JPH0674855A - 真空漏洩検出方法、および同装置 - Google Patents
真空漏洩検出方法、および同装置Info
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- JPH0674855A JPH0674855A JP4342739A JP34273992A JPH0674855A JP H0674855 A JPH0674855 A JP H0674855A JP 4342739 A JP4342739 A JP 4342739A JP 34273992 A JP34273992 A JP 34273992A JP H0674855 A JPH0674855 A JP H0674855A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
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- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 水および溶液（例えば臭化リチウム水溶液）
を封入された真空容器よりなる機器における、上記真空
容器の漏洩を検出する方法を改良して、当該機器の運転
中であっても休止中であっても、迅速，容易かつ高感度
で漏洩の有無およびその程度を検知し得る方法および上
記方法を実施するための装置を提供する。 【構成】 ヘリウムスプレーガン１０によって検査対象
物である吸収式冷凍機１の真空容器にトレースガスとし
てのヘリウムを吹き付けつつ、補助空気ポンプ３によっ
て上記真空容器内の気体を抽出し、抽気の１部を除湿器
５に通して水蒸気を除去し、水蒸気分圧を０ならしめて
上記の抽気の１部を減圧してヘリウムリークディテクタ
６によりトレースガス（ヘリウム）の漏入の有無を検知
する。
を封入された真空容器よりなる機器における、上記真空
容器の漏洩を検出する方法を改良して、当該機器の運転
中であっても休止中であっても、迅速，容易かつ高感度
で漏洩の有無およびその程度を検知し得る方法および上
記方法を実施するための装置を提供する。 【構成】 ヘリウムスプレーガン１０によって検査対象
物である吸収式冷凍機１の真空容器にトレースガスとし
てのヘリウムを吹き付けつつ、補助空気ポンプ３によっ
て上記真空容器内の気体を抽出し、抽気の１部を除湿器
５に通して水蒸気を除去し、水蒸気分圧を０ならしめて
上記の抽気の１部を減圧してヘリウムリークディテクタ
６によりトレースガス（ヘリウム）の漏入の有無を検知
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば吸収式の冷凍機
のように、真空容器内に冷媒液と作動流体と（吸収式冷
凍機においては水と、臭化リチウム水溶液）を封入され
ている機器における真空容器の漏洩を検出する方法、お
よび、上記の方法を実施するための装置に関するもので
ある。本発明における真空容器は水などが封入されてい
るので、内部圧力は高真空ではなく、水の飽和水蒸気機
圧力程度の低真空容器の意である。
のように、真空容器内に冷媒液と作動流体と（吸収式冷
凍機においては水と、臭化リチウム水溶液）を封入され
ている機器における真空容器の漏洩を検出する方法、お
よび、上記の方法を実施するための装置に関するもので
ある。本発明における真空容器は水などが封入されてい
るので、内部圧力は高真空ではなく、水の飽和水蒸気機
圧力程度の低真空容器の意である。
【０００２】
【従来の技術】例えば吸収式冷凍機は密閉容器内に冷媒
としての水と、作動流体としての臭化リチウム水溶液と
が封入されて減圧されている。すなわち、溶液ポンプの
吐出部以外は負圧になっていて、低圧側が７〜１５Ｔｏ
ｒｒ、高圧側が２０〜４０Ｔｏｒｒである。このため、
上記密閉容器の気密性が良くないと大気が内部へ漏入す
ることになる。
としての水と、作動流体としての臭化リチウム水溶液と
が封入されて減圧されている。すなわち、溶液ポンプの
吐出部以外は負圧になっていて、低圧側が７〜１５Ｔｏ
ｒｒ、高圧側が２０〜４０Ｔｏｒｒである。このため、
上記密閉容器の気密性が良くないと大気が内部へ漏入す
ることになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来おいては、手軽に
高感度で漏洩を検出する技術が開発されていないため、
漏洩の結果として吸収式冷凍機の能力が低下したとき初
めて大気の漏入に気付く場合が多かった。従来技術にお
いて漏洩を早期発見するための方法として、 ａ．石鹸泡法 ｂ．ハロゲンガス法 ｃ．ヘリウム加圧法 が知られているが、当該冷凍機の運転を停止しなければ
ならないので容易に漏洩検査をすることができなかっ
た。前記の石鹸泡法は古典的な技術で、検出感度が低い
上に多大の労力と時間とを要するので実用的でない。ま
た、前記ａ．ｂ．ｃ．いずれかの方法で検査をしようと
すると、当該吸収式冷凍機の稼動を停止して、その中か
ら冷媒（水）や溶液（臭化リチウム水溶液）を抜き取ら
ねばならない。本発明は上述の事情に鑑みて為されたも
ので、吸収式冷凍機を停止させる必要が無く、運転中で
あっても休止中であっても、迅速かつ容易に、高感度で
漏洩の有無を検出することができ、しかも、漏洩が有る
場合はその程度を定量的に判断することのできる方法を
提供することを目的とする。さらに本発明は吸収式冷凍
機に限らず、水や溶液を封入した真空容器全般の漏洩検
出に適用することができる。
高感度で漏洩を検出する技術が開発されていないため、
漏洩の結果として吸収式冷凍機の能力が低下したとき初
めて大気の漏入に気付く場合が多かった。従来技術にお
いて漏洩を早期発見するための方法として、 ａ．石鹸泡法 ｂ．ハロゲンガス法 ｃ．ヘリウム加圧法 が知られているが、当該冷凍機の運転を停止しなければ
ならないので容易に漏洩検査をすることができなかっ
た。前記の石鹸泡法は古典的な技術で、検出感度が低い
上に多大の労力と時間とを要するので実用的でない。ま
た、前記ａ．ｂ．ｃ．いずれかの方法で検査をしようと
すると、当該吸収式冷凍機の稼動を停止して、その中か
ら冷媒（水）や溶液（臭化リチウム水溶液）を抜き取ら
ねばならない。本発明は上述の事情に鑑みて為されたも
ので、吸収式冷凍機を停止させる必要が無く、運転中で
あっても休止中であっても、迅速かつ容易に、高感度で
漏洩の有無を検出することができ、しかも、漏洩が有る
場合はその程度を定量的に判断することのできる方法を
提供することを目的とする。さらに本発明は吸収式冷凍
機に限らず、水や溶液を封入した真空容器全般の漏洩検
出に適用することができる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに創作した本発明方法の基本的な原理を略述すると次
の如くである。
めに創作した本発明方法の基本的な原理を略述すると次
の如くである。
【０００５】検査対象物である真空容器内が負圧である
から、外気が漏入している場合に該漏入部にトレースガ
スを吹き付けると真空容器内に吸入される。従って、該
真空容器内のトレースガスを検出することによって漏洩
の有無を判定することができる。ところが、この真空容
器内には水蒸気が存在するので、漏入したトレースガス
の検出が容易でない。そこで本発明は真空容器内の気体
を抽出して、抽出した気体を除湿器に流通させて水蒸気
を除去した後に該トレースガスを検出する。
から、外気が漏入している場合に該漏入部にトレースガ
スを吹き付けると真空容器内に吸入される。従って、該
真空容器内のトレースガスを検出することによって漏洩
の有無を判定することができる。ところが、この真空容
器内には水蒸気が存在するので、漏入したトレースガス
の検出が容易でない。そこで本発明は真空容器内の気体
を抽出して、抽出した気体を除湿器に流通させて水蒸気
を除去した後に該トレースガスを検出する。
【０００６】
【作用】例えば吸収式冷凍機の運転中における真空容器
内圧力は、水の飽和蒸気圧に相当する１０〜４０Ｔｏｒ
ｒであるから、この中にトレースガスが混入しても検出
が容易でない。しかし、この気体を除湿器で例えば−５
０℃に冷却すると水蒸気が除去されるので水蒸気の分圧
が消失し、０．０５〜０．２Ｔｏｒｒに減圧される。こ
のような状態になると、例えば質量分析型のディテクタ
によって迅速，容易，高感度で検出することが可能にな
る。
内圧力は、水の飽和蒸気圧に相当する１０〜４０Ｔｏｒ
ｒであるから、この中にトレースガスが混入しても検出
が容易でない。しかし、この気体を除湿器で例えば−５
０℃に冷却すると水蒸気が除去されるので水蒸気の分圧
が消失し、０．０５〜０．２Ｔｏｒｒに減圧される。こ
のような状態になると、例えば質量分析型のディテクタ
によって迅速，容易，高感度で検出することが可能にな
る。
【０００７】
【実施例】図１は本発明に係る真空漏洩検出方法を実施
した１例において用いた装置の系統図である。
した１例において用いた装置の系統図である。
【０００８】吸収式冷凍機１に付属している弁１ａを介
して、該吸収式冷凍機内の気体を抽気するための補助空
気ポンプ３を接続する。そして、該補助空気ポンプ３と
前記冷凍機付属弁１ａとを結ぶ管路の途中から分岐せし
めた管路により、圧力調整弁４および除湿器５を介し
て、質量分析型のヘリウムリークディテクタ６を接続す
る。本実施例においては、日本真空技術株式会社製のポ
ータブル型ヘリウムリークディテクタＤＬＭＳ−ＴＰ３
を改良して用いた。改良内容は図５を参照して後に詳し
く説明する。上記ＤＬＭＳ−ＴＰ３型のリークディテク
タはトレースガスとしてヘリウムを用いるように構成さ
れて、ターボ分子ポンプを搭載された、６０度磁場偏向
型の高感度質量分析管よりなるヘリウムリークディテク
タである。本発明方法を実施する際、トレースガスはヘ
リウムに限定されるものではないが、ヘリウムは分子量
が小さくて小さい間隙をも通過し易いこと、不活性であ
って機器類を腐食させたり溶液と反応しないこと、安
全，無害であること等により好適である。本例において
は上記のヘリウムリークディテクタ６を用いたので、前
記補助空気ポンプ３とヘリウムリークディテクタ６とを
作動させつつ、トレースガスとしてのヘリウムガスをヘ
リウムスプレーガン１０によって吸収式冷凍機１の外周
面に吹き付ける。
して、該吸収式冷凍機内の気体を抽気するための補助空
気ポンプ３を接続する。そして、該補助空気ポンプ３と
前記冷凍機付属弁１ａとを結ぶ管路の途中から分岐せし
めた管路により、圧力調整弁４および除湿器５を介し
て、質量分析型のヘリウムリークディテクタ６を接続す
る。本実施例においては、日本真空技術株式会社製のポ
ータブル型ヘリウムリークディテクタＤＬＭＳ−ＴＰ３
を改良して用いた。改良内容は図５を参照して後に詳し
く説明する。上記ＤＬＭＳ−ＴＰ３型のリークディテク
タはトレースガスとしてヘリウムを用いるように構成さ
れて、ターボ分子ポンプを搭載された、６０度磁場偏向
型の高感度質量分析管よりなるヘリウムリークディテク
タである。本発明方法を実施する際、トレースガスはヘ
リウムに限定されるものではないが、ヘリウムは分子量
が小さくて小さい間隙をも通過し易いこと、不活性であ
って機器類を腐食させたり溶液と反応しないこと、安
全，無害であること等により好適である。本例において
は上記のヘリウムリークディテクタ６を用いたので、前
記補助空気ポンプ３とヘリウムリークディテクタ６とを
作動させつつ、トレースガスとしてのヘリウムガスをヘ
リウムスプレーガン１０によって吸収式冷凍機１の外周
面に吹き付ける。
【０００９】前記吸収式冷凍機１の運転中に機内の気体
を補助空気ポンプ３で抽出すると、抽気気体の圧力は１
０〜４０Ｔｏｒｒであり、該吸収式冷凍機の密閉容器
（真空容器）に漏洩が有る場合は、空気とともにトレー
スガスであるヘリウムガスが機内に漏入する。従って、
前記補助空気ポンプ３による抽気気体は水蒸気と空気
（酸素＋窒素）とヘリウムとの混合気体であり、その圧
力は１０〜４０Ｔｏｒｒである。この混合気体を除湿器
５に通過させて水蒸気を除去すると、水蒸気の分圧が０
となって気体の圧力は著しく低下する。本実施例におい
ては前記の混合気体を除湿器５で−５０℃に冷却し、水
蒸気を結霜させて除去して０．０５〜０．２Ｔｏｒｒに
減圧した。この減圧は、除湿器５の能力に応じて圧力調
整弁４を操作して調節する。
を補助空気ポンプ３で抽出すると、抽気気体の圧力は１
０〜４０Ｔｏｒｒであり、該吸収式冷凍機の密閉容器
（真空容器）に漏洩が有る場合は、空気とともにトレー
スガスであるヘリウムガスが機内に漏入する。従って、
前記補助空気ポンプ３による抽気気体は水蒸気と空気
（酸素＋窒素）とヘリウムとの混合気体であり、その圧
力は１０〜４０Ｔｏｒｒである。この混合気体を除湿器
５に通過させて水蒸気を除去すると、水蒸気の分圧が０
となって気体の圧力は著しく低下する。本実施例におい
ては前記の混合気体を除湿器５で−５０℃に冷却し、水
蒸気を結霜させて除去して０．０５〜０．２Ｔｏｒｒに
減圧した。この減圧は、除湿器５の能力に応じて圧力調
整弁４を操作して調節する。
【００１０】図２は前記と異なる実施例を説明するため
の系統図である。除湿器５を流通した気体の圧力を圧力
センサ８により検出して、その検出信号出力を制御装置
９に入力させるとともに、該制御装置９により電動弁７
を制御して前記圧力センサ８の出力信号が０．０５〜
０．２Ｔｏｒｒに減圧ならしめる。このようにすれば前
記実施例（図１）における圧力調整弁４の操作を自動化
することができる。前記ヘリウムスプレーガン１０によ
るヘリウムの吹き付けは、吸収式冷凍機１の外周全面に
行わず、局部的に吹き付けながら該吹き付け個所を順次
に移動させると（つまり走査すると）、漏洩が有る場合
にその位置を判定することができる。この走査は、吸収
式冷凍機１の端から順次に行っても良く、また、経済的
に漏洩発生頻度が高いと考えられる個所から重点的に行
っても良い。上述の図１，図２の実施例においては、吸
収式冷凍機１と別体に構成された気密検査専用の補助空
気ポンプ３によって抽気を行ったが、本発明を実施する
際、吸収式冷凍機に付属している空気ポンプを適宜に利
用することも可能である。前記の実施例は、吸収式冷凍
機１の運転中に漏洩検査を行ったものであるが、本発明
方法は該吸収式冷凍機の休止中であっても実施すること
ができる。
の系統図である。除湿器５を流通した気体の圧力を圧力
センサ８により検出して、その検出信号出力を制御装置
９に入力させるとともに、該制御装置９により電動弁７
を制御して前記圧力センサ８の出力信号が０．０５〜
０．２Ｔｏｒｒに減圧ならしめる。このようにすれば前
記実施例（図１）における圧力調整弁４の操作を自動化
することができる。前記ヘリウムスプレーガン１０によ
るヘリウムの吹き付けは、吸収式冷凍機１の外周全面に
行わず、局部的に吹き付けながら該吹き付け個所を順次
に移動させると（つまり走査すると）、漏洩が有る場合
にその位置を判定することができる。この走査は、吸収
式冷凍機１の端から順次に行っても良く、また、経済的
に漏洩発生頻度が高いと考えられる個所から重点的に行
っても良い。上述の図１，図２の実施例においては、吸
収式冷凍機１と別体に構成された気密検査専用の補助空
気ポンプ３によって抽気を行ったが、本発明を実施する
際、吸収式冷凍機に付属している空気ポンプを適宜に利
用することも可能である。前記の実施例は、吸収式冷凍
機１の運転中に漏洩検査を行ったものであるが、本発明
方法は該吸収式冷凍機の休止中であっても実施すること
ができる。
【００１１】図３は前記と異なる実施例を説明するため
の系統図である。本例に用いた構成機器類は図１につい
て説明した実施例の使用機器と同様ないし類似である
が、その接続配管が異なっている。本例においては、吸
収式冷凍機１内の気体を、補助空気ポンプ３により、除
湿器５′を介して抽出する。そして該抽出気体を圧力調
整弁４を介してヘリウムリークディテクタ６に導いてヘ
リウムガスの存否を検出する。ヘリウムガスが検出され
た場合は前例と同様にして漏洩個所を判定することがで
き、その漏洩容器を推定することもできる。この図３の
例においても、除湿器５′の作動状態に応じて圧力調整
弁４を操作して適正圧力（０．０５〜０．２Ｔｏｒｒ）
が得られるように調節する。図４は更に異なる実施例を
説明するための系統図である。本例においては、補助空
気ポンプ３により、除湿器５′を介して吸収式冷凍機１
内の気体を抽出し、その抽気の一部を圧力調整弁４およ
び除湿器５を介してヘリウムリークディテクタ６に導
く。本例においても圧力調整弁４によって圧力制御を行
う。本例によれば水蒸気の除去による減圧をいっそう確
実に行うことができる。
の系統図である。本例に用いた構成機器類は図１につい
て説明した実施例の使用機器と同様ないし類似である
が、その接続配管が異なっている。本例においては、吸
収式冷凍機１内の気体を、補助空気ポンプ３により、除
湿器５′を介して抽出する。そして該抽出気体を圧力調
整弁４を介してヘリウムリークディテクタ６に導いてヘ
リウムガスの存否を検出する。ヘリウムガスが検出され
た場合は前例と同様にして漏洩個所を判定することがで
き、その漏洩容器を推定することもできる。この図３の
例においても、除湿器５′の作動状態に応じて圧力調整
弁４を操作して適正圧力（０．０５〜０．２Ｔｏｒｒ）
が得られるように調節する。図４は更に異なる実施例を
説明するための系統図である。本例においては、補助空
気ポンプ３により、除湿器５′を介して吸収式冷凍機１
内の気体を抽出し、その抽気の一部を圧力調整弁４およ
び除湿器５を介してヘリウムリークディテクタ６に導
く。本例においても圧力調整弁４によって圧力制御を行
う。本例によれば水蒸気の除去による減圧をいっそう確
実に行うことができる。
【００１２】次に、上述の発明方法を実施するために創
作した本発明の真空漏洩検出装置について述べる。図６
は従来例の、すなわち一般に市販されているヘリウムリ
ークディテクタの系統図である。ターボ分子ポンプ１１
の高真空側はヘリウム検出用の分析管６ａに接続される
ようになっている。該ターボ分子ポンプ１１は、真空吸
引したガスを大気圧中に吐出することができないので、
その背圧側を１Ｔｏｒｒ程度に減圧してやるよう、第１
の開閉弁１３を介して補助真空ポンプ１２に接続されて
いる。本発明において補助真空ポンプとは、約１Ｔｏｒ
ｒのガスを吸入して大気圧中に吐出し得るポンプを言
い、例えばロータリ式の油ポンプなどを適用し得る。図
示の１７，１８は真空計である。上記補助真空ポンプ１
２の吸入側は、第２の開閉弁１４を介して真空排気系２
０に接続されている。この従来例の装置（図６）を本発
明方法に使用するときは、上記真空排気系２０を冷凍機
の真空容器に接続する。前述のごとくターボ分子ポンプ
１１は、その背圧が１Ｔｏｒｒ未満でないと良好に作動
せず、１Ｔｏｒｒ以上になると保護回路（図示せず）が
作動して停止してしまう。ところが、例えば吸収式冷凍
機に真空排気系２０を接続して本発明の真空漏洩検出方
法を実施すると、空気と水蒸気とヘリウムガスとの混合
気体が抽気されこれらの気体の分圧の合計が約１０Ｔｏ
ｒｒである。この混合気体を１Ｔｏｒｒに減圧すると、
減圧された１Ｔｏｒｒの混合気体中のヘリウムの分圧は
０．０１Ｔｏｒｒ以下となり、検出が容易でない。そこ
で本発明の装置は、図５に示す実施例のごとく、ターボ
分子ポンプ１１の背圧側を、第１の開閉弁１３′を介し
て補助真空ポンプ１２の吸入側に接続するとともに、該
補助真空ポンプの吸入側を、除湿器１５を介して真空排
気系２０に接続する。このように構成すると、ターボ分
子ポンプ１１の背圧側に連通される混合気体から水蒸気
が除去されて、空気とヘリウムガスとの混合気体とな
る。従って、空気の分圧とヘリウムガスの分圧との合計
が１Ｔｏｒｒに保たれたときのヘリウムガスの分圧は従
来例におけるよりも著しく高くなり、それだけ検出感度
が良くなる。作動開始の当初は、第１の開閉弁１３′を
開き、第２の開閉弁１４′を閉じた状態で補助真空ポン
プ１２を運転し、真空計１７の検出値が１Ｔｏｒｒ以下
になってからターボ分子ポンプ１１の運転を開始する。
そして真空計１７の検出値（すなわちターボ分子ポンプ
１１の背圧）が１Ｔｏｒｒを越えないように制御する。
図５について以上に述べたターボ分子ポンプ１１の運転
開始操作は、真空計１７の信号出力を与えられてターボ
分子ポンプ１１の運転・停止信号を出力する自動制御装
置１９を設けると自動的に行わせることができる。ま
た、真空排気系２０を真空引きするときは、第１の開閉
弁１３′を閉じてターボ分子ポンプ１１を保護してお
き、第２の開閉弁１４′を開き、補助粗引きポンプ２１
の運転を開始し、真空計１８の検出信号値が１Ｔｏｒｒ
以下になると第１の開閉弁１３′を開いて計測可能な状
態となる。上記第１，第２の開閉弁（１１３′，１
４′）の開閉操作を始動制御装置１９によって行うと、
この真空漏洩検出装置における計測準備操作を全自動化
することができる。
作した本発明の真空漏洩検出装置について述べる。図６
は従来例の、すなわち一般に市販されているヘリウムリ
ークディテクタの系統図である。ターボ分子ポンプ１１
の高真空側はヘリウム検出用の分析管６ａに接続される
ようになっている。該ターボ分子ポンプ１１は、真空吸
引したガスを大気圧中に吐出することができないので、
その背圧側を１Ｔｏｒｒ程度に減圧してやるよう、第１
の開閉弁１３を介して補助真空ポンプ１２に接続されて
いる。本発明において補助真空ポンプとは、約１Ｔｏｒ
ｒのガスを吸入して大気圧中に吐出し得るポンプを言
い、例えばロータリ式の油ポンプなどを適用し得る。図
示の１７，１８は真空計である。上記補助真空ポンプ１
２の吸入側は、第２の開閉弁１４を介して真空排気系２
０に接続されている。この従来例の装置（図６）を本発
明方法に使用するときは、上記真空排気系２０を冷凍機
の真空容器に接続する。前述のごとくターボ分子ポンプ
１１は、その背圧が１Ｔｏｒｒ未満でないと良好に作動
せず、１Ｔｏｒｒ以上になると保護回路（図示せず）が
作動して停止してしまう。ところが、例えば吸収式冷凍
機に真空排気系２０を接続して本発明の真空漏洩検出方
法を実施すると、空気と水蒸気とヘリウムガスとの混合
気体が抽気されこれらの気体の分圧の合計が約１０Ｔｏ
ｒｒである。この混合気体を１Ｔｏｒｒに減圧すると、
減圧された１Ｔｏｒｒの混合気体中のヘリウムの分圧は
０．０１Ｔｏｒｒ以下となり、検出が容易でない。そこ
で本発明の装置は、図５に示す実施例のごとく、ターボ
分子ポンプ１１の背圧側を、第１の開閉弁１３′を介し
て補助真空ポンプ１２の吸入側に接続するとともに、該
補助真空ポンプの吸入側を、除湿器１５を介して真空排
気系２０に接続する。このように構成すると、ターボ分
子ポンプ１１の背圧側に連通される混合気体から水蒸気
が除去されて、空気とヘリウムガスとの混合気体とな
る。従って、空気の分圧とヘリウムガスの分圧との合計
が１Ｔｏｒｒに保たれたときのヘリウムガスの分圧は従
来例におけるよりも著しく高くなり、それだけ検出感度
が良くなる。作動開始の当初は、第１の開閉弁１３′を
開き、第２の開閉弁１４′を閉じた状態で補助真空ポン
プ１２を運転し、真空計１７の検出値が１Ｔｏｒｒ以下
になってからターボ分子ポンプ１１の運転を開始する。
そして真空計１７の検出値（すなわちターボ分子ポンプ
１１の背圧）が１Ｔｏｒｒを越えないように制御する。
図５について以上に述べたターボ分子ポンプ１１の運転
開始操作は、真空計１７の信号出力を与えられてターボ
分子ポンプ１１の運転・停止信号を出力する自動制御装
置１９を設けると自動的に行わせることができる。ま
た、真空排気系２０を真空引きするときは、第１の開閉
弁１３′を閉じてターボ分子ポンプ１１を保護してお
き、第２の開閉弁１４′を開き、補助粗引きポンプ２１
の運転を開始し、真空計１８の検出信号値が１Ｔｏｒｒ
以下になると第１の開閉弁１３′を開いて計測可能な状
態となる。上記第１，第２の開閉弁（１１３′，１
４′）の開閉操作を始動制御装置１９によって行うと、
この真空漏洩検出装置における計測準備操作を全自動化
することができる。
【００１３】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明方法によ
れば、例えば吸収式冷凍機のように、水および溶液を封
入された真空容器の漏洩の有無を、該真空容器よりなる
機器が運転中であるか休止中であるかを問わず、迅速，
容易に、かつ高精度で定量的に判定することができると
いう優れた実用的効果を奏し、真空容器を備えた機器の
保守点検技術の進歩に貢献するところ多大である。
れば、例えば吸収式冷凍機のように、水および溶液を封
入された真空容器の漏洩の有無を、該真空容器よりなる
機器が運転中であるか休止中であるかを問わず、迅速，
容易に、かつ高精度で定量的に判定することができると
いう優れた実用的効果を奏し、真空容器を備えた機器の
保守点検技術の進歩に貢献するところ多大である。
【００１４】また、本発明の装置によれば、上記発明方
法を容易に、かつ確実に実施して、その効果を充分に発
揮せしめることができる。
法を容易に、かつ確実に実施して、その効果を充分に発
揮せしめることができる。
【図１】本発明方法の１実施例を説明するための系統図
である。
である。
【図２】上記と異なる実施例を説明するための系統図で
ある。
ある。
【図３】上記と更に異なる実施例を説明するための系統
図である。
図である。
【図４】上記と更に異なる実施例を説明するための系統
図である。
図である。
【図５】本発明装置の１実施例を示す系統図である。
【図６】従来例のヘリウムリークディテクタを説明する
ための概要的な系統図である。
ための概要的な系統図である。
１…吸収式冷凍機、１ａ…冷凍機付属弁、３…補助空気
ポンプ、４…圧力調整弁、５，５′…除湿器、６…ヘリ
ウムリークディテクタ、７…電動弁、８…圧力センサ、
１０…ヘリウムスプレーガン、１１…ターボ分子ポン
プ、１２…補助真空ポンプ、１３，１３′…第１の開閉
弁、１４，１４′…第２の開閉弁、１５…除湿器、１６
…圧力調整弁、１７，１８…真空計、１９…自動制御装
置、２０…真空排気系、２１…補助粗引きポンプ。
ポンプ、４…圧力調整弁、５，５′…除湿器、６…ヘリ
ウムリークディテクタ、７…電動弁、８…圧力センサ、
１０…ヘリウムスプレーガン、１１…ターボ分子ポン
プ、１２…補助真空ポンプ、１３，１３′…第１の開閉
弁、１４，１４′…第２の開閉弁、１５…除湿器、１６
…圧力調整弁、１７，１８…真空計、１９…自動制御装
置、２０…真空排気系、２１…補助粗引きポンプ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上妻 長流 東京都港区高輪２−20−36 日立ビル施設 エンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 橋本 淳一 東京都江東区亀戸１−４−26 日立ビル施 設エンジニアリング 株式会社内
Claims (15)
- 【請求項１】 真空容器内に冷媒としての水、及び作動
流体としての水溶液が封入されている機器における、上
記真空容器の漏洩を検出する場合、 上記真空容器の外周面にトレースガスを吹き付けつつ、
上記真空容器内の気体を空気ポンプによって抽気すると
ともに、抽気用配管に設けた分岐管によって抽気気体の
一部を分流させ、分流させた抽気気体を除湿器に流通さ
せて含有水蒸気を除去し、水蒸気を除去された抽気気体
中のトレースガスを検出することを特徴とする真空漏洩
検出方法。 - 【請求項２】 前記トレースガスとしてヘリウムガスを
用いるとともに、前記の水蒸気を除去された抽気気体中
のトレースガスの検出は質量分析型のヘリウムリークデ
ィテクタによって行うことを特徴とする、請求項１に記
載した真空漏洩検出方法。 - 【請求項３】 トレースガスとしてのヘリウムガスの吹
き付けはヘリウムスプレーガンによって真空容器表面に
対して局部的に吹き付け、かつ該吹き付け個所を移動さ
せつつヘリウムリークディテクタによるヘリウムガスの
検出を連続的、ないし断続的に行い、その検出値の変化
に基づいて真空漏洩個所を判定することを特徴とする、
請求項２に記載した真空漏洩検出方法。 - 【請求項４】 前記分岐管に圧力制御用の調整弁を設
け、この調整弁を操作してヘリウムリークディテクタに
流入する気体の圧力を調整することを特徴とする、請求
項２に記載した真空漏洩検出方法。 - 【請求項５】 前記の除湿器とヘリウムリークディテク
タとの間に圧力センサを介挿接続するとともに、前記の
調整弁を電動弁によって構成し、前記圧力センサの検出
値が所定値となるように上記電動弁を自動制御すること
を特徴とする、請求項４に記載した真空漏洩検出方法。 - 【請求項６】 前記の空気ポンプは、前記の真空容器を
備えた機器と別体に構成された補助空気ポンプであるこ
とを特徴とする、請求項１に記載した真空漏洩検出方
法。 - 【請求項７】 前記の空気ポンプとして、前記の真空容
器を備えた機器に付属する空気ポンプを一時的に利用す
ることを特徴とする、請求項１に記載した真空漏洩検出
方法。 - 【請求項８】 真空容器内に冷媒としての水、及び作動
流体としての水溶液が封入されている機器における、上
記真空容器の漏洩を検出する場合、 上記真空容器の外周面にトレースガスを吹き付けつつ、
上記真空容器内の気体を、除湿器を介して空気ポンプに
より抽気するとともに、上記空気ポンプの吸入口側から
上記の除湿器で水蒸気を除去された抽気をトレースガス
のディテクタに導いてトレースガスを検出することを特
徴とする真空漏洩検出方法。 - 【請求項９】 前記の除湿器とディテクタとを接続して
いる管路に調整弁を介挿接続し、前記除湿器の流出側の
圧力を該除湿器の作動状態に適合せしめるように上記調
整弁を調節することを特徴とする、請求項７に記載した
真空漏洩検出方法。 - 【請求項１０】 真空容器内に冷媒としての水、及び作
動流体としての水溶液が封入されている機器における、
上記真空容器の漏洩を検出する場合、 上記真空容器の外周面にトレースガスを吹き付けつつ、
上記真空容器内の気体を、除湿器を介して空気ポンプに
より抽気するとともに、上記除湿器を流通して含有水蒸
気の大半を除去されて空気ポンプに流入する抽気気体の
一部を分流させ、上記の分流された抽気気体を更に上記
と別体の除湿器を介してトレースガスのディテクタに導
いてトレースガスを検出することを特徴とする真空漏洩
検出方法。 - 【請求項１１】 前記別体の除湿器の流入側に調整弁を
設けて、前記双方の除湿器の作動状態に適合せしめるよ
うに上記調整弁を操作することを特徴とする、請求項９
に記載した真空漏洩検出方法。 - 【請求項１２】 高真空側をヘリウムリークディテクタ
の分析管（６ａ）に接続されるターボ分子ポンプ（１
１）を有し、上記ターボ分子ポンプの背圧側が第１の開
閉弁（１３′）を介して補助真空ポンプ（１３）の吸入
側に接続されており、かつ、上記補助真空ポンプの吸入
側は第２の開閉弁（１４′）を介して除湿器（１５）に
接続されていることを特徴とする、真空漏洩検出装置。 - 【請求項１３】 前記ターボ分子ポンプ（１１）の背圧
側の圧力を検出する圧力センサ（１７）、及び、前記第
２の開閉弁（１４′）と除湿器（１５）とを接続してい
る管路の圧力を検出する圧力センサ（１８）とが設けら
れており、かつ、上記双方の圧力センサの出力信号を与
えられて、前記二つの開閉弁（１３′，１４′）を開閉
制御する自動制御装置（１９）を有していることを特徴
とする、請求項１２に記載した真空漏洩検出装置。 - 【請求項１４】 前記の除湿器（１５）は、圧力調整弁
（１６）を介して補助粗引きポンプ（２１）の吸入側に
接続されており、かつ、上記補助粗引きポンプの吸入側
は、吸収式冷凍機（１）に接続される管路（２０）を備
えていることを特徴とする、請求項１３に記載した真空
漏洩検出装置。 - 【請求項１５】 前記の自動制御装置（１９）は、第１
の開閉弁（１３′）および第２の開閉弁（１４′）を開
閉制御するとともにターボ分子ポンプ（１１）を運転・
停止制御するものであることを特徴とする、請求項１４
に記載した真空漏洩検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4342739A JPH0674855A (ja) | 1992-07-08 | 1992-12-22 | 真空漏洩検出方法、および同装置 |
| US08/087,969 US5398543A (en) | 1992-07-08 | 1993-07-08 | Method and apparatus for detection of vacuum leak |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18103792 | 1992-07-08 | ||
| JP4-181037 | 1992-07-08 | ||
| JP4342739A JPH0674855A (ja) | 1992-07-08 | 1992-12-22 | 真空漏洩検出方法、および同装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674855A true JPH0674855A (ja) | 1994-03-18 |
Family
ID=26500366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4342739A Pending JPH0674855A (ja) | 1992-07-08 | 1992-12-22 | 真空漏洩検出方法、および同装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5398543A (ja) |
| JP (1) | JPH0674855A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008275360A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 真空系統の空気漏れ検出方法 |
| JP2013524226A (ja) * | 2010-04-09 | 2013-06-17 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 検査対象の漏れ検査を行う方法 |
| CN112857695A (zh) * | 2021-01-15 | 2021-05-28 | 合肥工业大学 | 一种激光陀螺稳定充气和高精度检漏系统 |
| CN114323475A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-04-12 | 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 | 空冷机组真空检漏除湿装置 |
Families Citing this family (48)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6022195A (en) * | 1988-09-13 | 2000-02-08 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled vacuum pump with control module |
| US6318093B2 (en) | 1988-09-13 | 2001-11-20 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump |
| US6902378B2 (en) * | 1993-07-16 | 2005-06-07 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled vacuum pump |
| US5526678A (en) * | 1994-08-10 | 1996-06-18 | Chicago Bridge & Iron Technical Services Company | Time of flight measurement/rate of rise measurement method for remote leak detection in evacuated spaces |
| US5777209A (en) * | 1996-12-13 | 1998-07-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Leakage detection apparatus equipped with universal adapter head and method of testing |
| US6401465B1 (en) * | 2000-10-19 | 2002-06-11 | Carrier Corporation | Absorption chiller leak detection and location and checking hydrogen removing cells |
| US6823682B1 (en) * | 2004-01-13 | 2004-11-30 | Carrier Corporation | Absorptive chiller with evaporator protection |
| WO2007045118A1 (fr) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Yue Zhang | Dispositif d’evacuation de gaz automatique pour machine a bromure de lithium et son procede |
| US7210337B1 (en) * | 2005-10-17 | 2007-05-01 | Honeywell International Inc. | MEMS sensor package leak test |
| DE102006016747A1 (de) * | 2006-04-10 | 2007-10-18 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Leckprüfung |
| DE102007057944A1 (de) * | 2007-12-01 | 2009-06-04 | Inficon Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung |
| JP5292261B2 (ja) * | 2009-11-19 | 2013-09-18 | 株式会社アルバック | リークディテクタ |
| US9243186B2 (en) | 2012-08-17 | 2016-01-26 | Suncoke Technology And Development Llc. | Coke plant including exhaust gas sharing |
| US9359554B2 (en) | 2012-08-17 | 2016-06-07 | Suncoke Technology And Development Llc | Automatic draft control system for coke plants |
| CN104884578B (zh) | 2012-12-28 | 2016-06-22 | 太阳焦炭科技和发展有限责任公司 | 通风竖管盖以及相关联的系统和方法 |
| US10760002B2 (en) | 2012-12-28 | 2020-09-01 | Suncoke Technology And Development Llc | Systems and methods for maintaining a hot car in a coke plant |
| CN104902984B (zh) | 2012-12-28 | 2019-05-31 | 太阳焦炭科技和发展有限责任公司 | 用于去除排放物中的汞的系统和方法 |
| US10883051B2 (en) | 2012-12-28 | 2021-01-05 | Suncoke Technology And Development Llc | Methods and systems for improved coke quenching |
| US9273250B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-03-01 | Suncoke Technology And Development Llc. | Methods and systems for improved quench tower design |
| PL3090034T3 (pl) | 2013-12-31 | 2020-10-05 | Suncoke Technology And Development Llc | Sposoby dekarbonizacji pieców koksowniczych i powiązanych z nimi systemów i urządzeń |
| AU2015317909B2 (en) | 2014-09-15 | 2020-11-05 | Suncoke Technology And Development Llc | Coke ovens having monolith component construction |
| KR102531894B1 (ko) | 2015-01-02 | 2023-05-11 | 선코크 테크놀러지 앤드 디벨로프먼트 엘엘씨 | 고급 제어 및 최적화 기술을 이용한 통합형 코크스 플랜트 자동화 및 최적화 |
| CN105092182A (zh) * | 2015-08-14 | 2015-11-25 | 中广核工程有限公司 | 核电厂功率运行阶段凝汽器真空氦气查漏法 |
| US10151663B2 (en) | 2015-09-15 | 2018-12-11 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Leak detector sensor systems using tag-sensitized refrigerants |
| JP6945535B2 (ja) | 2015-12-28 | 2021-10-06 | サンコーク テクノロジー アンド ディベロップメント リミテッド ライアビリティ カンパニー | コークス炉に動的に装入するための方法およびシステム |
| US11508230B2 (en) | 2016-06-03 | 2022-11-22 | Suncoke Technology And Development Llc | Methods and systems for automatically generating a remedial action in an industrial facility |
| CN106404287A (zh) * | 2016-09-09 | 2017-02-15 | 青岛海斯兰德新材料有限公司 | 一种一体式气囊检漏装置 |
| US10851306B2 (en) | 2017-05-23 | 2020-12-01 | Suncoke Technology And Development Llc | System and method for repairing a coke oven |
| CN109323810A (zh) * | 2017-07-31 | 2019-02-12 | 深圳市远望工业自动化设备有限公司 | 具有连接头的质谱检漏设备 |
| WO2019118579A2 (en) | 2017-12-13 | 2019-06-20 | Laitram, L.L.C. | Hygienic hollow frame assembly |
| CN110954285A (zh) * | 2018-10-09 | 2020-04-03 | 新疆大全新能源股份有限公司 | 一种氟利昂蒸发器泄漏的检测方法 |
| US11098252B2 (en) | 2018-12-28 | 2021-08-24 | Suncoke Technology And Development Llc | Spring-loaded heat recovery oven system and method |
| CA3125332C (en) | 2018-12-28 | 2022-04-26 | Suncoke Technology And Development Llc | Decarbonization of coke ovens, and associated systems and methods |
| WO2020140074A1 (en) | 2018-12-28 | 2020-07-02 | Suncoke Technology And Development Llc | Improved oven uptakes |
| BR112021012455B1 (pt) | 2018-12-28 | 2023-10-24 | Suncoke Technology And Development Llc | Forno de coque |
| CA3125187C (en) | 2018-12-28 | 2023-04-04 | Suncoke Technology And Development Llc | Gaseous tracer leak detection |
| US11395989B2 (en) | 2018-12-31 | 2022-07-26 | Suncoke Technology And Development Llc | Methods and systems for providing corrosion resistant surfaces in contaminant treatment systems |
| CA3125585C (en) | 2018-12-31 | 2023-10-03 | Suncoke Technology And Development Llc | Improved systems and methods for utilizing flue gas |
| CN110082046B (zh) * | 2019-04-26 | 2024-04-19 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种阀门低温检漏系统及检漏方法 |
| CN110617924B (zh) * | 2019-08-30 | 2021-06-08 | 浙江尚美包装有限公司 | 一种泵芯组件的气密性集成检测装置及检测方法 |
| CA3177017C (en) | 2020-05-03 | 2024-04-16 | John Francis Quanci | High-quality coke products |
| CN111999011B (zh) * | 2020-09-15 | 2024-07-30 | 广东海德利森一氢科技有限公司 | 一种阀门性能检测系统 |
| CN112798193B (zh) * | 2020-10-16 | 2022-12-13 | 湖南澳美佳健康科技有限公司 | 一种新型氦检漏仪 |
| CN113916458B (zh) * | 2021-09-23 | 2024-06-21 | 深圳华尔升智控技术有限公司 | 一种检测精度高的多用途高稳定性氦质谱检漏仪 |
| US11946108B2 (en) | 2021-11-04 | 2024-04-02 | Suncoke Technology And Development Llc | Foundry coke products and associated processing methods via cupolas |
| AU2022381759B2 (en) | 2021-11-04 | 2024-05-23 | Suncoke Technology And Development Llc | Foundry coke products, and associated systems, devices, and methods |
| WO2024098010A1 (en) | 2022-11-04 | 2024-05-10 | Suncoke Technology And Development Llc | Coal blends, foundry coke products, and associated systems, devices, and methods |
| CN117030144B (zh) * | 2023-10-09 | 2024-02-06 | 西安核设备有限公司 | 一种格架氦检漏方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3968675A (en) * | 1974-06-07 | 1976-07-13 | Varian Associates | Method and apparatus for preparing a mass spectrometer leak detector system for operation |
| BE859352A (fr) * | 1977-10-04 | 1978-02-01 | Organisation Europ De Rech S S | Appareil de detection de fuite de gaz |
| FR2475728A1 (fr) * | 1980-02-11 | 1981-08-14 | Cit Alcatel | Detecteur de fuites a helium |
| US4472962A (en) * | 1981-08-03 | 1984-09-25 | Balzers Aktiengesellschaft | Low pressure leak detector |
| FR2532424A1 (fr) * | 1982-08-27 | 1984-03-02 | Cit Alcatel | Dispositif de mesure et d'affichage du taux q de fuite pour un detecteur de fuites a gaz traceur |
| FR2574545B1 (fr) * | 1984-12-06 | 1987-02-13 | Electricite De France | Procede de detection des fuites dans un echangeur de chaleur en fonctionnement |
| US4735084A (en) * | 1985-10-01 | 1988-04-05 | Varian Associates, Inc. | Method and apparatus for gross leak detection |
| US4683749A (en) * | 1986-05-22 | 1987-08-04 | Westinghouse Electric Corp. | Process and system for detecting and measuring a tritium gas leak |
| US5022265A (en) * | 1987-03-31 | 1991-06-11 | Finn-Aqua | Method and apparatus for leak testing fluid conducting freeze-drying apparatus |
| DE3831258C1 (ja) * | 1988-09-14 | 1989-10-12 | Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh, 6980 Wertheim, De | |
| US5168747A (en) * | 1990-11-26 | 1992-12-08 | Westinghouse Electric Corp. | System and method for locating leaks in steam turbine systems |
-
1992
- 1992-12-22 JP JP4342739A patent/JPH0674855A/ja active Pending
-
1993
- 1993-07-08 US US08/087,969 patent/US5398543A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008275360A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 真空系統の空気漏れ検出方法 |
| JP2013524226A (ja) * | 2010-04-09 | 2013-06-17 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 検査対象の漏れ検査を行う方法 |
| CN112857695A (zh) * | 2021-01-15 | 2021-05-28 | 合肥工业大学 | 一种激光陀螺稳定充气和高精度检漏系统 |
| CN114323475A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-04-12 | 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 | 空冷机组真空检漏除湿装置 |
| CN114323475B (zh) * | 2021-11-18 | 2023-11-07 | 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 | 空冷机组真空检漏除湿装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5398543A (en) | 1995-03-21 |
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