KR101557429B1

KR101557429B1 - 오염발생위치 발견장치 및 발견방법, 이를 구현하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능 기록매체

Info

Publication number: KR101557429B1
Application number: KR1020150030999A
Authority: KR
Inventors: 유승교; 김동철; 이응선; 김혜영; 이현욱; 전광수; 김장미; 송복문
Original assignee: 주식회사 위드텍
Priority date: 2015-03-05
Filing date: 2015-03-05
Publication date: 2015-10-06
Also published as: TW201643937A; US20180095013A1; TWI581305B; WO2016140494A1; CN107532978A

Abstract

본 발명은 일정 공간의 오염도 측정을 위한 오염발생위치 발견장치 및 발견방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게, 피측정 공간 내에 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트를 포함하여 형성되며, 다수개의 샘플링 포트로부터 흡입되는 공기의 평균 오염도를 측정하다가 평균 오염도가 일정 범위를 벗어날 경우, 샘플링 포트로부터 흡입된 공기의 오염도가 개별적 또는 부분적으로 측정되도록 함으로써, 광범위한 공간에서의 오염도를 효과적으로 모니터링 할 수 있는 오염발생위치 발견장치 및 발견방법에 관한 것이다.

Description

오염발생위치 발견장치 및 발견방법, 이를 구현하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능 기록매체{AN APPARATUS AND A METHOD FOR DETECTING POLLUTION LOCATION, COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM STORING PROGRAM THEREOF}

본 발명은 일정 공간의 오염도를 측정하여 오염발생위치를 발견하는 오염발생위치 발견장치 및 발견방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게, 피측정 공간 내에 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 하는 다수의 샘플링 포트를 포함하여 형성되며, 다수개의 샘플링 포트로부터 흡입되는 공기의 평균 오염도를 측정하다가 평균 오염도가 일정 범위를 벗어날 경우, 샘플링 포트로부터 흡입된 공기의 오염도가 개별적 또는 부분적으로 측정되도록 함으로써, 광범위한 공간에서의 오염도를 효과적으로 모니터링 할 수 있도록 하는 오염발생위치 발견장치 및 발견방법에 관한 것이다.

클린룸(clean room)은 반도체 제조 공정 등이 수행되는 곳으로서, 청정도에 따라 여러 등급으로 구분되어지는데, 청정도는 단위 면적당 존재하는 일정 크기의 파티클(particle)의 개수에 의해 정해지며, 일정 수준의 청정도를 항상 유지, 관리하기 위해서는 수시로 정밀한 측정을 통한 오염 원인을 파악해야 한다.

그래서 청정도에 영향을 줄 수 있는 중요한 부분을 파악하여 수시로 측정해야 하고, 그 외 클린룸 내부 곳곳을 정기적으로 측정하여 돌발적인 상황을 예측할 수 있어야 하며, 클린룸에서는 파티클의 분석을 통한 청정도 파악뿐만 아니라 온도, 습도 및 압력을 일정하게 유지, 관리하는 것도 중요하다.

일반적으로 반도체 제조 설비의 클린룸은 파티클 측정장치를 이용하여 클린룸의 필터 리크(leak) 검사 및 내부 파티클을 측정한다. 클린룸 천정에 구비되는 필터는 설치된 이후에 내외적인 변화에 따른 손상으로 필터링 기능이 저하될 수 있다.

따라서 안정적인 클린룸 확보 및 반도체 소자의 신뢰성 확보에 대한 검증 차원에서 필터에 대한 리크 검사를 실시할 필요가 있다. 리크 검사는 필터 하단으로부터 일정한 거리를 유지하면서 필터의 표면을 스캐닝하며, 필터에서 나오는 공기 내에 들어 있는 파티클의 개수를 측정하는 방식으로 진행된다.

이와 관련된 기술로는 국내 공개특허 제2006-0036687호(공개일 2006.05.02, 명칭 : 클린룸에서 사용되는 파티클 측정장치)가 있다.

그런데, 다양한 반도체 공정들이 수행되는 클린룸은 그 공간이 매우 방대하기 때문에 특정 지점에 센서를 설치하여 오염도를 측정하는 방법은 넓은 공간에서의 오염도를 측정에 적합하지 않다.

특정 지점에 센서를 설치하여 농도를 측정하는 방법은 특정 지점의 농도만을 측정하기 때문에, 넓은 공간의 농도를 대변하기 어려우며, 이를 개선하기 위해 여러 개의 센서를 설치할 경우, 방대한 공간을 커버하기에는 경제적 부담이 너무 커지게 된다.

이를 개선하기 위해 하나의 측정기에 다수개의 샘플링 포트를 구성하여 측정하는 기술이 고안된 바 있지만, 한 대의 측정기로 다수개의 샘플링 포트를 하나씩 순차적으로 측정하기 때문에 시간이 매우 오래 소요된다는 단점이 있었다.

국내공개특허 제2006-0036687호(공개일 2006.05.02, 명칭 : 클린룸에서 사용되는 파티클 측정장치)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 피측정 공간 내에 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트를 포함하여 형성되며, 다수개의 샘플링 포트로부터 흡입되는 공기의 평균 오염도를 측정하다가 평균 오염도가 일정 범위를 벗어날 경우, 샘플링 포트로부터 흡입된 공기의 오염도가 개별적 또는 부분적으로 측정되도록 함으로써, 광범위한 공간에서의 오염도를 효과적으로 모니터링 할 수 있는 오염발생위치 발견장치 및 발견방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일실시예에 따른 오염발생위치 발견장치는, 피측정 공간 내에서의 오염발생위치를 발견하는 오염발생위치 발견장치에 있어서, 피측정 공간 내 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트(100); 각각의 상기 샘플링 포트(100)와 연결되는 흡입관(200); 상기 흡입관(200)에 설치되는 제1제어밸브(410); 상기 흡입관(200)의 단부와 연결되어 흡입된 공기가 포집 및 혼합되는 믹싱부(500); 상기 믹싱부(500)를 통과하여 유입된 공기의 오염도를 측정하는 검출부(600); 상기 제1제어밸브(410) 및 상기 검출부(600)를 제어하는 제어부; 를 포함하여 형성되며, 상기 제어부는, 상기 제1제어밸브(410)를 모두 개방하여 다수개의 상기 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 평균 오염도가 측정되도록 하거나, 상기 제1제어밸브(410) 중 일부의 제1제어밸브(410)는 개방하고 일부 제1제어밸브(410)는 폐쇄하여 일부 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 측정되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

상기 오염발생위치 발견장치는, 다수개의 상기 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 평균 오염도가 일정 범위를 벗어날 경우, 상기 제1제어밸브(410)를 하나씩 순차적으로 개방하고 나머지 제1제어밸브(410)는 폐쇄한 상태에서, 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 측정되도록 할 수 있다.

상기 오염발생위치 발견장치는, 상기 샘플링 포트(100)가 분리된 하나의 공간 내에 다수개 장착되거나, 분리된 다수개의 공간에 각각 장착될 수 있다.

상기 오염발생위치 발견장치는, 상기 흡입관(200)에 설치되는 제1유량조절부(810)를 추가적으로 더 포함할 수 있다.

상기 오염발생위치 발견장치는, 상기 믹싱부(500)와 연결되며, 상기 샘플링 포트(100)로부터의 공기가 흡입되도록 음압을 가하는 진공펌프(830)를 추가적으로 더 포함할 수 있다.

상기 오염발생위치 발견장치는, 상기 믹싱부(500) 및 진공펌프(830) 사이에 제2유량조절부(820)를 포함하여 형성될 수 있다.

상기 믹싱부(500)는, 다수개의 상기 흡입관(200)의 단부와 각각 연결된 관이 하나로 모여지는 관 형태이거나, 별도의 혼합수단이 구비되는 믹싱챔버 형태일 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 오염발생위치 발견장치는, 피측정 공간 내 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트(100); 각각의 상기 샘플링 포트(100)와 연결되는 흡입관(200); 상기 흡입관(200)에 설치되는 제1제어밸브(410); 상기 흡입관(200)의 단부와 연결되어 흡입된 공기가 포집 및 혼합되는 믹싱부(500); 상기 믹싱부(500)를 통과하여 유입된 공기의 오염도를 측정하는 검출부(600); 상기 제1제어밸브(410) 및 상기 검출부(600)를 제어하는 제어부; 를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서, a) 다수개의 상기 흡입관(200) 상에 구비된 상기 제1제어밸브(410)가 모두 개방되는 단계; b) 검출부(600)에서 유입된 공기의 오염도를 측정되는 단계; c) 측정된 평균 오염도가 미리 설정된 범위를 벗어나면, 상기 제1제어밸브(410)의 일부가 폐쇄되는 단계; d) 검출부(600)에서 유입된 공기의 오염도를 측정하고, 소정의 측정시간 구간동안에 측정한 오염도가 소정 기준값 이하이면 선택된 샘플링 포트(100)에는 누출이 없는 것으로 판단하는 단계; e) 상기 c)단계와 d)단계를 반복하여 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 d)단계에서 측정된 오염도 값이 소정 기준값보다 작을수록 소정의 측정시간을 더 짧게 할 수 있다.

상기 e)단계 후 누출이 있는 샘플링포트를 계속해서 샘플링하는 단계;를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 오염발생위치 발견방법은, 피측정 공간 내 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트(100); 각각의 상기 샘플링 포트(100)와 연결되는 흡입관(200); 상기 흡입관(200)에 설치되는 제1제어밸브(410); 상기 흡입관(200)의 단부와 연결되어 흡입된 공기가 포집 및 혼합되는 믹싱부(500); 상기 믹싱부(500)를 통과하여 유입된 공기의 오염도를 측정하는 검출부(600); 상기 제1제어밸브(410) 및 상기 검출부(600)를 제어하는 제어부; 를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서, a) 상기 샘플링 포트(100)를 다수개의 그룹으로 나누는 단계; b) 어느 하나의 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)의 제1제어밸브(410)를 동시에 개방하고 나머지 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)의 제1제어밸브(410)을 모두 폐쇄하는 단계; c) 해당 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)로부터 유입된 공기의 평균 오염도를 구하여, 그 평균 오염도가 소정 기준값 이하이면, 해당 그룹의 샘플링 포트(100)에서는 누출이 없는 것으로 판단하는 단계; d) 모든 그룹에 대해 b)단계와 c)단계를 순차적으로 반복하다가 그 평균 오염도가 소정 기준값보다 커지면, 그 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)에 누출이 있는 것으로 판단하고, 그 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)에 대해 순차적으로 오염도 검사를 하는 단계; e) 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 오염발생위치 발견방법은, 다수의 샘플링 포트(100)를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서, a) 샘플링 포트(100)를 다수개의 그룹으로 나누는 단계; b) 어느 하나의 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)의 평균 오염도를 구하여, 그 평균 오염도가 기준값 이하이면, 해당 그룹의 샘플링 포트(100)에서는 누출이 없는 것으로 판단하는 단계; c) 모든 그룹에 대해 b)단계를 순차적으로 반복하다가 그 평균 오염도가 소정 기준값보다 커지면, 그 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)에 누출이 있는 것으로 판단하고, 그 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)에 대해 순차적으로 오염도 검사를 하는 단계; d) 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 오염발생위치 발견방법은, 다수의 샘플링 포트(100)를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서, a) 다수의 샘플링 포트(100) 평균 오염도를 구하여, 그 평균 오염도가 기준값 이하이면, 다수의 샘플링 포트(100)에서 누출이 없는 것으로 판단하는 단계; c) 상기 평균 오염도가 소정 기준값보다 커지면, 어느 하나의 샘플링 포트(100)에 누출이 있는 것으로 판단하고, 각각의 샘플링 포트(100)에 대해 순차적으로 오염도 검사를 하는 단계; d) 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계;를 포함하고, 각각의 샘플링 포트(100)에 대해 오염도 검사를 하는 함에 있어서, 소정의 측정시간 구간동안에 측정한 오염도가 소정 기준값 이하이면 선택된 샘플링 포트(100)에는 누출이 없는 것으로 판단하고, 측정된 오염도 값이 소정 기준값보다 작을수록 소정의 측정시간을 더 짧게 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 오염발생위치 발견방법은, 다수의 샘플링 포트(100)를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서, a) 다수의 샘플링 포트(100) 평균 오염도를 구하여, 그 평균 오염도가 기준값 이하이면, 다수의 샘플링 포트(100)에서 누출이 없는 것으로 판단하는 단계; c) 상기 평균 오염도가 소정 기준값보다 커지면, 어느 하나의 샘플링 포트(100)에 누출이 있는 것으로 판단하고, 각각의 샘플링 포트(100)에 대해 순차적으로 오염도 검사를 하는 단계; d) 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계; e) 누출이 있는 샘플링포트를 계속해서 샘플링하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 오염발생위치 발견방법을 구현하는 (컴퓨터)프로그램은 기록매체에 저장될 수 있고, 그 프로그램은 오염발생위치 발견장치에 설치될 때 상기 오염발생위치 발견장치가 상기 오염발생위치 발견방법을 구현하도록 한다.

본 발명에 따른 오염발생위치 발견장치 및 발견방법은 피측정 공간 내에 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트를 포함하여 형성되며, 다수개의 샘플링 포트로부터 흡입되는 공기의 평균 오염도를 측정하다가 평균 오염도가 일정 범위를 벗어날 경우, 샘플링 포트로부터 흡입된 공기의 오염도가 개별적 또는 부분적으로 측정되도록 함으로써, 광범위한 공간에서의 오염도를 효과적으로 모니터링 할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 넓은 공간에 여러 개의 샘플링 포트를 두고, 피측정 공간 내의 평균 오염도를 관리함으로써, 이벤트 발생 시 오염원을 신속하게 찾을 수 있다는 장점이 있다.

즉, 본 발명은 샘플링 포트가 장착된 구역의 오염도에 대한 평균 데이터를 관리함으로써, 하나의 장치를 이용하여 넓은 공간의 오염도를 관리할 수 있을 뿐만 아니라, 평균 오염도가 상승되었을 때에는 오염 소스를 파악하기위해 각각의 샘플링포트를 순차적 또는 특정 시퀀스에 의해 개별적으로 농도를 스캐닝함으로써, 신속하게 오염지역을 찾을 수 있다.

이에 따라, 본 발명은 신속한 공간 오염도 맵핑 및 이벤트 포착이 가능하며, 하나의 동일 계측기(검출부)를 사용함에 따라 계측기 간의 오차를 제거할 수 있고, 여러 대의 계측기를 사용하는 기존 방식에 비해 비용을 크게 절감할 수 있다는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 오염발생위치 발견장치의 흡입관과 분기관에 각각 2방향 밸브가 설치된 개념도
도 2는 본 발명의 오염발생위치 발견장치의 흡입관에 3방향 밸브가 설치된 개념도
도 3은 본 발명의 오염발생위치 발견장치에 배출관이 형성된 개념도
도 4는 본 발명의 오염발생위치 발견장치의 믹싱부와 배출관 사이에 진공펌프와 제2유량조절부가 형성된 개념도
도 5는 본 발명의 오염발생위치 발견장치의 흡입관에만 각각 하나의 2방향 밸브가 설치된 개념도
도 6은 믹싱부와 배출관 사이에 제2유량조절부와 진공펌프가 형성된 개념도

이하, 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 오염도 측정을 위한 오염발생위치 발견장치 및 발견방법을 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.

먼저, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 피측정 공간의 오염도를 측정하기 위한 것으로, 특히 넓은 공간에서도 효과적으로 오염도 측정이 가능하도록 고안되었다.

도 1은 본 발명의 오염발생위치 발견장치의 흡입관과 분기관에 각각 2방향 밸브가 설치된 개념도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 샘플링 포트(100), 흡입관(200), 분기관(300), 믹싱부(500), 검출부(600), 제어부(미도시)를 포함하여 형성된다.

상기 샘플링 포트(100)는 피측정 공간 내 여러 포인트의 공기를 흡입하는 것으로, 다수개 구비된다.

이때, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 상기 샘플링 포트(100)가 분리된 하나의 공간 내에 다수개 설치될 수도 있고, 분리된 다수개의 공간에 각각 설치될 수도 있다.

반도체 클린룸을 예로 들면, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 하나의 클린룸 내에서 어느 지점이 오염에 노출되었는지를 파악하기 위해 다수개의 샘플링 포트(100)가 여러 포인트에 설치되도록 할 수 있다.

또한, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 하나의 장비로 여러 반도체 클린룸의 오염도를 측정하고자 할 때, 각 클린룸마다 샘플링 포트(100)를 설치할 수도 있다.

상기 흡입관(200)은 상기 샘플링 포트(100)와 연결되는 관으로, 흡입관(200) 상에 설치되는 제1제어밸브(410)에 의해 공기 유동이 조절될 수 있다.

상기 흡입관(200)은 상기 샘플링 포트(100)의 개수에 대응되도록 형성되며, 상기 제1제어밸브(410) 역시 상기 샘플링 포트(100)의 개수에 대응되도록 형성된다.

또 다른 실시예로, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1제어밸브(410)는 상기 믹싱부(500) 전단에 한 개 구비되어 다수개의 상기 흡입관(200)을 통합 제어하는 솔레노이드 밸브일 수도 있다. 도 2는 본 발명의 오염발생위치 발견장치의 흡입관에 3방향 밸브가 설치된 개념도이다.

상기 분기관(300)은 상기 흡입관(200)이 분기되어 형성되는 관으로, 분기관(300) 상에 설치되는 제2제어밸브(420)에 의해 공기 유동이 조절될 수 있다.

상기 흡입관(200) 및 상기 분기관(300)은 하나의 샘플링 포트(100)를 통해 흡입되는 공기가 유동되는 2개의 통로로, 상기 제1제어밸브(410) 및 제2제어밸브(420)의 개폐 동작에 따라 공기의 유동여부가 결정된다.

이때, 상기 제1제어밸브(410) 및 제2제어밸브(420)는 제어가 용이하도록 솔레노이드 밸브인 것이 바람직하다.

또한, 상기 제2제어밸브(420)는 도 2와 같이, 상기 흡입관(200)의 상기 분기관(300)이 분기되는 지점에 구비되는 3방향 밸브(3 way valve)일 수도 있으며, 도 1과 같이 2방향 밸브(2 way valve)일 수도 있다.

상기 믹싱부(500)는 상기 흡입관(200) 및 분기관(300)의 단부와 연결되어 다수개의 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기가 포집 및 혼합되는 곳으로, 다수개의 상기 흡입관(200) 및 분기관(300)의 단부와 각각 연결된 관이 하나로 모여지는 관형태일 수 있다.

또 다른 실시예로, 상기 믹싱부(500)는 교반기와 같이, 별도의 혼합수단이 구비되는 믹싱챔버일 수도 있으며, 이외에도 다수개의 흡입관(200) 또는 분기관(300)으로부터 흡입되는 공기가 균일하게 혼합될 수 있는 것이면 얼마든지 다른 것으로 다양하게 변경실시가 가능하다.

상기 검출부(600)는 상기 믹싱부(500)를 통과하여 유입된 공기의 오염도를 측정하는 수단으로, 내부에 공기를 흡입하는 펌프가 구비될 수도 있으며, 내부에 펌프가 없는 경우 별도의 펌프가 부착될 수 있다.

이때, 상기 검출부(600)는 측정하고자 하는 오염원 또는 측정방법에 따라 적합한 종류의 장비가 사용될 수 있다.

상기 제어부는 상기 제1제어밸브(410), 제2제어밸브(420) 및 검출부(600)의 동작을 제어하는 것이다.

특히, 본 발명에서 상기 제어부는 다수개의 상기 제1제어밸브(410)를 동시에 개방하여 상기 검출부(600)에서 다수개의 상기 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 평균 오염도가 측정되도록 한다.

상기 제어부는 상기 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 평균 오염도가 일정 범위를 벗어날 경우, 상기 제1제어밸브(410)를 폐쇄하고, 다수개의 상기 제2제어밸브(420)를 하나씩 순차적으로 개방하거나, 다수개의 상기 제2제어밸브(420) 중 일부를 개방하여 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 측정되도록 한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 상기 흡입관(200) 상 구비되어 흡입되는 공기의 유량을 조절하는 제1유량조절부(810)를 포함하여 형성될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 평균 오염도 측정을 위해 다수개의 상기 흡입관(200)을 모두 개방하여 공기를 흡입하게 되는데, 이 경우, 하나의 상기 분기관(300)만을 개방하여 공기를 흡입하는 것보다, 각각의 흡입관(200)을 통해 흡입하는 공기의 양은 줄어들게 된다.

즉, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 검출부(600)에서 흡입하여 측정할 수 있는 시료의 양이 일정하게 유지되어야 하므로, 흡입될 수 있는 전체 공기양의 1/N(N=샘플링 포트(100) 수)만큼만 하나의 흡입관(200)을 통해 유입되도록 조절되어야 한다.

따라서 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 평균 오염도 측정 시, 상기 흡입관(200) 내에 설정된 유량만큼 상기 제1유량조절부(810)를 통해 각 지점에서 공기가 흡입될 수 있다.

또한, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 상기 믹싱부(500)와 연결되며, 상기 샘플링 포트(100)로부터의 공기가 흡입되도록 음압을 가하는 진공펌프(830)를 포함할 수 있다.

상기 진공펌프(830)는 상기 검출부(600)의 흡입 유속이 느릴 경우, 반응의 신속성을 위해 각 샘플링 포트(100)의 공기를 빠르게 흡입해 주는 역할을 한다. 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 상기 샘플링 포트(100)를 통해 흡입되는 공기의 유량이 매우 적은 양이기 때문에, 공기의 유속이 매우 느릴 수 있으므로, 신속한 흡입 및 분석을 위해 진공펌프(830)가 구비되는 것이 바람직하다.

이때, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 도 3과 같이 진공펌프(830)의 후단에 배출관(831)이 더 연결될 수 있으며, 상기 믹싱부(500) 및 진공펌프(830) 사이에 제2유량조절부(820)가 더 구비될 수 있다. 도 3은 본 발명의 오염발생위치 발견장치에 배출관이 형성된 개념도이다.

이를 통해, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 정확한 농도 반영을 통해 넓은 공간을 균일하게 샘플링 할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 상기 샘플링 포트(100)를 통해 흡입되는 공기의 유량이 lpm 단위로 적은 양이기 때문에, 상기 샘플링 포트(100)를 통해 흡입되는 공기의 유량을 늘려 믹싱부(500)까지 도달하는 공기의 유속을 증가시키는 대신, 상기 검출부(600)로 흡입되어야 하는 공기의 양을 제외한 나머지 샘플링 공기가 상기 배출관(831)을 통해 배출되도록 할 수 있다.

즉, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 상기 진공펌프(830)에서 고유량의 흡입을 통해 상기 흡입관(200) 및 분기관(300) 내의 흡착을 억제하고, 상기 검출부(600)에서 신속하고 정확하게 오염도가 측정되도록 할 수 있다.

이러한 구성 및 특징을 갖는 오염발생위치 발견장치(1)를 이용하여 모니터링 하는 방법의 실시예 1은 a) 다수개의 상기 흡입관(200) 상에 구비된 상기 제1제어밸브(410)를 모두 개방하고, 상기 제2제어밸브(420)를 모두 폐쇄하는 단계; b) 상기 검출부(600)에서 상기 흡입관(200)을 통해 유입된 공기의 평균 오염도를 측정하는 단계; c) 측정된 평균 오염도가 미리 설정된 범위를 벗어나면 상기 제1제어밸브(410)가 모두 폐쇄되는 단계; d) 상기 제2제어밸브(420)가 하나씩 순차적으로 개방되어 각각의 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 개별적으로 측정되는 단계; 를 포함한다.

즉, 본 발명의 모니터링 방법에서는 특정 이벤트가 발생되지 않을 경우, 상기 제1제어밸브(410)를 모두 개방하여 다수개의 샘플링 포트(100)를 통해 공기를 흡입하며, 이를 통해 상기 검출부(600)에서 평균 오염도를 측정하게 된다.

또한, 특정 이벤트(오염)가 발생될 경우에는 상기 제1제어밸브(410)를 모두 폐쇄하고, 상기 제2제어밸브(420)를 하나씩 순차적으로 개방하며, 각각의 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 상기 검출부(600)에서 개별적으로 측정되도록 한다.

도 4는 본 발명의 오염발생위치 발견장치의 믹싱부와 배출관 사이에 진공펌프와 제2유량조절부가 형성된 개념도이다.

도4에 도시된 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)를 이용한 모니터링 방법의 실시예 1을 설명하면,(먼저, 설명의 편의를 위해 좌측으로부터 상기 분기관(300)을 제1분기관(310), 제2분기관(320), 제3분기관(330), 제4분기관(340)이라 하며, 상기 흡입관(200)을 제1흡입관(210), 제2흡입관(220), 제3흡입관(230), 제4흡입관(240)이라 명명함)

이벤트가 발생되지 않을 경우, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 상기 제1 내지 제4흡입관(210, 220, 230, 240) 상의 제1제어밸브(410)가 개방되며, 상기 제1 내지 제4분기관(310, 320, 330, 340) 상의 제2제어밸브(420)가 폐쇄된다.

상기 진공펌프(830) 및 상기 검출부(600) 내의 펌프가 동작되면, 상기 샘플링 포트(100)를 통해 상기 제1 내지 제4흡입관(210, 220, 230, 240)을 따라 샘플링 공기가 상기 믹싱부(500)에 도달하며, 도달되어 혼합된 공기의 일부는 상기 검출부(600)로 유입되어 오염도가 측정되며, 나머지 공기는 상기 배출관(831)을 통해 배출된다.

이때, 상기 제1 내지 제4흡입관(210, 220, 230, 240)을 통해 각각 약 5lpm의 공기가 흡입되며, 흡입된 유량의 총합인 20lpm 중 2lpm만 상기 검출부(600)로 유입되어 평균 오염도 측정에 사용되고, 나머지 18lpm은 상기 배출관(831)을 통해 배출된다.

이렇게 측정된 평균 오염도가 일정 범위를 벗어나게 되면, 상기 제1제어밸브(410)가 모두 폐쇄되고, 상기 제1분기관(310)의 제2제어밸브(420)만 개방된다.

상기 제1분기관(300)을 통해 20lpm의 공기가 흡입되며, 마찬가지로 2lpm만 상기 검출부(600)로 유입되어 오염도 측정에 사용되고 나머지 18lpm은 상기 배출관(831)을 통해 배출된다.

이후, 상기 제2분기관(320), 제3분기관(330), 제4분기관(340) 순으로 제2제어밸브(420)가 개방되어 흡입된 공기의 오염도가 개별적으로 측정되며, 이를 통해 오염원이 어느 샘플링 포트(100)를 통해 유입된 것인지를 분석하게 된다.

이 외에도, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)를 이용한 모니터링 방법은 상기 제1 내지 제4분기관((310, 320, 330, 340)을 통해 흡입된 공기의 오염도를 개별적으로 측정하다가, 이벤트가 발생되지 않더라도, 일정 시점에 상기 제1 내지 제4흡입관(210, 220, 230, 240) 상의 제1제어밸브(410)를 개방하고, 상기 제1 내지 제4분기관(310, 320, 330, 340) 상의 제2제어밸브(420)를 폐쇄하여 평균 오염도를 측정할 수도 있다.

즉, 본 발명은 각각의 샘플링 포트(100)에 대해 통합적으로 평균 오염도를 측정하는 모드와, 하나씩 개별적으로 측정하는 모드를 필요에 따라 다양하게 선택하여 사용할 수 있다.

반면, 오염발생위치 발견장치(1)를 이용하여 모니터링 하는 방법의 실시예 2는 a) 다수개의 상기 흡입관(200) 상에 구비된 상기 제1제어밸브(410)를 모두 개방하고, 상기 제2제어밸브(420)를 모두 폐쇄하는 단계; b) 상기 검출부(600)에서 상기 흡입관(200)을 통해 유입된 공기의 평균 오염도를 측정하는 단계; c) 측정된 평균 오염도가 미리 설정된 범위를 벗어나면 상기 제1제어밸브(410)가 모두 폐쇄되는 단계; d) 미리 결정된 순서에 따라, 복수의 제2제어밸브(420)들이 개방되어, 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 측정되는 단계; e) 측정된 평균 오염도가 미리 설정된 범위를 벗어나면, 개방된 제2제어밸브(420)들 중 일부의 제2제어밸브(420)들이 폐쇄되어, 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 측정되며, 측정된 평균 오염도가 미리 설정된 범위를 벗어나지 않으면, 개방된 제2제어밸브(420)들이 폐쇄되고, 폐쇄된 제2제어밸브(420)들이 개방되어, 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 측정되는 단계; 를 포함한다.

또한, 특정 이벤트(오염)가 발생될 경우에는 상기 제1제어밸브(410)를 모두 폐쇄하고, 상기 제2제어밸브(420) 중 일부를 개방하며, 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 상기 검출부(600)에서 측정되도록 한다.

본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)를 이용한 모니터링 방법의 실시예 2를 설명하면,

실시예 2는 실시예 1과 동일한 모니터링 장치(1)를 이용하며, 이벤트가 발생되지 않을 경우, 본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 상기 제1 내지 제4흡입관(210, 220, 230, 240) 상의 제1제어밸브(410)가 개방되며, 상기 제1 내지 제4분기관(310, 320, 330, 340) 상의 제2제어밸브(420)가 폐쇄된다.

상기 진공펌프(830) 및 상기 검출부(600) 내의 펌프가 동작되면, 상기 샘플링 포트(100)를 통해 상기 제1 내지 제4흡입관(210, 220, 230, 240)을 따라 샘플링 공기가 상기 믹싱부(500)에 도달하며, 도달되어 혼합된 공기의 일부는 상기 검출부(600)로 유입되어 오염도가 측정되고, 나머지 공기는 상기 배출관(831)을 통해 배출된다.

이렇게 측정된 평균 오염도가 일정 범위를 벗어나게 되면, 상기 제1제어밸브(410)가 모두 폐쇄된다. 여기까지는 실시예 1과 동일하다.

이 후, 제2제어밸브(420)는 모두 개방되는 것이 아니라, 복수의 제2제어밸브(420)만 개방된다. 예를 들어 설명하면, 제1 내지 제4분기관(310, 320, 330, 340) 상의 제2제어밸브(420) 중 상기 제1 및 제2분기관(310, 320) 상의 제2제어밸브(420)는 개방되고, 제3 및 제4분기관(330, 340) 상의 제2제어밸브(420)는 폐쇄된다. 이 때, 상기 제1 및 제2분기관(310, 320)을 통해 공기가 흡입되어, 상기 검출부(600)에서 오염도가 측정된다.

만약, 상기 검출부(600)에서 측정된 평균 오염도가 일정 범위를 벗어나게 되면, 제1 내지 제2분기관(310, 320) 상의 개방된 제2제어밸브(420) 중 상기 제2분기관(320) 상의 제2제어밸브(420)는 폐쇄되고, 제1분기관(310) 상의 제2제어밸브(420)는 개방된 상태로 유지된다. 제1분기관(310)을 통해 공기가 흡입되어, 상기 검출부(600)에서 오염도가 측정된다. 이 때, 상기 검출부(600)에서 측정된 평균 오염도가 일정 범위를 벗어나지 않으면, 제1분기관(310) 상의 제2제어밸브(420)는 폐쇄되고, 제2분기관(320) 상의 제2제어밸브(420)는 개방되어, 흡입된 공기의 오염도가 측정된다.

반면, 제1 및 제2분기관(310, 320) 상의 제2제어밸브(420)가 개방된 상태에서, 상기 검출부(600)에서 측정된 평균 오염도가 일정 범위를 벗어나지 않으면, 제1 내지 제2분기관(310, 320) 상의 개방된 제2제어밸브(420)는 모두 폐쇄되고, 제3 및 제4분기관(330, 340) 상의 제2제어밸브(420)는 개방된다. 이 후, 상기 제3 및 제4분기관(330, 340) 상의 개방된 제2제어밸브(420) 중 제4분기관(340) 상의 제2제어밸브(420)는 폐쇄되고, 제3분기관(330) 상의 제2제어밸브(420)는 개방된 상태로 유지된다. 제3분기관(330)을 통해 공기가 흡입되어, 상기 검출부(600)에서 오염도가 측정된다. 이 때, 검출부(600)에서 측정된 평균 오염도가 일정 범위를 벗어나지 않으면, 제3분기관(330) 상의 제2제어밸브(420)는 폐쇄되고, 제4분기관(340) 상의 제2제어밸브(420)는 개방되어, 흡입된 공기의 오염도가 측정된다.

실시예 2의 모니터링 방법은 분기관이 다수일 때, 피측정 공간 내의 오염 포인트를 신속하게 찾을 수 있는 장점이 있다.

상기 실시예에서는 하나의 샘플링 포트(100)에 대해 2개의 밸브가 설치되어 있으나, 하나의 샘플링 포트(100)에 대해 1개의 2방향 밸브만을 설치할 수도 있다.

도 5는 본 발명의 오염발생위치 발견장치의 흡입관에만 각각 하나의 2방향 밸브가 설치된 모습이다.

도 5의 오염발생위치 발견장치(1)는 샘플링 포트(100), 흡입관(200), 믹싱부(500), 검출부(600), 제어부(미도시)를 포함하여 형성된다.

각각의 흡입관(210 - 240)에는 각각의 제1유량조절부(810)과 제1제어밸브(410)가 설치된다. 제1유량조절부(810)과 제1제어밸브의 순서는 바뀔 수 있다.

제어부는 각각의 제1유량조절부(810)과 제1제어밸브(410)를 제어하여, 각각의 샘플링 포트(100)에서 유입되는 공기의 양을 조절할 수 있다.

예를 들어, 제1흡입관으로부터만 공기를 흡입하려면, 제1흡입관의 제1제어벨브를 열고, 나머지 흡입관의 제1제어벨브를 모두 닫으면 된다. 또 제1흡입관과 제3흡입관의 공기를 흡입하려면, 제1흡입관의 제1제어벨브와 제3흡입관의 제1제어밸브를 열고 나머지 흡입관의 제1제어벨브를 모두 닫으면 된다. 만일 모든 흡입관의 공기를 흡입하려면 모든 흡입관의 제1제어밸브를 모두 열면 된다.

또한 여러 개의 흡입관으로부터 공기를 흡입할 때, 각 흡입관의 제1유량조절부를 제어하여 각 흡입관에서 유입되는 공기의 비율을 조절할 수 있다.

또한 도 5의 오염발생위치 발견장치(1)에서도 배출관이 설치될 수 있고, 믹싱부와 배출관 사이에 제2유량조절부와 진공펌프를 설치할 수 있다.

도 6은 믹싱부와 배출관 사이에 제2유량조절부와 진공펌프가 형성된 개념도이다.

도 6의 오염발생위치 발견장치(1)에서는, 믹싱부(500)과 배출관(831) 사이에 제2유량조절부(820)와 진공펌프(830)가 설치된다.

도 6의 오염발생위치 발견장치(1)에서는, 상기 샘플링 포트(100)를 통해 흡입되는 공기의 유량을 늘려 믹싱부(500)까지 도달하는 공기의 유속을 증가시키는 대신, 상기 검출부(600)로 흡입되어야 하는 공기의 양을 제외한 나머지 샘플링 공기가 상기 배출관(831)을 통해 배출되도록 할 수 있다.

또한 도 5의 오염발생위치 발견장치(1)에 있어서, 믹싱부(500)와 검출부(600) 사이에도 제2유량조절부와 진공펌프를 설치할 수 있다.

믹싱부(500)와 검출부(600) 사이에 설치된 제2유량조절부와 진공펌프는 검출부(600)로 유입되는 공기의 양을 조절하는 역할을 한다.

본 발명의 오염발생위치 발견장치(1)는 통합모드, 스캔모드, 리크모드의 3개의 모드로 동작할 수 있다.

통합모드는 여러 샘플링 포트로부터 공기를 흡입하여 평균오염도를 관리하는 모드이다. 이 모드에서는 평균 오염도가 일정값보다 작으면 (오염물질의) 누출이 없는 것으로 판단하게 된다.

스캔(scan)모드는 평균오염도가 일정 기준치를 벗어나는 것으로 판단된 경우 각각의 샘플링 포트로부터 유입된 공기의 오염도를 구해서 누출이 있는 샘플링 포트를 찾아내는 모드이다.

리크(leak)모드는 누출이 있는 샘플링 포트를 찾은 후 그 샘플링 포트를 계속해서 샘플링하는 모드이다.

각각의 샘플링 포트로부터 유입된 공기의 오염도를 구해서 누출이 있는 샘플링 포트를 찾아낼 때, 소정의 측정시간 구간동안에 측정한 오염도가 소정 기준값 이하이면 선택된 샘플링 포트(100)에는 누출이 없는 것으로 판단하게 되는데, 이때 측정된 오염도 값이 소정 기준값보다 작을수록 소정의 측정시간을 더 짧게 할 수 있다.

예를 들어, 5초 동안 측정한 오염도 값이 10 이하이면 누출이 없는 것으로 판단한다고 할 때, 처음 2초동안 측정된 오염도 값이 5이하라면 누출의 가능성이 매우 적다고 판단할 수 있으므로, 5초동안 계속 측정할 필요가 없이 2초나 3초만에 측정을 중지할 수 있다.

측정된 오염도 값이 소정 기준값보다 작을수록 소정의 측정시간을 더 짧게 하는 기능을 가속기능이라고 할 수 있는데, 실험결과 가속기능을 사용하면, 가속기능을 사용하지 않을 때보다 80% 이상 스캔 속도가 향상되었다.

또한 통합모드에서 모든 샘플링 포트로부터 공기를 유입할 수도 있으나, 다수의 상위그룹으로 분리한 후, 각 그룹에 대해 순차적으로 오염도를 측정할 수도 있다. 예를 들어, 100개의 샘플링 포트가 있는 경우, 10개씩 10개의 상위그룹으로 나누어 순차적으로 오염도를 측정하다가 오염도가 기준치 이상인 상위그룹을 발견하면 그 상위그룹에 속하는 샘플링 포트의 오염도를 순차적으로 측정하여 누출이 일어나는 샘플링 포트를 발견할 수 있다.

특정 상위그룹에 속하는 샘플링 포트의 중 하나의 샘플링 포트에 누출이 있는 것으로 판단되어 그 상위그룹에 속하는 샘플링 포트의 오염도를 순차적으로 검색하여야 하는 경우, 그 상위그룹에 속하는 샘플링 포트들을 몇 개의 하위그룹으로 나누어서 순차적으로 검색할 수도 있다.

또 샘플링 포트들을 그룹화할 때 각각의 그룹에 속하는 샘플링 포트들의 수를 동일하게 하여야 하는 것은 아니며 필요에 따라 다르게 할 수 있다. 예를 들어, 어떤 그룹은 5개, 어떤 그룹은 3개, 어떤 그룹은 1개로 할 수도 있다.

또 여러 개의 그룹으로 나눌 때, 여러가지 기준에 의해 그룹을 나눌 수 있지만, 평균 오염도(누출이 없을 때의 오염도를 평균한 값)가 비슷한 샘플링 포트들을 같은 그룹으로 묶으면, 좀 더 빨리 정확하게 누출을 찾아낼 수 있다.

예를 들어, 샘플링 포트 1 내지 6의 평균오염도가 각각 20, 21, 10, 9, 8, 1이라면, 샘프링 포트 1과 2를 하나의 그룹으로 묶고, 샘플링 포트 3 내지 5를 하나의 그룹으로 묶고, 샘플링 포트 6을 하나의 그룹으로 할 수 있다.

본 발명에 의한 이용한 오염발생위치 발견방법은 본 발명에 의한 오염발생위치 발견장치에 프로그램(또는 컴퓨터 프로그램)을 설치함으로써 구현된다. 즉 본 발명에 의한 오염발생위치 발견장치는 프로그램이 저장되는 메모리를 포함하고 있는데, 본 발명의 발견방법을 구현하는 프로그램이 그 메모리(컴퓨터 판독가능 기록매체)에 저장되어서 본 발명에 의한 오염발생위치 발견장치가 본 발명에 의한 오염발생위치 발견방법을 구현하도록 한다.

이에 따라, 본 발명에 따른 오염발생위치 발견장치(1) 및 이를 이용한 모니터링 방법은 피측정 공간 내에 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트(100)를 포함하여 형성되며, 다수개의 샘플링 포트(100)로부터 흡입되는 공기의 평균 오염도를 측정하다가 평균 오염도가 일정 범위를 벗어날 경우, 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 개별적 또는 부분적으로 측정되도록 함으로써, 광범위한 공간에서의 오염도를 효과적으로 모니터링 할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 넓은 공간에 여러 개의 샘플링 포트(100)를 두고, 피측정 공간 내의 평균 오염도를 관리함으로써, 이벤트 발생 시 오염원을 신속하게 찾을 수 있다는 장점이 있다.

즉, 본 발명은 샘플링 포트(100)가 장착된 구역의 오염도에 대한 평균 데이터를 관리함으로써, 하나의 장치를 이용하여 넓은 공간의 오염도를 관리할 수 있을 뿐만 아니라, 평균 오염도가 상승되었을 때에는 오염 소스를 파악하기위해 각각의 샘플링포트를 순차적 또는 특정 시퀀스에 의해 개별적으로 농도를 스캐닝 함으로써, 신속하게 오염지역을 찾을 수 있다.

이에 따라, 본 발명은 신속한 공간 오염도 맵핑 및 이벤트 포착이 가능하며, 하나의 동일 계측기(검출부(600))를 사용함에 따라 계측기 간의 오차를 제거할 수 있고, 여러 대의 계측기를 사용하는 기존 방식에 비해 비용을 크게 절감할 수 있다는 장점이 있다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.

1 : 오염발생위치 발견장치
100 : 샘플링 포트
200 : 흡입관
210, 220, 230, 240 : 제1 내지 제4흡입관
300 : 분기관
310, 320, 330, 340 : 제1 내지 제4분기관
410 : 제1제어밸브 420 : 제2제어밸브
500 : 믹싱부
600 : 검출부
810 : 제1유량조절부 820 : 제2유량조절부
830 : 진공펌프 831 : 배출관

Claims

피측정 공간 내에서의 오염발생위치를 발견하는 오염발생위치 발견장치에 있어서,
피측정 공간 내 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트(100);
각각의 상기 샘플링 포트(100)와 연결되는 흡입관(200);
상기 흡입관(200)에 설치되는 제1제어밸브(410);
상기 흡입관(200)의 단부와 연결되어 흡입된 공기가 포집 및 혼합되는 믹싱부(500);
상기 믹싱부(500)를 통과하여 유입된 공기의 오염도를 측정하는 검출부(600);
상기 제1제어밸브(410) 및 상기 검출부(600)를 제어하는 제어부; 를 포함하여 형성되며,
상기 제어부는,
상기 제1제어밸브(410)를 모두 개방하여 다수개의 상기 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 평균 오염도가 측정되도록 하거나, 상기 제1제어밸브(410) 중 일부의 제1제어밸브(410)는 개방하고 일부 제1제어밸브(410)는 폐쇄하여 일부 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 측정되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견장치.
제 1항에 있어서,
상기 오염발생위치 발견장치는,
다수개의 상기 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 평균 오염도가 일정 범위를 벗어날 경우,
상기 제1제어밸브(410)를 하나씩 순차적으로 개방하고 나머지 제1제어밸브(410)는 폐쇄한 상태에서, 샘플링 포트(100)로부터 흡입된 공기의 오염도가 측정되도록 하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견장치.
제 1항에 있어서,
상기 오염발생위치 발견장치(1)는,
상기 샘플링 포트(100)가 분리된 하나의 공간 내에 다수개 장착되거나, 분리된 다수개의 공간에 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견장치.
제 1항에 있어서,
상기 흡입관(200)에 설치되는 제1유량조절부(810)를 추가적으로 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견장치.
제 1항에 있어서,
상기 믹싱부(500)와 연결되며, 상기 샘플링 포트(100)로부터의 공기가 흡입되도록 음압을 가하는 진공펌프(830)를 추가적으로 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견장치.
제 1항에 있어서,
상기 믹싱부(500) 및 진공펌프(830) 사이에 제2유량조절부(820)를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견장치.
제 1항에 있어서,
상기 믹싱부(500)는,
다수개의 상기 흡입관(200)의 단부와 각각 연결된 관이 하나로 모여지는 관 형태이거나, 별도의 혼합수단이 구비되는 믹싱챔버 형태인 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견장치.
피측정 공간 내 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트(100); 각각의 상기 샘플링 포트(100)와 연결되는 흡입관(200); 상기 흡입관(200)에 설치되는 제1제어밸브(410); 상기 흡입관(200)의 단부와 연결되어 흡입된 공기가 포집 및 혼합되는 믹싱부(500); 상기 믹싱부(500)를 통과하여 유입된 공기의 오염도를 측정하는 검출부(600); 상기 제1제어밸브(410) 및 상기 검출부(600)를 제어하는 제어부; 를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서,
a) 다수개의 상기 흡입관(200) 상에 구비된 상기 제1제어밸브(410)가 모두 개방되는 단계;
b) 검출부(600)에서 유입된 공기의 오염도를 측정되는 단계;
c) 측정된 평균 오염도가 미리 설정된 범위를 벗어나면, 상기 제1제어밸브(410)의 일부가 폐쇄되는 단계;
d) 검출부(600)에서 유입된 공기의 오염도를 측정하고, 소정의 측정시간 구간동안에 측정한 오염도가 소정 기준값 이하이면 선택된 샘플링 포트(100)에는 누출이 없는 것으로 판단하는 단계;
e) 상기 c)단계와 d)단계를 반복하여 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견방법.
제8항에 있어서,
d)단계에서 측정된 오염도 값이 소정 기준값보다 작을수록 소정의 측정시간을 더 짧게 하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견방법.
제8항에 있어서,
e)단계 후 누출이 있는 샘플링포트를 계속해서 샘플링하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견방법.
피측정 공간 내 여러 포인트의 공기가 흡입되도록 다수개 구비되는 샘플링 포트(100); 각각의 상기 샘플링 포트(100)와 연결되는 흡입관(200); 상기 흡입관(200)에 설치되는 제1제어밸브(410); 상기 흡입관(200)의 단부와 연결되어 흡입된 공기가 포집 및 혼합되는 믹싱부(500); 상기 믹싱부(500)를 통과하여 유입된 공기의 오염도를 측정하는 검출부(600); 상기 제1제어밸브(410) 및 상기 검출부(600)를 제어하는 제어부; 를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서,
a) 상기 샘플링 포트(100)를 다수개의 그룹으로 나누는 단계;
b) 어느 하나의 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)의 제1제어밸브(410)를 동시에 개방하고 나머지 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)의 제1제어밸브(410)을 모두 폐쇄하는 단계;
c) 해당 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)로부터 유입된 공기의 평균 오염도를 구하여, 그 평균 오염도가 소정 기준값 이하이면, 해당 그룹의 샘플링 포트(100)에서는 누출이 없는 것으로 판단하는 단계;
d) 모든 그룹에 대해 b)단계와 c)단계를 순차적으로 반복하다가 그 평균 오염도가 소정 기준값보다 커지면, 그 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)에 누출이 있는 것으로 판단하고, 그 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)에 대해 순차적으로 오염도 검사를 하는 단계;
e) 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견방법.
다수의 샘플링 포트(100)를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서,
a) 샘플링 포트(100)를 다수개의 그룹으로 나누는 단계;
b) 어느 하나의 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)의 평균 오염도를 구하여, 그 평균 오염도가 기준값 이하이면, 해당 그룹의 샘플링 포트(100)에서는 누출이 없는 것으로 판단하는 단계;
c) 모든 그룹에 대해 b)단계를 순차적으로 반복하다가 그 평균 오염도가 소정 기준값보다 커지면, 그 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)에 누출이 있는 것으로 판단하고, 그 그룹에 속하는 샘플링 포트(100)에 대해 순차적으로 오염도 검사를 하는 단계;
d) 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견방법.
다수의 샘플링 포트(100)를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서,
a) 다수의 샘플링 포트(100) 평균 오염도를 구하여, 그 평균 오염도가 기준값 이하이면, 다수의 샘플링 포트(100)에서 누출이 없는 것으로 판단하는 단계;
c) 상기 평균 오염도가 소정 기준값보다 커지면, 어느 하나의 샘플링 포트(100)에 누출이 있는 것으로 판단하고, 각각의 샘플링 포트(100)에 대해 순차적으로 오염도 검사를 하는 단계;
d) 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계;
를 포함하고,
각각의 샘플링 포트(100)에 대해 오염도 검사를 하는 함에 있어서, 소정의 측정시간 구간동안에 측정한 오염도가 소정 기준값 이하이면 선택된 샘플링 포트(100)에는 누출이 없는 것으로 판단하고, 측정된 오염도 값이 소정 기준값보다 작을수록 소정의 측정시간을 더 짧게 하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견방법.
다수의 샘플링 포트(100)를 포함하는 오염발생위치 발견장치를 이용한 오염발생위치 발견방법에 있어서,
a) 다수의 샘플링 포트(100) 평균 오염도를 구하여, 그 평균 오염도가 기준값 이하이면, 다수의 샘플링 포트(100)에서 누출이 없는 것으로 판단하는 단계;
c) 상기 평균 오염도가 소정 기준값보다 커지면, 어느 하나의 샘플링 포트(100)에 누출이 있는 것으로 판단하고, 각각의 샘플링 포트(100)에 대해 순차적으로 오염도 검사를 하는 단계;
d) 누출이 있는 샘플링 포트(100)를 찾는 단계;
e) 누출이 있는 샘플링포트를 계속해서 샘플링하는 단계;를
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오염발생위치 발견방법.
오염발생위치 발견장치에 설치될 때, 그 오염발생위치 발견장치가 제8항 내지 제14항 중 어느 한 항의 방법을 구현하도록 하는 프로그램을 기록한 기록매체.
오염발생위치 발견장치에 설치될 때, 그 오염발생위치 발견장치가 제8항 내지 제14항 중 어느 한 항의 방법을 구현하도록 하는, 기록매체에 기록된 프로그램.