JP3390506B2 - ガス漏れ検査装置 - Google Patents
ガス漏れ検査装置Info
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- JP3390506B2 JP3390506B2 JP32754493A JP32754493A JP3390506B2 JP 3390506 B2 JP3390506 B2 JP 3390506B2 JP 32754493 A JP32754493 A JP 32754493A JP 32754493 A JP32754493 A JP 32754493A JP 3390506 B2 JP3390506 B2 JP 3390506B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ラジェーター、コンデ
ンサ、気密容器、配管等の密閉性を要求される試験体に
ガスを注入してこれより漏れるガスを検査することによ
り試験体の密閉性を検査するガス漏れ検査装置に関す
る。
ンサ、気密容器、配管等の密閉性を要求される試験体に
ガスを注入してこれより漏れるガスを検査することによ
り試験体の密閉性を検査するガス漏れ検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば気密容器にヘリウムガスを
注入しておき、該気密容器の周囲の気体を収集してこれ
を分析し、ヘリウムガスの存在を判別することにより該
気密容器の漏れを検査することが行なわれている。具体
的には、図１に示すように、ヘリウムガスを注入した気
密容器等の試験体ａの付近や上方の気体を、ピストンポ
ンプ等のガス吸引手段ｂに吸引管路ｃを介して接続した
検査プローブｄにより吸引し、該吸引管路ｃを流れる気
体の一部をバリアブルリークバルブｉを有する分岐回路
ｊを介して抽出し、これを分析管ｅとターボ分子ポンプ
ｆと油回転ポンプ等の粗引ポンプｇとを備えたヘリウム
リークディテクターから成る検査器ｈへ導入することに
より行なわれている。検査器ｈの分析管ｅにより該吸引
された気体中に存在する検査用ガスの濃度が測定され
る。該分析管ｅとしては、ターボ分子ポンプｆを逆拡散
して飛来する気体を熱電子によりイオン化して分析する
公知の磁場偏向型質量分析管が使用されている。
注入しておき、該気密容器の周囲の気体を収集してこれ
を分析し、ヘリウムガスの存在を判別することにより該
気密容器の漏れを検査することが行なわれている。具体
的には、図１に示すように、ヘリウムガスを注入した気
密容器等の試験体ａの付近や上方の気体を、ピストンポ
ンプ等のガス吸引手段ｂに吸引管路ｃを介して接続した
検査プローブｄにより吸引し、該吸引管路ｃを流れる気
体の一部をバリアブルリークバルブｉを有する分岐回路
ｊを介して抽出し、これを分析管ｅとターボ分子ポンプ
ｆと油回転ポンプ等の粗引ポンプｇとを備えたヘリウム
リークディテクターから成る検査器ｈへ導入することに
より行なわれている。検査器ｈの分析管ｅにより該吸引
された気体中に存在する検査用ガスの濃度が測定され
る。該分析管ｅとしては、ターボ分子ポンプｆを逆拡散
して飛来する気体を熱電子によりイオン化して分析する
公知の磁場偏向型質量分析管が使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】該検査プローブｄは試
験体ａから漏れる検査用ガスを大気と共に吸入するの
で、ダストが多い雰囲気で検査を行なうと、吸引管路ｃ
や吸引手段ｂのみならず分岐回路ｊや粗引ポンプｇまで
がダストで汚染されてしまい、特に分岐回路ｊのバリア
ブルリークバルブｉは非常に小さいオリフィスを持つの
で、これがダストによる目詰りを生じると検査器ｈへの
導入量が変化し、そのため検出量も低下してしまう。従
って、この検査装置での検査には、比較的クリーンな環
境が必要になり、ダストの多い環境では装置の耐久性が
損なわれる。
験体ａから漏れる検査用ガスを大気と共に吸入するの
で、ダストが多い雰囲気で検査を行なうと、吸引管路ｃ
や吸引手段ｂのみならず分岐回路ｊや粗引ポンプｇまで
がダストで汚染されてしまい、特に分岐回路ｊのバリア
ブルリークバルブｉは非常に小さいオリフィスを持つの
で、これがダストによる目詰りを生じると検査器ｈへの
導入量が変化し、そのため検出量も低下してしまう。従
って、この検査装置での検査には、比較的クリーンな環
境が必要になり、ダストの多い環境では装置の耐久性が
損なわれる。
【０００４】また、検査ガスは大気により薄められて吸
引管路ｃに吸入されるので、検査器ｈの検出感度は、吸
引管路ｃの吸引量と漏れてくる検査ガスの量によって決
まることになるが、従来の方法では吸引に関する全ての
条件が固定で、検出感度を変更しての測定は出来ない不
便がある。
引管路ｃに吸入されるので、検査器ｈの検出感度は、吸
引管路ｃの吸引量と漏れてくる検査ガスの量によって決
まることになるが、従来の方法では吸引に関する全ての
条件が固定で、検出感度を変更しての測定は出来ない不
便がある。
【０００５】本発明は、分析管を備えたガス漏れ検査装
置をダストの多い環境での長時間の使用に耐え得るよう
に改良し、更に随意に検出感度の変更可能に改良するこ
とを目的とするものである。
置をダストの多い環境での長時間の使用に耐え得るよう
に改良し、更に随意に検出感度の変更可能に改良するこ
とを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、検査用ガス
を注入した試験体から漏れる検査用ガスを、ガス吸引手
段に吸引管路を介して接続した検査プローブにより吸引
し、これにより吸引されたガスの一部を分岐回路を介し
て分析管とターボ分子ポンプと粗引ポンプとを備えた検
査器へ導入して該分析管により該吸引された検査用ガス
の濃度を測定するガス漏れ検査装置に於いて、上記分岐
回路に微小孔を多数備えたフィルターを設けたことによ
り、上記の目的を達成するようにした。
を注入した試験体から漏れる検査用ガスを、ガス吸引手
段に吸引管路を介して接続した検査プローブにより吸引
し、これにより吸引されたガスの一部を分岐回路を介し
て分析管とターボ分子ポンプと粗引ポンプとを備えた検
査器へ導入して該分析管により該吸引された検査用ガス
の濃度を測定するガス漏れ検査装置に於いて、上記分岐
回路に微小孔を多数備えたフィルターを設けたことによ
り、上記の目的を達成するようにした。
【０００７】
【作用】ガス吸引手段、検査器のターボ分子ポンプおよ
び粗引ポンプを作動させ、分析管をＯＮ状態に設定し、
検査プローブでヘリウムガス等の検査用ガスを注入した
試験体の付近の気体を吸引管路内へ吸引してガス吸引手
段を介して外部へ排出する。該試験体に漏れがある場
合、気体と共に検査ガスが該吸引管路に吸引され、その
一部は、分岐回路を介して検査器へ導入され、粗引ポン
プから外部へと排出されることになるが、ヘリウムガス
のように分子径の小さい検査用ガスはターボ分子ポンプ
を通過して分析管内へ拡散し、その濃度が分析される。
こうした作用は従来のものと変わりがないが、本発明に
於いては該検査プローブから該分岐回路の分岐点までの
管路に設けたダスト除去フィルターにより気体中のダス
トを捕獲し、ダストのない気体をガス吸引手段および検
査器に流すから、これらガス吸引手段および検査器が汚
染されることがなく、ガス吸引手段や検査器の耐久性が
向上する。検査中に該ダスト除去フィルターに捕捉され
たダストは、検査終了後に逆送回路装置を作動させてガ
ス吸引手段の排出口から吸引回路を介して検査プローブ
へ気体を逆送することにより検査プローブから外部へ吹
き飛ばされ、次の検査では該ダスト除去フィルターの目
詰りを生じることなく検査ができる。
び粗引ポンプを作動させ、分析管をＯＮ状態に設定し、
検査プローブでヘリウムガス等の検査用ガスを注入した
試験体の付近の気体を吸引管路内へ吸引してガス吸引手
段を介して外部へ排出する。該試験体に漏れがある場
合、気体と共に検査ガスが該吸引管路に吸引され、その
一部は、分岐回路を介して検査器へ導入され、粗引ポン
プから外部へと排出されることになるが、ヘリウムガス
のように分子径の小さい検査用ガスはターボ分子ポンプ
を通過して分析管内へ拡散し、その濃度が分析される。
こうした作用は従来のものと変わりがないが、本発明に
於いては該検査プローブから該分岐回路の分岐点までの
管路に設けたダスト除去フィルターにより気体中のダス
トを捕獲し、ダストのない気体をガス吸引手段および検
査器に流すから、これらガス吸引手段および検査器が汚
染されることがなく、ガス吸引手段や検査器の耐久性が
向上する。検査中に該ダスト除去フィルターに捕捉され
たダストは、検査終了後に逆送回路装置を作動させてガ
ス吸引手段の排出口から吸引回路を介して検査プローブ
へ気体を逆送することにより検査プローブから外部へ吹
き飛ばされ、次の検査では該ダスト除去フィルターの目
詰りを生じることなく検査ができる。
【０００８】検査器への分岐回路は比較的少量の気体を
流して吸引管路よりも高真空に維持する必要があるが、
該分岐回路に微小孔を多数有する膜のようなフィルター
を設けておくことにより、ダストが該検査器に侵入する
ことを阻止すると同時に検査中の高真空を維持すること
ができる。また、吸引管路の吸引流量を少なくするよう
に流量可変手段を操作すれば、検査用ガスと共に吸引さ
れる大気の量が少なくなって検出感度を高め得られ、試
験体のガス漏れ状況に応じて検査レベルを変更し広い感
度範囲で検査を行なえる。
流して吸引管路よりも高真空に維持する必要があるが、
該分岐回路に微小孔を多数有する膜のようなフィルター
を設けておくことにより、ダストが該検査器に侵入する
ことを阻止すると同時に検査中の高真空を維持すること
ができる。また、吸引管路の吸引流量を少なくするよう
に流量可変手段を操作すれば、検査用ガスと共に吸引さ
れる大気の量が少なくなって検出感度を高め得られ、試
験体のガス漏れ状況に応じて検査レベルを変更し広い感
度範囲で検査を行なえる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づき説明すると、
図２に於いて符号１は、ラジェーター、コンデンサ、気
密容器、配管等の密閉性を要求される試験体を示し、こ
れに希ガス主としてヘリウムガスの検査用ガスを注入し
て該試験体１の漏れが検査装置２で検査される。該検査
装置２は、試験体１から漏れる検査用ガスを吸引するた
めのピストンポンプ等の真空ポンプから成るガス吸引手
段３に吸引管路４を介して接続した検査プローブ５と、
該検査プローブ５で吸引されたガスの一部を抽出して検
査器６へと導入する分岐回路７を備え、該検査器６を、
該分岐回路７を１０- 3Torr程度の比較的高真空に排気
する油回転ポンプ等の粗引ポンプ８と、該分岐回路７に
背圧側を接続したターボ分子ポンプ９と、該ターボ分子
ポンプ９のフォア側に接続した分析管１０とで構成し、
この構成は従来のヘリウムリークディテクターの構成と
略同様である。該分析管１０としては、前記したよう
な、ターボ分子ポンプ９を逆拡散して飛来する気体をフ
ィラメントから飛び出す熱電子によりイオン化して分析
する公知の磁場偏向型質量分析管が使用され、該フィラ
メントをＯＦＦにするとイオンコレクターには、測定す
べきイオンが入らないため電気的な零点となり、ＯＮに
すると質量分析により測定するＨｅイオンが入ってくる
ため測定の零点となるもので、このＯＮとＯＦＦのとき
の差は、試験体より漏れるＨｅガスと大気を吸い込むた
め、試験体より検査プローブを離しておけば、大気中の
５ppm のヘリウムガスを測定していることになり、この
ときの指示を記録しておけば、検査時のガス濃度は、検
査時の指示と５ppm の指示との比例計算によって求める
ことができ、模擬的な濃度ガスを用意しなくても、濃度
に対する感度較正が行なえる。
図２に於いて符号１は、ラジェーター、コンデンサ、気
密容器、配管等の密閉性を要求される試験体を示し、こ
れに希ガス主としてヘリウムガスの検査用ガスを注入し
て該試験体１の漏れが検査装置２で検査される。該検査
装置２は、試験体１から漏れる検査用ガスを吸引するた
めのピストンポンプ等の真空ポンプから成るガス吸引手
段３に吸引管路４を介して接続した検査プローブ５と、
該検査プローブ５で吸引されたガスの一部を抽出して検
査器６へと導入する分岐回路７を備え、該検査器６を、
該分岐回路７を１０- 3Torr程度の比較的高真空に排気
する油回転ポンプ等の粗引ポンプ８と、該分岐回路７に
背圧側を接続したターボ分子ポンプ９と、該ターボ分子
ポンプ９のフォア側に接続した分析管１０とで構成し、
この構成は従来のヘリウムリークディテクターの構成と
略同様である。該分析管１０としては、前記したよう
な、ターボ分子ポンプ９を逆拡散して飛来する気体をフ
ィラメントから飛び出す熱電子によりイオン化して分析
する公知の磁場偏向型質量分析管が使用され、該フィラ
メントをＯＦＦにするとイオンコレクターには、測定す
べきイオンが入らないため電気的な零点となり、ＯＮに
すると質量分析により測定するＨｅイオンが入ってくる
ため測定の零点となるもので、このＯＮとＯＦＦのとき
の差は、試験体より漏れるＨｅガスと大気を吸い込むた
め、試験体より検査プローブを離しておけば、大気中の
５ppm のヘリウムガスを測定していることになり、この
ときの指示を記録しておけば、検査時のガス濃度は、検
査時の指示と５ppm の指示との比例計算によって求める
ことができ、模擬的な濃度ガスを用意しなくても、濃度
に対する感度較正が行なえる。
【００１０】こうした構成は従来のガス漏れ検査装置も
備えるところであるが、本発明では、該検査プローブ５
から分岐回路７の分岐点までの吸引管路４にダスト除去
フィルター１１を介在させ、検査プローブ５から検査ガ
ス等と共に吸引されるダストを除去するようにした。図
示の場合、検査プローブ５の内部に焼結フィルターのダ
スト除去フィルター１１ａを設け、これと分岐点までの
途中の２箇所に１００μｍのダスト除去フィルター１１
ｂと５μｍのダスト除去フィルター１１ｃを順次介在さ
せ、３段階にダストの捕獲を行ない、ダストの多い雰囲
気であっても吸引管路４、ガス吸引手段３、分岐回路７
および検査器６にダストが侵入して装置の耐久性が損な
われることを防止した。各ダスト除去フィルターはカー
トリッジ式に各位置に取付け、その交換を容易に行なえ
るようにした。２７は吸引管路４の流量を検出する流量
計で、これの信号によりダスト除去フィルター１１の交
換や洗浄の時期を検知できるようにした。
備えるところであるが、本発明では、該検査プローブ５
から分岐回路７の分岐点までの吸引管路４にダスト除去
フィルター１１を介在させ、検査プローブ５から検査ガ
ス等と共に吸引されるダストを除去するようにした。図
示の場合、検査プローブ５の内部に焼結フィルターのダ
スト除去フィルター１１ａを設け、これと分岐点までの
途中の２箇所に１００μｍのダスト除去フィルター１１
ｂと５μｍのダスト除去フィルター１１ｃを順次介在さ
せ、３段階にダストの捕獲を行ない、ダストの多い雰囲
気であっても吸引管路４、ガス吸引手段３、分岐回路７
および検査器６にダストが侵入して装置の耐久性が損な
われることを防止した。各ダスト除去フィルターはカー
トリッジ式に各位置に取付け、その交換を容易に行なえ
るようにした。２７は吸引管路４の流量を検出する流量
計で、これの信号によりダスト除去フィルター１１の交
換や洗浄の時期を検知できるようにした。
【００１１】また、該ガス吸引手段３を複数台例えば１
０l/min の排気能力を有する２台のピストンポンプ等の
真空ポンプ３ａ、３ｂにて構成し、これに逆送回路装置
１２を設けて該真空ポンプ３ａ、３ｂから検査プローブ
５へ吸引管路４を逆方向に気体を送れるようにした。吸
引管路４で通常の吸引作動を行なうために、吸引管路４
を一方の真空ポンプ３ａの吸気口に接続すると共に該吸
引管路４を接続管路１４により分岐してこれをもう一方
の真空ポンプ３ｂの吸気口へ接続し、各ポンプ３ａ、３
ｂの排気口に排気回路１７、１８を接続して外部へ例え
ば２０l/min の気体放出が行なわれるが、吸引管路４に
気体を逆送するための逆送回路装置１２として、接続回
路１４の分岐点よりも前方の吸引管路４に設けたフィル
ターを備えた外部開放口EXT を有する３方電磁弁１３
と、各排気回路１７、１８に設けた前記電磁弁１３と同
様のフィルターを備えた外部開放口EXT を有する３方電
磁弁１５、１６と、これら排気回路の電磁弁１５、１６
の１つのポートを前記電磁弁１３の前方の吸引管路４へ
接続する逆送回路１９、２０とを設けた。更に、一方の
真空ポンプ３ａの排気回路１７の途中に２方向の電磁弁
２１を設けると共に接続回路１４の途中に３方向電磁弁
２２を設け、該電磁弁２１の前方の排気回路１７から分
岐した直列回路２３を３方向電磁弁２２のポートに接続
して流量可変手段２４を構成させ、これにより吸引管路
４の流量を可変できるようにした。
０l/min の排気能力を有する２台のピストンポンプ等の
真空ポンプ３ａ、３ｂにて構成し、これに逆送回路装置
１２を設けて該真空ポンプ３ａ、３ｂから検査プローブ
５へ吸引管路４を逆方向に気体を送れるようにした。吸
引管路４で通常の吸引作動を行なうために、吸引管路４
を一方の真空ポンプ３ａの吸気口に接続すると共に該吸
引管路４を接続管路１４により分岐してこれをもう一方
の真空ポンプ３ｂの吸気口へ接続し、各ポンプ３ａ、３
ｂの排気口に排気回路１７、１８を接続して外部へ例え
ば２０l/min の気体放出が行なわれるが、吸引管路４に
気体を逆送するための逆送回路装置１２として、接続回
路１４の分岐点よりも前方の吸引管路４に設けたフィル
ターを備えた外部開放口EXT を有する３方電磁弁１３
と、各排気回路１７、１８に設けた前記電磁弁１３と同
様のフィルターを備えた外部開放口EXT を有する３方電
磁弁１５、１６と、これら排気回路の電磁弁１５、１６
の１つのポートを前記電磁弁１３の前方の吸引管路４へ
接続する逆送回路１９、２０とを設けた。更に、一方の
真空ポンプ３ａの排気回路１７の途中に２方向の電磁弁
２１を設けると共に接続回路１４の途中に３方向電磁弁
２２を設け、該電磁弁２１の前方の排気回路１７から分
岐した直列回路２３を３方向電磁弁２２のポートに接続
して流量可変手段２４を構成させ、これにより吸引管路
４の流量を可変できるようにした。
【００１２】検査プローブ５により試験体１から検査用
ガスの漏れを検査する場合、吸引管路４のガスは、電磁
弁１３を介して一方の真空ポンプ３ａに吸引されると同
時に、接続回路１４を介してもう一方の真空ポンプ３ｂ
にも吸引され、各ポンプ３ａ、３ｂの排気口から夫々電
磁弁１５、１６を介して排気回路１７、１８から外部へ
排気される。この場合、２台の真空ポンプ３ａ、３ｂが
並列に吸引管路４のガスを吸引するので多くの流量が該
管路４を流れる。検査がダストの多い雰囲気で行なわれ
る場合には該検査プローブ５から気体と共にダストが吸
い込まれ、ダスト除去フィルター１１でこれは除去され
るが、該フィルター１１の交換までの時間を長くするた
め該逆送装置１２を作動させ、該吸引管路４に気体を逆
送して該フィルター１１で捕獲したダストを検査プロー
ブ５から吐き出させる。この場合、電磁弁１３を外部開
放口が真空ポンプ３ａ、３ｂの吸気口につながるように
操作し、真空ポンプ３ａ、３ｂの排気口が逆送回路１
９、２０を介して吸引管路４につながるように排気回路
１７、１８の電磁弁１５、１６を操作する。これによ
り、各真空ポンプ３ａ、３ｂは、電磁弁１３の外部開放
口からフィルターを介して導入された大気を排気回路１
７、１８および逆送回路１９、２０を介して吸引管路４
に送り込み、該吸引管路４を逆流する大気に伴われて主
に多量のダストが付着するダスト除去フィルター１１ａ
のダストが検査プローブ５から外部へ放出されてクリー
ニングされる。更に、真空ポンプ３ａ、３ｂの２台で吸
引する通常の状態では、検査プローブ５に吸引される大
気の量が多いため検査器６の検出感度が比較的低いが、
これを高めて測定することが要望される場合には、流量
可変手段２４を構成する２方向電磁弁２１を閉じると共
に接続回路１４の電磁弁２２を操作して直列回路２３を
真空ポンプ３ｂの吸気口に接続する。これにより、２台
の真空ポンプ３ａ、３ｂは直列接続の状態となり、吸引
管路４で吸引される流量は真空ポンプ１台分の量の例え
ば１０l/min に減少し、検査用ガスの吸引に伴い混入す
る大気の量が少なくなるので、検出感度が高まり、検査
器６の感度範囲を広げることができる。
ガスの漏れを検査する場合、吸引管路４のガスは、電磁
弁１３を介して一方の真空ポンプ３ａに吸引されると同
時に、接続回路１４を介してもう一方の真空ポンプ３ｂ
にも吸引され、各ポンプ３ａ、３ｂの排気口から夫々電
磁弁１５、１６を介して排気回路１７、１８から外部へ
排気される。この場合、２台の真空ポンプ３ａ、３ｂが
並列に吸引管路４のガスを吸引するので多くの流量が該
管路４を流れる。検査がダストの多い雰囲気で行なわれ
る場合には該検査プローブ５から気体と共にダストが吸
い込まれ、ダスト除去フィルター１１でこれは除去され
るが、該フィルター１１の交換までの時間を長くするた
め該逆送装置１２を作動させ、該吸引管路４に気体を逆
送して該フィルター１１で捕獲したダストを検査プロー
ブ５から吐き出させる。この場合、電磁弁１３を外部開
放口が真空ポンプ３ａ、３ｂの吸気口につながるように
操作し、真空ポンプ３ａ、３ｂの排気口が逆送回路１
９、２０を介して吸引管路４につながるように排気回路
１７、１８の電磁弁１５、１６を操作する。これによ
り、各真空ポンプ３ａ、３ｂは、電磁弁１３の外部開放
口からフィルターを介して導入された大気を排気回路１
７、１８および逆送回路１９、２０を介して吸引管路４
に送り込み、該吸引管路４を逆流する大気に伴われて主
に多量のダストが付着するダスト除去フィルター１１ａ
のダストが検査プローブ５から外部へ放出されてクリー
ニングされる。更に、真空ポンプ３ａ、３ｂの２台で吸
引する通常の状態では、検査プローブ５に吸引される大
気の量が多いため検査器６の検出感度が比較的低いが、
これを高めて測定することが要望される場合には、流量
可変手段２４を構成する２方向電磁弁２１を閉じると共
に接続回路１４の電磁弁２２を操作して直列回路２３を
真空ポンプ３ｂの吸気口に接続する。これにより、２台
の真空ポンプ３ａ、３ｂは直列接続の状態となり、吸引
管路４で吸引される流量は真空ポンプ１台分の量の例え
ば１０l/min に減少し、検査用ガスの吸引に伴い混入す
る大気の量が少なくなるので、検出感度が高まり、検査
器６の感度範囲を広げることができる。
【００１３】該検査器６への分岐回路７は、検査用ガス
の一部を検査器６に導入するために吸引管路４よりも低
圧に維持する必要があり、そのために従来はバリアブル
リークバルブを分岐回路に設けていたが、このバルブの
弁開口面積は極めて微小なものとせざるを得ず、ダスト
により詰る危険があるので、本発明では、該分岐回路７
の先端入口に、検査用ガスを透過させる微小孔を多数備
えた膜等の多孔面を有するマイクロセパレータのフィル
ター２５を図３のように設け、該フィルター２５により
吸引管路４よりも分岐回路７の圧力を低く維持し且つ検
査用ガスを分岐回路７に導入するようにし、比較的面積
を大きく取れる多孔面の通過抵抗でその高真空を維持す
るので、多少ともダストが付着してもバルブのようにダ
ストで目詰りすることがなくなる。該フィルター２５
は、微小な孔が無数に開いた材料を使用することが望ま
しく、例えば石英ガラス製マルチキャピラリーが使用さ
れ、図示の例では、ヘリウムガスを透過しうる多孔膜の
フィルター２５を吸引管路４に接続される２つのポート
２６ａ、２６ａを設けた押さえフランジ２６ｂと、検査
器接続口２６ｃを設けた押さえフランジ２６ｂの間にＯ
リング２６ｅで気密に押さえて取付け、その前面を押さ
えるようにメッシュ２６ｆを設けるようにし、一方のポ
ート２６ａから導入されて該フィルター２５に衝突した
ガスの一部が検査器６に導入されて分析される。実際に
は大気圧と１０Paの差圧が該フィルター２５により得ら
れるよう設計した。
の一部を検査器６に導入するために吸引管路４よりも低
圧に維持する必要があり、そのために従来はバリアブル
リークバルブを分岐回路に設けていたが、このバルブの
弁開口面積は極めて微小なものとせざるを得ず、ダスト
により詰る危険があるので、本発明では、該分岐回路７
の先端入口に、検査用ガスを透過させる微小孔を多数備
えた膜等の多孔面を有するマイクロセパレータのフィル
ター２５を図３のように設け、該フィルター２５により
吸引管路４よりも分岐回路７の圧力を低く維持し且つ検
査用ガスを分岐回路７に導入するようにし、比較的面積
を大きく取れる多孔面の通過抵抗でその高真空を維持す
るので、多少ともダストが付着してもバルブのようにダ
ストで目詰りすることがなくなる。該フィルター２５
は、微小な孔が無数に開いた材料を使用することが望ま
しく、例えば石英ガラス製マルチキャピラリーが使用さ
れ、図示の例では、ヘリウムガスを透過しうる多孔膜の
フィルター２５を吸引管路４に接続される２つのポート
２６ａ、２６ａを設けた押さえフランジ２６ｂと、検査
器接続口２６ｃを設けた押さえフランジ２６ｂの間にＯ
リング２６ｅで気密に押さえて取付け、その前面を押さ
えるようにメッシュ２６ｆを設けるようにし、一方のポ
ート２６ａから導入されて該フィルター２５に衝突した
ガスの一部が検査器６に導入されて分析される。実際に
は大気圧と１０Paの差圧が該フィルター２５により得ら
れるよう設計した。
【００１４】尚、本発明の装置の検査プローブ５を簡易
な真空チャンバーに接続し、その内部に内部圧力を増減
できない例えばガソリンタンクのような薄物製の試験体
を収め、該試験体の内部にヘリウムガスを注入してお
き、該試験体の内外に微量な差圧を作ってその漏れ検査
を行なうことにも使用できる。
な真空チャンバーに接続し、その内部に内部圧力を増減
できない例えばガソリンタンクのような薄物製の試験体
を収め、該試験体の内部にヘリウムガスを注入してお
き、該試験体の内外に微量な差圧を作ってその漏れ検査
を行なうことにも使用できる。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、検査
用ガスを注入した試験体から漏れる検査用ガスを、ガス
吸引手段に吸引管路を介して接続した検査プローブによ
り吸引し、これにより吸引されたガスの一部を分岐回路
を介して分析管とターボ分子ポンプと粗引ポンプとを備
えた検査器へ導入して該分析管により該吸引された検査
用ガスの濃度を測定するガス漏れ検査装置に於いて、上
記分岐回路に微小孔を多数備えたフィルターを設けたこ
とにより、検査用ガスがこのフィルターの微小孔を通過
する際の通過抵抗（圧力損失）で吸引管路側よりも低圧
に維持して検査用ガスの通過流量を調整することができ
るので、従来のバリアブルリークバルブを用いた場合の
ようにダストによって目詰まりを生じさせることなくガ
ス漏れ検査を行うことができる。
用ガスを注入した試験体から漏れる検査用ガスを、ガス
吸引手段に吸引管路を介して接続した検査プローブによ
り吸引し、これにより吸引されたガスの一部を分岐回路
を介して分析管とターボ分子ポンプと粗引ポンプとを備
えた検査器へ導入して該分析管により該吸引された検査
用ガスの濃度を測定するガス漏れ検査装置に於いて、上
記分岐回路に微小孔を多数備えたフィルターを設けたこ
とにより、検査用ガスがこのフィルターの微小孔を通過
する際の通過抵抗（圧力損失）で吸引管路側よりも低圧
に維持して検査用ガスの通過流量を調整することができ
るので、従来のバリアブルリークバルブを用いた場合の
ようにダストによって目詰まりを生じさせることなくガ
ス漏れ検査を行うことができる。
【図１】 従来例の線図
【図２】 本発明の実施例の線図
【図３】 図２の要部の拡大断面図
１ 試験体 ３ ガス吸引手段 ３ａ、
３ｂ 真空ポンプ ４ 吸引管路 ５ 検査プローブ ６ 検
査器 ７ 分岐回路 ８ 粗引ポンプ ９ タ
ーボ分子ポンプ １０ 分析管 １１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ ダ
スト除去フィルター １２ 逆送回路装置 ２４ 流量可変手段 ２５ 多孔面を有するフィルター ２７
流量計
３ｂ 真空ポンプ ４ 吸引管路 ５ 検査プローブ ６ 検
査器 ７ 分岐回路 ８ 粗引ポンプ ９ タ
ーボ分子ポンプ １０ 分析管 １１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ ダ
スト除去フィルター １２ 逆送回路装置 ２４ 流量可変手段 ２５ 多孔面を有するフィルター ２７
流量計
Claims (5)
- 【請求項１】 検査用ガスを注入した試験体から漏れる
検査用ガスを、ガス吸引手段に吸引管路を介して接続し
た検査プローブにより吸引し、これにより吸引されたガ
スの一部を分岐回路を介して分析管とターボ分子ポンプ
と粗引ポンプとを備えた検査器へ導入して該分析管によ
り該吸引された検査用ガスの濃度を測定するガス漏れ検
査装置に於いて、上記分岐回路に微小孔を多数備えたフ
ィルターを設けたことを特徴とするガス漏れ検査装置。 - 【請求項２】 上記ガス吸引手段の吸気口を外部へ解放
すると共に該ガス吸引手段の排出口を上記吸引管路に接
続して検査プローブへ気体を逆送する逆送回路装置を設
けたことを特徴とする請求項１に記載のガス漏れ検査装
置。 - 【請求項３】 上記ガス吸引手段は上記検査器に於いて
検出する検査用ガスの濃度レベルに応じてその吸引量を
変化させる流量可変手段を有することを特徴とする請求
項１又は２に記載のガス漏れ検査装置。 - 【請求項４】 上記ガス吸引手段として複数台の真空ポ
ンプを設け、上記流量可変手段をこれらの真空ポンプを
直列と並列に切換えする切換え接続装置で構成したこと
を特徴とする請求項３に記載のガス漏れ検査装置。 - 【請求項５】 上記吸引管路にこれを流れる流量を検出
する流量計を設けたことを特徴とする請求項１、２、３
又は４に記載のガス漏れ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32754493A JP3390506B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ガス漏れ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32754493A JP3390506B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ガス漏れ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07181099A JPH07181099A (ja) | 1995-07-18 |
| JP3390506B2 true JP3390506B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=18200266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32754493A Expired - Lifetime JP3390506B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ガス漏れ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3390506B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100906785B1 (ko) * | 2007-08-13 | 2009-07-09 | 한국중부발전(주) | 가스누출 감지시스템 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19846799A1 (de) * | 1998-10-10 | 2000-04-13 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher |
| DE102006056215A1 (de) * | 2006-11-29 | 2008-06-05 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksuchgerät |
| DE102010033373A1 (de) * | 2010-08-04 | 2012-02-09 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
| IT201900006918A1 (it) * | 2019-05-16 | 2020-11-16 | Ft System Srl | Metodo ed apparato per la rivelazione di fughe da contenitori sigillati |
| FR3121749B1 (fr) * | 2021-04-13 | 2023-10-13 | Pfeiffer Vacuum | Système de détection de fuites perfectionné par reniflage |
| FR3121750B1 (fr) * | 2021-04-13 | 2023-10-13 | Pfeiffer Vacuum | Système de détection de fuites perfectionné par aspersion |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP32754493A patent/JP3390506B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100906785B1 (ko) * | 2007-08-13 | 2009-07-09 | 한국중부발전(주) | 가스누출 감지시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07181099A (ja) | 1995-07-18 |
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