KR100269945B1 - 매니폴드 및 이를 이용한 에어파티클 모니터링 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제로 카운팅 및 레이저 클리닝 작용이 상시적으로 이루어질 수 있도록 하는 매니폴드 및 이를 이용한 에어 파티클 모니터링 시스템에 관한 것으로, 그 구성은 파티클 프로우브들을 거쳐 유입되는 파티클을 수집하기 위한 복수개의 수집관들을 갖는 매니폴드와, 상기 매니폴드로부터 배출되는 상기 파티클의 광학적 크기를 카운팅하여 소정의 펄스신호로 변환하는 카운터와, 상기 카운터로부터 출력되는 펄스신호를 디스플레이하는 모니터를 포함하는 에어 파티클 모니터링 시스템에 있어서, 상기 매니폴드의 소정부위에는 상기 수집관들중 어느 하나와 연통된 퍼지필터가 설치되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에서는 매니폴드에 소정의 클리닝 기능을 갖는 퍼지수단이 고정·설치됨으로써, 시스템을 해체시키지 않고도 제로 카운팅을 지속적으로 실시할 수 있다.

Description

매니폴드 및 이를 이용한 에어 파티클 모니터링 시스템{manifold and Air particle monitoring system using it}

본 발명은 에어 파티클 모니터링 시스템(Air Particle monitoring system)에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 매니폴드(Manifold)에 구비된 복수개의 샘플링(Sampling) 인입단 중 어느 하나에 소정의 퍼지(Purge) 기능을 갖는 필터링 유니트 (Filtering Unit)를 설치하고, 이를 통해 제로 카운팅(Zero counting) 및 레이저 클리닝(Laser cleaning) 작용이 상시적으로 이루어질 수 있도록 하는 매니폴드 및 이를 이용한 에어 파티클 모니터링 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 에어 파티클 모니터링 시스템은 제조라인내에 부유하고 있는 파티클을 측정하기 위한 설비인 바, 통상의 반도체 제조라인내에는 이러한 에어 파티클 모니터링 시스템이 다수 구비되며, 작업자는 이를 통해 제조라인 내부의 오염정도를 적절히 조절하고 있다.

즉, 작업자는 상술한 모니터링 시스템을 통해 제조라인내에 상존 하는 파티클을 일정 샘플링 양으로 흡입하여 레이저와 같은 광원을 통해 분석함으로써, 제조라인내에 상존 하는 파티클의 광학적 크기 및 개수를 실 시간적으로 측정·관리하고 있다.

도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 기술에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템을 개략적으로 도시한 블록도이고, 도 2는 이에 구비된 매니폴드의 형상을 개략적으로 도시한 단면도이다.

먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 제품이 생산되는 각각의 제조라인(미도시)내에는 소정의 파티클을 포함하고 있는 에어를 샘플링하기 위한 파티클 프로우브(Particle probe:1)가 개별적으로 분산되어 배치되며, 이러한 파티클 프로우브(1)를 통해 포집된 에어는 각각의 파티클 프로우브(1)와 연통된 샘플링관(2)을 통해 이동하여 매니폴드(3)로 취합된다.

이때, 도 2에 도시된 바와 같이, 매니폴드(3)에는 복수개의 인포트(In-port:31) 및 이에 대응되는 복수개의 수집관(33)이 구비되며, 각각의 수집관(33)들은 구비된 조인트링(Joint ring:32)을 통해 당해 수집관(33)에 대응되는 각 인포트(31)의 인출부(31b)와 연통된다.

또한, 각각의 샘플링관(2)은 대응되는 각 인포트(31)의 인입부(31a)와 연통된다. 이에 따라, 샘플링관(2)을 통해 이동된 에어는 인포트(31)의 인입부(31a)를 경유하여, 각 수집관(33) 내부로 배출된다.

한편, 매니폴드(3)는 소정의 흡입기능을 갖는 흡입펌프(미도시)와 연통되고, 이러한 흡입펌프의 작동으로 인해 상술한 제조라인내의 에어는 파티클 프로우브(1)를 통해 쉽게 포집되어 매니폴드(3)의 수집관(33)으로 배출될 수 있다.

이러한 흡입펌프는 통상, 소정의 간격을 두고 1분 동안 동작하는 것이 일반적이다.

이때, 작업자는 각 파티클 프로우브(1)를 로테이션(Rotation)하며 주기적으로 일정량의 에어를 샘플링한다.

예컨대, 작업자는 상술한 흡입펌프를 1 분간 작동하여 파티클 프로우브(1a)를 통해 에어를 샘플링한 후, 소정의 기간이 경과하면 흡입펌프를 1분간 재 작동하여 파티클 프로우브(1b)를 통해 에어를 재차 샘플링한다. 이에 따라, 각 제조라인내의 에어는 순차적으로 샘플링된다.

한편, 상술한 수집관(33)들은 아웃포트(Out-port:34)를 통해 모아져 카운터(4)와 연통되고, 그 결과, 파티클을 포함하는 에어는 카운터(4)로 배출된다.

도 3은 종래의 기술에 따른 카운터의 형상을 개략적으로 도시한 블록도이다.

먼저, 카운터는 구비된 레이저를 통해 배출된 에어에 포함된 파티클(P)에 소정의 레이저 빔을 주사시킴으로써, 소정의 산란(Scattering)현상을 일으키고, 포토다이오드는 이를 감지하여 소정의 펄스전류를 전류·전압 변환부로 출력시킨다.

이어서, 전류·전압 변환부(4d)는 입력되는 펄스전류를 펄스전압으로 변환(Convert)시켜, 후술하는 모니터(5)로 출력시킨다.

도 4는 종래의 기술에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템의 모니터에 디스플레이되는 펄스의 형상을 개략적으로 도시한 그래프도이다.

이때, 그래프의 가로축은 파티클(P)의 개수를 나타내며, 세로축은 파티클(P)의 크기(Size)를 나타낸다.

먼저, 상술한 카운터(4)를 통해 소정의 펄스전압이 입력되면, 모니터(5)는 입력되는 펄스전압을 그래프 형태로 디스플레이한다.

이에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이, 모니터(5)에는 소정의 높이를 갖는 다수개의 펄스가 나타난다.

여기서, 펄스의 높이는 상술한 파티클(P)의 크기에 대응된다. 또한, 펄스의 개수는 파티클(P)의 개수에 대응된다.

즉, 감지된 파티클(P)의 크기가 클수록 펄스는 높이 상승한다. 또한 감지된 파티클(P)의 개수가 많을수록 펄스의 개수는 많아진다.

요컨대, 소정의 제조라인내에 상존 하던 에어가 상술한 흡입펌프의 작동에 의해 약 1분 정도 흡입되어 파티클 프로우브(1) 및 매니폴드(3)를 통해 카운터(4)로 배출되면, 카운터(4)는 에어에 함유된 파티클(P)의 양에 대응하는 소정의 펄스전압을 모니터(5)로 출력시키고, 모니터(5)는 이러한 펄스전압을 파티클(P)의 크기 및 파티클(P)의 개수에 따라 소정의 펄스 그래프로 디스플레이시킴으로써, 종래의 에어 파티클 모니터링 시스템은 그 동작을 완료한다.

이에 따라, 작업자는 당해 제조라인의 파티클(P) 오염정도를 파악하고, 적절한 사후조치를 취할 수 있다.

한편, 이러한 종래의 에어 파티클 모니터링 시스템을 장시간 사용하다보면, 상술한 카운터(4) 내부의 레이저(4a)에는 상당한 양의 파티클(P)이 누적되고, 이러한 파티클은 카운터의 정상적인 동작을 방해하는 문제점을 야기한다.

따라서, 실 공정에서 종래의 에어 파티클 모니터링 시스템을 사용할 경우, 작업자는 이러한 문제점을 검지·해결하기 위하여 소정의 제로 카운팅(Zero cou nting)을 주기적으로 실시하고 있다.

도 5는 이러한 제로 카운팅의 실시를 위한 제로 카운팅 필터의 형상을 개략적으로 도시한 단면도이다.

도시된 바와 같이, 종래의 제로 카운팅 필터(6)는 소정의 여과섬유를 내장한 필터본체(6a)와, 필터본체(6a)의 양단에 형성된 입·출구 포트(6b,6c)를 포함한다.

이러한 제로 카운팅 필터(6)를 통한 종래의 제로 카운팅 동작을 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 작업자는 파티클 프로우브(1)와 연통되어 있던 샘플링관(2)을 해체한 후, 이러한 샘플링관(2)을 대체하여 소정의 제로 카운팅용 튜브(7)를 파티클 프로우브(1)와 연통한다.

그 이유는 샘플링관(2)에 폭넓게 분포되어 있던 파티클(P)이 제로 카운팅 동작을 방해하는 문제점을 발생시킬 수 있기 때문이다.

이어서, 제로 카운팅용 튜브(7)를 상술한 제로 카운팅 필터(6)의 입구포트(6a)와 연통시키고, 매니폴드(3) 인포트(31)의 인입부(31a)를 제로 카운팅 필터(6)의 출구 포트와 연통한다.

이때, 제로 카운팅 필터(6)의 입·출구 포트(6a,6b)에는 소정의 나사홈(6d)이 형성되어, 연통의 견고함이 유지되도록 한다.

한편, 이러한 연통결과, 파티클 프로우브(1) 및 매니폴드(3) 사이에는 상술한 제로 카운팅 필터(6)가 개재된다.

그 후, 작업자는 상술한 흡입펌프를 작동시켜, 제조라인 내의 에어를 흡입한다.

이때, 흡입되는 에어는 제로 카운팅용 튜브(7)를 경유하여 제로 카운팅 필터(6)로 인입되며, 그 후 에어 내에 함유되어 있던 파티클(P)은 제로 카운팅 필터(6)의 여과작용에 의해 대부분 제거된다.

이어서, 파티클(P)이 제거된 클린(Clean)에어는 매니폴드(3)의 수집관(33)을 통해 카운터(4)로 배출된다.

상술한 바와 같이, 클린에어는 파티클(P)이 대부분 제거되어 있는 상태이므로, 카운터(4)와 연통된 모니터(5)에는 상술한 펄스가 디스플레이되지 말아야 한다.

그런데, 이와 같은 상황에서도, 모니터(5)에 상술한 펄스가 디스플레이된다면, 작업자는 카운터(4) 또는 소정의 부품에 파티클(P)이 상존 하는 것으로 판정하고, 소정의 추후 조치를 취한다.

이와 같이, 종래의 기술에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템에서는 상술한 제로 카운팅을 통해 수시로 시스템의 성능을 검지 함으로써, 모니터링 작업의 신뢰성을 확보하고 있다.

그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 에어 파티클 모니터링 시스템에는 몇 가지 중대한 문제점이 발생된다.

첫째, 상술한 바와 같이, 제로 카운팅을 실시하기 위해서는 주기적으로 시스템을 해체 및 교체하여야 하고, 이에 따라 전체적인 작업 공정 효율이 저감되는 문제점이 발생된다.

둘째, 시스템을 해체 및 교체할 때, 외부의 이 물질이 시스템 내부로 인입되어 카운터를 오염시킴으로써, 시스템의 전체적인 성능저하를 야기하는 문제점이 발생된다.

셋째, 상술한 모니터에 파티클이 모니터링될 때, 이러한 파티클이 제조라인 내의 파티클인지, 시스템 자체의 파티클인지를 즉시 판별할 방법이 전무하여, 시스템에 이상이 발생될 경우, 빠른 대처를 하지못하는 문제점이 발생된다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 매니폴드에 소정의 클리닝 기능을 갖는 퍼지필터를 고정·설치하고, 이를 통해 카운터에 소정의 클린에어를 수시로 제공시킴으로써, 시스템을 해체시키지 않고도 제로 카운팅을 실시할 수 있도록 하는 에어 파티클 모니터링 시스템을 제공함에 있다.

도 1은 종래의 기술에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 블록도.

도 2는 종래의 기술에 따른 매니폴드의 형상을 개략적으로 도시한 단면도.

도 3은 종래의 기술에 따른 카운터의 구성을 개략적으로 도시한 블록도.

도 4는 모니터에 디스플레이 되는 펄스전압의 형상을 개략적으로 도시한 그래프도.

도 5는 종래의 기술에 따른 제로 카운팅 필터의 형상을 개략적으로 도시한 단면도.

도 6은 본 발명에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템을 개략적으로 도시한 단면도.

도 7은 도 6의 요부를 확대한 사시도.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 퍼지필터 100a : 몸체

100b : 필터링심 100c : 아웃렛

100d : 관통홀

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 파티클 모니터링 시스템은 파티클 프로우브들을 거쳐 유입되는 에어내에 함유된 파티클을 수집하기 위한 복수개의 수집관들을 갖는 매니폴드와, 이 매니폴드로부터 배출되는 파티클의 광학적 크기를 카운팅하여 소정의 펄스신호로 변환하는 카운터와, 이 카운터로부터 출력되는 펄스신호를 디스플레이하는 모니터의 조합으로 이루어진다. 이 경우, 매니폴드의 소정 부위에는 앞서 언급한 수집관들 중 어느 하나와 연통되는 퍼지필터가 설치된다.

이때, 퍼지필터는 매니폴드의 양측으로 노출되며, 다수개의 관통홀들을 갖는 몸체와, 몸체의 관통홀들에 일대일 삽입되며, 에어에 함유되어 있는 파티클을 필터링하는 다공질의 필터링심들과, 몸체의 일면에서 돌출 형성되며, 앞서 언급한 수집관들 중 어느 하나와 연통되고, 필터링심들에 의해 필터링된 에어를 해당 수집관으로 인출하는 아웃렛의 조합으로 이루어진다.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템용 매니폴드는 본체와, 본체의 일측으로 노출되며, 소정의 파티클 프로우브들과 연통되는 복수개의 인포트들과, 앞서 언급한 본체를 관통한 상태에서 상술한 인포트들과 연통되며, 인포트들을 거쳐 유입되는 에어내에 함유된 파티클을 수집하는 복수개의 수집관들과, 상술한 인포트들 중 어느 하나를 대체하여 삽입되는 퍼지필터의 조합으로 이루어진다.

이때, 퍼지필터는 본체의 양측으로 노출되며, 다수개의 관통홀을 갖는 몸체와, 몸체의 관통홀에 일대일 삽입되며, 에어내에 함유되어 있는 파티클을 필터링하는 다공질의 필터링심들과, 몸체의 일면에서 돌출 형성되며, 수집관들 중의 어느 하나와 연통되고, 필터링심들에 의해 필터링된 에어를 해당 수집관으로 인출하는 아웃렛의 조합으로 이루어진다.

이러한 본 발명의 실시에 따라, 생산라인에서는 시스템을 해체하지 않고도, 수시로 제로 카운팅을 실시할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 6은 본 발명에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템의 형상을 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 7은 이를 확대한 사시도이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템에서, 매니폴드(3)는 본체(3a)와, 이 본체(3a)의 일측으로 노출되며, 파티클 프로우브들(1)과 연통되는 다수개의 인포트들(31)과, 본체(1)를 관통한 상태에서 인포트들(31)의 인입부(31c)/인출부(31d)와 연통되며, 이 인포트들(31)의 인입부(31c)/인출부(31d)를 차례로 거쳐 유입되는 에어내에 함유된 파티클을 수집하는 복수개의 수집관들(33)의 조합으로 이루어진다. 이때, 인포트들(31)의 인출부(31d)와 수집관들(33) 사이에는 조인트링(32)이 개재된다.

이때, 도면에 도시된 바와 같이, 매니폴드 본체의 일정 부위에는 상술한 수집관들 중의 어느 하나와 연통되는 본 발명 고유의 퍼지필터(100)가 고정적으로 설치된다. 이 경우, 퍼지필터(100)는 상술한 인포트들(31) 중의 어느 하나를 대체하여 삽입된다.

여기서, 퍼지필터(100)는 도 7에 도시된 바와 같이, 예컨대, 매니폴드 본체(3a)의 측벽에 삽입되며, 다수개의 관통홀들(100d)을 갖는 원통형의 몸체(100a)와, 이 관통홀들(100d)에 일대일 삽입되며, 에어에 함유되어 있는 파티클을 필터링하는 다공질의 필터링심(100b)과, 몸체(100a)의 일면에서 돌출 형성되며, 상술한 수집관들(33) 중의 어느 하나와 연통되고, 필터링심들(100b)에 의해 필터링된 에어를 해당 수집관으로 인출하는 아웃렛(100c)의 조합으로 이루어진다.

이러한 본 발명의 구성 및 동작을 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 작업자는 매니폴드(3)에 형성된 인포트(31)들 중 어느 하나, 예컨대, 1번 인포트(31)를 제거하고 그 자리에 본 발명의 퍼지필터(100)를 삽입·고정시킨다.

이때, 본 발명의 특징에 따르면, 상술한 퍼지필터(100)의 몸체(100a)는 성형가공이 용이한 플라스틱 재질로 형성된다.

그 다음에, 매니폴드(3) 내부에 형성된 수집관(33)들 중 어느 하나, 예컨대, 1번 수집관(33)을 몸체(100a)의 단부에 돌출 형성된 아웃렛(100c)과 연통시킨다.

이때, 본 발명의 특징에 따르면, 아웃렛(100c)은 원통형이다. 이에 따라, 아웃렛(100c)은 1번 수집관(33)의 조인트링(32)에 용이하게 삽입되어 견고히 결합되는 특성을 보유할 수 있다.

또한, 본 발명의 특징에 따르면, 아웃렛(100c)은 플라스틱 재질로 형성된다.이에 따라, 본 발명의 아웃렛(100c)은 상술한 몸체(100a)와 마찬가지로 그 성형가공이 용이한 특성을 보유할 수 있다.

또한, 본 발명의 특징에 따르면, 아웃렛(100c)의 직경은 0.3-0.8 인치, 좀더 바람직하게는 0.5 인치이다. 그 결과, 본 발명의 아웃렛(100c)은 각각의 수집관(33)들과 호환성을 유지할 수 있으며, 작업자는 필요에 따라 당해 수집관(33)을 타 수집관들과 적절히 교체할 수 있는 이점을 획득할 수 있다.

한편, 몸체(100a)의 내부에는 다수의 관통홀(100d)이 형성되는데, 이러한 관통홀(100d)은 매니폴드(3)의 외부로 노출되어, 소정의 에어와 맞닿는다.

이때, 관통홀(100d)에는 복수개의 필터링심들(100b)이 삽입된다.

여기서, 본 발명의 특징에 따르면, 필터링심들(100a)은 다공질 특성을 갖는 소정의 재료, 예컨대, 카본(Carbon), 유리섬유(Glass fibres) , 좀더 바람직하게는 폴리네이트(Polynate) 등으로 형성된다.

통상, 다공질 재료는 비표면적이 넓은 재료로 알려진 바, 본 발명에서는 필터링심(100b)의 재질로 이러한 다공질 재료를 채용함으로써, 퍼지필터의 전체적인 여과능력이 대폭 향상될 수 있도록 한다.

또한, 본 발명의 특징에 따르면 필터링심(100b)의 용적률은 몸체(100a) 전체 용적의 25 - 35 % 좀더 바람직하게는 30 %이다. 이에 따라, 필터링심(100b)에 의한 에어의 필터링율은 극대화된다.

이어서, 작업자는 본 발명의 퍼지필터(100)를 사용하여 제로 카운팅 과정을 실시한다.

먼저, 작업자는 시스템을 온(On)시킨 후 상술한 흡입펌프를 1분간 작동하여 본 발명의 퍼지필터(100)를 통해 소정의 에어를 흡입한다.

이때, 에어에 함유되어 있던 파티클(P)은 몸체(100a)에 구비된 필터링심(100b)에 의해 대부분 여과된다. 그 후, 여과된 클린에어는 아웃렛(100c)과 연통된 1번 수집관(33)을 경유하여, 카운터(4) 내부로 배출된다.

이어서, 카운터(4)에 구비된 레이저(4a)에서는 소정의 파우어로 레이저 빔(Beam)이 조사되며, 조사된 빔은 반사미러(Reflection mirror:4c)에 의해 반사된다.

이때, 에어에 포함되어 있던 파티클(P)은 레이저 빔과 충돌을 일으키고, 이에 따라, 레이저 빔에는 상술한 산란현상이 발생된다.

그러나, 카운터 내부로 배출되는 클린에어는 본 발명에 따른 퍼지필터를 통해 대부분의 파티클이 제거되어 있음으로, 매우 극미한 산란현상만을 일으킨다.

한편, 이와 같이, 산란된 레이저 빔은 포토 다이오드(Photodiode:4b)에 의해 감지된다. 이때, 포토 다이오드(4b)는 산란된 레이저 빔의 크기에 대응하는 소정의 펄스(Pulse)전류를 전류·전압 변환부(4d)로 출력시킨다.

이때, 파티클(P)의 양이 많으면, 그만큼 산란되는 레이저 빔의 크기도 커지고, 이에 따라, 포토 다이오드(4b)에서 출력되는 펄스전류값도 커진다.

그러나, 상술한 바와 같이, 클린에어에 의한 레이저 빔의 산란크기는 매우 극미하므로, 포토 다이오드에서 출력되는 펄스전류값 또한 매우 작아진다.

이후, 전류·전압 변환부(4d)는 입력되는 펄스전류를 펄스전압으로 변환(C onvert)시켜, 모니터(5)로 출력시킨다.

이때, 작업자는 모니터(5)에 디스플레이되는 펄스의 양상을 지속적으로 관측함으로써, 시스템의 이상 유무를 정확히 검지한 후 이에 대응되는 적절한 사후조치를 취한다.

이와 같이, 본 발명에서는 퍼지필터(100)가 고정·설치되어 있음으로써, 시스템을 해체하지 않고도 시스템이 온·오프(On·Off)될 때마다 상술한 제로 카운팅을 수시로 실시할 수 있다.

또한, 본 발명의 퍼지필터(100)를 통과한 크린에어는 카운터(4) 내부로 분사되어 상술한 레이저(4a)에 누적되어 있던 파티클(P)을 적절히 제거하는 기능을 수행함으로써, 본 발명의 퍼지필터(100)는 상술한 제로 카운팅 작용과 아울러 레이저(4a) 클리닝 작용도 수행하는 이중의 효과를 발생시킨다.

더욱이, 상술한 제로 카운팅이 본 발명의 퍼지필터(100)를 통하여 시스템의 온·오프 때마다 수시로 진행됨으로써, 작업자는 시스템의 오염정도를 기 파악할 수 있고, 만약, 모니터(5)에 펄스가 검지될 경우, 이러한 펄스의 원인이 시스템 자체의 파티클인가, 아니면 제조라인 내부의 파티클인가를 즉시 파악할 수 있다.

이에 따라, 작업자는 모니터(5)에 펄스가 디스플레이되는 즉시 빠른 대처를 수행할 수 있다.

이처럼, 본 발명은 반도체 제조라인 내에 배치되어 소정의 관리를 필요로 하는 모든 파티클 모니터링 시스템에서 두루 유용한 효과를 나타낸다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 에어 파티클 모니터링 시스템에서는 상술한 매니폴드에 소정의 클리닝 기능을 갖는 퍼지필터를 고정·설치하고, 이를 통해 소정의 클린에어를 수시로 제공함으로써, 시스템을 해체시키지 않고도 제로 카운팅을 지속적으로 실시할 수 있다.

Claims (12)

1. 파티클 프로우브들을 거쳐 유입되는 에어내에 함유된 파티클을 수집하기 위한 복수개의 수집관들을 갖는 매니폴드와;

   상기 매니폴드로부터 배출되는 상기 파티클의 광학적 크기를 카운팅하여 소정의 펄스신호로 변환하는 카운터와;

   상기 카운터로부터 출력되는 펄스신호를 디스플레이하는 모니터를 포함하며,

   상기 매니폴드의 소정 부위에는 상기 수집관들 중 어느 하나와 연통되는 퍼지필터가 설치되고,

   상기 퍼지필터는 상기 매니폴드의 측벽에 삽입되며, 다수개의 관통홀들을 갖는 몸체와;

   상기 관통홀들에 일대일 삽입되며, 상기 에어에 함유되어 있는 파티클을 필터링하는 다공질의 필터링심들과;

   상기 몸체의 일면에서 돌출 형성되며, 상기 수집관들 중 어느 하나와 연통되고, 상기 필터링심들에 의해 필터링된 에어를 해당 수집관으로 인출하는 아웃렛의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 파티클 모니터링 시스템.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 몸체는 플라스틱으로 형성됨을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 필터링심은 카본으로 형성됨을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 필터링심은 유리섬유로 형성됨을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 필터링심은 폴리네이트로 형성됨을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 아웃렛은 플라스틱으로 형성됨을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 아웃렛은 원통형임을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 아웃렛의 직경은 0.3 - 0.8 인치임을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 아웃렛의 직경은 0.5 인치임을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
10. 제 1 항에 있어서, 상기 필터링심의 용적율은 상기 몸체 용적의 25 - 35 %임을 특징하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 필터링심의 용적율은 상기 몸체 용적의 30 %임을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시스템.
12. 본체와;

    상기 본체의 일측으로 노출되며, 소정의 파티클 프로우브들과 연통되는 복수개의 인포트들과;

    상기 본체를 관통한 상태에서 상기 인포트들과 연통되며, 상기 인포트들을 거쳐 유입되는 에어내에 함유된 파티클을 수집하는 복수개의 수집관들과;

    상기 인포트들 중 어느 하나를 대체하여 삽입되는 퍼지필터를 포함하며,

    상기 퍼지필터는 상기 본체의 측벽에 삽입되며, 다수개의 관통홀들을 갖는 원통형의 몸체와;

    상기 관통홀들에 일대일 삽입되며, 상기 에어내에 함유되어 있는 파티클을 필터링하는 다공질의 필터링심들과;

    상기 몸체의 일면에서 돌출 형성되며, 상기 수집관들 중 어느 하나와 연통되고, 상기 필터링심들에 의해 필터링된 에어를 해당 수집관으로 인출하는 아웃렛의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에어 파티클 모니터링 시트템용 매니폴드.

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