TWI581305B - 檢測污染位置的設備、檢測污染位置的方法及電腦可讀取記錄媒體 - Google Patents

Description

檢測污染位置的設備、檢測污染位置的方法及電腦可讀取記錄媒體

本發明係關於一種用於檢測污染位置的設備及方法，能夠藉由量測預定空間之污染等級而檢測污染位置。

潔淨室(clean room)為進行半導體製造製程等之地點。取決於潔淨度將潔淨室分為若干級別，該潔淨度藉由每單位面積存在之粒子的數目而判定，該粒子具有預定大小，且應經由精確量測頻繁識別污染源，以便始終維持及管理潔淨室中之潔淨度的預定等級。

因此，應識別及頻繁量測可影響潔淨度之重要部分，且應能夠藉由定時量測潔淨室中的若干地點而預測意外情況。在潔淨室中，不斷維持及管理溫度、濕度及壓力，以及藉由分析粒子而識別潔淨度為重要的。

通常而言，在半導體製造儀器潔淨室中，使用粒子量測設備以在潔淨室的過濾器上進行滲漏試驗，且量測潔淨室的內部粒子。然而，在安裝提供於潔淨室之天花板上的過濾器後，該過濾器由於內部變化及外部變化而受損，使得該過濾器之過濾功能減退。

因此，需要在過濾器上進行滲漏試驗，以便驗證穩定潔淨室之安全及半導體裝置的可靠性之安全。滲漏試驗在以下方案中進行：掃描過濾器表面，同時維持自過濾器下端之預定距離，且量測存在於自該過濾器所排出的空氣中之粒子的數目。

然而，由於進行各種半導體製程之潔淨室具有非常廣闊之空間，故藉由在特定點處安裝感測器而量測污染等級的方法不適用於量測廣闊空間中的污染等級。

在藉由在特定點處安裝感測器而量測濃度的方法中，由於僅量測特定點處的濃度，故難以代表廣闊空間中的濃度。在安裝若干感測器以便解決此難題之情況下，覆蓋廣闊空間的經濟負擔過度增加。

已設計在一個量測儀器中形成複數個取樣埠且量測該複數個取樣埠中之濃度的技術，以便解決此難題。然而，由於藉由一個量測儀器順序地量測複數個取樣埠中的 濃度，故缺點為花費時間極長。

已提出本發明以便解決如上述之難題。本發明之目標為提供一種用於檢測污染位置的設備及方法，該設備及該方法能夠藉由以下來有效監測廣闊空間中之污染等級，該設備包括複數個取樣埠，該複數個取樣埠經提供以使量測自空間中之若干點所吸入之空氣，且在自該複數個取樣埠所吸入之空氣的平均污染等級超出預定範圍之情況下，量測自各別取樣埠或已集合之一些取樣埠所吸入之空氣的污染等級。

在一個一般態樣中，一種用於檢測待量測之空間中的污染位置的設備包括：複數個取樣埠100，其經提供以使自待量測之空間中的若干點而吸入空氣；吸入管200，其連接至各別取樣埠100；第一控制閥410，其安裝於吸入管200上；混合零件500，其連接至吸入管200的末端部，以收集所吸入之空氣及將所吸入之空氣彼此混合；檢測零件600，其量測空氣之污染等級，該空氣穿過混合零件500且隨後引入至該檢測零件中；以及控制零件，其控制各別部件，其中該控制零件進行控制以開啟所有第一控制閥410，藉此允許量測自複數個取樣埠100所吸入之空氣的 平均污染等級，或進行控制以開啟第一控制閥410中的一些第一控制閥並關閉第一控制閥410中的其他第一控制閥，藉此允許量測自複數個取樣埠100中的一些取樣埠所吸入之空氣的平均污染等級。

在自取樣埠100所吸入之空氣之平均污染等級超出預定範圍之情況下，控制零件可進行控制，以僅逐一順序開啟第一控制閥410，且進行控制以允許量測經由吸入管200所吸入之空氣之污染等級，該吸入管連接至所開啟之第一控制閥410。

可將複數個取樣埠100安裝於一個空間中，或可將複數個取樣埠100分別安裝於複數個單獨空間中。

用於檢測污染位置的設備可進一步包括安裝於吸入管200上的第一流動速率調節零件810，且可進一步包括連接至混合零件500的真空泵830，該真空泵施加負壓力以使自取樣埠100吸入空氣。

用於檢測污染位置的設備可進一步包括第二流動速率調節零件820，該第二流動速率調節零件設置於混合零件500與真空泵830之間。

混合零件500可具有管狀，在該混合零件中，每一連 接至吸入管200的末端部的管彼此合併為一個管，或該混合零件可具有包括單獨混合構件的混合小室形式。

在另一一般態樣中，一種用於使用檢測污染位置的設備來檢測污染位置的方法，該設備包括：複數個取樣埠100，其經提供以使自待量測之空間中的若干點吸入空氣；吸入管200，其連接至各別取樣埠100；第一控制閥410，其安裝於吸入管200上；混合零件500，其連接至吸入管200的末端部，以收集所吸入之空氣及將所吸入之空氣彼此混合；檢測零件600，其量測空氣之污染等級，該空氣穿過混合零件500且隨後引入至該檢測零件中；以及控制零件，其控制各別部件，該方法包括：a)開啟提供於吸入管200上的所有第一控制閥410；b)藉由檢測零件600量測所引入之空氣之平均污染等級；c)在藉由檢測零件600所量測的平均污染等級超出預定範圍之情況下關閉第一控制閥410中的一些第一控制閥；d)藉由檢測零件600再次量測所引入之空氣之污染等級，且當所量測污染等級為針對預定量測時間分段之預定參考值或更小時，判斷在對應取樣埠100中不存在滲漏，該空氣係自對應取樣埠引入；以及e)重複步驟c)及d)以檢測存在滲漏之取樣埠100。

當所量測污染等級小於步驟d)中的預定量測時間分段之初始分段中的預定參考值時，可縮短量測時間分段。

用於檢測污染位置的方法可進一步包括在步驟e)後，定期量測存在滲漏的取樣埠之污染等級。

在又一一般態樣中，一種用於使用檢測污染位置的設備來檢測污染位置的方法，該設備包括：複數個取樣埠100，其經提供以使自待量測之空間中的若干點吸入空氣；吸入管200，其連接至各別取樣埠100；第一控制閥410，其安裝於吸入管200上；混合零件500，其連接至吸入管200的末端部，以收集所吸入之空氣及將所吸入之空氣彼此混合；檢測零件600，其量測空氣之污染等級，該空氣穿過混合零件500且隨後引入至該檢測零件中；以及控制零件，其控制各別部件，該方法包括：a)將取樣埠100集合為複數個組群；b)同時開啟屬於組群中之任一者的取樣埠100的第一控制閥410，且關閉屬於其他組群的取樣埠100的所有第一控制閥410；c)量測經由所開啟第一控制閥410自對應取樣埠100所引入空氣的平均污染等級，且當平均污染等級為預定參考值或更小時，判斷對應組群之取樣埠100中不存在滲漏；d)對所有組群順序地重複步驟b)及c)，以判斷屬於組群的取樣埠100中存在滲漏，針對該等取樣埠的平均污染等級變得大於預定參考值，且在屬於該組群的存在滲漏之取樣埠100上順序地進行污染等級試驗；以及e)經由步驟d)以檢測存在滲漏的取樣埠100。

在又一一般態樣中，一種用於使用檢測污染位置的包括複數個取樣埠100的設備來檢測污染位置的方法包括：a)將取樣埠100集合為複數個組群；b)量測吸入至屬於組群中之任一者的取樣埠100中之空氣的平均污染等級，且當該平均污染等級為參考值或更小時，判斷對應組群之取樣埠100中不存在滲漏；c)對所有組群順序地重複步驟b)，以判斷屬於組群的取樣埠100中存在滲漏，針對該複數個取樣埠的平均污染等級變得大於參考值，且在屬於該組群的存在滲漏之取樣埠100上順序地進行污染等級試驗；以及d)經由步驟c)以檢測存在滲漏的取樣埠100。

在又一一般態樣中，一種用於使用檢測污染位置的包括複數個取樣埠100的設備來檢測污染位置的方法包括：a)量測吸入至複數個取樣埠100中之空氣的平均污染等級，且當平均污染等級為參考值或更小時，判斷該複數個取樣埠100中不存在滲漏；b)當平均污染等級大於步驟a)中之參考值時，判斷取樣埠100中之任一者中存在滲漏，且在各別取樣埠100上順序地進行污染等級試驗；以及c)經由步驟b)以檢測存在滲漏的取樣埠100，其中在各別取樣埠100上的污染等級試驗之進行中，當所量測污染等級為針對預定量測時間分段之預定參考值或更小時，判斷在對應取樣埠100中不存在滲漏，且當所量測污染等級 小於預定量測時間分段之初始分段中的預定參考值時，將量測時間進一步分段縮短，並進行污染等級試驗。

在又一一般態樣中，一種用於使用檢測污染位置的包括複數個取樣埠100的設備來檢測污染位置的方法包括：a)量測吸入至複數個取樣埠100中之空氣的平均污染等級，且當平均污染等級為參考值或更小時，判斷該複數個取樣埠100中不存在滲漏；b)當平均污染等級變得大於步驟a)中之參考值時，判斷複數個取樣埠100中之任一者中存在滲漏，且在各別取樣埠100上順序地進行污染等級試驗；c)經由步驟b)以檢測存在滲漏的取樣埠100；以及d)定期量測自存在滲漏的取樣埠100所吸入之空氣的污染等級，該滲漏在步驟c)中檢測。

在又一態樣中，可將實行上文所描述之用於檢測污染位置的方法的(電腦)程式儲存於電腦可讀取記錄媒體中，或可將該程式以記錄媒體形式安裝於上文所描述之用於檢測污染位置的設備中，以允許實行上文所描述之用於檢測污染位置的方法。

在本發明中，可有效監測廣闊空間中的污染等級。

此外，在本發明中，將若干取樣埠設置於廣闊空間 中，且管理待量測之空間中的平均污染等級，藉此使在發生事件時迅速檢測污染源成為可能。

亦即，在本發明中，管理取樣埠所安裝之區域中之污染等級的平均資料，藉此使使用一個設備管理廣闊空間中的污染等級成為可能。此外，藉由特定次序順序掃描或個別地掃描各別取樣埠的濃度，以便在平均污染等級升高時識別污染源，藉此使迅速檢測污染區域成為可能。

在本發明中，迅速的空間污染等級產生捕獲及污染位置捕獲為可能的，使用一個量測儀器(檢測零件)，藉此使消除量測儀器之間的誤差成為可能，且相比於使用若干量測儀器的現有方案，可顯著降低成本。

1‧‧‧用於檢測污染位置的設備

100‧‧‧取樣埠

200‧‧‧吸入管

210‧‧‧第一吸入管

220‧‧‧第二吸入管

230‧‧‧第三吸入管

240‧‧‧第四吸入管

300‧‧‧支管

310‧‧‧第一支管

320‧‧‧第二支管

330‧‧‧第三支管

340‧‧‧第四支管

410‧‧‧第一控制閥

420‧‧‧第二控制閥

500‧‧‧混合零件

600‧‧‧檢測零件

810‧‧‧第一流動速率調節零件

820‧‧‧第二流動速率調節零件

830‧‧‧真空泵

831‧‧‧排出管

圖1為例示各自安裝在根據本發明之用於檢測污染位置的設備的吸入管及支管中之兩通閥(2-way valves)的概念圖。

圖2為例示安裝於根據本發明之用於檢測污染位置的設備的吸入管中之三通閥的概念圖。

圖3為例示包括於根據本發明的用於檢測污染位置的設備中之排出管的概念圖。

圖4為例示包括於根據本發明之用於檢測污染位置的設備的混合零件與排出管之間的真空泵及第二流動速率調節零件的概念圖。

圖5為例示安裝於根據本發明之用於檢測污染位置的設備之吸入管中之僅每一者的一個兩通閥的概念圖。

圖6為例示包括於混合零件與排出管之間的第二流動速率調節零件及真空泵的概念圖。

下文中，將參照隨附圖式詳細描述根據本發明之用於檢測污染位置以量測污染等級的設備和方法。

首先，已設計根據本發明之用於檢測污染位置的設備1，尤其以便有效量測甚至在廣闊空間中的污染等級，該設備用以量測待量測之空間中的污染等級。

圖1為例示各自安裝在根據本發明之用於檢測污染位置的設備的吸入管及支管中之兩通閥的概念圖。

如圖1中所例示，根據本發明之用於檢測污染位置的設備1經配置以包括取樣埠100、吸入管200、支管300、 混合零件500、檢測零件600以及控制零件(未例示)。

取樣埠100之數目為複數個，該複數個取樣埠自待量測之空間中的若干點吸入空氣。

此處，在根據本發明之用於檢測污染位置的設備1中，可將複數個取樣埠100安裝於一個潔淨室空間中或可將每一取樣埠安裝於潔淨室中的複數個單獨空間中。

當藉助於舉例方式描述半導體潔淨室時，在根據本發明之用於檢測污染位置的設備1中，可將複數個取樣埠100安裝在若干點處，以便識別一個潔淨室中之哪一點暴露於污染。

此外，當根據本發明之用於檢測污染位置的設備1將使用一個儀器量測若干半導體潔淨室之污染等級時，亦可將取樣埠100分別安裝於潔淨室中。

吸入管200為連接至取樣埠100的管，且可藉由安裝於吸入管200上的第一控制閥410而調節氣流。

吸入管200之數目對應於取樣埠100之數目，且第一控制閥410之數目亦對應於取樣埠100之數目。

如另一實例，如圖2中所例示，第一控制閥410為共同控制複數個吸入管200的電磁閥，且可設置於混合零件500的前端處。圖2為例示安裝於根據本發明之用於檢測污染位置的設備的吸入管中之三通閥的概念圖。

支管300為自吸入管200分岔的管，且可藉由安裝於支管300上的第二控制閥420而調節氣流。

吸入管200及支管300為兩個通道，經由一個取樣埠100所吸入的空氣流動穿過該等兩個通道，且取決於第一控制閥410及第二控制閥420的開啟及關閉操作而判定空氣是否流動。

此處，較佳為第一控制閥410及第二控制閥420為電磁閥，以使該第一控制閥及該第二控制閥容易受控制。

此外，第二控制閥420可為設置於吸入管200之一點上的三通閥，支管300自該吸入管分岔，如圖2中所例示，或第二控制閥420可為如圖1中所例示之兩通閥。

混合零件500連接至吸入管200及支管300的末端部，以自複數個取樣埠100收集所吸入之空氣且將所吸入之空氣彼此混合。混合零件500可具有(在該混合零件中)每一連接至複數個吸入管200及支管300的末端部的管彼 此合併為一個管。

如另一實例，混合零件500可為混合小室，該混合小室包括諸如攪拌器之單獨混合構件。此外，只要混合零件500可將自複數個吸入管200或支管300所吸入的空氣彼此均勻混合，則可多樣地更改混合零件500。

檢測零件600為量測穿過混合零件500且隨後引入該檢測零件之空氣的污染等級的構件，該檢測零件可包括泵，該泵設置於該檢測零件中，以便吸入空氣，或在該檢測零件中未設置泵之情況下，該檢測零件可包括單獨泵，該單獨泵附接至該檢測零件。

此處，可取決於待量測之污染源或量測方法而使用適當種類的儀器，作為檢測零件600。

控制零件進行控制用於檢測污染位置的設備1的各別部件之操作。

尤其而言，在本發明中，控制零件同時開啟複數個第一控制閥410，以允許檢測零件600允許量測自複數個取樣埠100所吸入之空氣的平均污染等級。

在自複數個取樣埠100所吸入之空氣的平均污染等級 超出預定範圍之情況下，控制零件關閉第一控制閥410且順序逐一開啟複數個第二控制閥420或開啟複數個第二控制閥420中的一些第二控制閥，以允許量測自一些取樣埠100所吸入之空氣的污染等級。該一些取樣埠對應於所開啟之第二控制閥420。

如圖1中所例示，根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1可包括第一流動速率調節零件810，該等第一流動速率調節零件提供於吸入管200上且調節所吸入之空氣的流動速率。

根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1藉由開啟所有複數個吸入管200而吸入空氣，以便量測平均污染等級。在此情況下，相比於藉由開啟僅一個支管300而吸入空氣之情況，需減少通過各別吸入管200所吸入之空氣的量。因此，在根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1中，可經由第一流動速率調節零件810以調節通過各別吸入管200所吸入之空氣的量。

也就是說，在根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1中，由於應不斷保持可吸入及可在檢測零件600中量測之樣本量，故作出調節，以使經由一個吸入管200而引入可吸入空氣的所有量之僅1/N(此處，N表 示取樣埠100的數目)。

因此，當根據本發明之用於檢測污染位置的設備1量測平均污染等級時，可藉由吸入管200中的流動速率組經由第一流動速率調節零件810而自各別點吸入空氣。

此外，根據本發明之用於檢測污染位置的設備1可包括真空泵830，該真空泵連接至混合零件500且施加負壓，以使自取樣埠100吸入空氣。

真空泵830用於在檢測零件600之吸入流速度緩慢的情況下，針對快速反應迅速吸入各別取樣埠100的空氣。在根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1中，經由取樣埠100中之每一者所吸入之空氣的流動速率極小，空氣的流動速度可為極緩慢的。因此，較佳為用於檢測污染位置的設備1包括真空泵830，該真空泵用於迅速吸入及分析空氣之目的。

根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1可進一步包括排出管831，該排出管連接至真空泵830後端，如圖3中所例示，且該設備可進一步包括第二流動速率調節零件820，該第二流動速率調節零件設置於混合零件500與真空泵830之間。圖3為例示包括於根據本發明的用於檢測污染位置的設備中之排出管的概念圖。

因此，根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1可藉由反映精確濃度而有效監測廣闊空間中的污染等級。

如上述，由於經由取樣埠100所吸入之空氣的流動速率為以lpm為單位之少量，故根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1可允許除需吸入至檢測零件600中之空氣量外的剩餘樣本空氣經由排出管831排出，而非藉由增大經由每一取樣埠100所吸入之空氣的流動速率而提高到達混合零件500之空氣的流動速度。

亦即，根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1藉由真空泵830吸入高流動速率，藉此使以下成為可能：壓製吸入管200及支管300中空氣的吸附，且允許藉由檢測零件600迅速及精確地量測污染等級。

一種根據本發明的示範性實施例之具有上述配置及特徵的監測方法，該方法使用根據本發明的用於檢測污染位置的設備1，該方法可包括：a)開啟提供於複數個吸入管200上的所有第一控制閥410，且關閉所有第二控制閥420；b)藉由檢測零件600量測經由吸入管200所引入空氣的平均污染等級；c)在所量測平均污染等級超出預定範圍之情況下關閉所有第一控制閥410；以及d)逐一順序開 啟第二控制閥420以個別地量測自各別取樣埠100所吸入之空氣的污染等級。

亦即，在根據本發明的示範性實施例之監測方法中，在未檢測出特定事件(異常污染等級)之情況下，開啟所有第一控制閥410以經由複數個取樣埠100吸入空氣，藉此藉由檢測零件600以量測平均污染等級。

此外，在發生特定事件之情況下，關閉所有第一控制閥410且逐一順序開啟第二控制閥420，以使藉由檢測零件600以個別地量測自各別取樣埠100所吸入之空氣的污染等級。

圖4為例示包括於根據本發明之用於檢測污染位置的設備的混合零件與排出管之間的真空泵及第二流動速率調節零件的概念圖。

將描述在圖4中所例示之根據本發明的示範性實施例的監測方法，該方法使用根據本發明的用於檢測污染位置的設備1。首先，為說明方便起見自左，支管300將稱作第一支管310、第二支管320、第三支管330以及第四支管340，且吸入管200將稱作第一吸入管210、第二吸入管220、第三吸入管230以及第四吸入管240。

在未發生事件之情況下，在根據本發明之用於檢測污染位置的設備1中，開啟第一吸入管210、第二吸入管220、第三吸入管230以及第四吸入管240上的第一控制閥410，且關閉第一支管310、第二支管320、第三支管330以及第四支管340上的第二控制閥420。

當操作真空泵830及檢測零件600中的泵時，空氣經由取樣埠100沿第一吸入管210、第二吸入管220、第三吸入管230以及第四吸入管240到達混合零件500，且在混合零件500中彼此混合的空氣中的一些經引入至檢測零件600中，以使量測空氣的污染等級，且將其他空氣經由排出管831排出。

此處，經由第一吸入管210、第二吸入管220、第三吸入管230以及第四吸入管240中之每一者吸入約5lpm的空氣，且將為所吸入流動速率之總和的20lpm中之僅2lpm引入至檢測零件600，且將該2lpm用以量測平均污染等級，並將剩餘18lpm經由排出管831排出。

當如上文所描述般量測之平均污染等級超出預定範圍時，關閉所有第一控制閥410，且僅開啟第一支管310上的第二控制閥420。

經由第一支管310吸入20lpm之空氣，僅將21lpm 之空氣引入至檢測零件600中，且將該21plm之空氣用以量測污染等級，並將剩餘18lpm經由排出管831排出。

隨後，順序開啟第二支管320上的第二控制閥420、第三支管330以及第四支管340，以使個別地量測所吸入之空氣的污染等級，藉此分析污染源係經由哪一取樣埠100引入。

此外，在根據本發明的示範性實施例之監測方法中，個別地量測經由第一支管310、第二支管320、第三支管330以及第四支管340所吸入之空氣的污染等級，且在預定時間點開啟第一吸入管210、第二吸入管220、第三吸入管230以及第四吸入管240上的第一控制閥410，並關閉第一支管310、第二支管320、第三支管330以及第四支管340上的第二控制閥420，藉此使量測平均污染等級成為可能。

亦即，在本發明中，可多樣地選擇且根據需要使用共同量測經由各別取樣埠100之平均污染等級的模式以及量測每一特定點處污染等級的模式。

此外，根據本發明的另一示範性實施例之方法包括：a)開啟提供於複數個吸入管200上的所有第一控制閥410，且關閉所有第二控制閥420；b)藉由檢測零件600 量測經由吸入管200所引入空氣的平均污染等級；c)在所量測平均污染等級超出預定範圍之情況下關閉所有第一控制閥410；d)取決於預定次序而開啟第二控制閥420中之一些第二控制閥，以量測自對應取樣埠100所吸入之空氣的平均污染等級；以及e)在於步驟d)中所量測之平均污染等級超出預定範圍之情況下，關閉所開啟第二控制閥420中之一些第二控制閥以量測自取樣埠100所吸入之空氣的污染等級，且在於d)中所量測之平均污染等級未超出預定範圍之情況下，關閉所開啟第二控制閥420並開啟所關閉第二控制閥420，以量測自取樣埠100所吸入之空氣的污染等級。

亦即，在根據本發明的另一示範性實施例之方法中，在未發生特定事件之情況下，開啟所有第一控制閥410以經由複數個取樣埠100吸入空氣，藉此藉由檢測零件600以量測平均污染等級。

此外，在發生特定事件之情況下，關閉所有第一控制閥410且開啟第二控制閥420中之一些第二控制閥，以使藉由檢測零件600以量測經由對應取樣埠100所吸入之空氣的平均污染等級。

將更詳細地描述根據本發明的另一示範性實施例之方法。在根據本發明的另一示範性實施例之方法中，使用 與在根據本發明的示範性實施例之監測方法中所使用之設備相同的設備1，在未發生特定事件之情況下，開啟第一吸入管210、第二吸入管220、第三吸入管230以及第四吸入管240上的第一控制閥410，且關閉第一支管310、第二支管320、第三支管330以及第四支管340上的第二控制閥420。

此外，當操作真空泵830及檢測零件600中的泵時，空氣沿第一吸入管210、第二吸入管220、第三吸入管230以及第四吸入管240到達混合零件500，且在混合零件500中彼此混合的空氣中的一些經引入至檢測零件600中，以使量測空氣的污染等級，且將其他空氣經由排出管831排出。

此處，經由第一吸入管210、第二吸入管220、第三吸入管230以及第四吸入管240中之每一者吸入約5lpm的空氣，且將為所吸入流動速率之總和的20lpm中之僅2lpm引入至檢測零件600中，且將該2lpm用以量測平均污染等級，並將剩餘18lpm經由排出管831排出。

當如上文所描述般量測之平均污染等級超出預定範圍時，關閉所有第一控制閥410。迄今之過程與第一實例之過程相同。

隨後，並非開啟所有第二控制閥420，而僅開啟第二控制閥420中之一些第二控制閥。例如，開啟第一支管310、第二支管320、第三支管330以及第四支管340上的第二控制閥420之中的在第一支管310及第二支管320上的第二控制閥420，且關閉第三支管330及第四支管340上的第二控制閥420。在此情況下，經由第一支管310及第二支管320吸入空氣，以使藉由檢測零件600量測平均污染等級。

此外，當藉由檢測零件600所量測的平均污染等級超出預定範圍時，關閉第一支管310及第二支管320上的第二控制閥420之在第二支管320上的第二控制閥420，且第一支管310的第二控制閥420保持處於開啟的狀態。經由第一支管310吸入空氣，以使藉由檢測零件600量測污染等級。此處，當藉由檢測零件600所量測的污染等級未超出預定範圍時，關閉第一支管310上的第二控制閥420，且開啟第二支管320上的第二控制閥420，以使量測所吸入之空氣的污染等級。

另一方面而言，當在開啟第一支管310及第二支管320上的第二控制閥420的狀態下，藉由檢測零件600所量測的平均污染等級未超出預定範圍時，關閉第一支管310及第二支管320上的所開啟第二控制閥420，且開啟第三支管330及第四支管340上的第二控制閥420。隨 後，關閉第三支管330及第四支管340上的所開啟第二控制閥420的在第四支管340上的第二控制閥420，且第三支管330上的第二控制閥420保持處於開啟的狀態。經由第三支管330吸入空氣，以使藉由檢測零件600量測污染等級。此處，當藉由檢測零件600所量測的污染等級未超出預定範圍時，關閉第三支管330上的第二控制閥420，且開啟第四支管340上的第二控制閥420，以使量測所吸入之空氣的污染等級。

根據本發明的另一示範性實施例之方法可具有的優點為，當支管數目為複數時，迅速檢測待量測之空間中的污染點。

儘管在上述示範性實施例中安裝用於一個取樣埠100的兩個閥，但亦可安裝用於一個取樣埠100的一個兩通閥。

圖5為例示安裝於根據本發明之用於檢測污染位置的設備之吸入管中之僅每一者中的一個兩通閥的概念圖。

在圖5中所例示之用於檢測污染位置的設備包括取樣埠100、吸入管200、混合零件500、檢測零件600以及控制零件(未例示)。

第一流動速率調節零件810及第一控制閥410分別安裝於第一吸入管210至第四吸入管240中。可改變第一流動速率調節零件810及第一控制閥410的次序。

控制零件可控制各別第一流動速率調節零件810及各別第一控制閥410，以調節自各別取樣埠100所引入之空氣的量。

例如，為自僅第一吸入管210吸入空氣，開啟第一吸入管210的第一控制閥410，且關閉其他第二吸入管220至第四吸入管240的所有第一控制閥410。此外，為吸入第一吸入管210及第三吸入管230的空氣，開啟第一吸入管210的第一控制閥410及第三吸入管230的第一控制閥410，且關閉其他第二吸入管220及第四吸入管240的第一控制閥410。為吸入所有第一吸入管210至第四吸入管240的空氣，開啟所有第一吸入管210至第四吸入管240的第一控制閥410。

此外，當自若干吸入管200吸入空氣時，控制各別吸入管200的第一流動速率調節零件810，藉此使調節自各別吸入管200所引入空氣之比率成為可能。

此外，可亦在圖5中所例示之用於檢測污染位置的設備1中安裝排出管831，且可將第二流動速率調節零件820 及真空泵830安裝於混合零件500與排出管831之間。

圖6為例示包括於混合零件與排出管之間的第二流動速率調節零件及真空泵的概念圖。

在圖6中所例示之用於檢測污染位置的設備1中，可將第二流動速率調節零件820及真空泵830安裝於混合零件500與排出管831之間。

在圖6中所例示之用於檢測污染位置的設備1中，可經由排出管831而排出除需吸入至檢測零件600中之空氣量外的剩餘樣本空氣，而非藉由增大經由每一取樣埠100所吸入之空氣的流動速率而增加到達混合零件500之空氣的流動速度。

亦即，根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1藉由真空泵830吸入高流動速率，藉此使以下成為可能：壓製吸入管200及支管300中空氣的吸附，且允許藉由檢測零件600迅速及精確地量測污染等級。

此外，在圖5中所例示之用於檢測污染位置的設備1中，亦可將第二流動速率調節零件及真空泵安裝於混合零件500與檢測零件600之間。

安裝於混合零件500與檢測零件600之間的第二流動速率調節零件及真空泵用來調節引入至檢測零件600中的空氣的量。

可在三個模式下操作根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備1，該等模式諸如整合模式、掃描模式以及滲漏模式。

整合模式為藉由自若干取樣埠所吸入之空氣而管理平均污染等級的模式。在此模式下，當平均污染等級小於預定值時，判斷不存在污染物滲漏。

掃描模式為在判斷平均污染等級超出預定參考值之情況下，藉由量測自各別取樣埠所引入空氣的污染等級而檢測存在滲漏之取樣埠的模式。

滲漏模式為在檢測存在滲漏之取樣埠後對存在滲漏之取樣埠進行連續取樣的模式。

當藉由量測自各別取樣埠所引入空氣的污染等級而檢測存在滲漏的取樣埠時，在已量測預定量測時間分段之污染等級為預定參考值或更小之情況下，判斷所選定取樣埠100中不存在滲漏。此處，由於所量測污染等級變得小於預定參考值，故可進一步縮短預定量測時間分段。

例如，當判斷不存在滲漏時，在已量測五秒之污染等級為10或更小之情況下，可判斷在當已量測開頭兩秒之污染等級為5或更小時，滲漏可能性非常低。因此，可在僅兩秒或三秒內停止污染等級之量測，而不連續進行五秒。

在所量測污染等級變得小於預定參考值時進一步縮短預定量測時間分段的功能可稱為加速功能。作為實驗結果，與未使用加速功能之情況相比，在使用加速功能之情況下，掃描速度增加80%或更多。

此外，在整合模式下，可自所有取樣埠引入空氣。替代而言，在將取樣埠集合為複數個上級組群後，可順序量測針對各別上級組群的污染等級。例如，在存在百個取樣埠之情況下，將該百個取樣埠集合為各包括十個取樣埠的十個上級組群，且順序量測該十個上級組群的污染等級。當檢測到上級組群的污染等級為參考值或更大時，順序量測屬於該上級組群的取樣埠的污染等級，藉此使檢測產生滲漏的取樣埠成為可能。

在判斷滲漏存在於屬於特定上級組群之取樣埠中之一者中，以順序檢測屬於特定上級組群的取樣埠之污染等級之情況下，可將屬於特定上級組群的取樣埠集合為若干 下級組群，且可順序檢測該若干下級組群的污染等級。

此外，當集合取樣埠時，屬於各別組群的取樣埠之數目未必彼此相同，而是如有必要可彼此不同。例如，屬於任何組群的取樣埠的數目可為五，屬於另一組群的取樣埠的數目可為三，且屬於又一組群的取樣埠的數目可為一。

此外，當將取樣埠集合為若干組群時，藉由若干基準以將取樣埠集合為若干組群。然而，當將污染等級量測為類似值處的點之取樣埠集合為同一組群時，可更迅速及更精確地檢測滲漏。

例如，當第一取樣埠至第六取樣埠的污染等級分別為20、21、10、9、8以及1時，可將第一取樣埠及第二取樣埠集合為一個組群，可將第三取樣埠至第五取樣埠集合為另一組群，且可將第六取樣埠集合為又一組群。

藉由在根據本發明之用於檢測污染位置的設備中安裝程式(或電腦程式)以實行根據本發明的示範性實施例之方法。亦即，根據本發明之用於檢測污染位置的設備包括記憶體，該程式儲存於該記憶體中。將實行根據本發明之用於檢測污染位置的方法的程式儲存於記憶體(電腦可讀取記錄媒體)中，以允許根據本發明之用於檢測污染位置的設備實行根據本發明之用於檢測污染位置的方法。

因此，在根據本發明的示範性實施例之用於檢測污染位置的設備及方法中，複數個取樣埠100經提供以使量測自空間中的若干點所吸入的空氣、量測自複數個取樣埠100所吸入之空氣的平均污染等級、以及在所量測平均污染等級超出預定範圍之情況下個別地或部分地量測自取樣埠100所吸入之空氣的污染等級。因此，可有效監測廣闊空間中的污染等級。

此外，在本發明中，在廣闊空間中設置若干取樣埠100，且管理待量測之空間中的平均污染等級，藉此使在滲漏產生於特定點處之情況下迅速檢測污染位置成為可能。

亦即，在本發明中，管理取樣埠100所安裝之區域中的污染等級之平均資料，藉此使使用一個設備管理廣闊空間中的污染等級成為可能，且順序掃描或藉由特定次序個別地掃描各別取樣埠的濃度，以便在平均污染等級升高時識別污染源，藉此使迅速檢測污染區域成為可能。

因此，在本發明中，迅速的空間污染等級產生捕獲及污染位置檢測為可能的，使用一個量測儀器(檢測零件600)，藉此使消除量測儀器之間的誤差成為可能，且相比於使用若干量測儀器的現有方案，可顯著降低成本。

本發明不限於上述示範性實施例，而是可多樣地應用，且可在不脫離本發明之在申請專利範圍中所主張之要旨的情況下由本發明有關之熟習此項技術者多樣地變更。

1‧‧‧用於檢測污染位置的設備

100‧‧‧取樣埠

200‧‧‧吸入管

210‧‧‧第一吸入管

220‧‧‧第二吸入管

230‧‧‧第三吸入管

240‧‧‧第四吸入管

300‧‧‧支管

310‧‧‧第一支管

320‧‧‧第二支管

330‧‧‧第三支管

340‧‧‧第四支管

410‧‧‧第一控制閥

420‧‧‧第二控制閥

500‧‧‧混合零件

600‧‧‧檢測零件

810‧‧‧第一流動速率調節零件

Claims (15)

1. 一種用於檢測污染位置的設備，該污染位置在待量測之一空間中，前述用於檢測污染位置的設備包含：複數個取樣埠(100)，其經提供以使自待量測之前述空間中的若干點而吸入空氣；複數個吸入管(200)，其連接至各別取樣埠(100)；複數個第一控制閥(410)，其安裝於前述複數個吸入管(200)上；一混合零件(500)，其連接至前述複數個吸入管(200)的末端部，以收集所吸入之前述空氣及將所吸入之前述空氣彼此混合；一檢測零件(600)，其量測前述空氣之一污染等級，前述空氣穿過前述混合零件(500)且隨後引入至前述檢測零件中；以及一控制零件，其控制前述各別部件；前述控制零件進行一控制以開啟所有前述複數個第一控制閥(410)，藉此允許量測自前述複數個取樣埠(100)所吸入之前述空氣的一平均污染等級，或進行一控制以開啟前述複數個第一控制閥(410)中之一些第一控制閥且關閉前述第一控制閥(410)中之其他第一控制閥，從而允許量測自前述複數個取樣埠(100)中的一些取樣埠所吸入之空氣的一平均污染等級。
2. 如請求項1所記載之用於檢測污染位置的設備，其中在自前述複數個取樣埠(100)所吸入之前述空氣的前述平均污染等級超出一預定範圍之情況下，前述控制零件進行一控制，以僅逐一順序開啟前述複數個第一控制閥(410)，且進行一控制，以允許量測經由一吸入管(200)所吸入之空氣之一污染等級，前述吸入管連接至前述所開啟之第一控制閥(410)。
3. 如請求項1所記載之用於檢測污染位置的設備，其中前述複數個取樣埠(100)安裝於一個空間中或分別安裝於複數個單獨空間中。
4. 如請求項1所記載之用於檢測污染位置的設備，其中前述用於檢測污染位置的設備進一步包含複數個第一流動速率調節零件(810)，前述複數個第一流動速率調節零件安裝於前述複數個吸入管(200)上。
5. 如請求項1所記載之用於檢測污染位置的設備，其中前述用於檢測污染位置的設備進一步包含一真空泵(830)，前述真空泵連接至前述混合零件(500)且施加負壓，以使自前述複數個取樣埠(100)吸入前述空氣。
6. 如請求項5所記載之用於檢測污染位置的設備，其中前述用於檢測污染位置的設備進一步包含一第二流動速率調節零件(820)，前述第二流動速率調節零件設置於前述混合零件(500)與前述真空泵(830)之間。
7. 如請求項1所記載之用於檢測污染位置的設備，其中前述混合零件(500)具有一管狀，在前述混合零件中， 各自連接至前述複數個吸入管(200)之前述末端部的管彼此合併為一個管，或具有一混合小室形式，前述混合小室形式包括一單獨混合構件。
8. 一種用於檢測污染位置的方法，其係使用檢測污染位置的設備以檢測污染位置，前述檢測污染位置的設備包括：複數個取樣埠(100)，其經提供以使自待量測之一空間中的若干點而吸入空氣；複數個吸入管(200)，其連接至各別取樣埠(100)；複數個第一控制閥(410)，其安裝於前述複數個吸入管(200)上；一混合零件(500)，其連接至前述複數個吸入管(200)的末端部，以收集所吸入之前述空氣及將所吸入之前述空氣彼此混合；一檢測零件(600)，其量測前述空氣之一污染等級，前述空氣穿過前述混合零件(500)且隨後引入至前述檢測零件中；以及一控制零件，其控制前述各別部件；前述用於檢測污染位置的方法包含以下步驟：a)開啟提供於前述複數個吸入管(200)上的所有前述複數個第一控制閥(410)；b)藉由前述檢測零件(600)而量測所引入之空氣之一平均污染等級；c)在藉由前述檢測零件(600)所量測的前述平均污染等級超出一預定範圍之情況下關閉前述複數個第一控制閥(410)中的一些第一控制閥；d)藉由前述檢測零件(600)再次量測所引入之空 氣之一污染等級，且當前述所量測污染等級為針對一預定量測時間分段之一預定參考值或更小時，判斷在一對應取樣埠(100)中不存在一滲漏，前述空氣係自前述對應取樣埠引入；以及e)重複前述步驟c)及d)以檢測存在前述滲漏之一取樣埠(100)。
9. 如請求項8所記載之用於檢測污染位置的方法，其中當前述所量測污染等級小於前述步驟d)中的前述預定量測時間分段之一初始分段中的前述預定參考值時，將前述量測時間分段縮短。
10. 如請求項8所記載之用於檢測污染位置的方法，其中前述用於檢測污染位置的方法進一步包含，在前述步驟e)後，定期量測存在前述滲漏的前述取樣埠之一污染等級。
11. 一種用於使用檢測污染位置的設備以檢測污染位置的方法，前述檢測污染位置的設備包括：複數個取樣埠(100)，其經提供以使自待量測之一空間中的若干點而吸入空氣；複數個吸入管(200)，其連接至各別取樣埠(100)；複數個第一控制閥(410)，其安裝於前述複數個吸入管(200)上；一混合零件(500)，其連接至前述複數個吸入管(200)的末端部，以收集所吸入之前述空氣及將所吸入之前述空氣彼此混合；一檢測零件(600)，其量測前述空氣之一污染等級，前述空氣穿過前述混合 零件(500)且隨後引入至前述檢測零件中；以及一控制零件，其控制前述各別部件；前述檢測污染位置的方法包含以下步驟：a)將前述複數個取樣埠(100)集合為複數個組群；b)同時開啟屬於前述組群中之任一者的取樣埠(100)的第一控制閥(410)，且關閉屬於前述其他組群的取樣埠(100)的所有第一控制閥(410)；c)量測經由前述所開啟第一控制閥(410)自對應取樣埠(100)所引入之空氣的一平均污染等級，且當前述平均污染等級為一預定參考值或更小時，判斷前述對應組群之取樣埠(100)中不存在一滲漏；d)對所有前述組群順序地重複前述步驟b)及c)，以判斷屬於一組群的取樣埠(100)中存在前述滲漏，針對前述取樣埠的平均污染等級變得大於前述預定參考值，且在屬於前述組群的存在前述滲漏之前述取樣埠(100)上順序地進行一污染等級試驗；以及e)經由前述步驟d)以檢測存在前述滲漏的取樣埠(100)。
12. 一種用於使用檢測污染位置的設備以檢測污染位置的方法，前述檢測污染位置的設備包括複數個取樣埠(100)；前述檢測污染位置的方法包含以下步驟：a)將前述複數個取樣埠(100)集合為複數個組群；b)量測吸入至屬於前述組群中之任一者的取樣 埠(100)中之空氣的一平均污染等級，且當前述平均污染等級為一參考值或更小時，判斷前述對應組群之取樣埠(100)中不存在一滲漏；c)對所有前述組群順序地重複前述步驟b)，以判斷屬於一組群的取樣埠(100)中存在前述滲漏，針對前述取樣埠的平均污染等級變得大於前述參考值，且在屬於前述組群的存在前述滲漏之前述取樣埠(100)上順序地進行一污染等級試驗；以及d)經由前述步驟c)以檢測存在前述滲漏的取樣埠(100)。
13. 一種用於使用檢測污染位置的設備以檢測污染位置的方法，前述檢測污染位置的設備包括複數個取樣埠(100)，前述檢測污染位置的方法包含：a)量測吸入至前述複數個取樣埠(100)中之空氣的一平均污染等級，且當前述平均污染等級為一參考值或更小時，判斷前述複數個取樣埠(100)中不存在一滲漏；b)當前述平均污染等級大於前述步驟a)中之前述參考值時，判斷前述複數個取樣埠(100)中之任一者中存在前述滲漏，且在各別取樣埠(100)上順序地進行一污染等級試驗；以及c)經由前述步驟b)以檢測存在前述滲漏的取樣埠(100)；在前述各別取樣埠(100)上的前述污染等級試驗 之前述進行中，當一所量測污染等級為針對一預定量測時間分段之一預定參考值或更小時，判斷在一對應取樣埠(100)中不存在前述滲漏，且當前述所量測污染等級小於前述預定量測時間分段之一初始分段中的前述預定參考值時，將前述量測時間分段縮短，並進行前述污染等級試驗。
14. 一種用於使用檢測污染位置的設備以檢測污染位置的方法，前述檢測污染位置的設備包括複數個取樣埠(100)；前述檢測污染位置的方法包含以下步驟：a)量測吸入至前述複數個取樣埠(100)中之空氣的一平均污染等級，且當前述平均污染等級為一參考值或更小時，判斷前述複數個取樣埠(100)中不存在一滲漏；b)當前述平均污染等級變得大於前述步驟a)中之前述參考值時，判斷前述複數個取樣埠(100)中之任一者中存在前述滲漏，且在各別取樣埠(100)上順序地進行一污染等級試驗；c)經由前述步驟b)以檢測存在前述滲漏的取樣埠(100)；以及d)定期量測自存在前述滲漏的前述取樣埠(100)所吸入之空氣的一污染等級，前述滲漏在前述步驟c)中檢測。
15. 一種將程式記錄於其中的電腦可讀取記錄媒體，前述程式允許在一設備中實行請求項8至請求項14中任一項所記載之用於使用檢測污染位置的設備以檢測污染位置的方法。