JPH11153508A - 真空装置用ヘリウムリークディテクター装置 - Google Patents
真空装置用ヘリウムリークディテクター装置Info
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- JPH11153508A JPH11153508A JP32155597A JP32155597A JPH11153508A JP H11153508 A JPH11153508 A JP H11153508A JP 32155597 A JP32155597 A JP 32155597A JP 32155597 A JP32155597 A JP 32155597A JP H11153508 A JPH11153508 A JP H11153508A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】小型軽量で操作性が良く専用の真空排気系を備
えた真空装置のリークテストに適したヘリウムリークデ
ィテクター装置を提供する 【解決手段】真空チャンバー３の室内を真空排気する真
空排気系４を備えた真空装置１に、真空排気系の排気バ
ルブの上流から分析管８内を排気する分子ポンプ１０と
フォアポンプ１３を備えたヘリウムリークディテクター
２を接続し、該リークディテクターのテスト管路１５に
設けたテストバルブ１６を開弁してヘリウムを分子ポン
プをカウンターフローさせてリークテストする装置に於
いて、該リークディテクターのテストバルブの上流のテ
スト管路を直接に排気バルブの上流の真空排気系に接続
し、真空排気系の圧力を計測する真空計１７を設け、テ
ストバルブを真空計の検出値により自動開閉する自動開
閉弁で構成し、フォアポンプを分析管内を分析圧力に排
気できる小型の真空ポンプとした。
えた真空装置のリークテストに適したヘリウムリークデ
ィテクター装置を提供する 【解決手段】真空チャンバー３の室内を真空排気する真
空排気系４を備えた真空装置１に、真空排気系の排気バ
ルブの上流から分析管８内を排気する分子ポンプ１０と
フォアポンプ１３を備えたヘリウムリークディテクター
２を接続し、該リークディテクターのテスト管路１５に
設けたテストバルブ１６を開弁してヘリウムを分子ポン
プをカウンターフローさせてリークテストする装置に於
いて、該リークディテクターのテストバルブの上流のテ
スト管路を直接に排気バルブの上流の真空排気系に接続
し、真空排気系の圧力を計測する真空計１７を設け、テ
ストバルブを真空計の検出値により自動開閉する自動開
閉弁で構成し、フォアポンプを分析管内を分析圧力に排
気できる小型の真空ポンプとした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空チャンバーと
その室内を真空に排気する専用の真空排気系を備えた真
空装置に適用して該真空装置のリークテストや該真空チ
ャンバーに収容したテスト品をカウンターフロー式でリ
ークテストするヘリウムリークディテクター装置に関す
る。
その室内を真空に排気する専用の真空排気系を備えた真
空装置に適用して該真空装置のリークテストや該真空チ
ャンバーに収容したテスト品をカウンターフロー式でリ
ークテストするヘリウムリークディテクター装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ヘリウムリークディテクターとし
て、例えば図１に示したように、分析管ａを吸気口ｂに
接続すると共にフォアポンプｃを排気口ｄに接続した分
子ポンプｅを設け、テストポートｆから該排気口ｄへテ
スト管路ｇを接続し、該テスト管路ｇにピラニ真空計
ｈ、テストバルブｉ及びフォアバルブｊを設けたものが
知られている。該フォアポンプｃには、大気圧から分析
管ａでリークテスト可能な圧力まで排気できるロータリ
ーポンプを使用するのが一般である。このヘリウムリー
クディテクターｋを使用して専用の真空排気系ｌを備え
た真空装置ｍのリークテストや、該真空装置ｍの真空チ
ャンバーｎに収容したテスト品のリークテストを行う場
合、該テストポートｆは手動開閉弁ｏを介して該真空装
置ｍの真空排気系ｌに接続される。該真空排気系ｌは排
気バルブｐとこれに接続した真空ポンプ、例えばターボ
分子ポンプｑとドライポンプｒなどを組み合わせた比較
的大きな排気速度をもつポンプで構成される。ｓは、真
空チャンバーｎの真空計である。
て、例えば図１に示したように、分析管ａを吸気口ｂに
接続すると共にフォアポンプｃを排気口ｄに接続した分
子ポンプｅを設け、テストポートｆから該排気口ｄへテ
スト管路ｇを接続し、該テスト管路ｇにピラニ真空計
ｈ、テストバルブｉ及びフォアバルブｊを設けたものが
知られている。該フォアポンプｃには、大気圧から分析
管ａでリークテスト可能な圧力まで排気できるロータリ
ーポンプを使用するのが一般である。このヘリウムリー
クディテクターｋを使用して専用の真空排気系ｌを備え
た真空装置ｍのリークテストや、該真空装置ｍの真空チ
ャンバーｎに収容したテスト品のリークテストを行う場
合、該テストポートｆは手動開閉弁ｏを介して該真空装
置ｍの真空排気系ｌに接続される。該真空排気系ｌは排
気バルブｐとこれに接続した真空ポンプ、例えばターボ
分子ポンプｑとドライポンプｒなどを組み合わせた比較
的大きな排気速度をもつポンプで構成される。ｓは、真
空チャンバーｎの真空計である。
【０００３】尚、該分子ポンプｅはローターによりガス
分子を圧縮して吸気口から排気口へ排出するもので、テ
スト管路ｇの端末を該分子ポンプｅの圧縮比が最大にな
る該排気口に接続するのが一般であるが、テスト管路ｇ
の端末を分子ポンプｅの圧縮比が最大にならない中間位
置に接続することも提案されている。
分子を圧縮して吸気口から排気口へ排出するもので、テ
スト管路ｇの端末を該分子ポンプｅの圧縮比が最大にな
る該排気口に接続するのが一般であるが、テスト管路ｇ
の端末を分子ポンプｅの圧縮比が最大にならない中間位
置に接続することも提案されている。
【０００４】該真空装置ｍの真空チャンバーｎをリーク
テストする場合、該手動開閉弁ｏ及び排気バルブｐを閉
じ、ヘリウムリークディテクターｋのテストバルブｉと
フォアバルブｊを開き、フォアポンプｃと分子ポンプｅ
を作動させて該分析管ａを起動する。このあと排気バル
ブｐを開け、排気速度の比較的大きいターボ分子ポンプ
ｑとドライポンプｒにて排気を行う。そしてピラニ真空
計ｈにて真空排気系ｌの圧力をモニターし、ヘリウムリ
ークディテクターｋのテスト可能な圧力になったら手動
開閉弁ｏを開き、カウンターフロー式すなわちテスト管
路ｇに流入したヘリウム分子が分子ポンプｅの排気方向
とは逆方向に拡散して分析管ａで検出される原理を利用
したテスト状態とする。作業者が該真空チャンバーｎの
外周面にヘリウムを吹き付け、もし漏れがあれば、該真
空チャンバーｎの内部が真空であるためヘリウムが真空
チャンバーｎ内へ入り込む。入り込んだヘリウムは、前
記カウンターフローの原理で分析管ａに捕らえられ、リ
ークの存在が判断できる。
テストする場合、該手動開閉弁ｏ及び排気バルブｐを閉
じ、ヘリウムリークディテクターｋのテストバルブｉと
フォアバルブｊを開き、フォアポンプｃと分子ポンプｅ
を作動させて該分析管ａを起動する。このあと排気バル
ブｐを開け、排気速度の比較的大きいターボ分子ポンプ
ｑとドライポンプｒにて排気を行う。そしてピラニ真空
計ｈにて真空排気系ｌの圧力をモニターし、ヘリウムリ
ークディテクターｋのテスト可能な圧力になったら手動
開閉弁ｏを開き、カウンターフロー式すなわちテスト管
路ｇに流入したヘリウム分子が分子ポンプｅの排気方向
とは逆方向に拡散して分析管ａで検出される原理を利用
したテスト状態とする。作業者が該真空チャンバーｎの
外周面にヘリウムを吹き付け、もし漏れがあれば、該真
空チャンバーｎの内部が真空であるためヘリウムが真空
チャンバーｎ内へ入り込む。入り込んだヘリウムは、前
記カウンターフローの原理で分析管ａに捕らえられ、リ
ークの存在が判断できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図１のような真空チャ
ンバーｎのための専用の真空排気系ｌを備えた真空装置
ｍでは、前記のように該真空排気系ｌの真空ポンプｑ、
ｒとヘリウムリークディテクターｋのポンプｃ、ｅを共
に作動させた並列排気によりリークテストを行わなけれ
ばならない。その理由は、該真空排気系ｌの真空ポンプ
ｑ、ｒの排気速度とヘリウムリークディテクターｋのポ
ンプｃ、ｅの排気速度に１００〜１０００倍以上の差が
あるためで、例えば排気バルブｐを閉じてテストバルブ
ｉ及びフォアバルブｊを開けると、真空計ｓやピラニ真
空計ｈの指示値が著しく上昇し、リークテストが行えな
くなる。また、ターボ分子ポンプのような大排気速度の
ポンプで該真空チャンバーｎの内部からの脱ガスがなく
なるほど真空排気したのち排気バルブｐを閉じてヘリウ
ムリークディテクターｋを接続すると、真空計ｈ、ｓの
指示値が下がりリークテストが可能になるが、排気速度
が極端に小さくなるため、真空チャンバーｎに入ってき
たヘリウムをフォアポンプｃで吸引しにくくなり、カウ
ンターフローして分析管ａに至るヘリウムの量が減り、
テストレベルが下がってしまう欠点がある。
ンバーｎのための専用の真空排気系ｌを備えた真空装置
ｍでは、前記のように該真空排気系ｌの真空ポンプｑ、
ｒとヘリウムリークディテクターｋのポンプｃ、ｅを共
に作動させた並列排気によりリークテストを行わなけれ
ばならない。その理由は、該真空排気系ｌの真空ポンプ
ｑ、ｒの排気速度とヘリウムリークディテクターｋのポ
ンプｃ、ｅの排気速度に１００〜１０００倍以上の差が
あるためで、例えば排気バルブｐを閉じてテストバルブ
ｉ及びフォアバルブｊを開けると、真空計ｓやピラニ真
空計ｈの指示値が著しく上昇し、リークテストが行えな
くなる。また、ターボ分子ポンプのような大排気速度の
ポンプで該真空チャンバーｎの内部からの脱ガスがなく
なるほど真空排気したのち排気バルブｐを閉じてヘリウ
ムリークディテクターｋを接続すると、真空計ｈ、ｓの
指示値が下がりリークテストが可能になるが、排気速度
が極端に小さくなるため、真空チャンバーｎに入ってき
たヘリウムをフォアポンプｃで吸引しにくくなり、カウ
ンターフローして分析管ａに至るヘリウムの量が減り、
テストレベルが下がってしまう欠点がある。
【０００６】更に、真空装置ｍの真空排気系ｌにドライ
ポンプｒを使用して真空チャンバーｎ内のクリーン性を
保持しているところに、ヘリウムリークディテクターｋ
でリークテストを行うと、テスト管路ｇを介してフォア
ポンプｃのロータリーポンプからオイルベーパーが真空
チャンバーｎ内へ飛散してこれを汚染し、該真空チャン
バーｎ内での真空処理物を汚染してしまう弊害も生じる
ことがあった。更に、全自動のヘリウムリークディテク
ターｋは知られていても真空装置ｍとリンクして作動す
るものはなく、最終的には手動開閉弁ｏを操作してリー
クテストを行う必要があった。しかもヘリウムリークデ
ィテクターｋ自体の大きさも、フォアポンプｃとして排
気速度の大きいロータリーポンプを使用せざるを得ない
ため、大型化して運搬が不便になる欠点があり、リーク
テストの作業は、リークの定量の設定の仕方が容易でな
く、真空排気系の理解や操作など決して簡単に行えない
という欠点もあった。
ポンプｒを使用して真空チャンバーｎ内のクリーン性を
保持しているところに、ヘリウムリークディテクターｋ
でリークテストを行うと、テスト管路ｇを介してフォア
ポンプｃのロータリーポンプからオイルベーパーが真空
チャンバーｎ内へ飛散してこれを汚染し、該真空チャン
バーｎ内での真空処理物を汚染してしまう弊害も生じる
ことがあった。更に、全自動のヘリウムリークディテク
ターｋは知られていても真空装置ｍとリンクして作動す
るものはなく、最終的には手動開閉弁ｏを操作してリー
クテストを行う必要があった。しかもヘリウムリークデ
ィテクターｋ自体の大きさも、フォアポンプｃとして排
気速度の大きいロータリーポンプを使用せざるを得ない
ため、大型化して運搬が不便になる欠点があり、リーク
テストの作業は、リークの定量の設定の仕方が容易でな
く、真空排気系の理解や操作など決して簡単に行えない
という欠点もあった。
【０００７】本発明は、小型軽量で操作性が良く専用の
真空排気系を備えた真空装置のリークテストに適したヘ
リウムリークディテクター装置を提供することを目的と
するものである。
真空排気系を備えた真空装置のリークテストに適したヘ
リウムリークディテクター装置を提供することを目的と
するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記の目的
を達成するため、真空チャンバーの室内を真空排気する
排気バルブを介して真空ポンプへ連なる真空排気系を備
えた真空装置に、該排気バルブの上流から分析管内を排
気する分子ポンプとフォアポンプを備えたヘリウムリー
クディテクターを接続し、該ヘリウムリークディテクタ
ーのテスト管路に設けたテストバルブを開弁してヘリウ
ムを該分子ポンプをカウンターフローさせてリークテス
トする装置に於いて、該ヘリウムリークディテクターの
テストバルブの上流のテスト管路を直接に該排気バルブ
の上流の真空排気系に接続し、該真空排気系の圧力を計
測する真空計を設けると共に該テストバルブを該真空計
の検出値により自動開閉する自動開閉弁で構成し、該フ
ォアポンプを該分析管内を分析圧力に排気できる小型の
真空ポンプとした。該真空計は該テストバルブの上流の
テスト管路又は真空排気系に設けることが好ましく、該
フォアポンプの前方にフォアバルブを設けるときはこれ
も該真空計により開閉作動させることが有利である。ま
た、該テスト管路を分岐してその各分岐管路に該自動開
閉弁を夫々介在させ、その一方の分岐管路の端末を該分
子ポンプの排気側に接続し、もう一方の分岐管路の端末
を該分子ポンプの中間排気口に接続することにより、真
空装置の真空排気系の種類と構成に対応したリークテス
トを行えて有利である。該真空装置に、該排気バルブの
上流から分岐したテスト管路を設け、該テスト管路の端
末をヘリウムリークディテクターの分析管内を排気する
分子ポンプの排気口に接続して該真空装置にヘリウムリ
ークディテクターを常設してもよい。
を達成するため、真空チャンバーの室内を真空排気する
排気バルブを介して真空ポンプへ連なる真空排気系を備
えた真空装置に、該排気バルブの上流から分析管内を排
気する分子ポンプとフォアポンプを備えたヘリウムリー
クディテクターを接続し、該ヘリウムリークディテクタ
ーのテスト管路に設けたテストバルブを開弁してヘリウ
ムを該分子ポンプをカウンターフローさせてリークテス
トする装置に於いて、該ヘリウムリークディテクターの
テストバルブの上流のテスト管路を直接に該排気バルブ
の上流の真空排気系に接続し、該真空排気系の圧力を計
測する真空計を設けると共に該テストバルブを該真空計
の検出値により自動開閉する自動開閉弁で構成し、該フ
ォアポンプを該分析管内を分析圧力に排気できる小型の
真空ポンプとした。該真空計は該テストバルブの上流の
テスト管路又は真空排気系に設けることが好ましく、該
フォアポンプの前方にフォアバルブを設けるときはこれ
も該真空計により開閉作動させることが有利である。ま
た、該テスト管路を分岐してその各分岐管路に該自動開
閉弁を夫々介在させ、その一方の分岐管路の端末を該分
子ポンプの排気側に接続し、もう一方の分岐管路の端末
を該分子ポンプの中間排気口に接続することにより、真
空装置の真空排気系の種類と構成に対応したリークテス
トを行えて有利である。該真空装置に、該排気バルブの
上流から分岐したテスト管路を設け、該テスト管路の端
末をヘリウムリークディテクターの分析管内を排気する
分子ポンプの排気口に接続して該真空装置にヘリウムリ
ークディテクターを常設してもよい。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
き説明すると、図２に於いて符号１は真空装置、２はヘ
リウムリークディテクターを示し、該真空装置１は、真
空チャンバー３と、その内部を真空に排気するための排
気バルブ５、ターボ分子ポンプ６及びウエットポンプや
ドライポンプ７等の真空ポンプを有する専用の真空排気
系４とで構成した。該真空装置１の真空チャンバー３に
は、スパッタリングや蒸着等の各種の真空処理を施すた
めの基板などの部材を収容し、該真空排気系４を作動さ
せてその真空処理に適した真空状態を該真空チャンバー
３に作り出す。該ヘリウムリークディテクター２はカウ
ンターフロー式のもので、吸気口９に接続した分析管８
の内部を排気する分子ポンプ１０と、該分子ポンプ１０
の排気口１１にフォアバルブ１２を介して接続したフォ
アポンプ１３を備え、テストポート１４から延びるテス
ト管路１５をテストバルブ１６を介して該排気口１１に
接続した構成を有する。同図のものでは、該テスト管路
１５を分岐し、その一方の分岐管路１５ａを該分子ポン
プ１０の最大の圧縮比となる該排気口１１に接続し、も
う一方の分岐管路１５ｂを最大圧縮比よりも小さい圧縮
比になる分子ポンプ１０の中間位置に接続し、各分岐管
路にテストバルブ１６ａ、１６ｂを夫々設けて自在に圧
縮比を選択して開閉できるようにした。該テストポート
１４の上流のテスト管路１５には該真空排気系４の排気
バルブ５の上流の真空圧を測定する真空計１７を設け
た。２１は真空チャンバー３の内部圧を測定する真空計
である。
き説明すると、図２に於いて符号１は真空装置、２はヘ
リウムリークディテクターを示し、該真空装置１は、真
空チャンバー３と、その内部を真空に排気するための排
気バルブ５、ターボ分子ポンプ６及びウエットポンプや
ドライポンプ７等の真空ポンプを有する専用の真空排気
系４とで構成した。該真空装置１の真空チャンバー３に
は、スパッタリングや蒸着等の各種の真空処理を施すた
めの基板などの部材を収容し、該真空排気系４を作動さ
せてその真空処理に適した真空状態を該真空チャンバー
３に作り出す。該ヘリウムリークディテクター２はカウ
ンターフロー式のもので、吸気口９に接続した分析管８
の内部を排気する分子ポンプ１０と、該分子ポンプ１０
の排気口１１にフォアバルブ１２を介して接続したフォ
アポンプ１３を備え、テストポート１４から延びるテス
ト管路１５をテストバルブ１６を介して該排気口１１に
接続した構成を有する。同図のものでは、該テスト管路
１５を分岐し、その一方の分岐管路１５ａを該分子ポン
プ１０の最大の圧縮比となる該排気口１１に接続し、も
う一方の分岐管路１５ｂを最大圧縮比よりも小さい圧縮
比になる分子ポンプ１０の中間位置に接続し、各分岐管
路にテストバルブ１６ａ、１６ｂを夫々設けて自在に圧
縮比を選択して開閉できるようにした。該テストポート
１４の上流のテスト管路１５には該真空排気系４の排気
バルブ５の上流の真空圧を測定する真空計１７を設け
た。２１は真空チャンバー３の内部圧を測定する真空計
である。
【００１０】以上の構成は図１に示した従来のものとさ
したる変わりがないが、本発明のものでは上記目的を達
成すべく該テストバルブ１６の上流のテスト管路１５を
バルブを介在させずに直接に該排気バルブ５の上流の真
空排気系４に接続し、該テストバルブ１６を該真空計１
７の検出値が設定圧力を示したとき自動的に開閉作動す
る自動開閉弁で構成し、更に該フォアポンプ１３をメン
ブレンポンプや小型のロータリーポンプなどの排気速度
の小さな小型の真空ポンプで構成した。該真空計１７に
は例えばピラニ真空計が使用され、図示の例では、その
検出値がアンプ１８に設定した値以下になったとき、該
アンプ１８からの電気信号で駆動装置１９が該テストバ
ルブ１６を開くように作動し、検出値がアンプ１８の設
定値以上になると、該テストバルブ１６が閉じる。該テ
ストバルブ１６は２個設けられており、フォアポンプ１
３の種類がドライ系ポンプである場合にはテストバルブ
１６ａを開き、ウエット系ポンプであるときは、分子ポ
ンプ１０で真空装置１へのオイルベーパーの飛散を防ぐ
ようにテストバルブ１６ｂを開く。
したる変わりがないが、本発明のものでは上記目的を達
成すべく該テストバルブ１６の上流のテスト管路１５を
バルブを介在させずに直接に該排気バルブ５の上流の真
空排気系４に接続し、該テストバルブ１６を該真空計１
７の検出値が設定圧力を示したとき自動的に開閉作動す
る自動開閉弁で構成し、更に該フォアポンプ１３をメン
ブレンポンプや小型のロータリーポンプなどの排気速度
の小さな小型の真空ポンプで構成した。該真空計１７に
は例えばピラニ真空計が使用され、図示の例では、その
検出値がアンプ１８に設定した値以下になったとき、該
アンプ１８からの電気信号で駆動装置１９が該テストバ
ルブ１６を開くように作動し、検出値がアンプ１８の設
定値以上になると、該テストバルブ１６が閉じる。該テ
ストバルブ１６は２個設けられており、フォアポンプ１
３の種類がドライ系ポンプである場合にはテストバルブ
１６ａを開き、ウエット系ポンプであるときは、分子ポ
ンプ１０で真空装置１へのオイルベーパーの飛散を防ぐ
ようにテストバルブ１６ｂを開く。
【００１１】図４示の例は、フォアポンプ１３にウエッ
ト系ポンプを使用した場合の例で、該アンプ１８にフォ
アバルブ１２を開閉する駆動装置２０を接続し、該テス
トバルブ１６が開かれると同時に該フォアバルブ１２を
閉じるようにした。
ト系ポンプを使用した場合の例で、該アンプ１８にフォ
アバルブ１２を開閉する駆動装置２０を接続し、該テス
トバルブ１６が開かれると同時に該フォアバルブ１２を
閉じるようにした。
【００１２】該真空装置１の真空チャンバー３のメンテ
ナンスのためにリークテストを行う場合、或いは該真空
装置１を使用してJIS-Z２３３０に規定する真空加圧法
による物品のリークテストを行う場合、真空チャンバー
３内を真空排気系４により真空に排気し、前者の場合は
作業者が該真空チャンバー３の外周に吹き付けたヘリウ
ムが該真空チャンバー３内へ漏れ込むかどうかをヘリウ
ムリークディテクター２にて測定し、後者の場合は予め
ヘリウム雰囲気で加圧しておいた物品からヘリウムが真
空チャンバー３内へ漏れ出すかどうかをヘリウムリーク
ディテクター２で測定する。こうしたテストに際して
は、図２の例では、まず、上記のように真空排気系４に
直接接続した該ヘリウムリークディテクター２のフォア
バルブ１２を開け、分子ポンプ１０及び小型のフォアポ
ンプ１３を作動させて分析管８を計測可能な状態に起動
する。そして排気バルブ５を開け、ターボ分子ポンプ６
やドライポンプ７、ロータリーポンプなどの大きな排気
速度の真空ポンプを駆動して該真空チャンバー３内を真
空に排気する。該真空計１７が真空排気系４の圧力をモ
ニターしており、その検出値が分析管８の作動可能な圧
力になったとき電気信号でテストバルブ１６が開かれテ
スト状態になる。そして、リークが存在したときは、ヘ
リウムがテスト管路１５から分子ポンプ１０をカウンタ
ーフローして分析管８に捕らえられ、リークの存在が確
認される。尚、フォアポンプ１３がドライ系ポンプであ
るときは、テストバルブ１６ａを開き、ウエット系ポン
プであるときはテストバルブ１６ｂが開かれる。
ナンスのためにリークテストを行う場合、或いは該真空
装置１を使用してJIS-Z２３３０に規定する真空加圧法
による物品のリークテストを行う場合、真空チャンバー
３内を真空排気系４により真空に排気し、前者の場合は
作業者が該真空チャンバー３の外周に吹き付けたヘリウ
ムが該真空チャンバー３内へ漏れ込むかどうかをヘリウ
ムリークディテクター２にて測定し、後者の場合は予め
ヘリウム雰囲気で加圧しておいた物品からヘリウムが真
空チャンバー３内へ漏れ出すかどうかをヘリウムリーク
ディテクター２で測定する。こうしたテストに際して
は、図２の例では、まず、上記のように真空排気系４に
直接接続した該ヘリウムリークディテクター２のフォア
バルブ１２を開け、分子ポンプ１０及び小型のフォアポ
ンプ１３を作動させて分析管８を計測可能な状態に起動
する。そして排気バルブ５を開け、ターボ分子ポンプ６
やドライポンプ７、ロータリーポンプなどの大きな排気
速度の真空ポンプを駆動して該真空チャンバー３内を真
空に排気する。該真空計１７が真空排気系４の圧力をモ
ニターしており、その検出値が分析管８の作動可能な圧
力になったとき電気信号でテストバルブ１６が開かれテ
スト状態になる。そして、リークが存在したときは、ヘ
リウムがテスト管路１５から分子ポンプ１０をカウンタ
ーフローして分析管８に捕らえられ、リークの存在が確
認される。尚、フォアポンプ１３がドライ系ポンプであ
るときは、テストバルブ１６ａを開き、ウエット系ポン
プであるときはテストバルブ１６ｂが開かれる。
【００１３】図２及び図３の例はフォアポンプ１３がウ
エット系、ドライ系のいずれでも適用可能であるが、図
４の例は、フォアポンプ１３がウエット系ポンプの場合
に限り適用可能で、フォアバルブ１２をテストバルブ１
６の開弁と同時に閉じることによりそのオイルベーパー
の飛散が防がれる。
エット系、ドライ系のいずれでも適用可能であるが、図
４の例は、フォアポンプ１３がウエット系ポンプの場合
に限り適用可能で、フォアバルブ１２をテストバルブ１
６の開弁と同時に閉じることによりそのオイルベーパー
の飛散が防がれる。
【００１４】図５の例は真空装置１に常設可能なヘリウ
ムリークディテクター２の例で、この場合はフォアポン
プ、フォアバルブ及びテストバルブを設けず、分子ポン
プ１０の排気口１１がテスト管路１５を介して直接に真
空排気系４に接続し、該真空排気系４の作動時には分析
管８にてヘリウムを検出でき、随時リークテストを行え
る。
ムリークディテクター２の例で、この場合はフォアポン
プ、フォアバルブ及びテストバルブを設けず、分子ポン
プ１０の排気口１１がテスト管路１５を介して直接に真
空排気系４に接続し、該真空排気系４の作動時には分析
管８にてヘリウムを検出でき、随時リークテストを行え
る。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、真空
装置専用の真空排気系を備えた真空装置の排気バルブの
上流へヘリウムリークディテクターのテスト管路を直接
に接続し、該真空排気系の圧力を計測する真空計を設け
てその検出値が設定圧力以下になったとき自動開弁する
テストバルブを設け、フォアポンプを分析管内を分析圧
力に排気できる小型の真空ポンプとしたので、複雑な操
作を必要とせずに自動的にリークテストを行え、フォア
ポンプを分析管で測定可能に真空排気できる程度の小型
のポンプとなし得られ、ヘリウムリークディテクターを
小型軽量化でき、仮にロータリーポンプをフォアポンプ
として使用してもオイルベーパーが真空装置へ逆流しな
い効果がある。また、該テスト管路を分岐させて分子ポ
ンプの排気口と中間の圧縮比となる中間位置とに接続す
ることにより、オイルベーパーの影響を発生させずにウ
エット系のフォアポンプを使用でき、請求項５の構成と
することにより、ヘリウムリークディテクターの構成が
簡単になり、真空装置に常設して随時にリークテストを
行える等の効果がある。
装置専用の真空排気系を備えた真空装置の排気バルブの
上流へヘリウムリークディテクターのテスト管路を直接
に接続し、該真空排気系の圧力を計測する真空計を設け
てその検出値が設定圧力以下になったとき自動開弁する
テストバルブを設け、フォアポンプを分析管内を分析圧
力に排気できる小型の真空ポンプとしたので、複雑な操
作を必要とせずに自動的にリークテストを行え、フォア
ポンプを分析管で測定可能に真空排気できる程度の小型
のポンプとなし得られ、ヘリウムリークディテクターを
小型軽量化でき、仮にロータリーポンプをフォアポンプ
として使用してもオイルベーパーが真空装置へ逆流しな
い効果がある。また、該テスト管路を分岐させて分子ポ
ンプの排気口と中間の圧縮比となる中間位置とに接続す
ることにより、オイルベーパーの影響を発生させずにウ
エット系のフォアポンプを使用でき、請求項５の構成と
することにより、ヘリウムリークディテクターの構成が
簡単になり、真空装置に常設して随時にリークテストを
行える等の効果がある。
【図１】従来の真空装置のリークテストの説明図
【図２】本発明の実施の形態の説明図
【図３】本発明の他の実施の形態を示す説明図
【図４】ウエット系のフォアポンプを使用した本発明の
実施の形態の説明図
実施の形態の説明図
【図５】真空装置に常設した本発明の実施の形態を示す
説明図
説明図
１ 真空装置、２ ヘリウムリークディテクター、３
真空チャンバー、４ 真空排気系、５ 排気バルブ、６
ターボ分子ポンプ、７ ドライポンプ、８ 分析管、
９ 吸気口、１０ 分子ポンプ、１１ 排気口、１２
フォアバルブ、１３ フォアポンプ、１４ テストポー
ト、１５ テスト管路、１５ａ・１５ｂ分岐管路、
真空チャンバー、４ 真空排気系、５ 排気バルブ、６
ターボ分子ポンプ、７ ドライポンプ、８ 分析管、
９ 吸気口、１０ 分子ポンプ、１１ 排気口、１２
フォアバルブ、１３ フォアポンプ、１４ テストポー
ト、１５ テスト管路、１５ａ・１５ｂ分岐管路、
Claims (5)
- 【請求項１】真空チャンバーの室内を真空排気する真空
ポンプへ排気バルブを介して連なる真空排気系を備えた
真空装置に、該排気バルブの上流から分析管内を排気す
る分子ポンプとフォアポンプを備えたヘリウムリークデ
ィテクターを接続し、該ヘリウムリークディテクターの
テスト管路に設けたテストバルブを開弁してヘリウムを
該分子ポンプをカウンターフローさせてリークテストす
る装置に於いて、該ヘリウムリークディテクターのテス
トバルブの上流のテスト管路を直接に該排気バルブの上
流の真空排気系に接続し、該真空排気系の圧力を計測す
る真空計を設けると共に該テストバルブを該真空計の検
出値により自動開閉する自動開閉弁で構成し、該フォア
ポンプを該分析管内を分析圧力に排気できる小型の真空
ポンプとしたことを特徴とする真空装置用ヘリウムリー
クディテクター装置。 - 【請求項２】上記真空計を上記テストバルブの上流のテ
スト管路又は真空排気系に設けたことを特徴とする請求
項１に記載の真空装置用ヘリウムリークディテクター。 - 【請求項３】上記分子ポンプとフォアポンプを接続する
管路に上記真空計の検出値により自動開閉するフォアバ
ルブを設けたことを特徴とする請求項１に記載の真空装
置用ヘリウムリークディテクター装置。 - 【請求項４】上記テスト管路を分岐してその各分岐管路
に上記自動開閉弁を夫々介在させ、その一方の分岐管路
の端末を上記分子ポンプの排気側に接続し、もう一方の
分岐管路の端末を該分子ポンプの中間排気口に接続した
ことを特徴とする請求項１に記載の真空装置用ヘリウム
リークディテクター。 - 【請求項５】真空チャンバーの室内を真空排気する真空
ポンプへ排気バルブを介して連なる真空排気系を備えた
真空装置に、該排気バルブの上流から分岐したテスト管
路を設け、該テスト管路の端末をヘリウムリークディテ
クターの分析管内を排気する分子ポンプの排気口に接続
したことを特徴とする真空装置用ヘリウムリークディテ
クター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32155597A JPH11153508A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 真空装置用ヘリウムリークディテクター装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32155597A JPH11153508A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 真空装置用ヘリウムリークディテクター装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11153508A true JPH11153508A (ja) | 1999-06-08 |
Family
ID=18133881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32155597A Pending JPH11153508A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 真空装置用ヘリウムリークディテクター装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11153508A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198865A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| JP2011069834A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-07 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| CN103389187A (zh) * | 2012-05-11 | 2013-11-13 | 中国科学院理化技术研究所 | 低温冷漏检漏的系统及方法 |
| CN105043681A (zh) * | 2015-07-01 | 2015-11-11 | 国网天津市电力公司 | 一种检测凝汽式汽轮机真空系统泄漏的试验方法 |
| CN105181267A (zh) * | 2015-07-17 | 2015-12-23 | 武汉工程大学 | 用于测试螺栓法兰连接系统泄漏率的装置 |
| CN106124135A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-16 | 国家电网公司 | 一种用于检测大型变压器套管端部密封微泄漏的装置及方法 |
| CN106226000A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-12-14 | 中国科学院光电研究院 | 一种真空密封性能测量装置及方法 |
| CN106802218A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-06-06 | 凯盛重工有限公司 | 一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法 |
-
1997
- 1997-11-21 JP JP32155597A patent/JPH11153508A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198865A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| JP2011069834A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-07 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
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| CN105181267A (zh) * | 2015-07-17 | 2015-12-23 | 武汉工程大学 | 用于测试螺栓法兰连接系统泄漏率的装置 |
| CN106226000A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-12-14 | 中国科学院光电研究院 | 一种真空密封性能测量装置及方法 |
| CN106124135A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-16 | 国家电网公司 | 一种用于检测大型变压器套管端部密封微泄漏的装置及方法 |
| CN106802218A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-06-06 | 凯盛重工有限公司 | 一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法 |
| CN106802218B (zh) * | 2017-03-28 | 2023-08-04 | 凯盛重工有限公司 | 一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040527 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050712 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050726 |
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Effective date: 20050922 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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| A02 | Decision of refusal |
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