
たモジュレータバルブ６０は、より高い試験ポート１２
の圧力で粗いガス漏れ試験が行なわれることを可能にす
る。モジュレータバルブ６０は試験ポート１２の圧力を
表示する真空計３０からの信号に応答するバルブ制御器
６２によって制御される。
モジュレータバルブ６０は試験ポート１２と機械真空ポ
ンプ１８との間のガス流量を制御器６２からの制御信号
に応答して変化させる。例えば、制御器６２は試験ポー
ト１２の圧力が約４ｏＯトルに増加するように流量を減
少させるためにバルブ６０を制御することができる。制
御器６２は予め定められた流量対試験ポート１２の圧力
特性を与えることができる。このようにしてポンプ２４
のフォアライン２２は粗いガス漏れ試験の間、４００ト
ル以上の試験ポート１２の圧力に対してですら許容レベ
ルに維持される。
第２図に示されたモジュレータバルブ６０の代りのもの
が第２Ａ図に略示されている。モジュレータバルブ６０
は並列に接続され、固定されたガス流絞り弁とバルブに
置き換えられている。第２Ａ図は試験ポート１２とステ
ージ間接続ポイント４６との間にある第２図のガス漏れ
検知装置の一部だけを図示したものである。装置の残り
の部分は第２図に示されている。ガス流制限手段７０は
粗いガス漏れ試験バルブ５ｏと直列に接続されている。
バルブ制御器７２は試験ポート１２の圧力を示す真空計
３０からの信号を受け、ガス流制御手段７０を制御する
。ガス流制御手段７ｏはガス流絞り弁７６と直列に接続
されたバルブ７４及びガス流絞り弁８０と直列に接続さ
れたバルブ７８を有する。バルブ７４と絞り弁７６の組
合せはバルブ７８と絞り弁８ｏの組合せと並列に接続さ
れてガス流制御手段７０を形成している。バルブ７／１
は絞り弁７６を介してガス流を制御し、一方、バルブ７
８は絞り弁８０を介してガス流を制御する。
バルブ７４，７８は試験ポート１２で測定された圧力に
応答してバルブ制御器７２によって制御される。
動作中、バルブ制御器７２は試験ポート１２での圧力に
依存してガス流が異なるガス流絞り弁を通ることを可能
にする。例えば、４０ｏトル乃至６０ｏトルの間の圧力
でバルブ７４は開けられ、バルブ７８は閉じられる。一
方、６００トル以上の圧力に対してバルブ７８は開けら
れ、バルブ７４は閉じられる。４００トル以下の圧力で
は、バルブ７４．７８は増加したガス流を得るために開
かれる。機械真空ポンプ１８中への過度のガス流の制御
の程度を上げるために並列接続されたバルブとガス流絞
り弁を付加することができることが理解されよう。
本発明の別の特徴が第３図に示されている。第３図のガ
ス漏れ検知装置は第１図に示された装置に関して大部分
が同様であり、対応する構成要素は同じ参照番号で表示
されている。第３図は粗引きモード及び微少ガス漏れ試
験モードに関して上記の方法で動作する。粗いガス漏れ
モードは第１図に関して上記されたようにバルブ５０及
び２０を開け、バルブ１４を閉めることによって行なわ
れる。第３図のガス漏れ検知装置は機械真空ポンプ１８
の第２ステージ３８の出力部で高圧力ガス漏れ試験バル
ブ９０を介して、試験ポート１２とガスバラスト接続ポ
イント４４との間に付加されたガス密閉接続部分を有す
る。上記のようにステージ間接続ポイント４６に接続さ
れたバルブ５０は１００ミリトル乃至約４００トルの試
験ポート１２の圧力範囲内で粗いガス漏れ試験を可能に
する。ある状況においては、４００トル乃至大気圧の範
囲内の圧力でガス漏れ試験を行う必要がある。
この場合は、第３図に示された装置が使用される。
本発明によって高圧力ガス漏れ試験を行うために、試験
部分が初めに粗引きサイクルの間上記のように粗引き真
空排気される。すなわち、バルブ１４は開かれ、バルブ
２８，５０．９０及び２０は閉められる。次にバルブ２
８及び５０は閉めたままでバルブ１４が閉められ、高圧
力ガス漏れ試験バルブ９０と試験バルブ２０が開けられ
る。これは試験ポート１２と真空ポンプ１８の第２ステ
ージの出力部分との間に接続をもたらす。それ故、試験
ポート１２はポンプ２４のフォアライン２２に求められ
る圧力よりもずっと高い圧力で動作可能である。圧力に
おける違いは真空ポンプ１８によって下げられる圧力に
よって決定される。この配置によってフォアライン２２
は所望の圧力である１００ミリトル又はそれ以下に維持
することが可能であり、一方、試験ポート１２は４００
トルから大気圧の範囲内で動作可能であることが分かっ
た。試験部分１０から試験サンプル内に受け入れられた
ヘリウムは、第２ステージ３８及び機械真空ポンプ１８
の第１ステージ３６へと逆方向に進み、次にポンプ２４
からスペクトロメータ管２６へと逆方向に進んで測定さ
れる。はんのわずかな量のヘリウムだけが真空ポンプ１
８と２４を逆方向に進むことが分かるであろう。しかし
、多大なガス漏れは圧力を約４００トルのレベＩしに上
げる必要があるので、大量のヘリウムが受け入れられ。
十分な量のヘリウムがスペクトロメータ管２６に達して
測定される。
本発明は２ステージ回転翼機械真空ポンプに関して記載
された。概して、本発明は試験サンプルを適切な構造の
一つ又はそれ以上の何らかの粗引きポンプ又は機械真空
ポンプに逆向きに通させることによって粗いガス漏れ試
験又は高圧ガス漏れ試験に利用できる。更に本発明は向
流型ガス漏れ検知装置に関して記載した。概して、本発
明は仮定する試験ポート圧力を増加するために、ガス漏
れ検知装置の入口で比較的低い圧力を必要とする如何な
る適当なガス漏れ装置にも利用できる。第１乃至３図に
示された高真空ポンプ２４とスペクトロメータ管２６の
組合せは、ポンプフォアラインで約１００ミリトルの動
作圧力を必要とするガス漏れ検知器械が考慮される。残
った構成要素の一部は上記のようにフォアラインでの圧
力を制御する。
本発明の装置は比較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ
試験を可能にすることに関しては上記の通りである。加
えて本装置の重要な利点は、広い範囲の圧力に亘る動作
のためにガス漏れ検知装置がただ１つの機械真空ポンプ
しか必要としないということである。従来技術の装置は
概して粗引きサイクルとガス漏れ試験中に使用される粗
引きポンプ及び拡散ポンプと伴に使用されガス漏れ試験
の間拡散ポンプのフォアラインでの所望の圧力を維持す
るフォアポンプを有する。本発明において第２機械真空
ポンプに必要なものの除去によって、ガス漏れ検知装置
の大きさ、費用及び重量が実質的に減じられる。
本発明の好適実施例を図示し記載したが、当業者には、
特許請求の範囲によって限定された本発明の範囲から逸
脱することなく様々な変更を加えることが可能であるこ
とは明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に従ったガス漏れ装置の略示線図である
。 第２図は本発明の別の好適実施例の略示線図である。 第２Ａ図は第２図に示されたモジュレータバルブの代り
のものである。 第３図は本発明の更に別の好適実施例である。 よ叉葺豆 １２・・・試験ポート １６・・・入口 １８・・・機械真空ポンプ ２２・・・フォアライン ２６・・・スペクトロメータ管 ３６・・・第１ステージ ３８・・・第２ステージ ４６・・・中間ステージ接続ポイント ６０・・・モジュレータバルブ ７６．８０・・・ガス流絞り弁 特許出願人　　パリアン・アソシェイッ・インコーホレ
イテッド

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、比較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ検知のため
    の装置であって、 ａ）トレースガスを含む試験サンプルを受け入れるのに
    適した試験ポート、 ｂ）適切な動作のために比較的低い圧力を必要とするガ
    ス漏れ検知器械、 ｃ）入口及び第１ステージと第２ステージとの間のステ
    ージ間接続ポイントを有する機械真空ポンプ、 ｄ）粗いガス漏れ試験サイクルの間、前記試験ポートと
    前記ステージ間接続ポイント及び前記真空ポンプの前記
    入口と前記ガス漏れ検知機器との間に流体連通をさせ、
    それによって前記トレースガスの少なくとも一部分が逆
    方向に前記真空ポンプを通って前記ガス漏れ検知器械に
    進むところの系統連系手段、 とから成る装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載された装置であって、 前記ガス漏れ検知器械が、 ａ）前記トレースガスを検知するように調節され、前記
    トレースガスを受け入れるための入口を有するガス分析
    器械、 ｂ）軽いガスに対する比較的高い反拡散率と重いガスに
    対する比較的低い反拡散率を特徴とする高真空ポンピン
    グ手段であって、該手段が前記ガス分析器械の前記入口
    及び前記トレースガスが逆方向に前記高真空ポンピング
    手段から前記ガス分析器械へ進むところの前記ガス漏れ
    検知機器の入口であるフォアラインとに連結されたポン
    プ入口を有する手段、 とから成る装置。 ３、特許請求の範囲第２項に記載された装置であって、 前記真空ポンピング手段が拡散ポンプから成るところの
    装置。 ４、特許請求の範囲第２項に記載された装置であって、 前記真空ポンピング手段がターボ分子ポンプから成ると
    ころの装置。 ５、特許請求の範囲第２項に記載された装置であって、 前記ガス分析器械がヘリウムを検出するように調節され
    たスペクトロメータ管から成るところの装置。 ６、特許請求の範囲第１項に記載された装置であって、 前記機械真空ポンプが２ステージ回転翼機械真空ポンプ
    から成るところの装置。 ７、特許請求の範囲第６項に記載された装置であって、 前記系統連系手段が更に、前記粗いガス漏れ試験サイク
    ルの前の粗引きサイクルの間、前記試験ポートと前記機
    械真空ポンプの前記入口との間に流体連通させるための
    手段を有するところの装置。 ８、特許請求の範囲第６項に記載された装置であって、 前記系統連系手段が更に、前記試験ポートと前記機械真
    空ポンプの第２ステージの出力側のガスバラストポート
    との間に流体連通をさせ、また、高圧力の粗いガス漏れ
    試験サイクルの間、前記機械真空ポンプと前記ガス漏れ
    検知器械との間に流体連通させる手段で、それによって
    前記トレースガスの少なくとも一部が逆方向に前記機械
    真空ポンプの双方から前記ガス漏れ検知器械へ進むとこ
    ろの手段を有する装置。 ９、特許請求の範囲第１項に記載された装置であって、
    更に、 ａ）前記試験ポートでの圧力レベルを感知し、試験ポー
    ト圧力信号を提供するための手段、ｂ）前記試験ポート
    と前記ステージ間接続ポイントとの間の流体連通内に置
    かれた制限手段であって、予め定められた試験ポート圧
    力とガス流量との間の関係に従って、前記試験ポート圧
    力信号に応答してガスの流れを制限するための手段、 を有するところの装置。 １０、特許請求の範囲第９項に記載された装置であって
    、 前記制限手段がモジューラバルブから成るところの装置
    。 １１、特許請求の範囲第９項に記載された装置であって
    、 前記制限器手段が複数の並列に連結された真空バルブと
    連合するガス流絞り弁から成るところの装置。 １２、特許請求の範囲第７項に記載された装置であって
    、 前記系統連系手段が更に、試験ポート圧力が前記ガス漏
    れ検知器械に適合しているとき、微少ガス漏れ試験サイ
    クルの間、前記試験ポートと前記ガス漏れ検知器械との
    間に直接流体連通をさせるための手段を有するところの
    装置。 １３、適切な動作に対して比較的低い圧力を必要とする
    ガス漏れ検知器械による、比較的高い試験ポート圧力で
    のガス漏れ検知に関する方法であって、 ａ）初めにガス漏れ検知器械を試験ポートから隔離して
    いる間、機械真空ポンプの入口を試験ポートに接続する
    ことによって試験ポートを排気する工程、 ｂ）その後に試験ポートを前記機械真空ポンプのステー
    ジの出口に接続し、機械真空ポンプの入口をガス漏れ検
    知器械の入口に接続する工程であって、ガス漏れ検知器
    械の前記入口が低圧力に維持され、前記試験ポートで受
    け入れられたトレースガスの少なくとも一部が逆方向に
    機械真空ポンプを通ってガス漏れ検知器械に進む工程、 とから成る方法。 １４、特許請求の範囲第１３項に記載された方法であっ
    て、 試験ポートを前記機械真空ポンプに接続する工程が、試
    験ポートを２ステージ回転翼機械真空ポンプのステージ
    の間に接続する工程を有するところの方法。 １５、特許請求の範囲第１４項に記載された方法であっ
    て、更に、 ａ）前記試験ポートでの圧力レベルを感知する工程、 ｂ）前記ガス漏れ検知器械の入口での圧力が許容レベル
    に維持されるように、前記試験ポートから前記接続ポイ
    ントへのガス流を前記試験ポートでの圧力レベルに応答
    して制限する工程、 とから成る方法。 １６、特許請求の範囲第１３項に記載された方法であっ
    て、 試験ポートを前記機械真空ポンプに接続する工程が、試
    験ポートを２ステージ回転翼機械真空ポンプの第２ステ
    ージ出力部でガスバラストポートに接続する工程を有す
    るところの方法。 １７、比較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ検知のた
    めの装置であって、 ａ）トレースガスを含む試験サンプルを受け入れるのに
    適した試験ポート、 ｂ）適切な動作のために比較的低い圧力を必要とするガ
    ス漏れ検知器械、 ｃ）２ステージ機械真空ポンプであって、入口と第２ス
    テージの出力部分にガスバラスト接続ポイントを有する
    真空ポンプ、 ｄ）粗いガス漏れ試験サイクルの間、前記試験ポートと
    前記ステージ間接続ポイントとの間に流体連通をさせ、
    前記真空ポンプの前記入口と前記ガス漏れ検知機器との
    間に流体連通をさせ、それによって前記トレースガスの
    少なくとも一部分が逆方向に前記機械真空ポンプの２つ
    のステージを通って前記ガス漏れ検知器械に進むところ
    の系統連系手段、 とから成る装置。 １８、特許請求の範囲第１７項に記載された装置であっ
    て、 前記ガス漏れ検知器械が、 ａ）前記トレースガスを検知するように調節され、前記
    トレースガスを受け入れるための入口を有するガス分析
    器械、 ｂ）軽いガスに対する比較的高い反拡散率と重いガスに
    対する比較的低い反拡散率を特徴とする高真空ポンピン
    グ手段であって、該手段が前記ガス分析器械の前記入口
    及び前記トレースガスが逆方向に前記高真空ポンピング
    手段から前記ガス分析器械へ進むところの前記ガス漏れ
    検知機器の入口であるフォアラインとに連結されたポン
    プ入口を有する手段、 とから成る装置。 １９、特許請求の範囲第１８項に記載された装置であっ
    て、 前記系統連系手段が更に、前記粗いガス漏れ試験サイク
    ルの前の粗引きサイクルの間、前記試験ポートと前記機
    械真空ポンプの前記入口との間に流体連通させるための
    手段を有するところの装置。 ２０、ガス漏れ検知のための装置であって、 ａ）トレースガスを含む試験サンプルを受け入れるのに
    適合した試験ポート、 ｂ）前記トレースガスを検知するように調節されたガス
    分析装置であって、前記トレースガスを受け入れるため
    の入口を有するところのガス分析装置、 ｃ）軽いガスに対する比較的高い反拡散率と重いガスに
    対する比較的低い反拡散率を特徴とする高真空ポンピン
    グ手段であって、該手段がポンプ入口とフォアラインを
    有し、前記ポンプ入口が前記ガス分析器械の前記入口に
    連結されているところの高真空ポンピング手段、 ｄ）少なくとも第１ステージを有する機械真空ポンプ、 ｅ）粗引きサイクルの間、前記試験ポートと前記機械真
    空ポンプの入口との間を流体連通させるための系統連系
    手段、 ｆ）粗いガス漏れサイクルの間前記機械真空ポンプの前
    記第１ステージの出口で前記試験ポートと接続ポイント
    との間に流体連通させ、前記真空ポンプの前記入口と前
    記高真空ポンピング手段の前記フォアラインとの間に流
    体連通させるための系統連系手段、 とから成り、それによって、前記粗いガス漏れ試験サイ
    クルの間、前記トレースガスの少なくとも一部が逆方向
    に前記機械真空ポンプと前記高真空ポンピング手段を通
    って、前記ガス分析器械に達するところの装置。 ２１、比較的高い試験ポート圧力でのガス漏れ検知のた
    めの装置であって、 ａ）トレースガスを含む試験サンプルを受け入れるのに
    適合した試験ポート、 ｂ）適切な動作のために比較的低い圧力レベルを必要と
    するガス漏れ検知器械、 ｃ）逆方向に前記試験ポートと前記ガス漏れ検知器械と
    の間に接続された少なくとも１つのステージを有する機
    械真空ポンプで、トレースガスが逆方向に出口から前記
    少なくとも１つのステージを通ってその入口に達し、次
    に前記ガス漏れ検知器械に達するところの機械真空ポン
    プ、 から成る装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017154513A1 (ja) * 2016-03-11 2017-09-14 日立金属株式会社 熱式質量流量センサ、当該熱式質量流量センサの製造方法、及び当該熱式質量流量センサを用いる熱式質量流量計

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3616319C1 (de) * 1986-05-15 1987-07-02 Cit Alcatel Gmbh Heliumlecksuchanlage
FR2604522B1 (fr) * 1986-09-26 1989-06-16 Cit Alcatel Installation de detection de fuite a gaz traceur et procede d'utilisation
DE3775213D1 (de) * 1987-03-27 1992-01-23 Leybold Ag Lecksuchgeraet und betriebsverfahren dazu.
US6318093B2 (en) 1988-09-13 2001-11-20 Helix Technology Corporation Electronically controlled cryopump
US6022195A (en) * 1988-09-13 2000-02-08 Helix Technology Corporation Electronically controlled vacuum pump with control module
FR2667937B1 (fr) * 1990-10-15 1995-03-10 Cit Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur.
DE4140366A1 (de) * 1991-12-07 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen
JPH0674855A (ja) * 1992-07-08 1994-03-18 Hitachi Bill Shisetsu Eng Kk 真空漏洩検出方法、および同装置
US5317900A (en) * 1992-10-02 1994-06-07 The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust Ultrasensitive helium leak detector for large systems
US5625141A (en) * 1993-06-29 1997-04-29 Varian Associates, Inc. Sealed parts leak testing method and apparatus for helium spectrometer leak detection
US6902378B2 (en) * 1993-07-16 2005-06-07 Helix Technology Corporation Electronically controlled vacuum pump
JP2655315B2 (ja) * 1994-06-29 1997-09-17 日本真空技術株式会社 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置
DE4445829A1 (de) * 1994-12-22 1996-06-27 Leybold Ag Gegenstrom-Schnüffellecksucher
US5767391A (en) * 1996-11-25 1998-06-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd Leakage detect tool for vacuum bellows
FR2761776B1 (fr) * 1997-04-03 1999-07-23 Alsthom Cge Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur
US6779555B2 (en) * 2001-08-31 2004-08-24 Siemens Vdo Automotive, Inc. Vacuum generating method and device including a charge valve and electronic control
US20040261424A1 (en) * 2003-06-27 2004-12-30 Helix Technology Corporation Integration of automated cryopump safety purge with set point
US6920763B2 (en) * 2003-06-27 2005-07-26 Helix Technology Corporation Integration of automated cryopump safety purge
US6895766B2 (en) * 2003-06-27 2005-05-24 Helix Technology Corporation Fail-safe cryopump safety purge delay
KR101084896B1 (ko) * 2003-06-27 2011-11-17 브룩스 오토메이션, 인크. 자동화된 극저온 펌프의 통합된 안전 세정
GB0319513D0 (en) * 2003-08-19 2003-09-17 Boc Group Plc Scroll compressor and scroll wall arrangement therefor
US7189066B2 (en) * 2004-05-14 2007-03-13 Varian, Inc. Light gas vacuum pumping system
DE102005009713A1 (de) * 2005-03-03 2006-09-07 Inficon Gmbh Lecksuchgerät mit Schnüffelsonde
DE102005043494A1 (de) * 2005-09-13 2007-03-15 Inficon Gmbh Lecksuchgerät mit Schnüffelsonde
US7427751B2 (en) 2006-02-15 2008-09-23 Varian, Inc. High sensitivity slitless ion source mass spectrometer for trace gas leak detection
US7459677B2 (en) * 2006-02-15 2008-12-02 Varian, Inc. Mass spectrometer for trace gas leak detection with suppression of undesired ions
US8012052B2 (en) * 2006-02-28 2011-09-06 Shimano, Inc. Low profile rear derailleur with cable guide
US7500381B2 (en) * 2006-08-31 2009-03-10 Varian, Inc. Systems and methods for trace gas leak detection of large leaks at relatively high test pressures
US20080202210A1 (en) * 2007-02-28 2008-08-28 Varian, Inc. Test gas leak detection using a composite membrane
US7497110B2 (en) * 2007-02-28 2009-03-03 Varian, Inc. Methods and apparatus for test gas leak detection
DE102010033373A1 (de) * 2010-08-04 2012-02-09 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
DE102011107334B4 (de) * 2011-07-14 2023-03-16 Leybold Gmbh Lecksucheinrichtung sowie Verfahren zum Überprüfen von Gegenständen auf Dichtigkeit mittels einer Lecksucheinrichtung
US9341186B2 (en) 2013-04-30 2016-05-17 Agilent Technologies, Inc. Scroll vacuum pump and method of maintenance including replacing a tip seal of a scroll vacuum pump
DE102013218506A1 (de) * 2013-09-16 2015-03-19 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe
US10094381B2 (en) 2015-06-05 2018-10-09 Agilent Technologies, Inc. Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same
FR3069639B1 (fr) * 2017-07-26 2019-08-30 Pfeiffer Vacuum Sonde de reniflage, detecteur de fuites et procede de detection de fuites
FR3070489B1 (fr) * 2017-08-29 2020-10-23 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester
WO2020005273A1 (en) * 2018-06-29 2020-01-02 Hyperloop Transportation Technologies, Inc. Tube transportation systems using a gaseous mixture of air and helium
CN115406594A (zh) * 2022-09-29 2022-11-29 广东利元亨智能装备股份有限公司 气密性检测控制方法、控制器、检测系统以及存储介质

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3690151A (en) * 1968-07-25 1972-09-12 Norton Co Leak detector

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2721270A (en) * 1951-08-14 1955-10-18 Willard H Bennett Leak primarily for mass spectrometers
DE1648648C3 (de) * 1967-04-12 1980-01-24 Arthur Pfeiffer-Hochvakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip
US3626760A (en) * 1969-07-16 1971-12-14 Varian Associates Leak detection cyclic pumping control
US3616680A (en) * 1969-10-27 1971-11-02 Sargent Welch Scientific Co Leak detector
DE2713580A1 (de) * 1977-03-28 1978-10-05 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Verfahren zum betrieb einer lecksucheinrichtung sowie dazu geeignete lecksucheinrichtung
US4204815A (en) * 1977-12-06 1980-05-27 Gast Manufacturing Corporation Cartridge rotary vane pump
FR2452699A1 (fr) * 1979-03-28 1980-10-24 Cit Alcatel Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masse
US4472962A (en) * 1981-08-03 1984-09-25 Balzers Aktiengesellschaft Low pressure leak detector
DE3144503C2 (de) * 1981-11-09 1985-03-21 Cit-Alcatel GmbH, 6980 Wertheim Massenspektrometer-Lecksuchgerät
FR2532424A1 (fr) * 1982-08-27 1984-03-02 Cit Alcatel Dispositif de mesure et d'affichage du taux q de fuite pour un detecteur de fuites a gaz traceur
US4499752A (en) * 1983-06-22 1985-02-19 Varian Associates, Inc. Counterflow leak detector with cold trap

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3690151A (en) * 1968-07-25 1972-09-12 Norton Co Leak detector

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017154513A1 (ja) * 2016-03-11 2017-09-14 日立金属株式会社 熱式質量流量センサ、当該熱式質量流量センサの製造方法、及び当該熱式質量流量センサを用いる熱式質量流量計
US10859417B2 (en) 2016-03-11 2020-12-08 Hitachi Metals, Ltd. Thermal mass flow sensor, method for manufacturing the thermal mass flow sensor, and thermal mass flow meter using the thermal mass flow sensor

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Publication number Publication date
EP0218458A3 (en) 1988-06-01
US4735084A (en) 1988-04-05
DE3676933D1 (de) 1991-02-21
EP0218458A2 (en) 1987-04-15
JPH0478936B2 (ja) 1992-12-14
EP0218458B1 (en) 1991-01-16

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