KR101658507B1 - 가스 샘플러 및 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 가스 샘플러는 감지 대상 가스의 누설 여부를 감지하는 감지 위치로 연장되어 공기를 포집하는 복수 개의 공기 포집관과, 복수 개로 형성되어 일단이 각각 상기 공기 포집관과 연결되어 상기 공기 포집관으로부터 공기가 유입되는 공기 유입관과, 상기 공기 유입관에 결합되는 유입 솔레노이드 밸브와, 복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 상기 공기 유입관으로부터 공급되는 공기가 흐르는 메인관과, 상기 메인관에 결합되어 상기 메인관을 흐르는 공기의 유량을 제어하는 메인 유량계와, 상기 메인관과 연결되어 상기 공기 포집관에서 공기를 포집하는데 필요한 흡인력을 제공하는 진공 펌프와, 일단이 상기 복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 가스 측정 모듈로 공기를 공급하는 공기 공급관, 상기 공기 유입관의 개수에 대응되는 개수로 형성되며, 일단이 각각 상기 공기 유입관에 연결되며, 타단이 상기 진공 펌프에 연결되는 바이패스관 및 상기 바이패스관에 결합되어 상기 바이패스관을 흐르는 공기의 유량을 제어하는 바이패스 유량계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

가스 샘플러 및 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치{Gas Sampler and Gas leakage Detection Device having the Same}
본 발명은 반도체 제조 라인 또는 평판 디스플레이 제조 라인에 설치되어 복수 개의 위치에서 공기를 샘플링하여 가스 측정 모듈로 공급하는 가스 샘플러 및 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 라인 또는 평판 디스플레이 제조 라인에서는 여러 설비가 상호 연결되어 있으므로 설비의 노후화 작업자의 실수 등으로 가스 누설이 발생하게 되면 가스 누설 부위를 찾아내어 신속하게 누설 부위를 수리하여 가스 누설로 인한 피해를 줄이는 것이 필요하다. 또한, 석유화학 제품 제조 라인도 많은 배관이 연결되어 있어 동일한 필요성이 요구되고 있다.
반도체 제조 라인에서는 사람에게 유해한 가스와 같은 화학약품이 많이 사용되는 관계로 적은 양이 누출되더라도 사람에게 치명적인 피해를 입히게 된다. 한편, 최근에는 반도체 제조 라인은 시설의 노후화와 작업자의 실수 등에 의하여 약품의 누출로 인한 대형 사고가 우려되고 있다. 반도체 제조 라인은 가스 누설이 발생되더라도 감시자가 확인하기 전까지는 가스 누설 사실을 알기가 어려운 실정이었다.
따라서, 최근에는 반도체 제조 라인이나 석유화학약품 제조 라인과 같이 누설에 의한 심각한 피해가 예상되는 제조 라인들은 가스 누설이 우려되는 장소에 가스 누설 여부를 실시간으로 감지하기 위하여 가스 누설 감지 장비의 설치가 진행되고 있다.
그러나, 이러한 제조 라인에서 가스 누설을 감지해야 하는 영역이 넓은 경우에, 설치되어야 하는 가스 누설 감지 장비의 수가 증가되어 비용이 증가되는 문제가 있다. 따라서, 최근에는 가스 누설 감지 장치의 수를 최소화하기 위하여, 감지 대상 가스의 포집을 위한 복수 개의 공기 포집관을 가스 누설 감지 장치로부터 가스 누설 여부 감지 위치까지 연장하는 방법이 개발되고 있다. 그러나, 이러한 방법은 공기 포집관의 길이가 길어지는 경우에, 가스 누설 감지 장치가 공기를 원활하게 포집하기 어려워 가스 누설 여부를 정확하게 감지하기 어려운 측면이 있다. 또한, 이러한 방법은 가스 누설 여부 감지 위치가 많은 경우에 하나의 가스 누설 감지 장치에 연결되는 공기 포집관의 개수가 증가되어 가스 누설 여부를 실시간으로 동시에 감지하기 어려운 측면이 있다.
상기 가스 샘플러는 감지 대상 가스에 의한 공정상의 문제뿐만 아니라 환경 안전의 관점에서 신속한 사고 감지 능력을 위하여 중요성이 대두되고 있다.
본 발명은 감지 대상 가스의 누설 여부를 실시간으로 감지할 수 있도록, 복수의 감지 위치에서 공기를 포집하여 균일한 유량으로 가스 측정 모듈로 공급하는 가스 샘플러 및 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 가스 샘플러는 감지 대상 가스의 누설 여부를 감지하는 감지 위치로 연장되어 공기를 포집하는 복수 개의 공기 포집관과, 복수 개로 형성되어 일단이 각각 상기 공기 포집관과 연결되어 상기 공기 포집관으로부터 공기가 유입되는 공기 유입관과, 상기 공기 유입관에 결합되는 유입 솔레노이드 밸브와, 복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 상기 공기 유입관으로부터 공급되는 공기가 흐르는 메인관과, 상기 메인관에 결합되어 상기 메인관을 흐르는 공기의 유량을 제어하는 메인 유량계와, 상기 메인관과 연결되어 상기 공기 포집관에서 공기를 포집하는데 필요한 흡인력을 제공하는 진공 펌프와, 일단이 상기 복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 가스 측정 모듈로 공기를 공급하는 공기 공급관, 상기 공기 유입관의 개수에 대응되는 개수로 형성되며, 일단이 각각 상기 공기 유입관에 연결되며, 타단이 상기 진공 펌프에 연결되는 바이패스관 및 상기 바이패스관에 결합되어 상기 바이패스관을 흐르는 공기의 유량을 제어하는 바이패스 유량계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가스 샘플러는 상기 공기 유입관에 결합되어 상기 공기 유입관을 흐르는 공기의 유량을 표시하는 유입 유량계를 더 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 가스 샘플러는 일단이 개방되고 타단이 상기 공기 공급관에 연결되는 청소용 공기 공급관을 더 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 공기 포집관은 상기 감지 위치에 따라 적어도 2개가 서로 다른 길이로 형성될 수 있다. 이때, 상기 바이패스 유량계는 상기 바이패스관을 흐르는 공기의 유량을 제어하여 복수 개의 상기 공기 유입관에 균일한 공기 유량이 흐르도록 할 수 있다.
또한, 상기 가스 샘플러는 내부가 중공이며 밀폐된 박스 또는 통 형상으로 형성되며 상기 공기 유입관과 메인관 사이에 결합되는 공기 버퍼와, 일단이 공기 버퍼에 연결되고 타단이 공기 공급관에 연결되는 버퍼 연결관 및 상기 버퍼 연결관에 결합되는 버퍼 솔레노이드 밸브를 더 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 가스 샘플러는 1 대의 상기 진공 펌프와, 1 개의 상기 메인관과 메인 유량계 및 공기 버퍼와, 복수 개의 상기 공기 포집관과 공기 유입관과 유입 솔레노이드 밸브와 바이패스관 및 바이패스 유량계와 버퍼 연결관 및 버퍼 솔레노이드 밸브를 포함하는 복수 개의 샘플러 유닛 및 복수 개의 상기 버퍼 연결관과 연결되는 공기 공급관을 포함하며, 상기 샘플러 유닛은 각각 독립적으로 공기를 포집하여 상기 공기 공급관을 통하여 상기 가스 측정 모듈로 공급하도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 샘플러 유닛은 적어도 2개의 샘플러 유닛으로 분리되어 형성되며, 상기 가스 측정 모듈에서 감지 대상 가스가 감지되면 상기 하나의 샘플러 유닛의 버퍼 솔레노이드 밸브를 차단하고, 상기 다른 하나의 샘플러 유닛의 유입 솔레노이드 밸브를 순차적으로 열고 닫으면서 감지 대상 가스를 포함하는 공기가 유입되는 상기 공기 유입관을 찾도록 작동할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스 누설 감지 장치는 상기와 같은 가스 샘플러 및 상기 가스 샘플러로부터 공급되는 공기에 감지 대상 가스가 포함되어 있는지 여부를 측정하는 가스 측정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 공기 유입관은 복수 개에 서로 균일한 공기 유량이 흐르며, 상기 감지 위치에서 포집된 공기의 감지 대상 가스의 농도는 M = (Mt - (Mo x (N-1)) x N(여기서, M0: 평상시 공기의 감지 대상 가스의 농도, N: 가스 측정 모듈에 연결되는 공기 유입관의 전체 개수, Mt: 감지 측정 모듈에서 측정된 감지 대상 가스의 농도)으로 산출될 수 있다.
본 발명에 따른 가스 샘플러와 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치는 복수 개의 감지 위치에서 실시간으로 공기를 포집하여 균일한 유량으로 가스 측정 모듈로 공급하여 감지 대상 가스의 누설 여부를 신속하게 확인할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스 샘플러와 가스 누설 감지 장치는 공기를 포집하는 감지 위치에 따라 공기 포집관의 길이가 다르더라도 균일한 유량의 공기가 가스 측정 모듈로 공급되도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스 샘플러와 가스 누설 감지 장치는 균일한 유량의 공기가 가스 측정 모듈로 공급되므로 감지 대상 가스의 농도를 실시간으로 산출하여 대응 방법을 신속하게 결정하도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스 샘플러와 가스 누설 감지 장치는 가스 샘플러 내부에서의 공기 유입관의 길이를 최소화하여 공기 유입관의 길이에 따른 공기의 마찰력 차이에 의하여 가스 측정 모듈로 공급되는 공기의 유량이 변화되는 것을 최소화하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스 샘플러와 가스 누설 감지 장치는 공기 유입관의 길이를 최소화하여 진동 펌프의 진동에 의한 영향을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스 샘플러 및 가스 누설 감지 장치는 복수 개의 위치에서 공기를 포집하여 가스 측정 모듈로 공급하므로 가스 누설 감지 장치의 수를 감소시켜 설치 비용 및 운용 비용을 절감시키는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러와 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러와 이를 포함하는 가스 누설 측정 장치의 개략적인 구성도이다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 가스 샘플러 및 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치를 첨부된 도면을 통하여 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러 및 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러와 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치의 개략적인 구성도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)는, 도 1을 참조하면, 복수 개의 공기 유입관(120)과 유입 유량계(125)와 유입 솔레노이드 밸브(127)와 메인관(130)과 메인 유량계(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 유량계(145)와 공기 공급관(150) 및 진공 펌프(160)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 가스 샘플러(100)는 복수 개의 공기 포집관(110) 및 청소용 공기 공급관(170)을 더 포함하여 형성될 수 있다.
상기 가스 샘플러(100)는 공기 유입관(120)과 유입 유량계(125)와 메인관(130)과 메인 유량계(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 유량계(145)와 공기 공급관(150)과 진공 펌프(160) 및 유입 솔레노이드 밸브(127)가 가스 샘플러 본체(100a)를 구성하며, 공기 포집관(110)이 가스 샘플러 본체(100a)로부터 외부로 연장되어 형성된다.
상기 가스 샘플러(100)는 가스 누설 여부를 감지하는 복수 개의 위치(이하 '감지 위치'라 한다)에서 동시에 포집되는 공기를 가스 측정 모듈(20)로 공급한다. 이때, 상기 가스 샘플러(100)는 각 감지 위치에서 포집되는 공기를 균일한 유량으로 가스 측정 모듈(20)로 공급하여 감지 위치별로 포집되는 공기 유량의 차이에 따른 감지 대상 가스의 농도 산출 오차를 감소시킨다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누설 감지 장치(10)는 가스 샘플러(100) 및 가스 측정 모듈(20)을 포함하여 형성된다. 상기 가스 측정 모듈(20)은 공기 포집관(110)의 개수가 많은 경우에 2대 이상으로 형성될 수 있다. 상기 가스 측정 모듈(20)은 가스 성분의 성분 분석에 사용되는 일반적인 분석기로 형성된다. 또한, 상기 가스 누설 측정 장치(10)는 별도의 제어부(미도시)를 구비하여 가스 샘플러(100)와 가스 측정 모듈(20)의 작동을 제어할 수 있다.
상기 가스 측정 모듈(20)은 가스 샘플러(100)로부터 공급되는 공기를 분석하여 감지 대상 가스의 농도를 산출하고, 산출된 농도로부터 감지 대상 가스의 누설 여부를 확인한다. 따라서, 상기 가스 측정 모듈(20)은 감지 대상 가스의 누설이 있는 경우에 신속하게 가스가 누설된 감지 위치를 확인할 수 있도록 한다.
또한, 상기 가스 누설 감지 장치(10)는 가스 측정 모듈(20)로부터 산출된 농도로부터 감지 대상 가스의 누설 정도를 파악하고 필요한 경우에 연결된 별도의 모니터(예를 들면, 가스 누설 여부를 관리하는 관리자의 컴퓨터 모니터)에 알람 신호를 생성할 수 있다. 또한, 상기 가스 누설 감지 장치(10)는 감지 대상 가스의 누설 정도에 따라 가스 누설에 대한 대응 방법을 가이드하여 진행되는 공정의 중단 여부 및 인원 대피 명령등 필요한 조치를 취하는데 도움을 줄 수 있다.
이하에서, 공기는 감지 대상 가스가 누설되어 혼합된 공기를 포함하는 개념이며, 이 경우에 가스와 같은 개념으로 사용될 수 있다. 여기서 감지 대상 가스는 암모니아, 염화 수소 또는 프로화수소와 같이 흡착성이 강한 성분일 수 있다.
상기 공기 포집관(110)은 복수 개의 공기 포집관(110)으로 구성되며, 2개, 4개, 8개 또는 16개등으로 형성될 수 있다. 상기 공기 포집관(110)은 감지 위치의 개소에 대응되는 개수로 형성될 수 있다. 상기 공기 포집관(110)은 복수 개가 가스 샘플러 본체(100a)가 설치되는 위치로부터 각각 감지 위치로 연장되어 형성된다. 상기 공기 포집관(110)은 가스 샘플러 본체(100a)로부터 감지 위치까지의 거리에 따라 어느 하나 또는 전체가 서로 다른 길이로 형성될 수 있다. 또한, 상기 공기 포집관(110)은 감지 위치까지의 경로에 따라 꺽이는 회수 또는 곡률이 다를 수 있다. 따라서, 상기 공기 포집관(110)은 길이, 꺽이는 회수 또는 곡률에 따라 내부를 흐르는 공기의 마찰력이 다르게 되어 포집하는 공기의 유량이 다를 수 있다.
상기 공기 포집관(110)은 복수 개로 형성되는 경우에 적어도 2개의 그룹으로 분리되어 감지 위치의 가스 누설을 감지하도록 형성될 수 있다. 상기 공기 포집관(110)이 그룹으로 분리되어 형성되는 경우에 가스 누설이 진행되는 감지 위치를 보다 신속하게 감지할 있다. 이에 대하여는 이하에서 보다 구체적으로 설명한다.
상기 공기 유입관(120)은 일단이 공기 포집관(110)과 연결되며, 타단이 메인관(130) 및 공기 공급관(150)과 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 메인관(130)을 통하여 진공 펌프(160)와 직렬로 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 적어도 공기 포집관(110)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다. 상기 공기 유입관(120)은 개수가 공기 포집관(110)보다 많은 경우에 일부가 공기 포집관(110)과 연결되지 않고 유입 솔레노이드 밸브(127)에 의하여 차단될 수 있다. 상기 공기 유입관(120)은 공기 포집관(110)으로부터 유입되는 공기를 메인관(130) 및 공기 공급관(150)으로 공급한다.
상기 공기 유입관(120)은 가스 샘플러(100) 내부에서 길이를 최소화하여 공기 유입관(120)의 길이에 따라 가스 측정 모듈(20)로 공급되는 공기의 공급량이 변화되는 것을 최소화한다. 또한, 상기 공기 유입관(120)은 길이를 최소화하여 진공 펌프(160)의 진동에 의한 영향을 최소화한다. 또한, 상기 공기 유입관(120)은 포집되어 유입되는 공기를 상대적으로 짧은 시간내에 가스 측정 모듈(20)로 공급하여 가스 누설 여부의 감지에 소요되는 시간을 단축한다.
상기 공기 유입관(120)은 바람직하게는 공기 포집관(110)과 동일하거나 큰 직경을 가지도록 형성된다. 상기 공기 유입관(120)의 직경이 공기 포집관(110)보다 작은 경우에 공기 포집관(110)에 포집된 공기가 원활하게 공기 유입관(120)으로 유입되지 않을 수 있다.
상기 유입 유량계(125)는 공기 유입관(120)의 중간에 결합되며, 바람직하게는 공기 공급관(150)과 연결되는 타단에 인접한 위치에 결합되다. 상기 유입 유량계(125)는 공기 유입관(120)을 흐르는 공기의 유량을 표시한다. 즉, 상기 유입 유량계(125)는 각 감지 위치에서 포집된 공기로부터 공기 유입관(120)을 통하여 가스 측정 모듈(20)로 공급되는 공기의 유량을 표시한다. 한편, 상기 유입 유량계(125)는 공기 유입관(120)을 흐르는 공기의 유량을 조절하는 조절 기능을 구비하여, 가스 측정 모듈(20)로 공급되는 공기의 유량을 조절하도록 형성될 수 있다. 상기 유입 유량계(125)는 가스의 유량을 표시 또는 제어하는 일반적인 유량계로 형성될 수 있다.
한편, 상기 유입 유량계(125)는 공기 유입관(120)에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 즉, 상기 유입 유량계(125)는 가스 샘플러(100)의 초기 설정시에만 장착되어 사용되며, 초기 설정이 완료되면 공기 유입관(120)으로부터 분리될 수 있다. 상기 유입 유량계(125)가 분리되는 경우에 유입 유량계(125)에 의한 흡착 및 압력 손실을 감소시켜, 가스 측정 모듈(20)의 분석 속도를 향상시키고, 메모리 임팩트(memory impact)를 감소시켜 감지 대상 가스의 누설 농도 산출이 효율적으로 진행되도록 할 수 있다.
또한, 상기 유입 유량계(125)가 장착된 후에, 공기 유입관(120)에는 별도의 측정 유량계(미도시)가 일시적으로 장착될 수 있다. 상기 측정 유량계는 유입 유량계(125)에서 표시되는 공기의 유량이 측정되는 공기의 유량과 일치하는지 여부를 확인하여 유입 유량계(125)의 정확성을 평가한다.
상기 유입 솔레노이드 밸브(127)는 공기 유입관(120)의 중간에 결합되며, 바람직하게는 공기 유입관(120)의 일단과 유입 유량계(125) 사이에 결합된다. 상기 유입 솔레노이드 밸브(127)는 공기 공급관(150)을 개방 또는 차단하여 유입되는 공기의 흐름을 제어한다. 상기 유입 솔레노이드 밸브(127)는 공기 유입관(120)중에서 사용되지 않는 공기 유입관(120)을 차단하여 공기가 유입되지 않도록 한다. 상기 유입 솔레노이드 밸브(127)는 원격으로 제어가 가능하도록 형성될 수 있다.
상기 메인관(130)은 일단이 공기 유입관(120) 및 공기 공급관(150)에 연결되고 타단이 진공 펌프(160)에 연결된다. 상기 메인관(130)은 공기 유입관(120)으로부터 공급되는 공기가 흐르는 경로를 제공한다. 상기 메인관(130)은 진공 펌프(160)으로부터 발생되는 흡인력을 공기 유입관(120)을 통하여 공기 포집관(110)으로 전달한다. 상기 메인관(130)은 연결되는 복수 개의 공기 유입관(120)의 전체 단면적보다 큰 단면적을 가지도록 형성된다. 상기 메인관(130)은 복수 개의 공기 유입관(120)으로 가스 측정 모듈(20)로 공급되어야 하는 공기의 유량이 충분히 유입되는데 필요한 단면적을 가지도록 형성된다.
상기 메인 유량계(135)는 메인관(130)의 중간에 결합되며, 메인관(130)을 흐르는 공기의 유량을 제어한다. 또한, 상기 메인 유량계(135)는 바이패스 유량계(145)와 함께 공기 유입관(120)으로 유입되는 공기의 유량을 제어한다. 상기 메인 유량계(135)는 가스의 유량을 표시 또는 제어하는 일반적인 유량계로 형성될 수 있다. 상기 메인 유량계(135)는 전체 공기 유입관(120)을 흐르는 공기 유량 즉, 유입 유량계(125)에 표시되는 유량보다 큰 유량이 흐르도록 설정된다. 상기 메인 유량계(135)는 바람직하게는 전체 유입 유량계(125)를 흐르는 공기 유량의 1.2 ~ 1.5배의 유량이 흐르도록 설정된다. 예를 들면, 상기 공기 유입관(120)이 4개로 형성되고 각각 유입 유량계(125)에서 2L/min으로 흐르는 경우에, 메인 유량계(135)는 8L/min보다 큰 유량이 흐르도록 설정되며, 9.6 ~ 12L/min의 유량이 흐르도록 설정된다. 상기 메인 유량계(135)를 흐르는 유량이 작게 설정되는 경우에 각 공기 유입관(120)을 흐르는 유량이 일정하게 유지되기 어렵다.
상기 바이패스관(140)은 공기 유입관(120)의 개수에 대응되는 개수로 형성되며, 각각 일단이 공기 유입관(120)의 중간에 연결되고 타단이 진공 펌프(160)에 연결된다. 따라서, 상기 바이패스관(140)은 메인관(130)과 병렬로 진공 펌프(160)에 연결된다. 상기 바이패스관(140)은 공기 유입관(120)으로 유입되는 공기의 일정 유량이 유입 유량계(125)를 통하여 공기 공급관(150)으로 공급되지 않고 진공 펌프(160)로 직접 흘러가 바이패스되도록 한다. 상기 바이패스관(140)은 공기 유입관(120)의 단면적보다 큰 단면적을 가지도록 형성된다. 상기 바이패스관(140)은 단면적이 공기 유입관(120)보다 작은 경우에 공기 유입관(120)으로 유입되는 공기 중에서 필요로 하는 유량을 바이패스시키기 어렵게 된다.
상기 바이패스 유량계(145)는 바이패스관(140)의 중간에 결합되며, 바이패스관(140)을 흐르는 공기의 유량을 제어한다. 또한, 상기 바이패스 유량계(145)는 바이패스관(140)을 흐르는 공기의 유량을 제어하여 공기 유입관(120)과 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 유량을 제어한다. 상기 가스 샘플러 본체(100a)로부터 감지 위치까지의 거리에 따라 공기 포집관(110)의 길이가 다르게 되므로, 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 유량은 감지 위치에 따라 차이가 발생한다. 따라서, 상기 바이패스 유량계(145)는 바이패스관(140)을 흐르는 공기의 유량을 조절하여 모든 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 유량이 동일하도록 조절한다. 즉, 상기 바이패스 유량계(145)는 바이패스관(140)을 흐르는 공기의 유량을 증가시켜 상대적으로 공기 유량이 많은 유입 유량계(125)의 공기 유량을 감소시킨다. 또한, 상기 바이패스 유량계(145)는 바이패스관(140)을 흐르는 공기의 유량을 감소시켜 상대적으로 공기 유량이 작은 유입 유량계(125)의 공기 유량을 증가시킨다.
상기 바이패스 유량계(145)는 공기 유입관(120)을 흐르는 유량 즉, 유입 유량계(125)에 표시되는 유량보다 큰 유량이 흐르도록 설정된다. 상기 바이패스 유량계(145)는 바람직하게는 유입 유량계(125)를 흐르는 유량의 2 ~ 3배의 유량 범위로 제어될 수 있도록 설정된다. 예를 들면, 상기 공기 유입관(120)의 유입 유량계(125)에서 2L/min으로 흐르는 경우에, 바이패스 유량계(145)는 4 ~ 6L/min의 범위에서 제어될 수 있다. 상기 바이패스 유량계(145)는 제어할 수 있는 유량 범위가 너무 작은 경우에, 공기 유입관(120)을 흐르는 유량을 충분히 제어하기 어렵다.
상기 공기 공급관(150)은 적어도 1개로 형성되며, 복수 개의 공기 유입관(120)과 동시에 연결된다. 이때, 상기 공기 공급관(150)은 일단이 복수 개의 공기 유입관(120)에 연결되고 타단이 가스 측정 모듈(20)에 연결된다. 상기 공기 공급관(150)은 가스 측정 모듈(20)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다. 상기 공기 공급관(150)은 복수 개의 공기 유입관(120)으로부터 유입되는 공기를 가스 측정 모듈(20)로 공급한다. 따라서, 상기 공기 공급관(150)은 복수 개의 공기 유입관(120)으로부터 유입되는 공기가 자연스럽게 혼합되면서 가스 측정 모듈(20)로 공급되도록 한다.
상기 진공 펌프(160)는 메인관(130)의 타단과 바이패스관(140)의 타단과 연결된다. 상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)으로부터 공기를 포집하는데 필요한 흡인력을 제공한다. 상기 진공 펌프(160)는 메인관(130) 및 바이패스관(140)에 동시에 연결되어 있으므로 메인관(130)과 바이패스관(140)을 통하여 공기 포집관(110)에 흡인력을 제공한다. 상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)의 개수와 가스 측정 모듈(20)에서 분석에 필요로 하는 공기의 유량을 고려하여 적정한 흡인력을 제공하도록 형성된다. 또한, 상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)의 길이가 증가되거나 공기 포집관(110)의 직경에 감소하는 경우에 공기의 흐름에 따른 마찰력 증가로 인하여 증가되는 흡인력을 제공하도록 형성될 수 있다. 상기 진공 펌프(160)의 흡인력이 너무 낮으면 분석에 필요한 충분한 공기 유량을 제공하지 못할 수 있다. 예를 들면, 상기 가스 측정 모듈(20)에서 필요로 하는 유량이 2L/min이고, 공기 포집관(110)의 개수가 4개인 경우에, 진공 펌프(160)는 60 L/min의 유량을 제공하도록 형성될 수 있다.
상기 청소용 공기 공급관(170)은 일단이 개방되고 타단이 공기 공급관(150)에 연결된다. 상기 청소용 공기 공급관(170)은 개방된 일단에 별도의 공기 공급 모듈(미도시)이나 질소 가스 공급 모듈(미도시)이 연결될 수 있다. 상기 청소용 공기 공급관(170)은 가스 측정 모듈(20)에서 감지 대상 가스의 측정이 진행된 경우에 공기 공급관(150)과 가스 측정 모듈(20)에 CDA(Clean Dried Air) 또는 질소 가스를 공급하여 공기 공급관(150) 및 가스 측정 모듈(20)을 청소한다. 상기 공기 공급 모듈은 외부 공기를 필터링 및 건조하여 청소용 공기 공급관(170)으로 공급한다. 상기 청소용 공기 공급관(170)은 중간에 차폐용 솔레노이드 밸브(173)가 결합되며, 필요한 경우에만 청소용 공기를 공급한다.
또한, 상기 청소용 공기 공급관(170)은 작동 불량이나 사고 발생으로 가스 샘플러(100)가 작동 중지되는 경우에 가스 측정 모듈(20)로 공기를 공급하도록 형성될 수 있다. 상기 가스 측정 모듈(20)은 작동중에 공기가 공급되지 않으면 내부의 진공 펌프(160)에 압력이 걸려 손상될 수 있다.
다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)의 작동 방법에 대하여 설명한다. 이하에서는 도 1에서 도시된 바와 같이 공기 유입관(120)이 4개로 형성되는 경우를 기준으로 설명한다.
먼저, 상기 공기 포집관(110)의 일단을 감지 위치에 위치시키고 타단을 공기 유입관(120)에 결합시킨다. 상기에서 설명한 바와 같이, 공기 포집관(110)은 감지 대상 가스의 누설을 감지하는 감지 위치와 가스 샘플러(100)의 본체와의 거리에 따라 서로 다른 길이로 형성된다. 상기 진공 펌프(160)를 가동하고 각 공기 유입관(120)에 결합되어 있는 유입 솔레노이드 밸브(127)를 열어 공기 포집관(110)을 통하여 공기가 포집되어 공기 유입관(120)으로 유입되도록 한다. 상기 공기 유입관(120)으로 유입되는 공기는 일부가 바이패스 유량계(145)를 통하여 진공 펌프(160)로 흐르며, 일부가 유입 유량계(125)와 메인 유량계(135)를 통하여 진공 펌프(160)로 흐른다. 상기 유입 유량계(125)는 공기 유입관(120)을 통하여 흐르는 공기의 유량을 표시한다. 또한, 상기 메인 유량계(135)는 유입 유량계(125)를 통하여 흐르는 전체 공기의 유량을 표시한다. 이때, 상기 바이패스 유량계(145)를 흐르는 공기의 유량이 메인 유량계(135)를 흐르는 공기의 유량보다 2 ~ 3가 되도록 메인 유량계(135)가 조절된다.
다음으로, 상기 유입 유량계(125)를 통과하는 기준 공기 유량을 설정한다. 상기 기준 공기 유량은 가스 측정 모듈(20)이 필요로 유량을 반영하여 결정한다. 이때, 상기 기준 공기 유량은 유입 유량계(125)를 통과한 공기의 일부가 진공 펌프(160)로 흐르고, 일부가 가스 측정 모듈(20)로 흐르는 점을 고려한다. 상기 4개의 공기 유입관(120)은 서로 다른 길이를 갖는 공기 포집관(110)과 연결되므로 공기 포집관(110)으로부터 유입되는 공기 유량이 다르게 되며, 유입 유량계(125)가 표시하는 공기 유량이 다르게 된다. 따라서, 상기 바이패스 유량계(145)를 조절하여 4개의 유입 유량계(125)에 기준 공기 유량과 동일한 유량의 공기가 흐르도록 한다. 보다 구체적으로는, 상기 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 유량이 기준 공기 유량보다 작은 경우에, 바이패스 유량계(145)를 흐르는 공기의 유량이 감소되도록 바이패스 유량계(145)를 설정한다. 상기 바이패스 유량계(145)를 흐르는 공기의 유량이 감소하는 경우에 상대적으로 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 유량이 증가된다. 또한, 상기 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 유량이 기준 공기 유량보다 큰 경우에, 바이패스 유량계(145)를 흐르는 공기의 유량이 증가되도록 바이패스 유량계(145)를 설정한다. 상기 바이패스 유량계(145)를 흐르는 공기의 유량이 증가되는 경우에 상대적으로 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 유량이 감소된다. 상기와 같은 과정을 통하여, 4 개의 바이패스 유량계(145)는 4개의 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 유량이 기준 공기 유량과 동일하도록 설정된다.
다음으로 상기 가스 샘플러(100)가 연결되는 가스 측정 모듈(20)을 작동시키면, 유입 유량계(125)를 흐르는 공기의 일부가 가스 측정 모듈(20)로 공급된다. 상기 가스 측정 모듈(20)은 내부에 진공 펌프(160)를 구비하며, 진공 펌프(160)의 작동에 의하여 측정에 필요한 공기를 흡입한다.
다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러를 설명한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는, 도 2를 참조하면, 복수 개의 공기 유입관(120)과 유입 유량계(125)와 유입 솔레노이드 밸브(127)와 메인관(130)과 메인 유량계(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 유량계(145)와 공기 공급관(150)와 진공 펌프(160)와 공기 버퍼(280)와 버퍼 연결관(283) 및 버퍼 솔레노이드 밸브(285)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 가스 샘플러(200)는 복수 개의 공기 포집관(110) 및 청소용 공기 공급관(170)을 더 포함하여 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)와 대비하여 공기 버퍼(280)와 버퍼 연결관(283) 및 버퍼 솔레노이드 밸브(285)를 더 포함하며, 다른 구성들은 동일 또는 유사하게 형성된다. 따라서, 이하에서는 상기 가스 샘플러(200)에 대하여 공기 버퍼(280)와 버퍼 연결관(283) 및 버퍼 솔레노이드 밸브(285)를 중심으로 설명한다. 또한, 상기 가스 샘플러(200)에서 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)의 구성과 동일 유사한 구성에 대하여는 동일한 도면 부호를 사용하며 차이가 있는 점을 중심으로 설명한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는 적어도 2개의 샘플러 유닛(200a, 200b)으로 분리되어 형성된다. 예를 들면, 상기 가스 샘플러(200)는, 도 2를 참조하면, 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)으로 형성될 수 있다. 상기 샘플러 유닛(200a, 200b)은 1 대의 진공 펌프(160)와 1 개의 메인관(130)과 메인 유량계(135)와 공기 버퍼(280) 및 복수 개의 공기 포집관(110)과 공기 유입관(120)과 바이패스관(140)과 바이패스 유량계(145)와 버퍼 연결관(283) 및 버퍼 솔레노이드 밸브(285)가 연결되어 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 샘플러 유닛(200a, 200b)은 공기 포집관(110)과 공기 유입관(120) 및 바이패스관(140)이 8개로 형성될 수 있다. 상기 샘플러 유닛(200a, 200b)의 버퍼 연결관(283)은 함께 공기 공급관(150)에 연결된다. 상기 샘플러 유닛(200a, 200b)은 서로 독립적으로 공기를 포집하여 1 개의 공기 공급관(150)을 통하여 가스 측정 모듈(20)로 공급한다. 즉, 상기 샘플러 유닛(200a, 200b)은 진공 펌프(160)의 작동에 의하여 복수 개의 공기 포집관(110)으로부터 공기를 포집하여 공기 버퍼(280)에서 혼합하여 공기 공급관(150)을 통하여 가스 측정 모듈(20)로 공급한다. 상기 가스 샘플러(200)는 감지 위치의 개소에 따라 샘플러 유닛(200a, 200b)의 개수 및 공기 포집관(110)의 개수가 달리 형성될 수 있다.
따라서, 상기 가스 샘플러(200)는 5 개소 이상의 감지 위치에 대하여 가스 누설 여부를 측정하는데 사용되는 사용될 수 있다. 상기 가스 샘플러(200)는 감지 위치의 개소가 많은 경우에 보다 신속하게 가스 누설 위치를 확인할 수 있다.
상기 가스 샘플러(200)는 각각의 유입 솔레노이드 밸브(127)와 버퍼 솔레노이드 밸브(285)가 원격 제어가 가능하도록 형성되며, 프로그래밍에 의하여 제어되도록 형성될 수 있다. 상기 가스 샘플러(200)는 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)을 통하여 가스 측정 모듈(20)로 공기를 공급하며, 가스 누설이 감지되면 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)의 버퍼 솔레노이드 밸브(285)와 유입 솔레노이드 밸브(127)를 원격으로 제어하여 순차적으로 열고 닫으면서 가스 누설이 있는 감지 위치를 자동으로 찾도록 할 수 있다.
상기 공기 유입관(120)은 타단이 공기 버퍼(280)에 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 유입되는 공기를 공기 버퍼(280)로 공급한다.
상기 메인관(130)은 일단이 공기 버퍼(280)에 연결된다. 상기 메인관(130)은 공기 버퍼(280)에 공급되는 공기를 흡입한다.
상기 공기 버퍼(280)는 내부가 중공이며 밀폐된 박스 또는 통 형상으로 형성된다. 상기 공기 버퍼(280)는 공기 유입관(120)의 타단과 메인관(130)사이에 결합된다. 상기 공기 버퍼(280)는 샘플러 유닛(200a, 200b)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다. 상기 공기 버퍼(280)는 복수 개의 공기 유입관(120)으로부터 유입되는 공기를 혼합하여 메인관(130) 및 가스 측정 모듈(20)로 공급한다.
상기 버퍼 연결관(283)은 일단이 공기 버퍼(280)에 연결되고 타단이 공기 공급관(150)에 연결된다. 상기 버퍼 연결관(283)은 공기 버퍼(280)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다. 상기 버퍼 연결관(283)은 공기 버퍼(280)에서 혼합된 공기를 공기 공급관(150)으로 공급한다.
상기 버퍼 솔레노이드 밸브(285)는 버퍼 연결관(283)의 중간 또는 단부에 결합된다. 상기 버퍼 솔레노이드 밸브(285)는 버퍼 연결관(283)을 개방 또는 차단하여 유입되는 공기의 흐름을 제어한다. 상기 버퍼 솔레노이드 밸브(285)는 버퍼 연결관(283)과 연결된 공기 버퍼(280)로부터 공기가 가스 측정 모듈(20)로 공급되는 것을 차단한다.
상기 공기 공급관(150)은 일단이 복수 개의 버퍼 연결관(283)과 결합된다. 공기 공급관(150)은 버퍼 연결관(283)들로부터 공급되는 공기를 가스 측정 모듈(20)로 공급한다.
다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)의 작용에 대하여 설명한다. 이하에서는 도 2를 참조하여, 상기 가스 샘플러(200)가 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)으로 형성되며, 각 샘플러 유닛(200a, 200b)은 8개의 공기 포집관(110)으로 형성되는 경우를 중심으로 설명한다. 또한, 상기 가스 샘플러(200)는 제 1 샘플러 유닛(200a)의 5번째 공기 포집관(110)으로 감지 대상 가스가 혼합된 공기가 유입되는 경우를 중심으로 설명한다. 또한, 평소에 공기에 포함되어 유입되는 감지 대상 가스의 농도가 10ppb이며, 5번째 공기 포집관(110)을 통하여 감지 대상 가스가 유입되는 것으로 한다.
먼저, 상기 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)의 진공 펌프(160)가 작동되면, 각각에 연결된 공기 포집관(110)에 의하여 감지 위치의 공기가 포집된다. 상기 포집된 공기는 공기 유입관(120)을 통하여 각각 공기 버퍼(280)로 공급되며, 공기 버퍼(280)에서 혼합(여기서 혼합된 공기는 각각의 공기 버퍼(280)에 연결된 공기 유입관(120)으로부터 공급된 공기가 혼합된다는 의미임)된 후에 버퍼 연결관(283)과 공기 공급관(150)을 통하여 가스 측정 모듈(20)로 공급된다. 상기 가스 측정 모듈(20)은 공급되는 공기를 분석하며, 공기에 감지 대상 가스가 검출된 경우에 이를 표시한다.
다음으로, 상기 가스 측정 모듈(20)이 감지 대상 가스를 감지하면, 제 2 샘플러 유닛(200b)의 버퍼 솔레노이드 밸브(285)를 차단하여, 제 1 샘플러 유닛(200a)에서만 공기를 가스 측정 모듈(20)로 공급하도록 한다. 상기 공기 유입관(120)에 결합되어 있는 모든 유입 솔레노이드 밸브(127)를 닫은 후에 순차적으로 1 개의 유입 솔레노이드 밸브(127)를 열어 가스 측정 모듈(20)로 공기를 공급하면서 감지 대상 가스가 검출되는지 확인한다. 상기 5번째 공기 유입관(120)에 연결된 유입 솔레노이드 밸브(127)가 개방되고 공기가 유입되어 가스 측정 모듈(20)에 공급된다. 상기 가스 측정 모듈(20)은 5번째 공기 포집관(110)이 연장된 감지 위치에서 가스 누설이 있음을 표시한다. 한편, 감시 대상 가스가 복수의 감지 위치에서 누설되었을 수 있으므로 5번째 이후의 유입 솔레노이드 밸브(127)를 순차적으로 열어 가스가 누설된 추가 감지 위치가 있는지 여부를 확인한다.
여기서, 상기 가스 측정 모듈(20)은 감지 위치에서 포집된 감지 대상 가스의 농도를 산출할 수 있다. 먼저, 순서를 바꾸어 상기 감지 위치에서 포집된 공기의 감지 대상 가스의 농도가 1000ppb이면, 제 1 샘플러 유닛(200a)의 공기 버퍼(280)로부터 공급된 공기의 감지 대상 가스의 농도, 즉, 가스 측정 모듈(20)에서 측정한 감지 대상 가스의 농도는 (10ppb X 7/8) + (1000 X 1/8) =133.75ppb가 된다. 이는 제 1 샘플러 유닛(200a)의 8개의 공기 유입관(120)으로부터 동일한 유량의 공기가 공기 버퍼(280)로 유입되기 때문이다. 이때, 상기 가스 측정 모듈(20)은 제 1 샘플러 유닛(200a)으로부터 유입된 공기에 포함된 감지 대상 가스의 농도가 133.75ppb라는 사실만 확인하여 주며, 실제로 누설된 가스의 농도가 1000ppb라는 것은 직접 알지 못한다. 다음으로, 상기 가스 측정 모듈(20)은 측정된 감지 대상 가스의 농도를 사용하여, (10bbp X 7/8) + (X ppb X 1/8) =133.75ppb로부터 감지 위치에서 포집된 공기의 감지 대상 가스의 농도가 1000ppb라는 것을 확인할 수 있다.
상기와 같이 감지 위치에서 포집된 공기에 포함되는 감지 대상 가스의 농도는 아래와 같은 식에 의하여 계산될 수 있다.
M = (Mt - (M0 x (N-1)) x N
(여기서, M0: 평상시 공기의 감지 대상 가스의 농도, N: 가스 측정 모듈에 연결되는 공기 유입관의 전체 개수, Mt: 가스 측정 모듈에서 측정된 감지 대상 가스의 농도)
또한, 상기와 같은 감지 대상 가스의 농도는 공기 버퍼(280)에 연결되는 공기 유입관(120)의 개수가 8개 아닌 복수 개인 경우에도 적용하여 산출이 가능하다.
상기와 같이, 상기 가스 측정 모듈(20)은 공기 버퍼(280)로부터 공급되는 공기의 감지 대상 가스의 농도를 산출하여 어느 하나의 감지 위치에서 감지 대상 가스가 누설되고 있음을 알릴 수 있다. 따라서, 상기 가스 누설 감지 장치(10)는 정확하게 감지 대상 가스가 누설된 감지 위치를 파악하기 전에 감지 대상 가스의 누설에 대하여 신속하게 대응할 수 있도록 한다.
한편, 상기와 같은 과정을 통하여 포집된 공기의 감지 대상 가스의 농도를 측정하는 과정은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(200)와 가스 측정 모듈(20)을 포함하는 가스 누설 감지 장치(10)에도 적용될 수 있다.
다음으로, 상기 제 1 샘플러 유닛(200a)으로부터 공급되는 공기에서 감지 대상 가스가 검출되지 않은 경우에 제 1 샘플러 유닛(200a)의 버퍼 솔레노이드 밸브(285)를 닫고, 제 2 샘플러 유닛(200b)의 버퍼 솔레노이드 밸브(285)를 열고 제 1 샘플러 유닛(200a)의 경우와 동일하게 각 유입 솔레노이드 밸브(127)를 열어 가스 누설이 있는 감지 위치를 확인한다.
따라서, 상기 가스 샘플러(200)는 16개의 공기 포집관(110)에 대하여 순차적으로 가스 누설 여부를 확인하는 경우보다 신속하게 가스 누설이 있는 감지 위치를 확인할 수 있다.
10 : 가스 누설 감지 장치 20 : 가스 측정 모듈
100, 200 : 가스 샘플러
110 : 공기 포집관 120 : 공기 유입관
125 : 유입 유량계 127 : 유입 솔레노이드 밸브
130 : 메인관 135 : 메인 유량계
140 : 바이패스관 145 : 바이패스 유량계
150 : 공기 공급관 160 : 진공 펌프
170 : 청소용 공기 공급관 280 : 공기 버퍼
283 : 버퍼 연결관 285 : 버퍼 솔레노이드 밸브

Claims (10)

  1. 복수 개로 형성되어 각각 감지 대상 가스의 누설 여부를 감지하는 감지 위치로 연장되어 공기를 포집하며, 상기 감지 위치에 따라 적어도 2개가 서로 다른 길이로 형성되는 공기 포집관과,
    복수 개로 형성되어 각각 일단이 상기 공기 포집관과 연결되어 상기 공기 포집관으로부터 공기가 유입되는 공기 유입관과,
    복수 개로 형성되어 상기 공기 유입관에 각각 결합되는 유입 솔레노이드 밸브와,
    복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 상기 공기 유입관으로부터 공급되는 공기가 흐르는 메인관과,
    상기 메인관에 결합되어 상기 메인관을 흐르는 공기의 유량을 제어하는 메인 유량계와,
    상기 메인관과 연결되어 상기 공기 포집관에서 공기를 포집하는데 필요한 흡인력을 제공하는 진공 펌프와,
    상기 공기 유입관의 개수에 대응되는 개수로 형성되며, 각각 일단이 상기 공기 유입관에 연결되며, 타단이 상기 진공 펌프에 연결되는 바이패스관과,
    복수 개로 형성되며, 각각 상기 바이패스관에 결합되어 상기 바이패스관을 흐르는 공기의 유량을 제어하여 각각 상기 바이패스관에 연결되는 상기 공기 유입관에 균일한 공기 유량이 흐르도록 설정되는 바이패스 유량계와,
    내부가 중공이며 밀폐된 박스 또는 통 형상으로 형성되며 상기 공기 유입관과 메인관 사이에 결합되는 공기 버퍼와,
    일단이 공기 버퍼에 연결되는 버퍼 연결관 및
    상기 버퍼 연결관에 결합되는 버퍼 솔레노이드 밸브를 구비하는 적어도 2개의 샘플러 유닛 및;
    일단이 상기 버퍼 연결관의 타단과 연결되며, 상기 버퍼 연결관으로부터 유입되는 공기를 혼합하여 가스 측정 모듈로 공급하는 공기 공급관을 포함하며,
    상기 샘플러 유닛은 각각 독립적으로 공기를 포집하여 상기 공기 공급관을 통하여 상기 가스 측정 모듈로 공급하며,
    상기 가스 측정 모듈에서 상기 감지 대상 가스가 감지되면, 상기 샘플러 유닛은 상기 하나의 샘플러 유닛의 버퍼 솔레노이드 밸브를 차단하고, 상기 다른 하나의 샘플러 유닛의 유입 솔레노이드 밸브를 순차적으로 열고 닫으면서 상기 감지 대상 가스를 포함하는 공기가 유입되는 상기 공기 유입관을 찾도록 작동하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플러.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 공기 유입관에 결합되어 상기 공기 유입관을 흐르는 공기의 유량을 표시하는 유입 유량계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플러.
  3. 제 1 항에 있어서,
    일단이 개방되고 타단이 상기 공기 공급관에 연결되는 청소용 공기 공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플러.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 따른 가스 샘플러 및
    상기 가스 샘플러로부터 공급되는 공기에 감지 대상 가스가 포함되어 있는지 여부를 측정하는 가스 측정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 누설 감지 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    복수 개의 상기 공기 유입관은 서로 균일한 공기 유량이 흐르며,
    상기 감지 위치에서 포집된 공기의 감지 대상 가스의 농도는
    M = (Mt - (Mo x (N-1)) x N
    (여기서, Mo: 평상시 공기의 감지 대상 가스의 농도, N: 가스 측정 모듈에 연결되는 공기 유입관의 전체 개수, Mt: 가스 측정 모듈에서 측정된 감지 대상 가스의 농도)으로 산출되는 것을 특징으로 하는 가스 누설 감지 장치.
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